控制用于ar波导组合器的光栅外耦合强度

文档序号:1220200 发布日期:2020-09-04 浏览:10次 >En<

阅读说明:本技术 控制用于ar波导组合器的光栅外耦合强度 (Controlling grating outcoupling strength for AR waveguide combiners ) 是由 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 韦恩·麦克米兰 于 2018-10-23 设计创作,主要内容包括:于此描述的实施方式关于增强波导区域。增强波导区域通常包括具有工作周期和折射率的多个光栅。在某些实施方式中,工作周期不同,折射率不同,或工作周期和折射率都不同。于此还描述了用于形成增强波导区域的方法。(Embodiments described herein relate to an enhanced waveguide region. The enhanced waveguide region typically includes a plurality of gratings having a duty cycle and a refractive index. In some embodiments, the duty cycle is different, the refractive index is different, or both the duty cycle and the refractive index are different. Methods for forming the enhanced waveguide region are also described herein.)

控制用于AR波导组合器的光栅外耦合强度

背景

领域

本公开的实施方式一般关于增强现实波导。更具体地,于此描述的实施方式关于用于控制增强现实波导的外耦合强度的增强波导区域。

现有技术的描述

虚拟现实通常被认为是计算器生成的模拟环境,其中使用者具有明显的物理存在。虚拟现实体验可在3D中生成并且用头戴式显示器(HMD)观看,诸如具有近眼显示面板作为透镜以显示取代实际环境的虚拟现实环境的眼镜或其他可穿戴显示设备。

然而,增强现实能得到使用者仍然可看穿眼镜或其他HMD装置的显示镜头以观看周围环境,还能够看到为显示而生成的虚拟对象的图像并且显示为环境的一部分的体验。增强现实可包括任何类型的输入(诸如音频和触觉输入),以及强化或增强使用者体验的环境的虚拟图像、图形和视频。作为一种新兴技术,增强现实存在有许多挑战和设计限制。

一个这样的挑战是显示覆盖在周围环境上的虚拟图像。增强波导组合器用以辅助重迭图像。产生的光被内耦合到增强的波导组合器中、通过增强的波导组合器传播、从增强的波导组合器外耦合并覆盖在周围环境上。使用表面浮雕光栅将光耦合到增强波导组合器中和从增强波导组合器耦合出来。可能无法充分控制外耦合的强度。

因此,本领域需要改进的是增强的波导组合器和制造方法。

发明内容

在一个实施方式中,提供了一种装置。装置包括:至少一个第一光栅,形成在基板上,具有第一工作周期;至少一个第二光栅,形成在基板上,与至少一个第一光栅相邻,具有不同于第一工作周期的第二工作周期;及至少一个第三光栅,形成在基板上,与至少一个第二光栅相邻,具有不同于第一工作周期和第二工作周期的第二工作周期。

在另一个实施方式中,提供了一种装置。装置包括:至少一个第一光栅,形成在基板上,具有第一折射率;至少一个第二光栅,形成在基板上,与至少一个第一光栅相邻,具有大于第一折射率的第二折射率;及至少一个光栅的三分之一,形成在基板上,与至少一个第二光栅相邻,具有大于第二折射率的第三折射率。

在又一个实施方式中,提供了一种方法。方法包括以下步骤:将一个或多个第一材料沉积到基板上;将一个或多个第二材料沉积到基板上;将印模压印到一个或多个第一材料和一个或多个第二材料中;固化一个或多个第一材料和一个或多个第二材料;及释放印模以形成一个或多个第一材料的第一光栅和一个或多个第二材料的第二光栅。第一光栅具有第一折射率和第一工作周期。第二光栅具有第二折射率和第二工作周期。第一工作周期与第二工作周期不同,第一折射率与第二折射率不同,或第一折射率和第一工作周期都不同于第二折射率和第二工作周期。

附图说明

因此,可详细地理解本公开的上述特征的方式,可通过参考实施方式而获得上面简要概述的本公开的更具体的描述,其中一些实施方式显示在附图中。然而,应注意附图仅显示了示例性实施方式,且因此不应视为限制本发明的范围,且可允许其他等效的实施方式。

