阅读说明：本技术 光谐振器以及激光加工机 (Optical resonator and laser processing machine ) 是由 市桥宏基 于 2019-01-16 设计创作，主要内容包括：本发明提供光谐振器以及激光加工机。光谐振器(2)具备光源部(3)和输出耦合器(4)。光源部发出光。输出耦合器使光源部中发出的光谐振,并出射输出光(L1)。输出耦合器具备反射镜(44)、偏振分离元件(42)、至少1个1/4波长板(43)和调整部(40)。反射镜配置成反射来自光源部的光。偏振分离元件配置于光源部与反射镜间的光路上,将由反射镜反射而入射的光当中的第1偏振分量向光源部出射,将第2偏振分量作为输出光出射。1/4波长板配置于偏振分离元件与反射镜之间,且具有给入射的光带来1/4波长的相位差的光轴(a3)。调整部调整1/4波长板的光轴的方向。(The invention provides an optical resonator and a laser processing machine. The optical resonator (2) is provided with a light source unit (3) and an output coupler (4). The light source unit emits light. The output coupler resonates light emitted from the light source section and emits output light (L1). The output coupler is provided with a mirror (44), a polarization separation element (42), at least 1 1/4 wavelength plates (43), and an adjustment unit (40). The reflector is configured to reflect light from the light source section. The polarization separation element is disposed on an optical path between the light source unit and the reflecting mirror, and emits a1 st polarization component of light incident upon reflection by the reflecting mirror toward the light source unit and a2 nd polarization component as output light. The 1/4 wavelength plate is disposed between the polarization separation element and the mirror, and has an optical axis (a3) that gives a phase difference of 1/4 wavelengths to incident light. The adjustment unit adjusts 1/4 the direction of the optical axis of the wavelength plate.)

光谐振器以及激光加工机

技术领域

本公开涉及光谐振器以及具备光谐振器的激光加工机。

背景技术

专利文献1公开了使用于激光振荡器以及波长变换装置的光谐振器。专利文献1的光谐振器是环型谐振器，将多个偏振器(polarizer)配置成环型而构成。在专利文献1中，通过将现有的谐振器中的反射镜置换成偏振器来实现将振荡的波长区域确保得大。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2002-344051号公报

发明内容

发明要解决的课题

本公开提供能容易地调整光的振荡效率的光谐振器以及激光加工机。

用于解决课题的手段

本公开所涉及的光谐振器具备光源部和输出耦合器。光源部发出光。输出耦合器使光源部中发出的光谐振，并将输出光出射。输出耦合器具备反射镜、偏振分离元件、至少1个1/4波长板和调整部。反射镜配置成反射来自光源部的光。偏振分离元件配置于光源部与反射镜间的光路上，将由反射镜反射而入射的光当中的第1偏振分量向光源部出射，将第2偏振分量作为输出光出射。1/4波长板配置于偏振分离元件与反射镜间，具有给入射的光带来1/4波长的相位差的光轴。调整部调整1/4波长板的光轴的方向。

本公开所涉及的激光加工机具备光谐振器和控制光谐振器中的光源部的发光的控制器。

发明效果

根据本公开所涉及的光谐振器以及激光加工机，通过1/4波长板的光轴的方向的调整，能容易地调整光的振荡效率。

附图说明

图1是表示本公开的实施方式1所涉及的激光加工机的结构的图。

图2是表示实施方式1所涉及的光谐振器的结构的图。

图3是用于说明光谐振器中的激光元件的光束的图。

图4是表示光谐振器中的BTU的第1光学元件的配置例的侧视图。

图5是表示光谐振器中的BTU的第2光学元件的结构例的立体图。

图6是用于说明光谐振器的衍射元件中的光的合成方法的图。

图7是表示光谐振器中的谐振波长的光谱的图表。

图8是用于说明光谐振器中的输出耦合器的机构的图。

图9是表示输出耦合器的1/4波长板的光轴与偏振方向的关系的图。

图10是表示实施方式2所涉及的光谐振器的结构的图。

图11是表示2片1/4波长板的光轴与偏振方向的关系的图。

具体实施方式

以下，适当参考附图来详细说明实施方式。其中，有时会省略必要以上详细的说明。例如，有时会省略已经广为人知的事项的详细说明、对实质相同的结构的重复说明。这是为了避免以下的说明不必要地变得冗长，使得本领域技术人员的理解容易。

