阅读说明：本技术 管式隔膜泵 (Tubular diaphragm pump ) 是由 松尾茂良 田边裕之 田中源浩 于 2020-01-21 设计创作，主要内容包括：一种管式隔膜,具备：具有泵头部的管式隔膜,该泵头部中形成有其内部被导入输送流体,并且将被导入的输送流体排出到其外部的泵室；驱动头,其保持所述管式隔膜,并且在与所述输送流体的输送方向交叉的方向上直接推拉所述泵头部以使得所述泵室伸缩；驱动单元,其在使得所述泵室伸缩的驱动方向上,对所述驱动头进行往返驱动；控制部,其控制所述驱动单元,所述管式隔膜,其与所述泵室的所述输送流体的输送方向交叉截面形状是扁平形状,所述扁平形状中,和所述驱动单元的驱动方向上的长度相比,与该驱动方向交叉的方向上的长度更长,并且沿所述泵室的所述驱动方向对置的一对接液面,在维持平行状态下进行移动。(A tubular separator is provided with: a tubular diaphragm having a pump head portion in which a pump chamber is formed, the pump chamber having a transport fluid introduced thereinto and discharging the introduced transport fluid to an outside thereof; a drive head that holds the tubular diaphragm and directly pushes and pulls the pump head in a direction intersecting a conveying direction of the conveying fluid to cause the pump chamber to expand and contract; a drive unit that drives the drive head back and forth in a drive direction in which the pump chamber extends and contracts; and a control unit that controls the drive unit, wherein the tubular diaphragm has a cross-sectional shape intersecting with a transport direction of the transport fluid in the pump chamber, the cross-sectional shape being a flat shape in which a length in a direction intersecting with the drive direction is longer than a length in the drive direction of the drive unit, and a contact liquid surface facing in the drive direction of the pump chamber moves while maintaining a parallel state.)

管式隔膜泵

技术领域

本发明，涉及一种管式隔膜泵。

背景技术

已知一种使得作为管状柔软部件的管式隔膜变形，以输送微小流量的输送流体的管式隔膜泵(例如，参照日本特开2009－047090号公报)。这种管式隔膜泵，通过对管式隔膜的外侧的压力传递介质进行加压减压，从而使得管式隔膜进行收缩·膨胀并对输送流体进行输送。

发明内容

然而，上述日本特开2009－047090号公报中所记载的管式隔膜泵，通过由高分子凝胶形成的压力传递介质，使得泵室的容积可变的管式隔膜进行收缩·膨胀。因此，与将水、油等液体用作压力传递介质的情况相比，能够更好地抑制泄漏、气泡的产生，但是仍然需要在泵头中封装入压力传递介质，因此存在发生泄漏的问题。此外，这种管式隔膜泵，存在管式隔膜的更换复杂并且难以实现泵头的小型化的问题。

另外，还存在万一压力传递介质发生泄漏，会污染泵周围环境的问题，并且在通常所使用的截面形状为圆形的管式隔膜中，还存在管式隔膜的变形量(压缩量)与输送流体的吐出量之间不具有线性关系的问题。

本发明，鉴于上述情况而提出，目的在于提供一种管式隔膜泵，该管式隔膜泵不需要促使管式隔膜进行动作的压力传递介质，并且管式隔膜的变形量与输送流体的吐出量之间具有线性关系，且能够容易地更换管式隔膜。

本发明的一实施方式的管式隔膜泵，其特征在于，具备：

具有泵头部的管式隔膜，该泵头部中形成有其内部被导入输送流体，并且将被导入的输送流体排出到其外部的泵室；

驱动头，其保持所述管式隔膜，并且在与所述输送流体的输送方向交叉的方向上直接推拉所述泵头部以使得所述泵室伸缩；

驱动单元，其在使得所述泵室伸缩的驱动方向上，对所述驱动头进行往返驱动；

控制部，其控制所述驱动单元，

所述管式隔膜，与所述泵室的所述输送流体的输送方向交叉的截面形状是扁平形状，所述扁平形状中，和所述驱动单元的驱动方向上的长度相比，与该驱动方向交叉的方向上的长度更长，并且沿所述泵室的所述驱动方向对置的一对接液面，在维持平行状态下进行移动。

