具体实施方式

现在将更详细地参考在附图中图示的一些示例实施例的方面，在附图中相同的附图标记始终指相同的元件。在这方面，本实施例可以具有不同的形式，并且不应被解释为限于在本文中阐述的描述。因此，下面仅通过参考附图来描述实施例以解释本描述的方面。如本文中使用的，术语“和/或”包括相关联列出的项目中一个或多个的任何和所有组合。在整个公开中，表述“a、b和c中的至少一个”指示仅a、仅b、仅c、a和b、a和c、b和c、a、b和c的全部或其变体。

由于本公开允许各种改变和众多实施例，因此将在附图中图示并且在书面描述中更详细地描述具体实施例。参考用于图示根据本公开的示例实施例的附图，以获得对本公开、本公开的优点以及通过本公开的实施方式达到的目的的充分理解。然而，本公开可以以许多不同的形式来体现，并且不应被解释为限于本文中阐述的实施例。

将理解，尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种部件，但是这些部件不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个部件和另一部件。

如本文中使用的，除非上下文另外明确指示，否则单数形式的“一”和“该”旨在也包括复数形式。

将进一步理解，本文中使用的术语“包括”和/或“包含”指定所陈述的特征或部件的存在，但是不排除一个或多个其他特征或部件的存在或添加。

将理解，当层、区或部件被称为“形成在”另一层、区或部件“上”时，该层、区或部件可以直接或间接地形成在另一层、区或部件上。即，例如，可以存在中间层、区或部件。

为了便于说明，附图中的部件的尺寸可能被夸大。换句话说，因为附图中的部件的尺寸和厚度为了便于说明而任意地被图示，所以下面的实施例不限于此。

根据一些示例，诸如“A和/或B”的表述指示A、B或者A和B。此外，诸如“A和B中的至少一个”的表述指示A、B或者A和B。

在以下描述的示例实施例中，线“在第一方向或第二方向上”延伸的描述包括线以直线延伸，并且包括线沿第一方向或第二方向以之字形形状或曲线延伸。

在以下描述的实施例中，当部件被称为“在平面上”时，应理解从顶部观看部件，并且当部件被称为“在截面上”时，应理解部件被垂直切割并且从侧面被观看。在以下实施例中，当部件彼此“重叠”时，部件在“平面上”和“在截面上”重叠。

在下文中，将参考附图更详细地描述本公开的一些示例实施例的方面，并且附图中的相同的附图标记指代相同的参考元件。

图1是根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备的示意性透视图，并且图2是根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备的一部分的示意性透视图。

参考图1和图2，用于制造显示装置的设备100可以包括支撑件110、机架120、移动单元130、液滴排放器140、检测器150、容纳单元160以及控制器180。

支撑件110可包括平台111、引导构件112、基板移动构件113和基板旋转构件114。平台111可以包括用于对准显示基板S的对准标记。

显示基板S可以是由制造中的显示装置使用的基板。显示基板S可以包括玻璃或聚合物树脂，聚合物树脂诸如聚醚砜、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、聚碳酸酯(PC)、三醋酸纤维素(TAC)或乙酸丙酸纤维素。

引导构件112可以在平台111的两侧上彼此间隔开，而基板移动构件113在引导构件112之间。引导构件112的长度可以大于显示基板S的边缘的长度。在这种情况下，引导构件112的长度和显示基板S的边缘的长度可以在图1的X方向上测量。

根据一些示例实施例，机架120可以位于引导构件112上。根据一些示例实施例，引导构件112可以包括特定轨道以使机架120能够在引导构件112的长度方向上线性移动。例如，引导构件112可以包括线性运动轨道。

基板移动构件113可以被布置在平台111上。基板移动构件113可以在引导构件112的长度方向上延伸。例如，参考图1，基板移动构件113可以在X方向上延伸。此外，基板移动构件113可以包括导轨，以使基板旋转构件114能够线性移动。例如，基板移动构件113可以包括线性运动轨道。

基板旋转构件114可以被布置成在基板移动构件113上旋转。当基板旋转构件114旋转时，被布置在基板旋转构件114上的显示基板S可以旋转。根据一些示例实施例，基板旋转构件114可以绕与显示基板S位于其上的平台111的一个表面垂直的旋转轴旋转。当基板旋转构件114绕与显示基板S布置在其上的平台111的一个表面垂直的旋转轴旋转时，被布置在基板旋转构件114上的显示基板S也可以绕与显示基板S位于其上的平台111的表面垂直的旋转轴旋转。在这种情况下，在显示基板S被布置在基板旋转构件114上之后，基板旋转构件114可以固定显示基板S。例如，基板旋转构件114可以包括真空吸盘、静电吸盘和粘合吸盘中的一种。