图1是根据一个实施方式的增强波导组合器的透视前视图。

图2是显示根据实施方式的用于形成增强波导区域的方法的操作的流程图。

图3A-图3D是根据实施方式的制造期间的增强波导区域的示意性横截面图。

图4是显示根据另一实施方式的用于形成增强波导区域的方法的操作的流程图。

图5A-图5B是根据另一实施方式的制造期间的增强波导区域的示意性横截面图。

为了促进理解,在可能的情况下,使用相同的元件符号来表示图中共有的相同元件。可预期一个实施方式的元件和特征可有利地并入其他实施方式中而无需进一步叙述。

具体实施方式

于此描述的实施方式关于增强波导区域。增强波导区域通常包括具有工作周期和折射率的多个光栅。在某些实施方式中,工作周期不同,折射率不同,或工作周期和折射率都不同。于此还描述了用于形成增强波导区域的方法。

图1是增强波导组合器100的透视前视图。应当理解下面描述的增强波导组合器100是示例性增强波导组合器,且可使用或修改其他增强波导组合器以实现本公开的各种方面。

增强波导组合器100包括由多个光栅108界定的输入耦合区域102、由多个光栅110界定的中间区域104及由多个光栅112界定的输出耦合区域106。输入耦合区域102接收具有来自微显示器的强度的入射光束(虚拟图像)。多个光栅108的每个光栅将入射光束分成多个模式,每个光束具有一种模式。零级模式(T0)光束在增强波导组合器100中折射回或丢失;正一阶模式(T1)光束通过增强波导组合器100耦合到中间区域104;且负一阶模式(T-1)光束在增强波导组合器100中沿与T1光束相反的方向传播。理想地,入射光束被分成具有入射光束的所有强度的T1光束,以便将虚拟图像引导到中间区域104。在一个实施方式中,多个光栅108的每个光栅成角度以抑制T-1光束和T0光束。T1光束通过增强波导组合器100经历全内反射(TIR),直到T1光束与中间区域104中的多个光栅110接触。

T1光束接触多个光栅110的光栅。T1光束被分成T0光束、T1光束和T-1光束,T0光束在增强波导组合器100中折射回或丢失,T1光束在中间区域104中经历TIR直到T1光束接触多个光栅110的另一个光栅,T-1光束通过增强波导组合器100耦合到输出耦合区域106。在中间区域104中经历TIR的T1光束继续接触多个光栅110的光栅,直到通过增强波导组合器100耦合到中间区域104的T1光束的强度耗尽,或通过中间区域104传播的剩余T1光束到达中间区域104的末端。必须调谐多个光栅110以控制通过增强波导组合器100耦合到中间区域104的T1光束,以便控制耦合到输出耦合区域106的T-1光束的强度,以从使用者的观点调制从微显示器产生的虚拟图像的视场,并增加用户可观看虚拟图像的视角。

通过增强波导组合器100耦合到输出耦合区域106的T-1光束在增强波导组合器100中经历TIR,直到T-1光束接触多个光栅112的光栅,其中T-1光束被分成T0光束、T1光束和T-1光束,T0光束在增强波导组合器100中折射回或丢失,T1光束在输出耦合区域106中经历TIR直到T1光束接触多个光栅112的另一个光栅,T-1光束耦合离开增强波导组合器100。在输出耦合区域106中经历TIR的T1光束继续接触多个光栅112的光栅,直到通过增强波导组合器100耦合到输出耦合区域106的T-1光束的强度耗尽,或通过输出耦合区域106传播的剩余T1光束已经到达输出耦合区域106的末端。必须调谐多个光栅112以控制通过增强波导组合器100耦合到输出耦合区域106的T-1光束,以便控制耦合离开增强波导组合器100的T-1光束的强度,以进一步从使用者的观点调制从微显示器产生的虚拟图像的视场,并进一步增加用户可观看虚拟图像的视角。