在本发明的一实施方式的管式隔膜泵中，所述控制部控制所述驱动单元，以在沿所述泵室的所述驱动方向对置的一对接液面彼此不接触的冲程内，往返驱动所述驱动头。

在管式隔膜泵的其他实施方式中，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面侧，具有朝向所述泵室的所述驱动方向的外侧突出的肋。

另外，在管式隔膜泵的其他实施方式中，所述驱动头具有夹持所述肋的固定部件。

另外，在管式隔膜泵的其他实施方式中，所述管式隔膜的与所述泵室的所述输送方向正交的截面形状，为六边形状、长圆形状或椭圆形状。

另外，在管式隔膜泵的其他实施方式中，所述管式隔膜，在与所述泵室的所述输送方向正交的截面上，沿所述驱动方向对置的壁部的壁厚，比沿与所述驱动方向交叉的方向对置的壁部的壁厚更厚。

发明的效果

根据本发明，不需要促使管式隔膜进行动作的压力传递介质，并且管式隔膜的变形量与输送流体的吐出量之间具有线性关系，且能够容易地更换管式隔膜。

附图说明

图1是概略地示出本发明的一实施方式的管式隔膜泵的整体结构的说明图。

图2是概略地示出该管式隔膜泵的结构的说明图。

图3是示出该管式隔膜泵的管式隔膜的立体图。

图4是示出该管式隔膜的俯视图。

图5是示出该管式隔膜的侧视图。

图6是图4的B－B′线放大剖视图。

图7是图1的A－A′线放大剖视图。

图8是示出该管式隔膜泵的动作的时序图。

图9是示出该管式隔膜泵的动作的直线性(线性关系：Linearity)的图。

图10是示出本发明的另一实施方式的管式隔膜泵的管式隔膜的剖视图。

图11是示出本发明的又一实施方式的管式隔膜泵的管式隔膜的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，详细说明本发明的实施方式的管式隔膜泵。但是，以下的实施方式，不对各个权利要求所涉及的发明进行限定，另外，并非实施方式中所说明的特征组合的全部都是本发明的解決方法所必须的。

[第1实施方式]

[管式隔膜泵及泵系统的结构]

图1是示出本实施方式的包含管式隔膜泵1的泵系统100的整体结构的图。本实施方式的管式隔膜泵1，例如可用作定量泵，作为输送流体，例如可输送涂覆在半导体晶圆20的上表面的抗蚀剂R，但本发明不限于此。需要说明的是，图1示出了抗蚀剂R的吸入步骤结束时管式隔膜泵1的状态，图2示出了抗蚀剂R的吐出步骤结束时管式隔膜泵1的状态。

如图1及图2所示，管式隔膜泵1，具有：固定于未图示的固定部的泵主体3，和被该泵主体3驱动的管式隔膜5。

泵主体3，具有：驱动头8，其保持并按压管式隔膜5；步进马达7，其作为通过滚珠丝杠6驱动该驱动头8的驱动单元。泵主体3被支撑在框架2上。框架2，由多个框体2a、2b、2c及2d和固定在这些框体2a～2d之间的多根支柱2e、2f及2g等构成。框体2a，固定于未图示的固定部。在框体2a、2b之间保持步进马达7。步进马达7的驱动轴，通过滚珠丝杠6连接于驱动头8。