另外，申请人为了本领域技术人员充分理解本公开而提供了附图以及以下的说明，意图并不在于由此限定记载于权利要求书的主题。

(实施方式1)

在实施方式1中，对具有不交换光学部件就能变更振荡效率的结构的光谐振器以及利用光谐振器的激光加工机进行说明。

1.结构

使用图1来说明实施方式1所涉及的激光加工机以及光谐振器的结构。图1是表示本实施方式所涉及的激光加工机1的结构的图。

本实施方式所涉及的激光加工机1如图1所示那样具备光谐振器2、光源驱动器11和控制器12。激光加工机1将光谐振器2中生成的输出光L1作为激光输出，由透镜等光学系统(未图示)对输出光L1进行聚光等来使输出光L1成为适合加工的状态，进行例如点焊等激光加工。

在本实施方式中，光谐振器2包含将从多个激光元件31～33在相互不同的谐振波长下放出的光的光束在空间上进行合成的波长相加型。根据波长相加型的光谐振器2，易于缩小束径，能得到良好的光束品质。

光源驱动器11是驱动作为光谐振器2中的光源的各激光元件31～33的驱动电路。例如，光源驱动器11通过控制器12的控制来在各种振荡条件下使激光元件31～33发光。各种振荡条件例如包含脉冲振荡以及连续振荡。

控制器12是控制激光加工机1的整体动作的控制装置。控制器12例如具备与软件协作来实现给定的功能的CPU或MPU。控制器12具备存储各种程序以及数据的闪速存储器等内部存储器。

控制器12可以具备能通过用户的操作来输入振荡条件等的各种接口。另外，控制器12可以具备实现各种功能的ASIC、FPGA等硬件电路。另外，控制器12可以与光源驱动器11一体地构成，也可以在控制器12中实现光源驱动器11的功能。

本实施方式所涉及的光谐振器2如图1所示那样具备：包含多个激光元件31～33的光源部3；出射输出光L1的输出耦合器4；和配置于光源部3与输出耦合器4之间的耦合光学系统20。本实施方式的光谐振器2使光在往返于光源部3与输出耦合器4之间的光路上谐振。

在本实施方式的光谐振器2中，输出耦合器4具有能变更作为输出光L1而出射的光与在内部反射而返回到光源部3侧的光的比例(即反射率)的结构。由此，可实现光谐振器2中的光的振荡效率的调整。以下，说明光谐振器2的结构的详细情况。

1-1.光谐振器的结构

使用图2～7来说明本实施方式所涉及的光谐振器2的结构。图2是表示本实施方式所涉及的光谐振器2的结构的图。

在本实施方式的光谐振器2中，如图2所示那样，在光源部3中，多个激光元件31～33排列成1列而配置。以下，将激光元件31～33所排列的方向设为“X方向”，将从激光元件31～33出射的光的光轴的方向设为“Z方向”，将与X、Z方向正交的方向设为“Y方向”。

在光源部3中，各激光元件31～33例如是LD(激光二极管)，是光源元件的一例。多个激光元件31～33例如具有与LD发光层的材质相应的共同的自然放出光谱(参考图7)。在图2中例示了光源部3中包含的3个激光元件31、32、33。光源部3中的激光元件31～33的个数例如是数十个。

使用图3来说明光源部3中的激光元件31～33的光束。图3例示了来自激光元件31的光的光束B的放出状态。激光元件31的光束B具有相互正交的快轴a1以及慢轴a2。

如图3例示的那样，在从激光元件31放出的光中，越在+Z方向上前进，则光束B就越扩展。与慢轴a2的方向相比，快轴a1对光束B中更急速扩展的方向进行规定。在本实施方式中，在激光元件31附近，快轴a1朝向Y方向，慢轴a2朝向X方向。

回到图2，耦合光学系统20包含从光源部3附近起在+Z方向上依次配置的BTU(光束旋转镜(beam twister)组件)21、透镜22以及衍射元件23。

BTU21包含第1以及第2光学元件21a、21b，调整来自光源部3的各激光元件31～33的光的光束。第1光学元件21a和第2光学元件21b在光源部3附近在+Z方向上依次配置。

BTU21的第1光学元件21a例如是包含柱面透镜的FAC(快轴准直器)。在图4示出从X方向来看的第1光学元件21a的配置例。第1光学元件21a沿着X方向配置成与光源部3中的各激光元件31～33对置。第1光学元件21a如图4所示那样，在激光元件31～33附近的光束的快轴a1的方向、即Y方向上对从各激光元件31～33出射的光进行准直。

