本发明公开了一种移除硬遮罩的钴兼容性半水基清洗液、其制备方法及应用。所述的半水基清洗液由下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分:10%-45%的氧化剂、0-1.5%的D-氨基酸氧化酶、0-2.5%的D型氨基酸、0.1%-15%的有机碱、0.001%-15%的螯合剂、0.005%-15%的缓蚀剂、0.05%-15%的羧酸铵、0.005%-1.5%的EO-PO聚合物L42、0.005%-2.5%的钝化剂、20%-60%的水溶性有机溶剂和余量的水,所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。本发明半水基清洗液对多种金属及电介质缓蚀性强,尤其是对钴的兼容性强,清洗效果佳。