驱动头8，具备：保持管式隔膜5的固定部件8a、8b；对固定部件8a进行往返驱动的驱动部件8c。驱动部件8c，贯穿框体2c的中心孔，与滚珠丝杠6连接并且被往返驱动。固定部件8a，固定于驱动部件8c的顶端。固定部件8b，被固定于前方的框体2d的后表面，与固定部件8a对置。固定部件8a、8b，从前后对管式隔膜5进行保持。能够通过螺丝2h从框体2c适当地拆卸框体2d。

管式隔膜5，例如由四氟化乙烯·全氟烷氧基乙烯共聚树脂(PFA)构成，通过吹塑成形而形成。如图3～图6所示，管式隔膜5，上下同轴地配置有圆筒状的吸入口5a及吐出口5b，并且在两者之间具有宽度增大的泵头部5c。泵头部5c的内部形成有泵室4，并且泵头部5c在驱动方向PP上直接被驱动头8推拉。由此，泵室4进行伸缩。通过伴随该伸缩的泵动作，在泵室4中，沿着输送方向P(第1方向)输送作为输送流体的抗蚀剂R。如图6所示，管式隔膜5的泵头部5c的与输送方向P正交的截面形状是扁平形状，该扁平形状中，和泵头部5c的驱动方向PP(第2方向)上的长度相比，与驱动方向PP(第2方向)交叉的方向(第3方向)上的长度更长。

即，管式隔膜5，泵头部5c的与输送方向P(第1方向)交叉的截面形状是扁平形状，该扁平形状的与输送方向P(第1方向)及驱动方向PP(第2方向)交叉的方向(第3方向)上的长度比驱动方向PP(第2方向)上的长度更长。而且，管式隔膜5，在泵头部5c的输送方向P(第1方向)上的一侧设置有吸入口5a，在另一侧设置有吐出口5b，并且形成为泵头部5c的与输送方向P(第1方向)交叉的截面，比吸入口5a及吐出口5b的与输送方向P(第1方向)交叉的截面更大。

管式隔膜5，在本实施方式中，泵头部5c的与输送流体的输送方向P正交的截面形状，例如可形成为六边形。需要说明的是，泵室4的截面形状不限于此。

另外，管式隔膜5，在本实施方式中，在泵头部5c的外周面侧具有一对肋5d，这一对肋5d形成为朝向驱动方向PP的外侧突出并且沿着输送方向P延伸。该肋5d，如图6所示，与输送方向P正交的截面形成为越朝向泵头部5c的外周面侧突出则宽度越宽的倒梯形形状。需要说明的是，肋5d的截面形状不限于此。

如图7所示，管式隔膜5的肋5d被驱动头8的固定部件8a、8b夹持着。即，固定部件8a、8b分别构成为具备：形成有通孔83的第1固定件81a；形成有螺丝孔84的第2固定件81b；以及安装于通孔83及螺丝孔84中的螺栓82。

并且，通过使用第1固定件81a及第2固定件81b夹持肋5d，并使用螺栓82连接第1固定件81a与第2固定件81b，可将管式隔膜5装卸自由地固定于固定部件8a、8b。

另外，在管式隔膜5的与输送方向P及驱动方向PP正交的方向上的外侧面上，在宽度从吸入口5a及吐出口5b朝向泵头部5c增大的部分，形成有肋5e。

管式隔膜5的吸入口5a连接于由气动阀形成的吸入阀21，管式隔膜5的吐出口5b连接于由气动阀形成的吐出阀22。管式隔膜5的吸入口5a，通过吸入阀21及配管23，连接于存储抗蚀剂R的抗蚀剂瓶24。管式隔膜5的吐出口5b，通过吐出阀22及配管25，连接于喷嘴26。另一方面，从空气供应源30供应的空气，经由压力调节阀33被供应给第1电磁阀(SV1)31及第2电磁阀(SV2)32。第1电磁阀31，给吐出阀22供应用于开启关闭驱动的空气。第2电磁阀32，给吸入阀21供应用于开启关闭驱动的空气。

