本发明公开了一种基于芯片的谐振电路,涉及谐振调谐技术领域,包括：方波发生模块,谐振模块,电压电流采样模块,相位差检测模块,主控制模块,驱动模块,相位控制模块,输出处理模块；所述方波发生模块用于产生方波信号,谐振模块用于产生分压信号,电压电流采样模块用于采样电压电流信号,相位差检测模块用于检测电压电流相位差,主控制模块用于接收处理信号和输出驱动信号,驱动模块用于输出驱动信号,相位控制模块用于控制移相。本发明基于芯片的谐振电路采用微控制器通过对全控型器件的控制实现对电感电流的移相控制,从而对该谐振电路进行动态实时调谐控制,还利用霍尔电流传感器、运算放大器和逻辑芯片提高电压电流相位差检测精度。

本发明公开了一种射频电源的调谐方法,其中射频电源包括频率控制模块、闭环控制器,通过改变射频电源频率,在复数平面中建立相应的曲线；以复数平面中任意一点作为起点,以复数平面的原点或原点附近的一点为终点,并以起点和终点作参考矢量；判断曲线是否为目标曲线,若不是目标曲线,则通过曲线变换得到修正曲线；所述参考矢量将目标曲线或修正曲线分成左右区域；根据目标曲线或修正曲线上的复数值处于左右区域的位置调节射频电源的频率。本发明所提供的射频电源调谐方法计算方式简单高效、并且本方法能够克服现有技术无法对非目标曲线进行频率调节的缺陷,具有更强的适应性。