BTU21的第2光学元件21b例如是将多个柱面透镜以与每个激光元件对置的方式组合而构成的光束旋转镜。在图5示出第2光学元件21b的结构例。第2光学元件21b隔着第1光学元件21a与各个激光元件31～33对置。第2光学元件21b使从第1光学元件21a入射的光的光束旋转XY平面中的旋转角90°的相应量。由此，从BTU21出射的光的光束的快轴a1朝向X方向。

透镜22如图2所示那样，使从-Z侧经由BTU21入射的多个激光元件31～33的光束在X方向上成为大致平行光。透镜22包含1个或多个透镜元件，在X方向上具有正的屈光力。透镜22例如配置成使焦距与直至BTU21的第2光学元件21b的+Z侧的端面为止的距离一致。在透镜22的+Z侧的焦点附近配置衍射元件23。

衍射元件23例如是形成透过型的衍射光栅的分散性元件。在本实施方式中，衍射元件23的衍射光栅使来自多个激光元件31～33的光向相同的方向出射，并满足用于合成的衍射条件。衍射元件23的衍射条件如下式(1)那样表征。

sinα-sinβ＝mλ/d...(1)

在此，α是入射到衍射元件23的光的入射角，β是衍射后出射的光的衍射角。另外，λ是被衍射的光的波长，与谐振波长对应。d是衍射元件23中的衍射光栅的间距。m表示衍射次数，例如是整数。

图6是用于说明衍射元件23中的光的合成方法的图。以下，如图2所示那样，将从衍射元件23在衍射角β下出射的光的方向设为“d1”。

在衍射元件23中，如图6所示那样，来自各激光元件31、32、33的光的入射角α＝α1、α2、α3相互不同。在本实施方式的光谐振器2中，基于上式(1)来对各激光元件31～33设定不同的谐振波长λ，以使得各激光元件31～33的衍射角β相同。由此，来自多个激光元件31～33的光若透过衍射元件23就在空间上被合成并向+d1方向出射。

图7是表示光谐振器2中的谐振波长λ的光谱的图表。在图7的图表中，横轴表示波长[nm]，纵轴表示光的强度。

在图7中示出光源部3中的多个激光元件31～33中的各个谐振光谱S1～S3、和共同的自然放出光谱S0。各谐振光谱S1、S2、S3表示各个激光元件31、32、33的谐振波长λ的分布。自然放出光谱S0例如包含955nm～990nm的波段。另外，激光元件的波段并没有特别限定，例如可以使用400nm段的激光元件。

本实施方式的光谐振器2如图7所示那样设定光谐振器2的各种参数，以使得光源部3中的全部激光元件31～33的谐振光谱S1～S3收在自然放出光谱S0的范围内。光谐振器2的各种参数例如是光源部3中的激光元件31～33的间距、透镜22的焦距、衍射元件23中的衍射光栅的间距、光谐振器2的各部间的距离。

根据以上那样构成的光谐振器2，在使多个激光元件31～33的光同时谐振的同时在空间上将其合成，从而能使光束品质良好。在本实施方式中，在以上那样的光谐振器2中，使输出耦合器4具有能调整反射率的结构。以下，说明输出耦合器4的结构。

1-1-1.输出耦合器的结构

使用图2、8来说明本实施方式的光谐振器2中的输出耦合器4的结构。图8是用于说明光谐振器2中的输出耦合器4的机构的图。

本实施方式的输出耦合器4能利用光的偏振来调整输出耦合器4内部的反射率。如图2所示那样，输出耦合器4例如具备在+d1方向上依次配置的1/2波长板41、s/p分离元件42、1/4波长板43以及反射镜44。进而，本实施方式所涉及的输出耦合器4具备调整1/4波长板43所具有的光轴a3(图8)的方向的调整部40。

1/2波长板41在光谐振器2中配置在比衍射元件23更靠+d1侧的位置。1/2波长板41配置在将入射的光的s偏振分量和p偏振分量反转的朝向上。本实施方式的1/2波长板41的光轴在与光的行进方向垂直的面内相对于p偏振或s偏振的电场的振动方向倾斜45度，作为将偏振分量反转的偏振反转部起作用。

s/p分离元件42是将入射的光当中的s偏振分量和p偏振分量分离的偏振分离元件的一例。s/p分离元件42例如包含偏振分束器。例如，s/p分离元件42将s偏振的光反射，将p偏振的光透过。

