阅读说明：本技术 工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备 (Control method of workbench exchange mechanism and mass spectrum leakage detection equipment ) 是由 龙超祥 于 2019-08-02 设计创作，主要内容包括：本发明公开了工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备。工作台交换机构控制方法所控制的工作台交换机构包括第一承载件、第二承载件、第一工作台及第二工作台,工作台交换机构控制方法包括以下步骤：承载件预设初始位置驱动或保持步骤、工作台上升驱动步骤、承载件工位互换步骤、工作台下降驱动步骤和承载件工位再互换步骤,本发明的工作台交换机构控制方法具有较高的自动化程度和工作效率,并且,采用工作台交换机构控制方法的质谱检漏设备具有较高的自动化程度和检测效率。(The invention discloses a control method of a workbench exchange mechanism and mass spectrum leakage detection equipment. The workbench exchange mechanism controlled by the workbench exchange mechanism control method comprises a first bearing piece, a second bearing piece, a first workbench and a second workbench, and the workbench exchange mechanism control method comprises the following steps: the method comprises a bearing part preset initial position driving or maintaining step, a workbench ascending driving step, a bearing part station exchanging step, a workbench descending driving step and a bearing part station re-exchanging step.)

工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备

技术领域

本发明涉及自动化技术领域，尤其涉及一种工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备。

背景技术

需要对多个物料分别进行加工的场合多种多样，例如，在质谱检漏技术领域，质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用，其主要优点是可在各种检测工况条件下对多个物料分别进行检测从而实现泄漏率的定量检测，且其检漏分辨率高、测量范围广，特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备都是单个工作平台，需要在工作台上装夹好待测物料及相应的管道才能密封腔体抽真空进行质谱检漏，在装夹待测物料时，昂贵的质谱检漏部件为待机状态，其严重影响质谱检漏相关部件的利用率和整体工作效率。

现有技术中有一种回转式工作台，其两侧可装载零件，当其中一侧的零件处于加工状态时，另一侧的则可进行自动上下料。加工完后，工作台转动180度，从而实现交换加工。然而由于其需要将工作台进行回转，造成整体结构复杂，庞大臃肿，占地面积大，导致厂房土地利用率低，另外，现有回转式工作台控制方法的自动化程度和工作效率均较低，因此，需要一种工作台交换机构控制方法，以对两个或两个以上的可独立安装工件轮换进行工作的工作台进行操作，通过交换工作台可以节省整体加工流程的时间，提高生产效率。因此，提供一种自动化程度和工作效率均较高的工作台交换机构控制方法成为目前务必解决的问题。

发明内容

本发明解决的技术问题是，提供自动化程度和工作效率均较高的工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备。

一方面，本发明提供了一种工作台交换机构控制方法，工作台交换机构包括第一承载件、第二承载件、第一工作台及第二工作台，工作台交换机构控制方法包括以下步骤：承载件预设初始位置驱动或保持步骤，包括：驱动或保持第一承载件及第二承载件分别运动至或保持位于第一工位处及第二工位处，第一承载件位于第一预设高度并承载第一工作台，第二承载件位于与第一预设高度存在高度差的第二预设高度并承载第二工作台，高度差大于第一工作台和第二工作台中高度较低者所承载的物料的最大高度。工作台上升驱动步骤，包括：分别带动位于第一承载件上的第一工作台及位于第二承载件上的第二工作台上升到第三预设高度及第四预设高度。承载件工位互换步骤，包括：驱动第一承载件11及第二承载件12分别运动至第二工位处及第一工位处。工作台下降驱动步骤，包括：分别带动位于第一工位处的第一工作台及位于第二工位处的第二工作台下降，直至第二承载件及第一承载件分别承载第一工作台及第二工作台。承载件工位再互换步骤，包括：驱动第一承载件及第二承载件分别带动第二工作台及第一工作台运动至第一工位处及第二工位处。

