阅读说明：本技术 泵、及涂布装置 (Pump and coating device ) 是由 大城健一 杉本雄太 于 2020-02-19 设计创作，主要内容包括：本发明提供能够抑制收纳在收纳室的流动体中产生气泡的泵、及涂布装置。实施方式的泵具备：收纳室,能够收纳流动体；清洗室,设置在所述收纳室的与喷出所述流动体的侧为相反侧,收纳清洗液的空间的体积能够变化；及连杆,一端部设置在所述清洗室的内部,且另一端部设置在所述收纳室的内部。(The invention provides a pump and a coating device capable of inhibiting bubbles from generating in a fluid contained in a containing chamber. The pump of the embodiment is provided with: a housing chamber capable of housing a fluid; a cleaning chamber provided on the opposite side of the storage chamber from the side from which the fluid is ejected, the cleaning chamber being configured to change a volume of a space in which the cleaning liquid is stored; and a link rod, one end of which is arranged in the cleaning chamber, and the other end of which is arranged in the containing chamber.)

泵、及涂布装置

相关申请案的引用

本申请案以2019年3月20日申请的先前的日本专利申请案第2019-52314号的优先权的利益为基础，且请求其利益，并将其全体内容通过引用而包含于此。

技术领域

本发明的实施方式涉及泵、及涂布装置。

背景技术

有在基板等对象物之上涂布流动体的涂布装置。此种涂布装置具备供给流动体的泵。用于涂布装置的泵有注射泵、隔膜泵、齿轮泵等，但在对象物与喷嘴之间的相对速度变化的情况下等，存在使用喷出响应性或定流量性等优异的注射泵的情况。

此处，当使设置在注射泵的连杆往复动作时，连杆侧面的微细凹凸上附着的流动体暴露在外部气体中。当附着在连杆侧面的流动体因暴露于外部气体而固化时，有在将连杆***至收纳室的内部时固化物剥落而混入至流动体的顾虑。由于混入至流动体的固化物成为杂质，所以有形成的膜的品质降低的顾虑。此外，有在使连杆往复动作时外部气体被夹带入收纳室的内部而导致在收纳于收纳室的流动体中产生气泡。当在流动体中有气泡时，存在喷出响应性或定流量性等变差的顾虑。

因此，提出如下技术，即，设置连接于收纳室的清洗室，经由清洗室将连杆***至收纳室的内部。然而，在抑制气泡产生的方面有改善的余地。

本发明所要解决的课题是提供能够抑制收纳在收纳室的流动体中产生气泡的泵、及涂布装置。

发明内容

实施方式的泵具备：收纳室，能够收纳流动体；清洗室，设置在所述收纳室的与喷出所述流动体的侧为相反侧，且收纳清洗液的空间的体积能够变化；及连杆，一端部设置在所述清洗室的内部，另一端部设置在所述收纳室的内部。

附图说明

图1是用以例示本实施方式的涂布装置的示意图。

图2是用以例示本实施方式的泵的示意截面图。

图3是用以例示比较例的泵的示意截面图。

图4是用以例示另一实施方式的泵的示意截面图。

图5是用以例示另一实施方式的泵的示意截面图。

具体实施方式

以下，参照图式对实施方式进行例示。另外，各图式中，对同样的构成要素附上同一符号并适当省略详细说明。

图1是用以例示本实施方式的涂布装置100的示意图。图2是用以例示本实施方式的泵60的示意截面图。图3是用以例示比较例的泵360的示意截面图。

如图1所示，能够在涂布装置100设置载置部10、喷嘴20、储槽30、排出部40、配管部50、泵60、及控制器70。

载置部10的一面能够设为载置对象物200的载置面11。对象物200并无特别限定。例如图1所例示，对象物200也能够设为板状体。该情况下，对象物200也可为半导体晶片、玻璃基板等。此外，载置部10也可设为能够保持载置于载置面11的对象物200。例如，也可为载置部10具备静电吸盘、真空吸盘、机械吸盘等，通过这些吸盘保持对象物200的背面(与涂布流动体的侧为相反侧的面)或对象物200的侧面等。

此外，能够在载置部10设置使相对于喷嘴20的位置变化的驱动部12。例如，载置部10也可为具备电动机的XY载台、具备电动机的旋转载台、具备电动机的输送器等。但是，只要能够使载置部10(对象物200)与喷嘴20的相对性的位置变化即可，因此驱动部12能够设置在载置部10及喷嘴20的至少任一者。例如，也可在单轴机器人、双轴机器人、多轴机器人等的臂部设置喷嘴20。