1/4波长板43以光轴a3为基准，来使入射的光中相互正交的偏振分量之间产生1/4波长的相位差。1/4波长板43的光轴a3例如是高速轴或低速轴。

反射镜44例如是全反射镜。反射镜44配置成与1/4波长板43对置。

如图8所示那样，输出耦合器4对应于直至到达反射镜44为止的光路而例如具有沿着d1方向的光路的光轴a4。1/4波长板43例如配置成光轴a3在与输出耦合器4的光轴a4正交的平面上能旋转。

调整部40例如包含使1/4波长板43绕着光轴a4旋转的各种转动机构。调整部40可以包含通过控制器12的控制来驱动该转动机构的致动器等。该致动器可以设于光谐振器2的外部，转动机构在以手动使用的情况下等也可以适当省略。

2.动作

以下，说明以上那样构成的激光加工机1以及光谐振器2的动作。

本实施方式的激光加工机1(图1)例如从控制器12设定光源驱动器11的振荡条件，使光源驱动器11驱动光谐振器2的光源部3。由此，在光谐振器2中，在设定的振荡条件下使光谐振，能从输出耦合器4得到输出光L1。

这时，例如通过控制器12对应于所设定的振荡条件来控制输出耦合器4的调整部40，能容易地使光谐振器2中的振荡效率最佳化。以下，说明以上那样的激光加工机1中的光谐振器2的动作。

2-1.光谐振器的动作

使用图2、9来说明本实施方式所涉及的光谐振器2的动作。

在本实施方式的光谐振器2中，光源部3从多个激光元件31～33分别出射光。来自各个激光元件31～33的光经由BTU21，在使光束的快轴a1朝向X方向的状态下入射到透镜22。在本实施方式中，在BTU21出射的来自激光元件31～33的光成为p偏振。

透镜22将各个光导光到衍射元件23附近，以便使来自多个激光元件31～33的光的光束耦合。另外，来自激光元件31～33的光通过配置于BTU21与衍射元件23之间的1/2波长板(未图示)而在入射到衍射元件23前被变换成s偏振。衍射元件23使从各激光元件31～33入射的光分别衍射，并将空间上合成的光L10向+d1方向出射。合成的光L10也保存偏振的方向，是s偏振。

s偏振的光L10从衍射元件23入射到输出耦合器4。入射到输出耦合器4的光L10在1/2波长板41被从s偏振变换成p偏振。变换后的光L11不被s/p分离元件42特别地分离而向+d1方向前进。

若光L11从s/p分离元件42向+d1方向前进，就通过1/4波长板43。若将光轴a3设为低速轴，则1/4波长板43就在通过的光L11中使与光轴a3对应的偏振分量的相位延迟1/4波长的相应量。1/4波长板43中向+d1方向前进的光L12被反射镜44反射。反射后的光L21向-d1方向前进，再次通过1/4波长板43而入射到s/p分离元件42。

在如上述那样2次通过1/4波长板43的光L22中，以光轴a3为基准产生1/2波长的相应量的相位差。因而，从1/4波长板43入射到s/p分离元件42的光L22成为以与1/4波长板43的光轴a3的方向相应的比例包含s偏振分量和p偏振分量的直线偏振。

s/p分离元件42通过在来自1/4波长板43的光L22中将s偏振分量反射而另一方面将p偏振分量透过，从而将s偏振的光L23和p偏振的光L24分离。分离后的s偏振的光L23从输出耦合器4作为输出光L1向外部出射。p偏振的光L24在输出耦合器4中向-d1方向前进，入射到1/2波长板41。

1/2波长板41将来自s/p分离元件42的光L24从p偏振变换成s偏振，并将s偏振的光L25从输出耦合器4向-d1方向出射。由此，输出耦合器4能使与入射的光L10相同偏振状态的光L25返回到衍射元件23。由衍射元件23衍射的L25通过配置于BTU21与衍射元件23之间的1/2波长板(未图示)而变化为p偏振，对应于衍射角而返回到激光元件31～33。

如以上那样，通过输出耦合器4，在与1/4波长板43的光轴a3的方向相应的比例下，将入射的光L10的一部分作为输出光L1而向外部出射，使剩余的光返回到衍射元件23。由此，能在光源部3与输出耦合器4之间使光谐振。光的谐振在光源部3的各激光元件31～33的-Z侧的端面与输出耦合器4的反射镜44间的光路上产生。