图2是说明用于形成图3A到图3D中所示的增强波导区域300的方法200的操作的流程图。在操作201处,将一个或多个第一材料304沉积到基板302上。如图3A所示,一个或多个第一材料304可为通过喷墨打印机而沉积在基板302上的液滴310。液滴310具有第一体积和第一半径。喷墨打印机以间隔316沉积液滴310。在一个实施方式中,间隔316基本上相等,使得液滴310相等地间隔。在另一个实施方式中,间隔316是不同的,使得在液滴310之间的间隔是不同的。基板302具有可导致液滴310随时间以第一给定厚度具有第一横向延伸的表面湿度。

一个或多个第一材料304可包括第一溶液。第一溶液可为溶胶-凝胶溶液或纳米颗粒溶液。第一溶液可包括二氧化硅(SiO2)、碳氧化硅(SiOC)、二氧化锆(ZrO2)及/或二氧化钛(TiO2)。控制第一溶液中SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例以产生第一折射率。例如,第一溶液可含有TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的第一比例。在一个实施方式中,SiO2的溶胶-凝胶前驱物可包括四甲氧基硅烷(TMOS)、甲基-三甲氧基-硅烷(MTMS)和四乙氧基硅烷(TEOS)。

在操作202处,将一个或多个第二材料306沉积到基板302上。如图3A所示,一个或多个第二材料306可为通过喷墨打印机而沉积在基板302上的液滴312。液滴312具有第二体积和第二半径。在一个实施方式中,第二体积和第二半径不同于第一体积和第一半径。在另一个实施方式中,第二体积和第二半径基本上等于第一体积和第一半径。喷墨打印机以间隔316沉积液滴312。在一个实施方式中,间隔316基本上相等,使得液滴312相等地间隔。在另一个实施方式中,间隔316是不同的,使得在液滴312之间的间隔是不同的。基板302具有可导致液滴312随着时间以第二给定厚度具有第二横向延伸的表面湿度。

一个或多个第二材料306可包括第二溶液。第二溶液可为溶胶-凝胶溶液或纳米颗粒溶液。第二溶液可包括SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2。控制第二溶液中SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例以产生第二折射率。第二折射率可与第一折射率不同。例如,第二溶液可含有第二比例,第二比例具有比第一比例更高的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第二折射率具有比第一折射率更高的折射率,或第二比例可具有比第一比例更低的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第二折射率具有比第一折射率更低的折射率。

在操作203处,将一个或多个第三材料308沉积到基板302上。如图3A所示,一个或多个第三材料308可为通过喷墨打印机沉积在基板302上的液滴314。液滴314具有第三体积和第三半径。在一个实施方式中,第三体积和第三半径不同于第一体积和第一半径以及第二体积和第二半径。在另一个实施方式中,第二体积和第二半径基本上等于第一体积和第一半径以及第二体积和第二半径。喷墨打印机以间隔316沉积液滴314。在一个实施方式中,间隔316基本上相等,使得液滴314相等地间隔。在另一个实施方式中,间隔316是不同的,使得液滴314之间的间隔是不同的。基板302具有可导致液滴314随时间以第三给定厚度具有第三横向延伸的表面湿度。

一个或多个第三材料308可包括第三溶液。第三溶液可为溶胶-凝胶溶液或纳米颗粒溶液。第三溶液可包括SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2。控制第三溶液中SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例以产生第三折射率。第三折射率可与第一折射率和第二折射率不同。例如,第三溶液可含有第三比例,第三比例具有比第一比例和第二比例更高的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第三折射率具有比第一折射率和第二折射率更高的折射率,或第三比例可具有比第一比例和第二比例更低的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第三折射率具有比第一折射率和第二折射率更低的折射率。

在操作204处,将印模318压印到一个或多个第一材料304、一个或多个第二材料306和一个或多个第三材料308中。如图3B所示,印模318具有正图案320包括对应于一个或多个第一材料304的一个或多个第一光栅图案322、对应于一个或多个第二材料306的一个或多个第二光栅图案324及对应于一个或多个第三材料308的一个或多个第三光栅图案326。一个或多个第一、第二和第三光栅图案322、324、326包括平行于基板302的顶部图案表面328和侧壁图案表面330。侧壁图案表面330可相对于基板302倾斜或定向成正交于基板302。在一个实施方式中,印模318由具有负图案的母版制成,负图案包括一个或多个反向第一光栅图案、一个或多个第二反向第二光栅图案和一个或多个第三反向光栅图案。印模318由母版模铸而成。在另一个实施方式中,印模318是母版。