喷嘴20能够连接在泵60的喷出流动体201的开口61b。喷嘴20将供给的流动体201向载置在载置部10的对象物200喷出。流动体201只要为能够通过泵60供给者则并无特别限定。流动体201能够设为例如粘接剂、涂料、墨水、光阻、化学液等处理液等。此外，后述的清洗液202只要为能够将流动体201中所含的物质溶解者则并无特别限定。清洗液202能够设为例如流动体201中所含的溶剂等。

喷嘴20能够具有喷出口21、供给口22、及流路23。喷出口21能够设置在喷嘴20的载置面11侧的端部。喷出口21只要为能够对特定范围供给流动体201者则并无特别限定。例如，喷出口21能够设为孔或狭缝等。喷嘴20也可为所谓的针形喷嘴或狭缝喷嘴等。

供给口22能够设置在例如喷嘴20的与载置面11侧为相反侧的端部或喷嘴20的侧面等。能够在供给口22连接用以连接配管的配管接头等。

流路23设置在喷嘴20的内部，连接喷出口21与供给口22。流路23能够设为将从供给口22供给的流动体201引导至喷出口21的空间。

喷嘴20的材料并无特别限定，只要对流动体201具有耐受性即可。喷嘴20能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。

喷嘴20的数量或配置等无特别限定，能够根据对象物200的大小、流动体201的涂布范围、粘度等流动体201的性质等而适当变更。在设置有多个喷嘴20的情况下，能够针对多个喷嘴20的每一者设置泵60，也能够针对每特定组的喷嘴20设置泵60，也能够针对多个喷嘴20设置1个泵60。

储槽30能够在内部收纳流动体201。储槽30的材料只要为对流动体201有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。储槽30能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。

排出部40能够设为将存在于储槽30或泵60的内部的残余的流动体201排出者。排出部40能够设为例如废液箱、工厂配管、排水盘等。

配管部50能够具有切换阀51、切换阀52、及开关阀53。切换阀51、切换阀52、及开关阀53能够设为电磁阀。切换阀51、切换阀52、及开关阀53能够通过控制器70控制。另外，也能够根据需要，配管部50进而具备流量调整阀、压力调整阀、过滤器等要素。

切换阀51能够设为例如三向阀。能够在切换阀51的第1埠51a经由配管54a而连接储槽30。能够在第2埠51b经由配管54b而连接泵60。能够在第3埠51c经由配管54c而连接切换阀52的第1埠52a。切换阀51能够通过切换第1埠51a、第2埠51b、及第3埠51c的开关状态而切换流动体201的供给流路。

切换阀52能够设为例如三向阀。能够在切换阀52的第2埠52b经由配管54d而连接喷嘴20的供给口22。能够在第3埠52c经由配管54e而连接开关阀53的第1埠53a。切换阀52能够通过切换第1埠52a、第2埠52b、及第3埠52c的开关状态而切换流动体201的供给流路。

开关阀53能够设为例如双向阀。能够在开关阀53的第2埠53b连接配管54f。存在于储槽30或泵60的内部的残余的流动体201能够经由配管54f排出至排出部40。开关阀53能够通过切换开关状态而切换流动体201的供给与供给的停止。

泵60能够将流动体201供给至喷嘴20。泵60能够设为所谓的注射泵。另外，关于泵60的详细内容将进行后述。

控制器70能够具有储存控制程序的存储部与执行控制程序的运算部。存储部能够设为例如半导体存储器或硬盘等。运算部能够设为例如CPU(Central Processing Unit，中央处理器)等。另外，能够根据需要，控制器70进而具备输入部及输出部等。输入部能够设为例如操作者输入制程条件等的键盘或鼠标等。输出部能够设为例如显示涂布装置100的动作状态、制程条件、异常警报等的平板显示器等。

例如，运算部根据存储部中储存的控制程序与从输入部输入的信息，控制设置在涂布装置100的各要素的动作。例如，运算部能够通过控制设置在涂布装置100的各要素的动作，而将流动体201涂布于对象物200的所需区域。

接下来，对比较例的泵360与本实施方式的泵60进行说明。如图3所示，比较例的泵360为注射泵。在泵360设置有收纳室361、清洗室362、连杆363、及驱动部364。