光谐振器2的振荡效率对应于输出耦合器4中将光返回的比例(或反射率)而变动。将光返回的最佳的比例对应于各种振荡条件而不同。根据本实施方式的输出耦合器4，通过变更1/4波长板43的光轴a3的方向，能容易地调整光谐振器2的输出光L1与返回的光L25的比例。使用图9来说明输出耦合器4的调整方法。

图9是表示输出耦合器4的1/4波长板43的光轴a3与偏振方向的关系的图。在图9中示出1/4波长板43的主面中的光轴a3以及各种偏振的方向。

如上述那样，从s/p分离元件42入射到1/4波长板43的光L11成为p偏振。另外，从1/4波长板43向s/p分离元件42出射的光L22以光轴a3为基准而具有1/2波长的相位差。因而，该光L22的偏振方向如图9所示那样，以p偏振为基准而具有光轴a3的角度θs的2倍的角度2θs。

因而，通过用调整部40适当地调整1/4波长板43的光轴a3的角度θs，能将光L22中的s偏振与p偏振的混合比设定成所期望的比例。由此，能设定s/p分离元件42中的反射率，能自由地调整在输出耦合器4中将光返回的比例。

3.汇总

如以上那样，本实施方式所涉及的光谐振器2具备光源部3和输出耦合器4。光源部3发出光。输出耦合器4使光源部3中发出的光谐振，并出射输出光L1。输出耦合器4具备反射镜44、偏振分离元件的一例的s/p分离元件42、1/4波长板43和调整部40。反射镜44配置成反射来自光源部3的光。s/p分离元件42配置于光源部3与反射镜44间的光路上，例如将从反射镜44入射的光当中的p偏振分量(第1偏振分量)向光源部3出射，将s偏振分量(第2偏振分量)作为输出光L1而出射。1/4波长板43配置于s/p分离元件42与反射镜44之间。1/4波长板43具有给入射的光带来1/4波长的相位差的光轴a3。调整部40调整1/4波长板43的光轴a3的方向。

根据以上的光谐振器2，通过在调整部40中调整1/4波长板43的光轴a3的方向，能变更由s/p分离元件42分离的偏振分量的混合比。由此，没有特别交换光学部件的劳力和时间，就能容易地在光谐振器2中调整光的振荡效率。

在本实施方式中，光源部3包含各自是光源元件的一例的多个激光元件31～33。光谐振器2还具备：为了按激光元件31～33的每一者使多个波长的光谐振而将各波长的光衍射的衍射元件23。

通过以上的光谐振器2，在波长相加型的光谐振器2中，在通过具有多个谐振光谱S1～S3的激光元件31～33的光的空间合成来获得良好的光束品质时，能容易地进行振荡效率的最佳化。

另外，在本实施方式中，输出耦合器4还具备配置于衍射元件23与s/p分离元件42之间的1/2波长板41。1/2波长板41在入射的光中使第1偏振分量和第2偏振分量反转。通过1/2波长板41，在从衍射元件23入射到1/2波长板41的光L10是s偏振的情况下，能将p偏振的光L11向s/p分离元件42出射。

另外，在本实施方式中，光谐振器2还具备BTU21。BTU21对光源部3中发出的光的光束进行调整。由此，能以来自光源部3的光束的快轴a1进行光的空间合成。

另外，本实施方式中的激光加工机1具备光谐振器2和控制器12。控制器12例如经由光源驱动器11来对光谐振器2中的光源部3的发光进行控制。根据本实施方式的激光加工机1，通过光谐振器2，能容易地调整光的振荡效率。

(实施方式2)

以下，使用附图来说明实施方式2。在实施方式2中说明能降低输出耦合器中的波长依赖性的光谐振器。

以下，适当省略与实施方式1同样的结构以及动作的说明来说明本实施方式所涉及的光谐振器。

图10是表示实施方式2所涉及的光谐振器2A的结构的图。本实施方式的光谐振器2A在与实施方式1的光谐振器2(图2)同样的结构中具备2片1/4波长板43以及2片1/2波长板41。

在本实施方式的输出耦合器4中，2片1/4波长板43与实施方式1的1/4波长板43同样地配置于s/p分离元件42与反射镜44之间。输出耦合器4的调整部40对各1/4波长板43进行调整，以使得在2片1/4波长板43当中的一个1/4波长板43的光轴(以下称作“第1光轴”)与另一个1/4波长板43的光轴(以下称作“第2光轴”)之间，后述的关系成立(参考图11)。另外，第1光轴和第2光轴都统一在高速轴，或都统一在低速轴。