进一步的，承载件预设初始位置驱动或保持步骤还包括：在第一工位处的第一预设高度装配待加工物料或拆卸已加工完成物料，工作台上升驱动步骤还包括：在对应于第二工位的第四预设高度处对待加工物料进行加工。

进一步的，工作台交换机构还包括：机架、驱动装置、升降装置和控制装置，第一承载件与机架活动连接并预置于第一预设高度，以在第一预设高度承载并移动第一工作台，第二承载件与机架活动连接并预置于第二预设高度，以在第二预设高度承载并移动第二工作台。驱动装置驱动第一承载件及第二承载件在第一工位处与第二工位处之间相向运动。升降装置设置在机架上，在第一预设高度和第三预设高度之间带动第一工作台或第二工作台上升或下降，且在第二预设高度和第四预设高度之间带动第二工作台或第一工作台上升或下降，第三预设高度和第四预设高度均高于第二预设高度及第一预设高度。控制装置分别与驱动装置及升降装置电连接以输出实施控制方法的各步骤的控制信号。

更进一步的，在工作台上升驱动步骤中，控制装置控制升降装置在第一承载件及第二承载件相向运动前带动位于第一工位处的第一工作台从第一预设高度上升到第三预设高度，在工作台下降驱动步骤中，控制装置控制升降装置带动位于第一工位处的第一工作台下降到第二预设高度并下落至已由驱动装置驱动至第一工位处的第二承载件之上。

更进一步的，在工作台上升驱动步骤中，控制装置控制升降装置带动位于第二工位处的第二工作台从第二预设高度上升到第四预设高度，在工作台下降驱动步骤中，控制装置控制升降装置带动位于第二工位处的第二工作台下降到第一预设高度并下落至已由驱动装置驱动至第二工位处的第一承载件之上。

更进一步的，工作台交换机构还包括：机架上还设置有并排设置的第一导轨和第二导轨。承载架，承载架的第一端用于承载第二承载件，承载架的第二端通过第一滑台与第一导轨相配合以活动连接。承载架上设置有与第二导轨配合的第二滑台，第二滑台位于承载架的第一端与第二端之间。在第一导轨对应于第一工位处和第二工位处的位置设置有用于探测第一滑台位置的第一位置传感器，或者/和在第二导轨对应于第一工位处和第二工位处的位置设置有用于探测第一滑台位置的第二位置传感器。第一位置传感器或者/和第二位置传感器与控制装置电连接，控制装置根据第一位置传感器或者/和第二位置传感器的检测信号控制驱动装置驱动承载架运动至第一工位处和第二工位处。

更进一步的，机架上还设置有与第一导轨并排设置的第三导轨，用于承载第一工作台或第二工作台的第一承载件的底部设置有与上述第三导轨配合的第三滑台，第一承载件通过第三滑台与第三导轨活动连接。在第三导轨对应于第一工位处和第二工位处的位置设置有用于探测第三滑台位置的第三位置传感器。第三位置传感器与控制装置电连接，控制装置根据第三位置传感器的检测信号控制驱动装置驱动第一承载件运动至第一工位处和第二工位处。

更进一步的，第一承载件上设置有与第一工作台或第二工作台配合的第一定位环，第二承载件上设置有与第一工作台或第二工作台配合的第二定位环；在第一承载件与第二承载件相向运动至层叠状态时，第一定位环在第一承载件运动平面上的投影与第二定位环在第一承载件运动平面上的投影重合。承载架的数量为两个，两个承载架分别设置在机架的两侧，第一承载件位于两个承载架之间；第二预设高度高于第一预设高度。第一承载件沿第三导轨的大致中心部位和承载架沿第一导轨和第二导轨的大致中心部位各设有相对应的探测部件，探测部件与控制装置电连接，控制装置根据探测部件的探测信号控制承载件工位互换步骤和工作台下降驱动步骤的部分同时进行。

进一步的，升降装置包括分别设置在第一工位处及第二工位处的第一升降单元及第二升降单元，第一升降单元及第二升降单元分别带动对应于第一工位处及第二工位处的第一工作台和第二工作台进行升降运动，控制装置根据第一升降单元及第二升降单元分别相对于第一承载件或第二承载件的运动控制不同的运动速率。