收纳室361呈筒状，在内部设置有收纳流动体201的空间361a。在收纳室361的上表面设置有开口361b。流动体201经由开口361b供给至空间361a，且经由开口361b从空间361a排出。

清洗室362设置在收纳室361的下方。在清洗室362的内部设置有收纳清洗液202的空间362a。在清洗室362的侧面设置有供给口362b与排出口362c。清洗液202经由供给口362b供给至空间362a，且经由排出口362c从空间362a排出。

连杆363在收纳室361与清洗室362排列的方向延伸。连杆363的一端部侧***至收纳室361及清洗室362内部。在连杆363与收纳室361之间、及连杆363与清洗室362之间，设置有O形环等密封部件。

驱动部364设置在连杆363的另一端部侧。驱动部364使连杆363在收纳室361与清洗室362排列的方向移动。通过连杆363***至收纳室361，存在于空间361a的内部的流动体201经由开口361b排出。

附着在连杆363的侧面的流动体201在清洗室362中通过清洗液202除去。然而，根据连杆363的移动距离，存在附着在连杆363的侧面的流动体201露出于清洗室362的外部而固化的情况。有附着在连杆363的侧面的固化物在将连杆363***至收纳室361的空间361a时剥落而混入至流动体201的顾虑。

此外，有在使连杆363往复动作时外部气体被夹带入清洗室362的空间362a的内部而在清洗液202中产生气泡203的情况。当在清洗液202中有气泡203时，有在将连杆363***至收纳室361的内部时，存在于清洗液202中的气泡203被夹带入收纳室361的空间361a的内部而在流动体201中产生气泡203的情况。当在流动体201中有气泡203时，有喷出响应性或定流量性等变差的顾虑。

该情况下，也能够在清洗室362设置捕获气泡203的机构，将捕获的气泡203定期性地除去。然而如此一来，泵360的构造变得复杂，导致泵360高价化、大型化。此外，需要将捕获的气泡203除去的作业，有导致作业复杂化、进而生产效率降低的顾虑。

相对于此，本实施方式的泵60如图2所示，能够设置收纳室61、清洗室62、连杆63、驱动部64、及清洗液供给部65。收纳室61能够收纳流动体201。例如，收纳室61呈筒状，能够在内部具有收纳流动体201的空间61a。收纳室61的材料只要为对流动体201有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。收纳室61能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。

能够在收纳室61的一端部侧设置开口61b。另外，图2中例示在收纳室61的一端面设置有开口61b的情况，但并不限定于此。开口61b也能够设置在例如收纳室61的侧面。

能够在开口61b经由配管54b而连接切换阀51的第2埠51b。通过打开第1埠51a及第2埠51b，且关闭第3埠51c，能够将收纳在储槽30中的流动体201供给至收纳室61的空间61a。该情况下，通过使连杆63向清洗室62侧移动，能够抽吸收纳在储槽30中的流动体201。

通过打开第2埠51b及第3埠51c，且关闭第1埠51a，能够将收纳在收纳室61的空间61a的流动体201供给至切换阀52侧(喷嘴20或排出部40)。该情况下，通过使连杆63移动至收纳室61的空间61a的内部，能够将收纳在空间61a中的流动体201挤出。

通过打开第1埠51a及第3埠51c，且关闭第2埠51b，能够将收纳在储槽30中的残余的流动体201经由切换阀52及开关阀53排出至排出部40。

清洗室62能够设置在收纳室61的与喷出流动体201的侧为相反侧(例如，与设置有开口61b的侧为相反侧的端部)。清洗室62能够具有收纳清洗液202的空间的体积能够变化的构成。清洗室62的与收纳室61侧为相反侧的端部能够在收纳室61与清洗室62排列的方向移动。例如，清洗室62能够具有伸缩部62a、凸缘62b、及凸缘62c。伸缩部62a呈筒状，能够在内部具有收纳清洗液202的空间62a1。伸缩部62a能够设为能够在收纳室61与清洗室62排列的方向伸缩者。例如，伸缩部62a能够具有能够伸缩的侧壁。例如，伸缩部62a能够具有蛇腹构造的侧壁。伸缩部62a的材料只要为对清洗液202有耐受性、对重复伸缩有耐受性、且容易伸缩者则并无特别限定。伸缩部62a能够设为包含例如氟树脂者。