在操作205处,固化一个或多个第一材料304、一个或多个第二材料306和一个或多个第三材料308。印模318可包含半透明材料,诸如熔融二氧化硅或聚二甲基硅氧烷(PDMS),以允许一个或多个第一、第二和第三材料304、306、308通过暴露于紫外(UV)光而固化。可替代地热固化一个或多个第一、第二和第三材料304、306、308。

在操作206处,释放印模318以形成增强波导区域300,增强波导区域300具有一个或多个第一材料304的第一光栅332、一个或多个第二材料306的第二光栅334及一个或多个第三材料308的第三光栅336。在一个实施方式中,可机械地移除印模318,因为印模318可能涂布有单层防黏表面处理涂层,诸如氟化涂层。在另一个实施方式中,印模318可包含水溶性材料(诸如水溶性的聚乙烯醇(PVA)材料),以便通过将印模318溶解在水中来移除印模318。

图3C和图3D显示了增强波导区域300的示意性横截面图。第一光栅332包括平行于基板302的顶表面338、第一侧壁340、第二侧壁341和高度344,顶表面338具有第一边缘342a和第二边缘342b,高度344从顶表面338延伸到基板302。第一侧壁340和第二侧壁341可相对于基板302倾斜或定向成正交于基板302。第二光栅334包括平行于基板302的顶表面338、第一侧壁340、第二侧壁341和高度346,顶表面338具有第一边缘342a和第二边缘342b,高度346从顶表面338延伸到基板302。第三光栅336包括平行于基板302的顶表面338、第一侧壁340、第二侧壁341和高度348,顶表面338具有第一边缘342a和第二边缘342b,高度从顶表面338延伸到基板302。高度344、346、348可基本相等。

第一光栅332在高度344的一半处具有从第一侧壁340到第二侧壁341的第一线宽350。第二光栅334在高度346的一半处具有从第一侧壁340到第二侧壁341的第二线宽352。在一个实施方式中,第二线宽352与第一线宽350不同。第三光栅336在高度348的一半处具有从第一侧壁340到第二侧壁341的第三线宽354。在一个实施方式中,第三线宽354与第二线宽352和第一线宽350不同。

第一、第二和第三光栅332、334、336具有间距360。间距360由在第一边缘342a之间的距离确定。第一光栅332具有通过将第一线宽350除以间距360而确定的第一工作周期。第二光栅334具有通过将第二线宽352除以间距360而确定的第二工作周期。第三光栅336具有通过将第三线宽354除以间距360而确定的第三工作周期。

在一个实施方式中,液滴310、312、314以基本相等的间隔316沉积。液滴310、312、314具有不同的体积和半径。因此,第一工作周期、第二工作周期和第三工作周期是不同的,因为第一线宽350、第二线宽352和第三线宽354是不同的而间距360是基本上相等的。在另一个实施方式中,液滴310、312、314以不同的间隔316沉积。液滴310、312、314可具有不同的体积和半径或基本相等的体积和半径。因此,第一工作周期、第二工作周期和第三工作周期是不同的,因为间距360是不同的。

为了从使用者的观点调制从微显示器产生的虚拟图像的视场并增加用户可观看虚拟图像的视角,从增强波导区域300向外耦合的光束的强度必须增加,同时传播通过增强波导区域300的光束的强度必须减小。此外,在通过增强波导区域300传播的光束到达增强波导区域300的最后光栅之前,外耦合的光束的强度不应增加到传播通过增强波导区域300的光束的强度耗尽的点。理想地,外耦合光束的强度增加,而通过增强波导区域300传播的光束的强度减小且通过增强波导区域300的最后光栅而被耗尽。