另一方面，本发明提供了一种质谱检漏设备，其包括：腔体和采用以上任一所述的工作台交换机构控制方法的工作台交换机构，物料为密封箱体，第一工作台或第二工作台与腔体配合以形成用于检测密封箱体密封性的真空腔体。

本发明提供了一种工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备，工作台交换机构控制方法具有自动化程度和工作效率均较高的优点，相应的，采用工作台交换机构控制方法的质谱检漏设备具有自动化程度和检测效率均较高的优点。

附图说明

图1是本发明工作台交换机构控制方法的控制流程示意图；

图2至图10是实施本发明工作台交换机构控制方法的各步骤所对应工作台交换机构工作状态的示意图；

图11是采用本发明工作台交换机构控制方法的工作台交换机构的结构示意图；

图12是采用本发明工作台交换机构控制方法的工作台交换机构的去除升降装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。需要说明的是，如果不冲突，本发明实施例以及实施例中的各个特征可以相互结合，均在本发明的保护范围之内。

请参阅图1至图10，本发明提供了一种工作台交换机构控制方法，其中，工作台交换机构包括第一承载件、及第二承载件12、第一工作台25及第二工作台13，图1简要地示出了本发明工作台交换机构控制方法的控制流程示意图，具体来说，工作台交换机构控制方法包括以下步骤：S100：承载件预设初始位置驱动或保持步骤，其包括驱动或保持第一承载件11及第二承载件12分别运动至或保持位于第一工位处51及第二工位处52，第一承载件11位于第一预设高度并承载第一工作台25，第二承载件12位于与第一预设高度存在高度差的第二预设高度并承载第一工作台25，该高度差大于第一工作台25和第二工作台13中高度较低者所承载的物料P的最大高度，以使在第一预设高度移动的第一工作台25与在第二预设高度移动的第二工作台13相互错开。在本说明书中，均以第二预设高度高于第一预设高度加以说明。进一步具体来说，当第一承载件11及第二承载件12已经分别位于第一工位处51及第二工作处52时，则保持第一承载件11及第二承载件12的所处位置，当第一承载件11及第二承载件12只要有一个没有位于对应的第一工位处51及第二工作处52时，控制方法驱动第一承载件11或/和第二承载件12到达第一工位处51及第二工作处52。作为一示例性的情形，在本发明工作台交换机构控制方法实施前，第一承载件11及第二承载件12均预置于第一工位处51，再在空的第一工作台25和第二工作台13上均装配待加工物料P，接着执行上述承载件预设初始位置驱动或保持步骤，第一承载件11被保持位于第一工位处51，第二承载件12被驱动运动至第二工位处52。另外，由于在高度上，第二预设高度高于第一预设高度，第一承载件11及其之上承载的第一工作台25或第二工作台13与第二承载件12及其之上承载的第二工作台13或第一工作台25在相对运动的过程中均不会相互干涉。具体参考图2至图4，图2示出了在第一工位处51和第二工位处52的第一工作台25或第二工作台13分别承载已加工完成物料P和待加工物料P，图3示出了已加工完成物料P被拆卸，图4示出了在空的第一工作台25上均装配了待加工物料P。S200:工作台上升驱动步骤，其包括分别带动位于第一承载件11上的第一工作台25及位于第二承载件12上的第二工作台13上升到第三预设高度及第四预设高度。具体参考图5，图5示出了第一工作台25被升降装置30和第二工作台13被升降装置(未图示)分别带动至第三预设高度及第四预设高度。S300：承载件工位互换步骤，其包括驱动第一承载件11及第二承载件12分别运动至第二工位处52及第一工位处51。具体参考图6，图6示出了第一承载件11及第二承载件12被驱动至第二工位处52及第一工位处51，且第一工作台25被升降装置30抬升至第二承载件的正上方。另外，对于第一承载件11及第二承载件12被驱动而运动的顺序不作限定，可以先后运动也可以同时运动，优选为同时运动。S400：工作台下降驱动步骤，其包括分别带动位于第一工位处51的第一工作台25及位于第二工位处52的第二工作台13下降，直至第二承载件12及第一承载件11分别承载第一工作台25及第二工作台13，这样的话，能够实现第一工作台25及第二工作台13在第一承载件11与第二承载件12之间交换。具体参考图7和图8，图7示出了第一工作台25在升降装置的带动下下降至第二承载件之上，图8示出了第二工作台13在升降装置的带动下下降至第一承载件之上。另外，第一工作台25和第二工作台13可以同时在升降装置的带动下分别向着第二承载件和第一承载件运动。S500：承载件工位再互换步骤，其包括驱动第一承载件11及第二承载件12分别带动第二工作台13及第一工作台25运动至第一工位处51及第二工作处52，这样的话，实现第一工作台25及第二工作台13在第一工位处51与第二工位处52之间交换。具体参考图9和图10，图9示出了第一承载件和第二承载件相向运动至竖直方向至少部分重叠，图10示出了第一承载件和第二承载件相向运动返回至第一工位处51及第二工作处52。