凸缘62b呈板状，能够设置在伸缩部62a的一端部。凸缘62b能够具有贯通于厚度方向的孔62b1。孔62b1成为清洗液202的流路。凸缘62c呈板状，能够设置在伸缩部62a的另一端部。凸缘62c能够具有贯通于厚度方向的孔62c1。孔62c1成为清洗液202的流路。凸缘62b及凸缘62c的材料只要为对清洗液202有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。凸缘62b及凸缘62c能够设为包含例如不锈钢或氟树脂者。该情况下，只要伸缩部62a、凸缘62b、及凸缘62c为包含相同材料者，则能够将这些成形为一体。

连杆63能够设为呈柱状者。连杆63能够设为例如呈圆柱状。连杆63能够设为在收纳室61与清洗室62排列的方向延伸。连杆63设置在凸缘62c的孔62c1、伸缩部62a的空间62a1、凸缘62b的孔62c1、及收纳室61的空间61a。即，连杆63的一端部设置在清洗室62的内部，且另一端部设置在收纳室61的内部。因此，连杆63的一端部侧接触于清洗液202，且另一端部侧接触于流动体201。此外，连杆63能够伴随清洗室62的伸缩而在收纳室61与清洗室62排列的方向移动。

该情况下，连杆63未暴露于外部气体。因此，附着在连杆63的侧面的流动体201通过清洗液202除去，即便存在未除去的流动体201，其也不会固化。因此，能够抑制固化的流动体201混入至存在于收纳室61的空间61a中的流动体201。

此外，如果连杆63未暴露在外部气体中，则不会伴随连杆63的往复动作而将外部气体夹带入清洗室62的内部。因此，能够抑制收纳在清洗室62的清洗液202中、进而收纳在收纳室61的流动体201中产生气泡。

连杆63的材料只要为对流动体201及清洗液202有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。连杆63能够设为包含例如不锈钢者。

驱动部64能够使清洗室62的与收纳室61侧为相反侧的端部在收纳室61与清洗室62排列的方向移动。驱动部64能够使伸缩部62a在收纳室61与清洗室62排列的方向伸缩，并且能够使连杆63移动。驱动部64能够具有框架64a、导引件64b、安装部64c、电动机64d、及传导部64e。框架64a能够具有基部64a1与安装部64a2。基部64a1呈板状，能够平行设置在收纳室61与清洗室62排列的方向。安装部64a2呈板状，能够垂直设置在基部64a1的一面。能够在安装部64a2设置贯通于厚度方向的孔64a2a。连杆63能够在孔64a2a的内部移动。此外，能够在连杆63与孔64a2a的内壁之间设置O形环等密封部件64a2b。能够在安装部64a2的一面设置收纳室61。能够在安装部64a2的另一面设置清洗室62的凸缘62b。能够在安装部64a2与凸缘62b之间设置O形环等密封部件64a2c。

导引件64b能够设置在基部64a1的设置有安装部64a2的侧的面。导引件64b能够使安装板64c在收纳室61与清洗室62排列的方向移动。导引件64b能够设为例如线性运动轴承等。

安装板64c能够设置在导引件64b。安装板64c呈板状，能够与安装部64a2平行设置。能够在安装板64c的与安装部64a2对向的面设置清洗室62的凸缘62c。能够在安装板64c与凸缘62c之间设置O形环等密封部件64c2。连杆63能够固定在安装板64c。

电动机64d与传导部64e协动而使安装板64c的位置移动。电动机64d具有编码器等检测器，能够进行位置控制。电动机64d能够设为例如脉冲电动机或伺服电动机等。另外，用于位置控制的检测器也能够与电动机64d分离设置。传导部64e能够设为例如滚珠螺杆等螺杆机构、正时皮带与滑轮、齿条与小齿轮等。

清洗液供给部65能够具有储槽65a、止回阀65b、止回阀65c、及流量调整阀65d。储槽65a能够收纳清洗液202。储槽65a的材料只要为对清洗液202有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。储槽65a能够设为包含例如不锈钢或氟树脂者。

止回阀65b能够设置在储槽65a与清洗室62之间。止回阀65b容许从储槽65a向清洗室62的清洗液202的供给，且抑制从清洗室62向储槽65a的清洗液202的供给。

