异丙醇和溶剂油的混合物在半导体设备表面处理的方法,所述处理方法包括如下步骤:S1、常温状态下,将纯异丙醇和脱芳烃类溶剂油分别置入调试模块,进行搅拌反应,得到混合物;S2、使用混合物浸湿无尘布;S3、运用无尘布覆盖需要清洁的半导体设备表面,降低油性污染物和金属污染物与设备表面的粘结力;S4、再用无尘布擦拭半导体设备表面,使得油性污染物和金属污染物剥离设备表面,达到清洁效果,常温下表面残留清洁剂可快速挥发。该异丙醇和溶剂油的混合物在半导体设备表面处理的方法,利用异丙醇的高清洁效果、渗透性和溶剂油的稳定性、低粘性,提高了对半导体设备表面油性污染物和金属污染物的处理。