在驱动头8的驱动部件8c的下端部，安装有遮蔽板9。可通过起始位置传感器(光传感器)10检测遮蔽板9，在泵主体3中，该起始位置传感器(光传感器)10配置在固定部件8a最远离固定部件8b的位置，即驱动部件8c后退最多的位置附近。控制部40，能够基于预设的规定的定时，或基于来自起始位置传感器10的信号，控制步进马达7、第1电磁阀31及第2电磁阀32。在前者的情况下，控制部40，能够基于来自起始位置传感器10的信号，判断为驱动部件8c没有回归原点，并进行错误显示、错误警报等错误处理。

[管式隔膜泵1的动作]

如此构成的管式隔膜泵1，通过来自控制部40的控制，在抗蚀剂R的吐出动作时，通过步进马达7使得驱动头8的驱动部件8c在驱动方向PP上前进。由此，管式隔膜5的泵头部5c，被固定部件8a、8b按压，泵室4的对置的接液面4a、4b彼此接近，从而泵室4收缩。

另一方面，在抗蚀剂R的吸入动作时，步进马达7使得驱动头8的驱动部件8c在驱动方向PP上后退。由此，管式隔膜5的泵头部5c直接被固定部件8a、8b拉伸，泵室4膨胀，回归到原点位置。因此，不需要促使管式隔膜5进行动作的现有的压力传递介质，不会产生封装液体的泄漏、封装液体中产生空气导致吐出量的減少等问题。

这里，如果管式隔膜5包括泵头部5c在内全部为圆筒形状，那么与输送方向P正交的截面的面积，在泵室4的收缩初期不怎么变化，且变化量随着收缩进程的进行而变动，因此存在管式隔膜5的泵室4的变形量(压缩量)与抗蚀剂R的吐出量之间无法确保线性关系，难以进行定量控制的问题。

与之相反，根据本实施方式的管式隔膜泵1，泵室4的与输送方向P正交的截面为扁平形状，更具体地为六边形，因此接液面4a、4b在不怎么变化且维持平行的状态下，朝向彼此接近的方向移动。此时，如果肋5e的部分容易变形，那么能够进一步抑制接液面4a、4b的变形。如此，根据本实施方式的管式隔膜泵1，从泵室4的收缩初期开始，与伸缩冲程对应的截面面积的变化量就比较大，并且在整个收缩进程中均能够是恒定的变化。因此，根据本实施方式的管式隔膜泵1，在吐出动作时，管式隔膜5的泵室4的变形量(压缩量)与抗蚀剂R的吐出量之间能够维持线性关系。

需要说明的是，如果控制部40控制步进马达7，在泵室4的沿驱动方向PP对置的接液面4a、4b彼此不会接触的冲程内，对驱动头8进行往返驱动，那么能够防止抗蚀剂R内产生污垢，并且能够延长管式隔膜5的寿命。

另外，通过将管式隔膜5从固定部件8a、8b，吸入阀21及吐出阀22中取出，能够容易地进行管式隔膜5的更换。因此，在化学液体黏着以及更换化学液体时，仅仅更换管式隔膜5即可，维修变容易。另外，通过改变管式隔膜5的尺寸，能够简单地改变管式隔膜泵1的最大吐出量，因此能够扩大可适用的吐出范围。

[泵系统100的动作]

接着，对使用管式隔膜泵1的泵系统100的动作进行说明。

需要说明的是，在以下的说明中，在抗蚀剂R已填充在泵室4内之后，管式隔膜5从位于原点位置的待机状态(图1所示的状态)开始1个循环的动作。另外，从控制部40输出的CW脉冲信号，使得步进马达7的马达轴沿顺时针(CW)旋转，使得滚珠丝杠6朝向管式隔膜5前进。另一方面，从控制部40输出的CCW脉冲信号，使得步进马达7的马达轴沿逆时针(CCW)旋转，使得滚珠丝杠6以远离管式隔膜5的方式后退。

