本发明涉及无源器件自动加工领域,具体是涉及一种用以制备无源器件的自动化设备及制备方法,包括工作台、反应腔、固定组件、旋转组件和制备机构,将半导体衬底放入其中一个反应腔中,通过固定组件使得半导体衬底无法移动,通过反应腔提供制备的密闭空间,同时启动旋转组件和第一制备组件,旋转组件驱动固定组件转动,第一制备组件在反应腔充入化学气体,在半导体衬底表面上进行化学反应生成绝缘介质层,完成后将半导体衬底取出放入另一个反应腔内,通过第二制备组件在反应腔充入化学气体,在半导体衬底的绝缘介质层上表面上形成金属层,从而获得无源器件样品,操作简单,同时两个反应腔分别制备,提高了制备的效率。