另外，2片1/2波长板41与实施方式1的1/2波长板41同样地配置于衍射元件23与s/p分离元件42之间。将各1/2波长板41配置成：在2片1/2波长板41的通过前后，将s偏振分量变换成p偏振分量，且将p偏振分量变换成s偏振分量。由此，能降低使s偏振分量和p偏振分量反转时的波长依赖性。

图11是表示本实施方式的光谐振器2A中的2片1/4波长板43的光轴a31、a32与偏振方向的关系的图。在图11中，将2片1/4波长板43中的第1光轴a31的角度θs1和第2光轴a32的角度θs2与图9同样地示出。

本实施方式的光谐振器2A通过进行给在2片1/4波长板43各自中通过的光带来相位差的旋光，从而减少与光的波长相应的相位差的偏差。具体地，在与实施方式1同样地将入射到s/p分离元件42的光L22的偏振方向设定为角度2θs时，通过调整部40来调整第1以及第2光轴a31、a32的角度θs1、θs2，以便满足下式(2)、(3)、(4)。

θs＝θm＝θr...(2)

θm＝(θs1+θs2)/2...(3)

θr＝θs2-θs1...(4)

根据上式(2)～(4)，通过2片1/4波长板43当中的一个1/4波长板43时会产生的相位差的偏差在通过另一个1/4波长板43时减少。由此，能降低对入射到s/p分离元件42的光L22的偏振方向进行调整时的波长依赖性。

如以上那样，在本实施方式的光谐振器2A中，输出耦合器4具备2个1/4波长板43。调整部40调整各1/4波长板43的光轴a3的方向。由此，例如能减少波长相加型的光谐振器2A中的依赖于波长的偏差，能精度良好地调整振荡效率。

另外，在本实施方式中，输出耦合器4具备2个1/2波长板41。通过2片1/2波长板41，按照与图11同样的原理，能降低在输出耦合器4中使偏振分量反转时的波长依赖性。

(其他实施方式)

如以上那样，作为本申请中公开的技术的例示而说明了实施方式1、2。但本公开中的技术并不限定于此，还能运用在适当进行了变更、置换、附加、省略等的实施方式中。另外，还能将上述各实施方式中说明的各构成要素组合来形成新的实施方式。因此，以下例示其他实施方式。

在上述的实施方式2中，说明了具备2片1/4波长板43以及2片1/2波长板41的光谐振器2A。本实施方式中的光谐振器可以具备1片1/4波长板43以及2片1/2波长板41，也可以具备2片1/4波长板43以及1片1/2波长板41。

在上述的各实施方式1、2中，作为偏振分离元件的一例而说明了将s偏振的光反射并将p偏振的光透过的s/p分离元件42。本实施方式中的光谐振器的偏振分离元件并不限于此，例如可以使用将s偏振的光透过并将p偏振的光反射的s/p分离元件。这时，在光谐振器中可以追加或置换各种光学元件。

另外，在上述的各实施方式中，说明了使用1/2波长板的光谐振器，但也可以适当省略1/2波长板。

另外，在上述的各实施方式中，说明了光谐振器2中包含的光学系统的一例，但本实施方式的光谐振器2也可以适当地还具备其他光学系统。例如，光谐振器2也可以具备SAC(慢轴准直器)等。另外，光谐振器2可以构成为：具备多个包含光源部3、BTU21以及透镜22的组件，并在各组件中共用衍射元件23。

另外，在上述的各实施方式中，说明了在光谐振器2中使用透过型的衍射元件23的示例，但并不特别限定于透过型。本实施方式的光谐振器2也可以使用反射型的衍射元件来构成。

如以上那样，作为本公开中的技术的例示而说明了实施方式。为此，提供了附图以及详细的说明。

因此，在记载于附图以及详细的说明中的构成要素中，不仅包含为了解决课题而必须的构成要素，为了例示上述技术而还能包含并非为了解决课题而必须的构成要素。因此，不应由于这些非必须的构成要素记载于附图、详细的说明中而直接认定为这些非必须的构成要素是必须的。

另外，上述的实施方式由于用于例示本公开中的技术，因此能在权利要求书或其等同的范围内进行各种变更、置换、附加、省略等。