如图8所示，在待机状态，控制部40向步进马达7输出CW脉冲信号。与此同时，控制部40，开启第1电磁阀31(SV1为ON)，并开启吐出阀22。即，若接收到CW脉冲信号，则步进马达7使得滚珠丝杠6与驱动头8一起朝向压缩管式隔膜5的方向前进。另外，若第1电磁阀31开启，则从空气供应源30经由压力调节阀33被供应给第1电磁阀31的空气，将吐出阀(气动阀)22开启并且将吐出口5b与配管25及喷嘴26之间开通。由此，管式隔膜泵1的吐出动作开始。

需要说明的是，规定时间T1是指，在吐出开始时受到吐出阀22的影响而抗蚀剂R的液端面朝向泵室4侧被回吸的情况下，用于防止该回吸现象的延迟时间。因此，在发生回吸现象的情况下，进行控制以使得吐出阀22延迟规定时间T1后开启即可。

当吐出动作开始时，管式隔膜5的泵室4，在维持接液面4a、4b彼此平行的状态下，被驱动头8直接按压并且持续收缩。由此，将与泵室4收缩并移动的体积等量的抗蚀剂R，从泵室4经过吐出口5b、吐出阀22、配管25及喷嘴26，吐出(涂覆)到半导体晶圆20的上表面。

在吐出动作中，例如，当计数到预设的规定的CW脉冲信号的脉冲次数时，控制部40停止对步进马达7输出CW脉冲信号。与此同时，控制部40，关闭第1电磁阀31(SV1为OFF)，并关闭吐出阀22。即，当CW脉冲信号的输出停止时，步进马达7的动作也停止，因此朝向压缩管式隔膜5的方向与驱动头8一起前进的滚珠丝杠6停止。另外，当第1电磁阀31关闭时，停止给吐出阀22供应空气，因此吐出阀22关闭，并且吐出口5b与配管25及喷嘴26之间闭塞。由此，管式隔膜泵1的吐出动作结束。

吐出动作结束后，等待直到经过规定时间T2，在经过规定时间T2后，控制部40向步进马达7输出CCW脉冲信号。与此同时，控制部40，开启第2电磁阀32(SV2为ON)，并开启吸入阀21。需要说明的是，规定时间T2是指，在吐出动作结束后，为了防止步进马达7失步而暂时停止动作的时间，优选为0.5秒以上。

如上文所述，若接收到CCW脉冲信号，则步进马达7使得滚珠丝杠6与驱动头8一起后退以拉伸管式隔膜5。另外，当第2电磁阀32开启时，从空气供应源30经由压力调节阀33被供应给第2电磁阀32的空气，将吸入阀(气动阀)21开启并且将吸入口5a与配管23及喷嘴24之间开通。由此，管式隔膜泵1的吸入动作开始。

当吸入动作开始时，管式隔膜5的泵室4的接液面4a、4b直接被驱动头8拉伸而持续分离。由此，将与泵室4膨胀并位移的体积等量的抗蚀剂R，从抗蚀剂瓶24经过配管23、吸入阀21及吸入口5a，导入到泵室4内。

然后，在吸入动作中，在安装于驱动头8的驱动部件8c的下端部的遮蔽板9被起始位置传感器10检测到的时间点，或者在预设的规定的时间点，控制部40停止向步进马达7输出CCW脉冲信号。即，当CCW脉冲信号的输出停止时，步进马达7的动作也停止，因此与驱动头8一起后退以使得管式隔膜5膨胀的滚珠丝杠6，在原点位置停止。

吸入动作结束后，等待直到经过规定时间T3，在经过规定时间T3后，控制部40，关闭第2电磁阀32(SV2为OFF)，并关闭吸入阀21。即，当第2电磁阀32关闭时，停止给吸入阀21供应空气，因此吸入阀21关闭并将吐出口5a与配管23及喷嘴24之间闭塞。由此，管式隔膜泵1的吸入动作结束，再次成为待机状态。如上述，管式隔膜泵1完成1个循环的动作。需要说明的是，上述的规定时间T0～T3是可任意设置的时间。