由上所述，通过采用本发明工作台交换机构控制方法对工作台交换机构的控制，在执行承载件预设初始位置驱动或保持步骤后的承载件位于预设初始位置，第一工作台25在第一工位处51的第一预设高度，第一工作台25之上为待加工物料P或者有待被待加工物料P替换的已加工完成物料P，此处所描述的加工可以是切削、冲压、检测等，并且，实现了第二工作台13在第二工位处51的第二预设高度时，承载在第二工作台13之上的是待加工物料P，然后通过上述进一步的一系列步骤，第一承载件11和第二承载件12在第一工位处51和第二工位处52的位置互换，作为第一承载件11和第二承载件12所承载对象的第一工作台25和第二工作台13也互换，因此，第一工作台25和第二工作台13之上的物料P可以同时处于加工和待加工状态，极大地提高了工作台交换机构的自动化程度及工作效率，进而提升了对待加工物料P的加工效率。

进一步来说，承载件预设初始位置驱动或保持步骤S100还包括：在第一工位处51的第一预设高度装配待加工物料P或拆卸已加工完成物料P，该装配或拆卸可以通过用户或机器来操作。工作台上升驱动步骤S200还包括：在对应于第二工位的第四预设高度处对待加工物料P进行加工。也就是说，在第一工位处51进行装配或拆卸操作的同时，第二工位处52可以对待加工物料P进行加工，保证了对待加工物料P加工的自动化和效率都很高。

请结合参阅图11和图12，为了便于理解本发明工作台交换机构控制方法，以下结合采用本发明工作台交换机构控制方法的工作台交换机构进行详细说明，优选的，工作台交换机构包括：机架10、第一承载件11、第二承载件12、驱动装置20、升降装置30和控制装置(未图示)。第一承载件11与机架10活动连接，并设置于第一预设高度，以在第一预设高度平稳地承载并移动第一工作台25。第二承载件12与机架10活动连接，并设置于第二预设高度，以在第二预设高度平稳地承载并移动第二工作台13。第一预设高度与第二预设高度的高度差大于第二工作台13所承载的物料P的最大高度，从而使在第一预设高度移动的第一工作台25与在第二预设高度移动的第二工作台13相互错开，另外，可以理解的是，第一预设高度移动的第二工作台13与在第二预设高度移动的第一工作台25也是可以相互错开的。驱动装置20驱动第一承载件11及第二承载件12在第一工位处51与第二工位处52之间相向运动。需要理解的是，相向运动指第一承载件11和第二承载件12由相互接近至相互远离的运动。升降装置30设置在机架10上的第一工位处51及第二工位处52，在第一预设高度和所述第三预设高度之间带动所述第一工作台25或第二工作台13上升或下降，且在第二预设高度和所述第四预设高度之间带动所述第二工作台13或第一工作台25上升或下降，第三预设高度和第四预设高度均高于第二预设高度及第一预设高度，从而当未承载任一工作台的第一承载件11和第二承载件12进行相向运动时，对于第一工作台25已上升到第三预设高度，移动第二承载件12到第一工作台25的下方，实现第一工作台25能够在第一承载件11与第二承载件12之间交换，并且，在第二工作台13上升到第四预设高度后，可以对第二工作台13之上的待加工物料P进行加工。控制装置分别与驱动装置20及升降装置30电连接以输出实施上述控制方法的各步骤的控制信号，控制装置可以是CPU、PLC、单片机等。因此，采用本发明工作台交换机构控制方法的工作台交换机构不仅自动化和加工效率均高，且具有结构简单紧凑，交换便捷等优点。