为了控制增强波导区域300的光的耦合,第一工作周期、第二工作周期和第三工作周期是不同的。在一个实施方式中,第一工作周期在约0.1和约0.25之间,第二工作周期大于第一工作周期并在约0.2和约0.35之间,且第三工作周期大于第一工作周期和第二工作周期并在约0.3至约0.5之间。第一光栅332具有第一折射率,第二光栅334具有第二折射率,且第三光栅336具有第三折射率。第一、第二和第三折射率可不同,因为一个或多个第一材料、一个或多个第二材料及一个或多个第三材料中的SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例可为不同的,以为了进一步控制增强波导区域300的光耦合。第一、第二和第三折射率可在约1和约2.5之间,且第二折射率可大于第一折射率,且第三折射率可大于第一折射率和第二折射率。

图4是说明用于形成图5A到图5B中所示的增强波导区域500的方法400的操作的流程图。用于形成增强波导区域500的方法400的操作401-405在图3A和图3B中显示。在操作401处,将一个或多个第一材料304沉积到基板302上。如图3A所示,一个或多个第一材料304可为通过喷墨打印机而沉积在基板302上的液滴310。液滴310具有第一体积和第一半径。喷墨打印机以间隔316沉积来液滴310。在一个实施方式中,间隔316基本上相等,使得液滴310相等地间隔。在另一个实施方式中,间隔316是不同的,使得液滴310之间的间隔是不同的。

一个或多个第一材料304可包括第一溶液。第一溶液可为溶胶-凝胶溶液或纳米颗粒溶液。第一溶液可包括二氧化硅(SiO2)、碳氧化硅(SiOC)、二氧化锆(ZrO2)及/或二氧化钛(TiO2)。控制第一溶液中SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例以产生第一折射率。第一溶液含有TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的第一比例。

在操作402处,将一个或多个第二材料306沉积到基板302上。如图3A所示,一个或多个第二材料306可为通过喷墨打印机而沉积在基板302上的液滴312。液滴312具有第二体积和第二半径。在一个实施方式中,第二体积和第二半径基本上等于第一体积和第一半径。在另一个实施方式中,第二体积和第二半径不同于第一体积和第一半径。喷墨打印机以间隔316来沉积液滴312。在一个实施方式中,间隔316基本上相等,使得液滴312相等地间隔。在另一个实施方式中,间隔316是不同的,使得液滴312之间的间隔是不同的。

一个或多个第二材料306可包括第二溶液。第二溶液可为溶胶-凝胶溶液或纳米颗粒溶液。第二溶液可包括SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2。控制第二溶液中SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例以产生第二折射率。第二折射率不同于第一折射率。第二溶液含有第二比例,第二比例具有比第一比例更高的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第二折射率具有比第一折射率更高的折射率,或第二比例具有比第一比例更低的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第二折射率具有比第一折射率更低的折射率。

在操作403处,将一个或多个第三材料308沉积到基板302上。如图3A所示,一个或多个第三材料308可为通过喷墨打印机沉积在基板302上的液滴314。液滴314具有第三体积和第三半径。在一个实施方式中,第三体积和第三半径基本上等于第一体积和第一半径以及第二体积和第二半径。在另一个实施方式中,第二体积和第二半径不同于第一体积和第一半径以及第二体积和第二半径。喷墨打印机以间隔316沉积液滴314。在一个实施方式中,间隔316基本上相等,使得液滴314相等地间隔。在另一个实施方式中,间隔316是不同的,使得在液滴314之间的间隔是不同的。

一个或多个第三材料308可包括第三溶液。第三溶液可为溶胶-凝胶溶液或纳米颗粒溶液。第三溶液可包括SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2。控制第三溶液中SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例以产生第三折射率。第三折射率不同于第一折射率和第二折射率。溶液可含有第三比例,第三比例具有比第一比例和第二比例更高的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO2的比例,以导致第三折射率具有比第一折射率和第二折射率更高的折射率,或第三比例具有比第一比例和第二比例更低的TiO2与SiO2、SiOC及/或ZrO的比例,以导致第三折射率具有比第一折射率和第二折射率更低的折射率。