机架120可以被布置在引导构件112上。即，机架120可以被布置在彼此间隔开的引导构件112上而基板移动构件113在引导构件112之间。

机架120可以在引导构件112的长度方向上移动。根据一些示例实施例，机架120可以以手动方式或通过进一步包括马达、气缸等以自动方式线性移动。例如，由于机架120的沿着线性运动轨道移动的线性运动块，机架120可以自动地线性移动。

移动单元130可以在机架120上线性移动。例如，机架120可以包括特定轨道以使移动单元130能够线性移动。在这种情况下，液滴排放器140可以被布置在移动单元130上并且在移动单元130移动时与移动单元130一起移动。

移动单元130和液滴排放器140可以以各种方式布置。例如，移动单元130和液滴排放器140可以各自被提供为单个。在这种情况下，液滴排放器140可以包括一个头和被布置在头上并排放液滴DR的至少一个喷嘴。

根据一些示例实施例，液滴排放器140可以被提供为多个，并且移动单元130可以被提供为单个。在这种情况下，液滴排放器140可以位于单个移动单元130上，并且可以根据移动单元130的移动而同时移动。在这种情况下，液滴排放器140可以包括包含至少一个喷嘴的至少一个头。

根据一些示例实施例，移动单元130和液滴排放器140可以各自被提供为多个。在这种情况下，一个液滴排放器140或一些液滴排放器140可以位于一个移动单元130上，并且液滴排放器140中的其他液滴排放器140可以位于另一移动单元130上。

在下文中，为了方便起见，将主要描述一个液滴排放器140位于一个移动单元130上的情况。

移动单元130可以包括多个移动单元。在这种情况下，移动单元130的数量可以与液滴排放器140的数量相对应。例如，移动单元130可以包括第一移动单元131、第二移动单元132和第三移动单元133。

第一移动单元131和第二移动单元132可以彼此分开，并且第二移动单元132和第三移动单元133可以彼此分开。第一移动单元131与第二移动单元132之间的间隙可以和第二移动单元132与第三移动单元133之间的间隙相同。根据一些示例实施例，第一移动单元131与第二移动单元132之间的间隙可以不同于第二移动单元132与第三移动单元133之间的间隙。在以上情况下，第一移动单元131至第三移动单元133可以单独地移动。

移动单元130可以在机架120上线性移动。例如，移动单元130可以在机架120的长度方向上移动。例如，第一移动单元131至第三移动单元133中的至少一个可以在+Y方向或-Y方向上移动。

根据一些示例实施例，移动单元130可以以手动方式线性移动。根据一些示例实施例，移动单元130可以通过包括马达、气缸等以自动方式线性移动。例如，移动单元130可以包括沿着线性运动轨道移动的线性运动块。

液滴排放器140可以位于移动单元130上。例如，第一液滴排放器141可以位于第一移动单元131上。作为另一示例，第二液滴排放器142可以位于第二移动单元132上。作为另一示例，第三液滴排放器143可以位于第三移动单元133上。

液滴排放器140可以将液滴DR排放到显示基板S或容纳单元160。在这种情况下，液滴DR可以是液晶、对准液或者在其中颜料与溶剂混合的红色、绿色和蓝色墨水。根据一些示例实施例，液滴DR可以是与有机发光显示装置的发射层相对应的高分子量有机材料或低分子量有机材料。根据一些示例实施例，液滴DR可以包括包含诸如量子点的无机颗粒的溶液。

由第一液滴排放器141至第三液滴排放器143分别提供的液滴DR的量可以被调节。在这种情况下，第一液滴排放器141至第三液滴排放器143可以分别电连接到控制器180。因此，从第一液滴排放器141至第三液滴排放器143排放的液滴DR的量可以由控制器180分别调节。在上述情况下，第一液滴排放器141至第三液滴排放器143中的至少一个可以包括排放一种液滴DR的至少一个喷嘴。在这种情况下，当存在多个喷嘴时，至少一个喷嘴可以将液滴DR提供到下面参考图18描述的开口19OP中。例如，一个喷嘴可以将液滴DR提供在一个开口19OP中。根据一些示例实施例，至少两个喷嘴可以将液滴DR提供在一个开口19OP中。