进一步来说，在工作台上升驱动步骤S200中，控制装置控制升降装置30在第一承载件11及第二承载件12相向运动前带动位于第一工位处51的第一工作台25从第一预设高度上升到第三预设高度，在工作台下降驱动步骤S400中，控制装置控制升降装置30带动位于第一工位处51的第一工作台25下降到第二预设高度并下落至已由驱动装置20驱动至第一工位处51的第二承载件12之上。因此，实现了第一工作台25由被第一承载件11承载转换为由第二承载件12承载，进而待加工物料P可由第二承载件12带动至第二工位处52从而接受下一步的加工，各步骤之间的相应部件相互运行过程时间紧凑，工作效率高。

进一步来说，在工作台上升驱动步骤S200中，控制装置控制升降装置30带动位于第二工位处52的第二工作台13从第二预设高度上升到第四预设高度，在工作台下降驱动步骤S400中，控制装置控制升降装置30带动位于第二工位处52的第二工作台13下降到第一预设高度并下落至已由驱动装置20驱动至第二工位处52的第一承载件11之上。因此，实现了第二工作台13由被第二承载件12承载转换为由第一承载件11承载，进而已加工物料P可由第二承载件12带动至第一工位处51从而接受下一步的拆卸，第一工作台25和第二工作台13的升降运动与第一承载件11和第二承载件12的相向运动大致可以同时进行，提升了工作效率。

作为进一步的具体改进，工作台交换机构还包括机架10上还设置有并排设置的第一导轨14和第二导轨16，以及竖直设置的承载架15，承载架15的第一端用于承载第二承载件12，承载架15的第二端通过第一滑台14a与第一导轨14相配合以活动连接。第二承载件12能够随承载架15沿第一导轨14进行导向运动，承载架15上设置有与第二导轨16配合的第二滑台16a，第二滑台16a位于承载架15的第一端与第二端之间。在第一导轨14对应于第一工位处51和第二工位处52的位置设置有用于探测第一滑台14a位置的第一位置传感器(未图示)，或者/和在第二导轨16对应于第一工位处51和第二工位处52的位置设置有用于探测第一滑台14a位置的第二位置传感器(未图示)，第一位置传感器和第二位置传感器可以是红外传感器、光电传感器等。第一位置传感器或者/和第二位置传感器与控制装置电连接，控制装置根据第一位置传感器或者/和第二位置传感器的检测信号控制驱动装置驱动承载架15运动至第一工位处51和第二工位处52。通过设置第一位置传感器和第二位置传感器的两者之一，控制装置能够准确、及时获得承载架15运动至第一工位处或第二工位处的时间点，并据此进行相应的控制信号输出。较佳的是，工作台交换机构同时设置上述的第一位置传感器和第二位置传感器，能够提高准确性和及时性。另外，作为一种等同替代的方式，第一位置传感器和第二位置传感器也可以设置在第一滑台14a面向第一工位处51和第二工位处52的两自由端处，通过第一位置传感器和第二位置传感器判断两自由端与机架两对应端部的距离关系，也可以准确、及时获得承载架15运动至第一工位处51或第二工位处52的时间点，获得相同的技术效果。此外，借助设置第一位置传感器和第二位置传感器，通过对接收传感信号的分析，控制装置还可以判断是否有障碍物位于承载架15的运动路径上，防止障碍物的阻挡，提高工作台交换机构的运行稳定性。