在操作404处,将印模318压印到一个或多个第一材料304、一个或多个第二材料306和一个或多个第三材料308中。在操作405处,一个或多个第一材料304、一个或多个第二材料306和一个或多个第三材料308被固化。在操作406处,释放印模318以形成增强波导区域500,增强波导区域500具有一个或多个第一材料304的第一光栅532、一个或多个第二材料306的第二光栅534及一个或多个第三材料308的第三光栅536。

图5A和图5B显示了增强波导区域500的示意性横截面图。第一光栅532包括平行于基板302的顶表面538、第一侧壁540、第二侧壁541和高度544,顶表面538具有第一边缘542a和第二边缘542b,高度544从顶表面538延伸到基板502。第一侧壁540和第二侧壁541可相对于基板502倾斜或或定向成正交于基板502。第二光栅534包括平行于基板502的顶表面538、第一侧壁540、第二侧壁541和高度546,顶表面538具有第一边缘542a和第二边缘542b,高度546从顶表面538延伸到基板502。第三光栅536包括平行于基板502的顶表面538、第一侧壁540、第二侧壁541和高度548,顶表面538具有第一边缘542a和第二边缘542b,高度548从顶表面538延伸到基板502。高度544、546、548可基本相等。

第一光栅532在高度544的一半处具有从第一侧壁540到第二侧壁541的第一线宽550。第二光栅534在高度546的一半处具有从第一侧壁540到第二侧壁541的第二线宽552。第三光栅536在高度548的一半处具有从第一侧壁540到第二侧壁541的第三线宽554。在一个实施方式中,第三线宽554基本上等于第二线宽552和第一线宽550。

第一、第二和第三光栅532、534、536具有间距560。间距560由在第一边缘542a之间的距离确定。第一光栅532具有通过将第一线宽550除以间距560而确定的第一工作周期。第二光栅534具有通过将第二线宽552除以间距560而确定的第二工作周期。第三光栅536具有通过将第三线宽554除以间距560而确定的第三工作周期。

在一个实施方式中,第三线宽554基本上等于第二线宽552以及第一线宽550,且间距560基本上相等,这是因为以基本相等的间隔316沉积具有基本相等的体积和半径的液滴310、312、314。因此,第一工作周期、第二工作周期和第三工作周期基本相等,因为第一线宽550、第二线宽552和第三线宽554基本相等且间距560基本相等。在另一实施方式中,第一工作周期、第二工作周期和第三工作周期基本相等,但第一、第二和第三线宽550、552、554是不同的,且间距560是不同的。液滴310的第一体积和第一半径、液滴312的第二体积和第二半径及液滴314的第三体积和第三半径被调谐到间距560,以产生基本相同的第一工作周期、第二工作周期及第三工作周期。在一个实施方式中,第一工作周期,第二工作周期和第三工作周期在约0.1至约0.5之间。

第一光栅332具有第一折射率,第二光栅334具有第二折射率,且第三光栅336具有第三折射率。第一、第二和第三折射率是不同的,因为一个或多个第一材料、一个或多个第二材料和一个或多个第三材料中的SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2的比例是不同的,以便控制增强波导区域500的光的耦合。第一、第二和第三折射率可在约1和约2.5之间。在一个实施方式中,第一折射率在约1.2至约1.5之间,第二折射率大于第一折射率并在约1.4至约1.7之间,且第三折射率大于第一折射率和第二折射率并在约1.5和约2.5之间。

总之,于此描述了包括具有工作周期和折射率的多个光栅的增强波导区域及增强波导区域的制造方法。具有不同工作周期、不同折射率或不同工作周期和不同折射率两者的增强波导区域允许从用户的观点调制从微显示器产生的虚拟图像的视场并增加用户可观看虚拟图像的视角。在一个或多个第一材料、一个或多个第二材料和一个或多个第三材料中使用不同比例的SiO2、SiOC、ZrO2及/或TiO2提供不同的折射率,且形成具有不同线宽的光栅提供不同的工作周期。

虽然前述内容涉及本公开的示例,但是可在不背离本公开的基本范围的情况下设计本公开的其他和进一步的示例,且本公开的范围由以下的申权利要求书确定。

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