止回阀65c能够设置在储槽65a与清洗室62之间。止回阀65c能够容许从清洗室62向储槽65a的清洗液202的供给，且抑制从储槽65a向清洗室62的清洗液202的供给。

流量调整阀65d能够设置在储槽65a与清洗室62之间。流量调整阀65d能够调整清洗液202的流量。流量调整阀65d能够设为例如针形阀等。流量调整阀65d能够根据需要而设置。

接下来，对泵60的作用进行说明。在使流动体201从泵60喷出时，通过驱动部64使安装部64c向接近于安装部64a2的方向移动。如此一来，固定在安装部64c的连杆63***至收纳室61的空间61a，与连杆63的移动量对应的流动体201从开口61b喷出。从开口61b喷出的流动体201经由切换阀51的第2埠51b与第3埠51c供给至切换阀52侧(喷嘴20或排出部40)。流动体201的喷出量能够通过控制连杆63的移动量、即连杆63的位置而控制。

此外，通过使安装部64c向接近于安装部64a2的方向移动，清洗室62(伸缩部62a)收缩。即，清洗室62(伸缩部62a)的体积减少。如此一来，与收缩量对应的清洗液202从清洗室62流出，经由止回阀65c流入至储槽65a的内部。

在对泵60供给流动体201时，通过驱动部64使安装部64c向从安装部64a2离开的方向移动。如此一来，固定在安装部64c的连杆63从收纳室61的空间61a拔出，与连杆63的移动量对应的流动体201被经由开口61b、及切换阀51的第1埠51a与第2埠51b从储槽30的内部抽吸。流动体201的供给量能够通过控制连杆63的移动量、即连杆63的位置而控制。

此外，通过使安装部64c向从安装部64a2离开的方向移动，清洗室62(伸缩部62a)膨胀。即，清洗室62(伸缩部62a)的体积增加。如此一来，与膨胀量对应的清洗液202被经由止回阀65b从储槽65a的内部抽吸。

本实施方式的泵60中，连杆63未暴露在外部气体中。因此，即便在连杆63的侧面附着有流动体201，其也不会固化。其结果，能够抑制固化的流动体201混入至存在于收纳室61的空间61a的流动体201。此外，只要连杆63不暴露在外部气体中，就不会伴随连杆63的往复动作而将外部气体夹带入清洗室62的内部。因此，能够抑制收纳在清洗室62的清洗液202中、进而收纳在收纳室61的流动体201中产生气泡。

图4是用以例示另一实施方式的泵160的示意截面图。如图4所示，能够在泵160设置收纳室61、清洗室62、连杆63、驱动部164、及清洗液供给部165。

驱动部164能够使伸缩部62a在收纳室61与清洗室62排列的方向伸缩，并且能够使连杆63移动。驱动部164能够具有框架64a、导引件64b、安装部64c、弹性体164a、及检测部164b。

弹性体164a通过弹性力使安装部64c向接近于安装部64a2的方向移动。弹性体164a能够设为例如设置在安装部64c与安装部64a2之间的拉伸弹簧。检测部164b能够检测安装部64c的位置、进而连杆63的移动量。检测部164b能够设为例如线性标度尺等位置传感器。

清洗液供给部165能够具有储槽65a、止回阀65b、止回阀65c、流量调整阀65d、及压力控制部165a。压力控制部165a能够具有能够控制清洗室62的空间的压力的构成。压力控制部165a能够通过控制清洗室62的空间的压力，而使清洗室62的空间的体积变化。例如，压力控制部165a能够控制收纳在储槽65a中的清洗液202的压力。压力控制部165a能够通过例如使设置在储槽65a的内部的活塞的位置变化而控制储槽65a的体积、进而清洗液202的压力。此外，压力控制部165a也能够设为通过例如控制收纳在储槽65a中的清洗液202的量而控制清洗液202的压力的泵等。

接下来，对泵160的作用进行说明。在使流动体201从泵160喷出时，通过压力控制部165a而使清洗液202的压力降低。如此一来，通过弹性体164a而安装部64c向接近于安装部64a2的方向移动。因此，固定在安装部64c的连杆63***至收纳室61的空间61a，与连杆63的移动量对应的流动体201从开口61b喷出。从开口61b喷出的流动体201经由切换阀51的第2埠51b与第3埠51c而供给至切换阀52侧(喷嘴20或排出部40)。流动体201的喷出量能够通过根据连杆63的移动量、即来自检测部164b的输出来调整利用压力控制部165a进行的清洗液202的压力控制而进行控制。