作为又一进一步的具体改进，机架10上还设置有与第一导轨14并排设置的第三导轨17，用于承载第一工作台25或第二工作台13的第一承载件11的底部设置有与第三导轨17配合的第三滑台17a，第一承载件11通过第三滑台17a与第三导轨17活动连接。在第三导轨17对应于第一工位处51和第二工位处52的位置设置有用于探测第三滑台17a位置的第三位置传感器(未图示)。第三位置传感器与控制装置电连接，控制装置根据第三位置传感器的检测信号控制驱动装置20驱动第一承载件11运动至第一工位处51和第二工位处52。通过设置第三位置传感器，控制装置能够准确、及时获得第一承载件运动至第一工位处或第二工位处的时间点，并据此进行相应的控制信号输出。

进一步的，第一承载件11上设置有与第一工作台25或第二工作台13配合的第一定位环11a，第二承载件12上设置有与第一工作台25或第二工作台13配合的第二定位环12a；在第一承载件与第二承载件相向运动至层叠状态时，第一定位环11a在第一承载件11运动平面上的投影与第二定位环12a在第一承载件11运动平面上的投影重合，因而，第一承载件11和第二承载件12均适用于承载第一工作台25和第二工作台13。优选的，上述第一定位环11a及第二定位环12a的端面均设置有导向锥面11b，工作台13的底部设置有与第一定位环11a及第二定位环12a配合的定位柱(图未示)。通过设置上述第一定位环11a和第二定位环12a，从而便于第一工作台25和第二工作台13在第一承载件11及第二承载件12上的交换，还便于对工作台13的限位固定。上述层叠状态即第一承载件11位于第二承载件12的竖直方向正下方的状态。承载架15的数量为两个，两个承载架15分别设置在机架10的两侧，第一承载件11位于两个承载架15之间，第二预设高度高于第一预设高度，可以避免第一承载件11与第二承载件12相向运动时的相互干涉，即在第一承载件11带动第二工作台13从第二工位处52运动到第一工位处51的同时，能够驱动第二承载件12带动第一工作台25从第一工位处51运动到第二工位处52，以提高第一承载件11和第二承载件12的工位交换效率。第一承载件11沿第三导轨17的大致中心部位和承载架15沿第一导轨14和第二导轨16的大致中心部位各设有相对应的探测部件(未图示)，探测部件可以是位置传感器等，探测部件与控制装置电连接，控制装置根据探测部件的探测信号判断第一承载件11与第二承载件12彼此在相向运动方向上的间距，从而控制承载件工位互换步骤S300和工作台下降驱动步骤S400的部分同时进行，以提高工位交换效率。

作为进一步的改进，升降装置30包括分别设置在第一工位处51及第二工位处52的第一升降单元及第二升降单元，第一升降单元及第二升降单元分别带动对应于第一工位处51及第二工位处52的第一工作台25和第二工作台13进行升降运动，也就是说，升降装置30采用分体式结构。另外，升降装置30也可以采用一体式结构，从而同时带动对应于第一工位处51及第二工位处52的第一工作台25和第二工作台13进行升降运动，控制装置根据第一升降单元及第二升降单元分别相对于第一承载件11或第二承载件12的运动控制不同的运动速率。由于各预设高度均不同，通过采用不同运动速率控制第一承载件11和第二承载件12的升降运动，则升降运动速率值与相应预设高度值成反比，从而可以提高工作台交换机构控制方法的工作效率。另外，在另一种实施方式中，升降装置30还可以仅设置于第一工位处51，仅带动位于第一工位处51的第一工作台25或第二工作台13进行升降运动,第二工位处52的第一工作台25或第二工作台13由以下将描述的质谱检漏设备本身设置有的升降机构带动进行升降运动。