在如此进行动作的管式隔膜泵1中，由于管式隔膜5的泵头部5c的横截面形状为扁平形状，因此如图9所示，如以泵的吐出量(mL)为纵轴、设定的脉冲次数(pulse)为横轴的图中所绘制的，抗蚀剂R的吐出量与泵室4的变形量(压缩量)之间的关系，大致示出了直线性(线性关系)。另外，在该实施方式中，通过控制步进马达7的脉冲次数来直接驱动管式隔膜5，因此与空气驱动类型相比分辨率更高，例如能够以0.01mL的水平控制流量。因此，容易改变管式隔膜泵1的最大吐出量并且容易设计能够适用的吐出范围。

[其他的实施方式]

需要说明的是，管式隔膜5的形状，不限于上述的实施方式的形状。例如，管式隔膜5，形成泵室4的泵头部5c可以具有如下的截面形状。即，如图10所示，管式隔膜5的泵室4，在其他的实施方式中，与输送方向P正交的截面形状，例如可形成为长圆形。

另外，如图11所示，在又一实施方式中，管式隔膜5的泵室4可以形成为，大致椭圆形或长圆形，并且在泵室4的与输送方向P正交的截面上，沿驱动方向PP对置的壁部5f、即变形量小的部分的壁厚，比沿与驱动方向PP正交的方向对置的壁部5g、即变形量大的部分的壁厚更厚。

在这些实施方式中，管式隔膜5的泵室4具有扁平形状，该扁平形状的在沿驱动方向PP对置的接液面4a、4b之间的间隔，比在与驱动方向PP正交的方向上对置的面之间的间隔更短，因此上述的变形量与吐出量之间能够维持线性关系。特别地，在如图11所示的管式隔膜5中，通过改变泵室4的壁厚，可容易地维持朝向彼此进退的接液面4a、4b的形状，因此可改善泵室4的变形量(压缩量)与吐出量之间的线性关系，更容易进行定量控制。

以上，虽然说明了本发明的若干实施方式，但是这些实施方式，仅仅作为示例被提出，不意在限定本发明的范围。这些新颖的实施方式，能够以其他各种各样的方式进行实施，在不脱离发明的要旨的范围内，能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形，包含在发明的范围及要旨内，并且包含在记载于权利要求的范围内的发明及与其等价的范围内。

[备注]

在本说明书中，例如公开了以下几点。

(附记1)

一种管式隔膜泵，其特征在于，具备：

具有泵头部的管式隔膜，该泵头部中形成有其内部被导入输送流体，并且将被导入的输送流体排出到其外部的泵室；

驱动头，其保持所述管式隔膜，并且在与所述输送流体的输送方向交叉的方向上直接推拉所述泵头部以使得所述泵室伸缩；

驱动单元，其在使得所述泵室伸缩的驱动方向上，对所述驱动头进行往返驱动；

控制部，其控制所述驱动单元，

所述管式隔膜，与所述泵室的所述输送流体的输送方向交叉的截面形状是扁平形状，所述扁平形状中，和所述驱动单元的驱动方向上的长度相比，与该驱动方向交叉的方向上的长度更长，并且沿所述泵室的所述驱动方向对置的一对接液面，在维持平行的状态下进行移动。

(附记2)

如附记1所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述控制部控制所述驱动单元，以在沿所述泵室的所述驱动方向对置的一对接液面彼此不接触的冲程内，往返驱动所述驱动头。

(附记3)

如附记1所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面侧，具有朝向所述泵室的所述驱动方向的外侧突出的肋。

(附记4)

如附记3所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述驱动头具有夹持所述肋的固定部件。

(附记5)