在对泵60供给流动体201时，通过压力控制部165a而使清洗液202的压力增加。如此一来，弹性体164a延伸，安装部64c向从安装部64a2离开的方向移动。如此一来，固定在安装部64c的连杆63从收纳室61的空间61a拔出，与连杆63的移动量对应的流动体201被经由开口61b、及切换阀51的第1埠51a与第2埠51b而从储槽30的内部抽吸。流动体201的供给量能够通过根据连杆63的移动量、即来自检测部164b的输出而调整利用压力控制部165a进行的清洗液202的压力控制而进行控制。

本实施方式的泵160中，连杆63也未暴露在外部气体中。因此，能够享有与上述泵60同样的效果。

图5是用以例示另一实施方式的泵260的示意截面图。如图5所示，能够在泵260设置收纳室261、清洗室262、驱动部264、及清洗液供给部65。

收纳室261能够设为呈上方的端部开口、且下方的端部封闭的筒状。收纳室261能够具有在上端具有开口、且在内部能够收纳流动体201的构成。收纳室261的上端能够设为能够经由设置在清洗室262的底面的狭缝262d***至清洗室262的空间262a。能够在狭缝262d的内壁与收纳室261的外侧面之间设置O形环等密封部件262e。收纳室261能够在内部具有收纳流动体201的空间261a。收纳室261的材料只要为对流动体201有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。收纳室261能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。

清洗室262能够设置在收纳室261的上方。清洗室262呈箱状，能够在内部设置收纳清洗液202的空间262a。收纳室262的材料只要为对清洗液202有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。清洗室262能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。

此外，能够在清洗室262设置管262b。管262b的一端部能够设置在清洗室262的底面。管262b的另一端部能够突出于清洗室262的外部。能够在管262b的另一端部经由配管54b而连接切换阀51的第2埠51b。能够在管262b的另一端部与清洗室262的壁面之间设置O形环等密封部件262f。能够在清洗室262的底面的设置有管262b的部分设置孔262c。管262b的孔能够经由孔262c与收纳室261的内部的空间261a连接。管262b的孔能够设为流动体201流动的流路。即，管262b的一端部能够经由设置在清洗室262的底面的孔262c与收纳室261的内部连接，且另一端部能够露出在清洗室262的外部。

驱动部264能够使收纳室261的上下方向的位置变化。驱动部264能够具有电动机64d、及传导部64e。

接下来，对泵260的作用进行说明。在使流动体201从泵260喷出时，通过驱动部264使收纳室261上升。如此一来，收纳室261的上端经由设置在清洗室262的底面的狭缝262d***至清洗室262的空间262a。此时，与清洗室262的***量对应的流动体201从管262b喷出。从管262b喷出的流动体201经由切换阀51的第2埠51b与第3埠51c供给至切换阀52侧(喷嘴20或排出部40)。流动体201的喷出量能够通过控制收纳室261的位置而控制。

在对泵260供给流动体201时，通过驱动部264使收纳室261下降。如此一来，收纳室261从清洗室262的空间262a拔出，与收纳室261的移动量对应的流动体201被经由管262b、及切换阀51的第1埠51a与第2埠51b从储槽30的内部抽吸。流动体201的供给量能够通过控制收纳室261的移动量、即收纳室261的位置而控制。

本实施方式的泵260中，流动体201接触的面(收纳室261的内壁、清洗室262的狭缝262d的内侧的面、及管262b的内壁)未暴露在外部气体中。因此，能够抑制流动体201固化，进而能够抑制固化的流动体201混入至存在于收纳室261的空间261a的流动体201。此外，即便伴随收纳室261的往复动作而将外部气体夹带入清洗室262的内部从而产生气泡203，气泡203也是集中在清洗室262的顶部侧。因此，能够抑制气泡203移动至设置在清洗室262的下方的收纳室261的内部。

以上，对本发明的几个实施方式进行了例示，但这些实施方式是作为例子提出者，并未意图限定发明的范围。这些新颖的实施方式能够以其他各种方式实施，且能够在不脱离发明的主旨的范围进行各种省略、替换、变更等。这些实施方式或其变化例包含在发明的范围或主旨中，并且包含在权利要求书中记载的发明及其均等的范围内。此外，上述各实施方式能够相互组合而实施。