检测器150可以检测并测量从液滴排放器140排放的液滴DR的形状。例如，检测器150可以检测并测量从液滴排放器140排放的液滴DR的外表面的局部形状，或者检测并测量从液滴排放器140排放的液滴DR的截面的局部形状。检测器150可以被提供为多个。例如，检测器150可以包括第一检测器151和第二检测器152。第一检测器151和第二检测器152可以彼此平行并且在X方向上彼此间隔开。

检测器150可以具有各种类型。例如，检测器150可以包括共焦显微镜、干涉显微镜或彩色共焦线传感器。在这种情况下，共焦显微镜可以用于获得对象的具有不同深度的二维图像，并且基于二维图像重建三维结构。共焦显微镜的示例可以包括彩色共焦显微镜和彩色线共焦显微镜等。干涉显微镜可以用于检查精细结构不规则性的变化和相变等并且测量固定量。干涉显微镜的示例可以包括激光干涉显微镜和白光干涉显微镜等。在下文中，为了方便起见，将主要描述检测器150包括彩色线共焦显微镜的情况。

第一检测器151可以被提供为多个，并且因此检测多个液滴DR。根据一些示例实施例，第一检测器151可以被提供为多个，并且一个第一检测器151可以被布置成与一个液滴排放器140相对应，并且检测从一个液滴排放器140排放的液滴DR。根据一些示例实施例，第一检测器151可以被提供为多个，并且第一检测器151中的一些第一检测器151可以检测从液滴排放器140中的一些液滴排放器140排放的至少一个液滴DR，并且第一检测器151中的其他第一检测器151可以检测从液滴排放器140中的其他液滴排放器140排放的至少一个液滴DR。

此外，第二检测器152可以被提供为单个，并且一次检测多个液滴DR。根据一些示例实施例，第二检测器152可以被提供为多个，并且一个第二检测器152可以被布置成与一个液滴排放器140相对应，并且检测从一个液滴排放器140排放的液滴DR。根据一些示例实施例，第二检测器152可以被提供为多个，并且第二检测器152中的一些第二检测器152可以检测从液滴排放器140中的一些液滴排放器140排放的至少一个液滴DR，并且第二检测器152中的其他第二检测器152可以检测从液滴排放器140中的其他液滴排放器140排放的至少一个液滴DR。

容纳单元160可以位于引导构件112之间。在这种情况下，当从液滴排放器140下落的液滴DR被测量时，容纳单元160可以临时存储液滴DR。容纳单元160可以位于平台111上。根据一些示例实施例，容纳单元160可以位于平台111的下表面上。在这种情况下，可以在平台111的、容纳单元160位于其上的部分中形成孔。

控制器180可以基于检测器150的测量结果来计算液滴DR的三维形状、液滴DR的下落速度、液滴DR的下落路径和液滴DR的排放角度中的至少一个。此外，控制器180可以完全控制用于制造显示装置的设备100。

以上用于制造显示装置的设备100可以将液滴DR提供到显示基板S，并且在显示基板S上形成有机层。在这种情况下，需要将从设备100排放的液滴DR准确地排放到显示基板S上。为此，在将每个液滴排放器140对应于容纳单元160布置之后将液滴DR排放到容纳单元160时，可以通过第一检测器151和第二检测器152检测液滴DR。根据一些示例实施例，每个液滴排放器140可以将液滴DR排放到显示基板S，并且第一检测器151和第二检测器152可以检测液滴DR。根据一些示例实施例，可以将液滴DR从液滴排放器140提供到测试基板，该测试基板具有与显示基板S相同的形状并且位于支撑板上，该支撑板单独位于基板旋转构件114或容纳单元160所位于的部分上，并且液滴DR也可以由第一检测器151和第二检测器152检测。然而，为了方便起见，将主要描述液滴排放器140将液滴DR排放到容纳单元160并且第一检测器151和第二检测器152可以检测液滴DR的情况。

第一检测器151和第二检测器152可以检测从液滴排放器140向容纳单元160排放的液滴DR。第一检测器151和第二检测器152可以位于从液滴排放器140下落的液滴DR的下落路径中。此外，第一检测器151和第二检测器152可以相对于液滴DR的下落路径而被设置为彼此相对。例如，第一检测器151和第二检测器152可以在X方向上彼此分开。