如附记1所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜的与所述泵室的所述输送方向正交的截面形状，为六边形状、长圆形状或椭圆形状。

(附记6)

如附记1所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜，在与所述泵室的所述输送方向正交的截面上，沿所述驱动方向对置的壁部的壁厚，比沿与所述驱动方向交叉的方向对置的壁部的壁厚更厚。

(附记7)

一种管式隔膜泵，其特征在于，具备：

具有泵头部的管式隔膜，该泵头部中形成有其内部被导入输送流体，并且将被导入的输送流体排出到其外部的泵室；

驱动头，其保持所述管式隔膜，并且在与所述输送流体的输送方向交叉的方向上直接推拉所述泵头部以使得所述泵室伸缩；

驱动单元，其在使得所述泵室伸缩的驱动方向上，对所述驱动头进行往返驱动；

控制部，其控制所述驱动单元；

所述管式隔膜，与所述泵室的所述输送流体的输送方向交叉的截面形状是扁平形状，所述扁平形状中，和所述驱动单元的驱动方向上的长度相比，与该驱动方向交叉的方向上的长度更长，并且所述泵头部的宽度增大而比所述输送流体的输送方向上的两端的部分的宽度更宽。

(附记8)

如附记7所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述控制部控制所述驱动单元，以在沿所述泵室的所述驱动方向对置的一对接液面彼此不接触的冲程内，往返驱动所述驱动头。

(附记9)

如附记7所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面侧，具有朝向所述泵室的所述驱动方向的外侧突出的肋。

(附记10)

如附记9所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述驱动头具有夹持所述肋的固定部件。

(附记11)

如附记7所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜的与所述泵室的所述输送方向正交的截面形状，为六边形状、长圆形状或椭圆形状。

(附记12)

如附记7所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜，在与所述泵室的所述输送方向正交的截面上，沿所述驱动方向对置的壁部的壁厚，比沿与所述驱动方向交叉的方向对置的壁部的壁厚更厚。

(附记13)

一种管式隔膜泵，其特征在于，具备：

具有泵头部的管式隔膜，该泵头部中形成有其内部被导入输送流体，并且将被导入的输送流体排出到其外部的泵室；

驱动头，其保持所述管式隔膜，并且在与所述输送流体的输送方向即第1方向交叉的第2方向上，直接推拉所述泵头部以使得所述泵室伸缩；

驱动单元，其在所述第2方向上，对所述驱动头进行往返驱动；

控制部，其控制所述驱动单元，

在所述管式隔膜中，所述泵头部的与所述第1方向交叉的截面形状为扁平形状，所述扁平形状中，与所述第2方向上的长度相比，与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上的长度更长，在所述泵头部的所述第1方向上的一侧设置有吸入口，在另一侧设置有吐出口，所述泵头部的与所述第1方向交叉的截面，比所述吸入口及所述吐出口的与所述第1方向交叉的截面更大。

(附记14)

如附记13所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述控制部控制所述驱动单元，以在沿所述泵室的所述驱动方向对置一对接液面彼此不接触的冲程内，往返驱动所述驱动头。

(附记15)

如附记13所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面侧，具有朝向所述泵室的所述驱动方向的外侧突出的肋。

(附记16)

如附记15所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述驱动头具有夹持所述肋的固定部件。

(附记17)

如附记13所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜的与所述泵室的所述输送方向正交的截面形状，为六边形状、长圆形状或椭圆形状。

(附记18)

如附记13所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜，在与所述泵室的所述输送方向正交的截面上，沿所述驱动方向对置的壁部的壁厚，比沿与所述驱动方向交叉的方向对置的壁部的壁厚更厚。

(附记19)

如附记1、7或13中任一项所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜通过吹塑成形而形成。

(附记20)

如附记1、7或13中任一项所述的管式隔膜泵，其特征在于，所述管式隔膜由四氟化乙烯·全氟烷氧基乙烯共聚树脂形成。