阅读说明：本技术 扫描式激光直接成像的同步方法 (Synchronous method for scanning type laser direct imaging ) 是由 蔡志国 谢荣先 于 2019-03-11 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种扫描式激光直接成像的同步方法,确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据,在启动曝光后,以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期,在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值,根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。本发明将多种影响因素添加至计算模块中,且每个曝光条带对应的误差数据即为真实的误差数据,运算更合理,结果更准确；能够将每个曝光条带整体误差控制在一个运动机构输出脉冲范围内。(The invention discloses a synchronous method of scanning laser direct imaging, which determines position error data of a scanning motion mechanism and multiplying power error data of an imaging mechanism, takes each step of the scanning motion mechanism as a compensation cycle after starting exposure, carries out position compensation calculation according to the position error data corresponding to the position of the scanning motion mechanism and the multiplying power error data of the imaging mechanism in the step cycle to obtain an error value, and determines the imaging time of the imaging mechanism according to the magnitude relation between the accumulated error value and an output pulse range. According to the invention, various influence factors are added into the calculation module, and the error data corresponding to each exposure strip is real error data, so that the calculation is more reasonable and the result is more accurate; the overall error of each exposure strip can be controlled within the range of one motion mechanism output pulse.)

扫描式激光直接成像的同步方法

技术领域

本发明属于智能设备技术领域，具体涉及一种扫描式激光直接成像的同步方法。

背景技术

激光直接成像系统(LDI)扫描过程中，需在特定的位置显示特定的图像，一旦位置计算有偏差，则会造成图像错位，因此需对扫描运动机构与成像机构作同步处理；现有的方法均为扫描运动行程共用一组补偿数据，这样会造成位置补偿计算的不精确，进而影响到成像的位置，对于高速、高精密设备的影响更大。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种扫描式激光直接成像的同步方法。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

本发明实施例提供一种扫描式激光直接成像的同步方法，该方法为：确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据，在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。

上述方案中，所述确定扫描运动机构的位置误差数据，具体为：通过激光干涉仪对曝光整个行程进行分段标定，测出每段区间的理论值与实际值的差值，将所述每段区间的理论值与实际值的差值乘以第一放大系数获得N组扫描运动机构的位置误差数据。

上述方案中，所述确定成像机构的倍率误差数据，具体为：标定成像机构的真实倍率，并确定真实倍率和理论设计倍率之间的差值；将所述真实倍率和理论倍率之间的差值乘以第二放大系数获得成像机构的倍率误差数据。

上述方案中，所述在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值，具体为：根据当前曝光的条带索引号及扫描运动机构当前所处的位置选择相应的位置误差数据，再加上成像机构的倍率误差数据获得误差值。

上述方案中，所述根据累计误差值与输出脉冲范围的大小确定成像机构的成像时刻，具体为：当累计误差值大于等于一个扫描运动机构输出脉冲范围时，则在步进PW±信号宽度PSO时刻触发成像机构成像；当累计误差值小于一个扫描运动机构输出脉冲范围时，则步进PW时刻触发成像机构成像。

上述方案中，在成像机构成像之后，对曝光条带的下一处重新确定误差值并且确定成像机构的成像时刻，直至曝光条带的整个曝光形成结束。

与现有技术相比，本发明将多种影响因素添加至计算模块中，且每个曝光条带对应的误差数据即为真实的误差数据，运算更合理，结果更准确；能够将每个曝光条带整体误差控制在一个运动机构输出脉冲范围内。

附图说明

图1为本发明实施例提供一种扫描式激光直接成像的同步方法的流程图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明实施例提供一种扫描式激光直接成像的同步方法，如图1所示，该方法通过以下步骤实现：

步骤101：确定扫描运动机构的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据；

具体地，通过激光干涉仪对曝光整个行程进行等距分段标定，测出每段区间的理论值与实际值的差值，将所述每段区间的理论值与实际值的差值乘以第一放大系数获得N组扫描运动机构的位置误差数据。

标定成像机构的真实倍率，并确定真实倍率和理论设计倍率之间的差值；将所述真实倍率和理论倍率之间的差值乘以第二放大系数获得成像机构的倍率误差数据。

所述第一放大系数和第二放大系数根据不同运动机构的误差值确定，确保每个下发的值为整数。

步骤102：在启动曝光后，以扫描运动机构的每个步进为一个补偿周期，在该步骤周期内根据所述扫描运动机构所处位置对应的位置误差数据和成像机构的倍率误差数据进行位置补偿计算获得误差值；

具体地，根据当前曝光的条带索引号及扫描运动机构当前所处的位置选择相应的位置误差数据，再加上成像机构的倍率误差数据获得误差值。

所述位置误差是在运行过程中，每接收到一个pso信号，即计算一次，进行累加。

成像机构倍率误差仅在以下三个时刻计算：PW时刻(位置误差累加小于±PSO)、PW+PSO时刻(位置误差累加于PSO)、或者PW-PSO时刻(位置误差累加小于-PSO)。

步骤103，根据累计误差值与输出脉冲范围的大小关系确定成像机构的成像时刻。

具体地，当累计误差值大于等于一个扫描运动机构输出脉冲范围时，则在步进PW±信号宽度PSO时刻触发成像机构成像；当累计误差值小于一个扫描运动机构输出脉冲范围时，则步进PW时刻触发成像机构成像。

当实际值大于理论值，且累计误差值>PSO时，则在PW+PSO时刻触发成像；

当实际值小于理论值，且累计误差值<PSO时，则在PW-PSO时刻触发成像。

在成像机构成像之后，对曝光条带的下一处重复步骤102和103，直至曝光条带的整个曝光形成结束。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。