第一检测器151和第二检测器152可以检测被排放的液滴DR的外表面的局部形状。例如，检测器150可以将激光照射到液滴DR的外表面的形状当中与图2的Y-Z平面平行的第一平面SF1上并且检测从液滴DR反射的激光。

例如，从液滴排放器140下落的液滴DR的位置可以根据时间而变化。例如，在液滴DR从液滴排放器140下落之后经过第一时间点时，位于第一位置PO1处的液滴DR由于液滴排放器140的喷嘴的吸引可以具有长尾巴。此外，在液滴DR从液滴排放器140下落之后恰好经过第二时间点时，位于第二位置PO2处的液滴DR可以比位于第一位置PO1处的液滴DR具有更短的尾巴。在液滴DR从液滴排放器140下落之后恰好经过第三时间点时，位于第三位置PO3处的液滴DR可以比位于第二位置PO2处的液滴DR具有更短的尾巴。因此，液滴DR的形状可以几乎是球形。

如以上描述的，第一检测器151和第二检测器152可以在第一时间点、第二时间点和第三时间点检测液滴DR。在这种情况下，液滴DR从液滴排放器140开始下落的时间与第一时间点之间的间隔、第一时间点与第二时间点之间的间隔以及第二时间点与第三时间点之间的间隔可以彼此相同。即，第一检测器151和第二检测器152可以通过以特定的时间间隔检测液滴DR来根据时间检测下落的液滴DR的位置。图2示出了第一检测器151和第二检测器152可以从第一时间点至第三时间点检测液滴DR，但是一个或多个实施例不限于此。第一检测器151和第二检测器152可以在多个时间点检测液滴DR。例如，第一检测器151和第二检测器152可以从第一时间点至第十时间点检测液滴DR、从第一时间点至第二十时间点检测液滴DR、或者从第一时间点至第N时间点检测液滴DR(其中，N是自然数)。

如以上描述的，控制器180可以基于液滴DR的外表面的局部形状来计算液滴DR的三维形状。在这种情况下，控制器180可以基于液滴DR的三维形状来计算液滴DR的体积。此外，控制器180可以基于由第一检测器151和第二检测器152根据每个时间点检测的液滴DR的位置，来计算液滴DR的下落路径。控制器180可以通过将液滴DR的下落路径连接到液滴DR被排放的初始点并且通过计算由液滴排放器140的喷嘴的长度方向和下落路径形成的角度，来计算液滴DR的排放角度。控制器180可以基于每次的液滴DR的位置来计算液滴DR的排放速度。

控制器180可以基于液滴DR的体积、下落路径、排放角度和排放速度中的至少一个，来控制液滴排放器140和移动单元130中的至少一个。

例如，控制器180可以控制从液滴排放器140排放的液滴DR的量或排放速度。此外，控制器180可以通过使用移动单元130来改变液滴排放器140的位置并且通过调节液滴DR的排放角度和下落路径，使液滴DR能够位于期望的位置。根据一些示例实施例，控制器180可以根据液滴DR的排放角度或下落路径来清洁液滴排放器140，或者控制显示基板S的移动速度或液滴排放器140的移动速度。以下将更详细地描述以上描述的控制方法。

在下文中，将更详细地描述测量液滴DR的下落路径、下落速度、排放角度和体积的方法。

图3是图2的第一位置PO1处的液滴DR的局部形状的示意性平面图，并且图4是使用图3的液滴DR的局部形状计算的液滴的三维形状的示意性透视图。

参考图3和图4，在从液滴排放器140排放液滴DR之后经过第一时间点时液滴DR位于第一位置PO1的情况下，第一检测器151和第二检测器152可以检测位于第一位置PO1处的液滴DR的第一平面SF1的一部分。在这种情况下，由于根据激光束的颜色从第一检测器151和第二检测器152发射的激光束的范围不同，所以第一检测器151和第二检测器152可以分别检测从液滴DR反射并返回到第一检测器151和第二检测器152的激光束的波长，并且可以检测从第一检测器151和第二检测器152到液滴DR的外表面的距离。在这种情况下，第一检测器151和第二检测器152可以被布置在与液滴DR的下落路径垂直的方向上。即，第一检测器151和第二检测器152可以位于液滴DR的下落路径的侧面(例如，图3的X方向)。此外，第一检测器151和第二检测器152可以相对于液滴DR的下落路径被布置在相对侧。例如，当第一检测器151相对于液滴DR的下落路径被布置在+X方向上时，第二检测器152可以被布置在-X方向上。

