移相干涉测量系统及测量方法

一种移相干涉测量系统,包括光源单元、参考反射镜、第一分束镜、扩束镜、移相器、光电探测器；光源单元发出不同波长的光束,光束经扩束镜扩束后入射至第一分束镜,一部分被反射作为参考光束,另一部分被透射作为测量光束,参考光束入射至参考反射镜,经参考反射镜反射至光电探测器,参考反射镜与移相器固定连接,移相器控制参考光束进行相位调制；测量光束入射至待测物,经待测物反射回第一分束镜,经第一分束镜反射至光电探测器,且与参考光束发生干涉。本发明解决了单波长干涉测量方法只能测得0到2π范围内的相位值。解决了现有干涉测量系统测量距离被极大限制住,只能在λ/2范围内,实现精准测量的技术问题。

2021-11-02

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干涉共聚焦测量系统及测量方法

本发明提供一种干涉共聚焦测量系统及测量方法,测量系统包括第一测量单元和第二测量单元,所述第一测量单元包括发出特定波长范围的宽光谱光源组件、第一分束镜、色散物镜、信号接收组件；所述第二测量单元包括单波长的激光光源、扩束镜、第二分束镜、移相器、反射镜、光电探测器、第三分束镜、位于色散物镜中心光轴上的光阑。本发明通过逐级测量,第一测量单元实现粗测,确定干涉级次；第二测量单元实现精测,保证单波长测量精度的同时,扩展了干涉共聚焦测量系统的工作范围。

2021-11-02

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一种高精度散斑干涉相移条纹动态测量系统及方法

本发明为一种高精度散斑干涉相移条纹动态测量系统及方法,包括,激光器,用做光源,发出激光；压电陶瓷,可进行移动,且具有反射镜,反射镜用于反射激光并在物体表面产生相移散斑图；相机,用于捕捉图像；迈克尔逊干涉仪,用于产生干涉条纹；信号同步模块,用于制作同步信号发生电路；计算机,用于显示相机捕捉的图像,及计算干涉条纹图；其中,同步信号发生电路能够产生方波信号和阶梯信号,方波信号和阶梯信号的上升沿同步,方波信号用于控制相机的图像采集,阶梯信号用于控制压电陶瓷的移动产生相移图；阶梯波产生台阶电压,每个台阶的电压差值相等,且最大电压和最小电压差所对应的压电陶瓷运动的位移等于激光器的光源的一个波长。

2021-11-02

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一种应用于波长调谐式移相干涉仪的自适应移相方法

发明公开了一种应用于波长调谐式移相干涉仪的自适应移相方法,对波长调谐式移相干涉仪的步进电压量与腔长之间的关系进行标定,通过标定得到步进电压与腔长的关系函数；输入腔长在设定范围内的值,根据所标定的步进电压与腔长的关系函数,得到该腔长值下的步进电压值；以该腔长值下的步进电压值进行移相,获取具有设定相位间隔的移相干涉图,再基于最小二乘原理和迭代法的解相位算法,实现自适应干涉腔长的波长调谐移相干涉。本发明基于波长调谐移相干涉技术原理的波长调谐移相干涉方法可实现自适应的移相操作,提高检测的精度和稳定性。

2021-11-02

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通过偏振光纤连接到源/检测器的部分相干范围传感器笔

一种用于光学测量系统的探头,包括探头主体,该探头主体被布置成可调节地安装在用于光学地测量测试物体的测量机中。光学耦合在探头主体内的偏振光纤将具有跨越一系列波长的瞬时或顺序建立的带宽的源光束传输到探头主题,并且还将测量光束从探头主体朝向检测器传输。提供了可调节光束操纵器,用于沿着参考臂角度地重新分布参考光束。

2021-10-29

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一种格构梁形变光纤实时传感监测系统

本发明一种格构梁形变光纤实时传感监测系统,属于分布式光纤传感技术领域；目的在于解决现有格构梁形变监测方案无法实时精确检测到格构梁梁体变形,无法实时评估边坡状态,对大范围的边坡无法实现有效监测的问题；本发明采用双主干涉光回路、光偏振态控制技术和光强放大技术,利用去斜滤波补偿扫频激光的非线性相位,实现实时准确的格构梁网络监测；同时,本发明给出了具体的传感光纤在格构梁梁体和格构梁网络内部的铺设方法,实现了对边坡格构梁网络的实时准确监测,具有实时性强,测量精准,全天候监测等优点。

2021-10-29

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一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统

本发明涉及一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统,包括相干光源、光电探测模块、自溯源光栅和信号处理模块,所述自溯源光栅设置于待测的位移运动平台上,所述相干光源、光电探测模块和信号处理模块依次连接,所述相干光源产生的激光经光电探测模块传播后,入射至自溯源光栅,与自溯源光栅发生衍射作用,返回至光电探测模块中继续传播,进入信号处理模块,信号处理模块采集干涉信号获取运动位移量和运动方向。与现有技术相比,本发明克服了位移测量溯源难度大和光栅刻线密度低的缺点,其直接溯源的测量途径具有位移测量准确性高、鲁棒性强的优势。

2021-10-29

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干涉条纹计数方法及装置

本发明涉及光学检测技术领域,尤其是一种干涉条纹计数方法及装置。该方法包括：引导经放大后的干涉条纹照射两个光敏器件,使两个光敏器件同时落入一亮条纹或暗条纹的范围内；通过单片机检测两个光敏器件的电信号；根据照射到两个光敏器件上的光照强度的强度变化次序,确定干涉条纹沿两个方向上的移动数量；根据干涉条纹在两个方向上的移动数量的差值,确定干涉条纹的实际移动方向和实际移动数量。该装置包括两个光敏器件和单片机。本发明通过将干涉条纹进行放大处理后再由单片机进行测定,避免直接测定过密干涉条纹移动带来的误差。

2021-10-29

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测定装置以及测定方法

本发明涉及测定装置以及测定方法。在基于干涉光对测定对象的形状进行测定且测定对象的凹凸尺寸大于波长的情况下,无法实施高精度的形状测定。测定装置具备：光源部,射出光；分光元件,使从所述光源部射出的光中预定波长的光透射,且能够变更在预定的波长范围内透射的所述光的波长；干涉光学系统,将从所述分光元件射出的光分离为照射到测定对象的测定光和由参照体反射的参照光,并生成将由所述测定对象反射后的所述测定光和由所述参照体反射后的所述参照光合成而得的干涉光；受光部,接收所述干涉光；以及位置计算部,基于光谱信息计算所述测定对象的位置,所述光谱信息是使从所述分光元件透射的光的波长变化时在所述受光部的受光量的变化。

2021-10-26

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基于GPU全并行AIA的相移相位提取方法、装置及存储介质

本发明公开了一种基于GPU全并行AIA的相移相位提取方法、装置及存储介质,该方法通过获取多幅相移干涉条纹图,然后接收设定的第一相移量值,并根据第一相移量值,在GPU中按照逐点模式进行逐像素点迭代计算,更新第一相位值；再获取相移量值的收敛条件；然后根据第一相位值,在GPU中按照并行模式进行逐帧迭代计算,以对第一相移量值进行更新,并返回根据第一相移量值,在GPU中按照逐点模式进行逐像素点迭代计算,更新第一相位值的步骤,直至更新后的第一相移量值达到相移量值的收敛条件则迭代停止；从而能够在相移量未知的情况下,快速并准确地提取相移和相位；本发明保证了提取精度,提高了运算速度。本发明可广泛应用于相移干涉测量技术领域。

2021-10-22

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