优选地，第一承载件11及第二承载件12的数量均为两个；两个第一承载件11分别与设置在机架10两侧的两个第三导轨17活动连接，并沿其导向运动。第一承载件11承载第一工作台25或第二工作台13时，第一工作台25或第二工作台13的两端分别架设在两个第一承载件11上。两个第二承载件12分别设置在两个承载架15的第一端上，两个承载架15的第二端分别与设置在机架10两侧底部的两个第一导轨14活动连接，并沿第一导轨14的导向运动；第二承载件12承载第一工作台25或第二工作台13时，第一工作台25或第二工作台13的两端分别架设在两个第二承载件12上。两个第一承载件11均位于两个承载架15之间，升降装置30位于两个第一承载件11之间；以便于升降装置30分别或同时提升位于第一承载件11及第二承载件12上对应的第一工作台25和第二工作台13，同时避免干涉第一承载件11与第二承载件12的相向运动。因此，工作台交换机构控制方法的运行可靠性高。

较佳的，工作台交换机构还包括设置于机架10的底部的第一连接架18及第二连接架19，第一连接架18的两端分别与两个承载架15相连，第二连接架19的两端分别与两个第一承载件11相连。以使两个承载架15，即设置在承载架15上的第二承载件12能够同步运动，且两个第一承载件11也能够同步运动，同时避免第一连接架18或第二连接架19阻碍升降装置30驱动第一工作台25和第二工作台13进行的升降运动。因此，工作台交换机构具有结构简单紧凑，设计巧妙等优点。

作为驱动装置的一种优选实施方式，驱动装置20包括：与机架10活动连接的主动链轮21、与主动链轮21并排设置并与机架10活动连接的从动链轮22、套设在主动链轮21及从动链轮22上的传动链23以及与主动链轮21传动连接并驱动传动链23带动第一承载件11与第二承载件12相向运动的驱动电机24。第一承载件11及第二承载件12分别与传动链23的上下两边相连，因而，仅需驱动主动链轮21转动，即可同时实现第一承载件11与第二承载件12的相向运动，且同步性能好和驱动效率高，保证了工作台交换机构控制方法的所控制的运行行程精准度。另外，在其它实施方式中，也可以采用传送皮带及带轮带动第一承载件11与第二承载件12相向运动。

本发明还公开了一种质谱检漏设备，包括腔体和工作台交换机构，其中物料P为例如可以是变速箱、水箱或油箱等的密封箱体，工作台交换机构为采用上述工作台交换机构控制方法的工作台交换机构，第一工作台25或第二工作台13与腔体配合以形成用于检测密封箱体密封性的真空腔体。关于对位于真空腔体中的密封箱体进行检测的具体检测结构，属于本领域的普通技术知识，在此不再赘述。

综上所述，本发明提供了一种工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备，工作台交换机构包括：承载件预设初始位置驱动或保持步骤S100、工作台上升驱动步骤S200、承载件工位互换步骤S300、工作台下降驱动步骤S400和承载件工位再互换步骤S500，通过第一承载件11及第二承载件12在第一工位处51与第二工位处52之间往复的相向运动以及对应的第一工作台25和第二工作台13的升降运动，实现了同一工作台在不同承载件上得到承载，使得待加工物料P的两工位处间运动以得到装配、加工和拆卸，使得工作台交换机构控制方法具有较高的自动化程度和工作效率，从而也保证了采用工作台交换机构控制方法的质谱检漏设备的检测效率。

需要明确的是，本发明并不局限于上文所描述并在图中示出的特定配置和处理。为了简明起见，这里省略了对已知方法的详细描述。在上述实施例中，描述和示出了若干具体的步骤作为示例。但是，本发明的方法过程并不限于所描述和示出的具体步骤，本领域的技术人员可以在领会本发明的精神后，作出各种改变、修改和添加，或者改变步骤之间的顺序。

还需要说明的是，本发明中提及的示例性实施例，基于一系列的步骤或者装置描述一些方法或系统。但是，本发明不局限于上述步骤的顺序，也就是说，可以按照实施例中提及的顺序执行步骤，也可以不同于实施例中的顺序，或者若干步骤同时执行。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，应理解，本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。