如图3中所示，第一检测器151和第二检测器152可以检测液滴DR的下落路径，或者可以检测液滴DR的位于与液滴DR的下落路径平行的第一平面SF1上的外表面的一部分。更详细地，第一检测器151可以检测液滴DR的位于第一平面SF1上的外表面DR_1a的一部分，并且第二检测器152可以检测液滴DR的位于第一平面SF1上的外表面DR_1b的一部分。

由第一检测器151检测的液滴DR的外表面DR_1a和由第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_1b可以相对于中心线CL彼此对称。根据一些示例实施例，由第一检测器151检测的液滴DR的外表面DR_1a的形状和由第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_1b的形状可以相对于中心线CL彼此不同。在这种情况下，中心线CL可以是平行于与液滴DR被排放到的显示基板S的一个表面垂直的直线的任意线，可以是与液滴DR的下落路径相同或平行的直线，或者可以是通过连接由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的外表面的部分的两端而形成的直线。例如，中心线CL可以是在Z轴方向上或平行于Z轴方向的任意直线。

当通过第一检测器151检测液滴DR的外表面的形状并且该形状等于或大于特定角度时，该形状可能不再被检测到。例如，当第一检测器151垂直于液滴DR的外表面的形状的情况是0度时，当由第一检测器151和液滴DR的外表面的形状形成的角度等于或大于75度或85度时，液滴DR的外表面的形状可能不被检测到。

此外，在通过使用第二检测器152检测液滴DR的外表面的形状的情况下，当液滴DR的外表面的形状具有等于或大于特定范围的角度时，液滴DR的外表面的形状可能不被检测到。例如，当第二检测器152垂直于液滴DR的外表面的形状的情况是0度时，当由第二检测器152和液滴DR的外表面的形状形成的角度等于或大于75度或85度时，液滴DR的外表面的形状可能不被检测到。

因此，根据一些示例实施例的设备100的控制器180可以通过连接除由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_1a和DR_1b的局部形状以外的部分，来计算液滴DR的外表面。例如，控制器180可以通过相对于中心线CL将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分彼此连接，来计算液滴DR的外表面的形状。在这种情况下，将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分以直线或通过计算液滴DR的中心以曲线彼此连接。

控制器180可以通过使用计算出的液滴DR的形状来计算液滴DR的三维形状。例如，控制器180可以通过相对于中心线CL旋转计算出的液滴DR的外表面，来计算液滴DR的三维形状。控制器180可以存储以上描述的液滴DR的三维形状。在这种情况下，控制器180可以计算液滴DR的第一中心CE1。在这种情况下，第一中心CE1可以是液滴DR的三维形状的重心或三维形状的几何中心等。

如以上描述的，控制器180可以计算液滴DR在图2的X轴、Y轴和Z轴上相对于图2的X轴、Y轴和Z轴在其处交叉的虚拟点的位置。例如，控制器180可以将液滴DR从其下落的液滴排放器140的喷嘴的末端的中心设置为参考点，并且可以将该中心与计算出的液滴DR的第一中心CE1进行比较，从而识别液滴DR的第一中心CE1从参考点在X轴、Y轴和Z轴方向上移动了多少。在这种情况下，控制器180可以计算在Y轴方向上从参考点到液滴DR的第一中心CE1的距离。此外，在基于第一检测器151和第二检测器152的检测结果计算液滴DR的第一中心CE1之后，控制器180可以计算在X轴方向上从参考点到液滴DR的第一中心CE1的距离。此外，控制器180可以计算在Z轴方向上计算出的液滴DR的第一中心CE1与参考点之间的距离。控制器180可以如以上描述的计算每个距离，并且然后可以计算并存储液滴DR的第一中心CE1相对于参考点的X、Y和Z坐标。

图5是图2的第二位置PO2处的液滴的局部形状的示意性平面图，并且图6是使用图5的液滴的局部形状计算的液滴的3D形状的示意性透视图。

参考图5和图6，当在液滴DR被排放之后第二时间点到来时，液滴DR可以从第一位置PO1进一步下落并且可以位于第二位置PO2处。第一检测器151和第二检测器152可以检测位于第二位置PO2处的液滴DR。在这种情况下，第一检测器151和第二检测器152检测液滴DR的方法可以与以上描述的相同。在这种情况下，由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的一些表面在其上形成的第一平面SF1可以是与图3和图4的第一平面SF1相同或平行的平面。

如图5中所示，第一检测器151和第二检测器152可以检测液滴DR的下落路径，或者可以检测液滴DR的位于与液滴DR的下落路径平行的第一平面SF1上的外表面的一部分。更详细地，第一检测器151可以检测液滴DR的位于第一平面SF1上的外表面DR_2a的一部分，并且第二检测器152可以检测液滴DR的位于第一平面SF1上的外表面DR_2b的一部分。

由第一检测器151检测的外表面DR_2a和由第二检测器152检测的外表面DR_2b可以相对于以上描述的中心线CL彼此对称。根据一些示例实施例，由第一检测器151检测的外表面DR_2a的形状和由第二检测器152检测的外表面DR_2b的形状可以相对于中心线CL彼此不同。

控制器180可以通过连接除由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_2a和DR_2b的局部形状以外的部分，来计算液滴DR的外表面。例如，控制器180可以通过相对于中心线CL将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分连接，来计算液滴DR的外表面的形状。在这种情况下，可以将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分以直线或通过计算液滴DR的中心以曲线连接。

控制器180可以通过使用计算出的液滴DR的外表面来计算液滴DR的3D形状。更详细地，控制器180可以通过相对于前述的中心线CL旋转计算出的液滴DR的外表面来计算液滴DR的3D形状。控制器180可以存储液滴DR的以上3D形状。在这种情况下，控制器180可以计算液滴DR的第二中心CE2。在这种情况下，第二中心CE2可以是液滴DR的3D形状的重心或3D形状的几何中心等。

控制器180可以将液滴DR从其下落的液滴排放器140的喷嘴的末端的中心设置为参考点，并且将该中心与计算出的液滴DR的第二中心CE2进行比较，从而识别液滴DR的第二中心CE2从参考点在X轴、Y轴和Z轴方向上移动了多少。在这种情况下，控制器180可以计算在Y轴方向上从参考点到第二中心CE2的距离。此外，在基于第一检测器151和第二检测器152的检测结果计算液滴DR的第二中心CE2之后，控制器180可以计算在X轴方向上液滴DR的第二中心CE2与参考点之间的距离。此外，控制器180可以计算在Z轴方向上液滴DR的第二中心CE2与参考点之间的距离。控制器180可以如以上描述的计算每个距离，并且可以计算并存储液滴DR的第二中心CE2相对于参考点的X、Y和Z坐标。

图7是图2的第三位置处的液滴的局部形状的示意性平面图，图8是通过图7的液滴的局部形状计算出的液滴的3D形状的示意性透视图，并且图9是从图2的液滴排放器排放的液滴的下落路径和显示基板的液滴在其上滴落的点的示意性透视图。

参考图7和图8，当在液滴DR被排放之后第三时间点到来时，液滴DR可以从第二位置PO2进一步下落并且可以位于第三位置PO3处。第一检测器151和第二检测器152可以检测位于第三位置PO3处的液滴DR。在这种情况下，第一检测器151和第二检测器152检测液滴DR的方法可以与以上描述的相同。在这种情况下，由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的一些表面在其上形成的第一平面SF1可以与图3和图4中所示的第一平面SF1相同或与其平行。

如图7中所示，第一检测器151和第二检测器152可以检测液滴DR的下落路径，或者可以检测液滴DR的位于与液滴DR的下落路径平行的第一平面SF1上的外表面的一部分。更详细地，第一检测器151可以检测液滴DR的位于第一平面SF1上的外表面DR_3a的一部分，并且第二检测器152可以检测液滴DR的位于第一平面SF1上的外表面DR_3b的一部分。

由第一检测器151检测的外表面DR_3a和由第二检测器152检测的外表面DR_3b可以相对于以上描述的中心线CL彼此对称。根据一些示例实施例，由第一检测器151检测的外表面DR_3a的形状和由第二检测器152检测的外表面DR_3b的形状可以相对于以上描述的中心线CL彼此不同。

控制器180可以通过连接除由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_3a和DR_3b的局部形状以外的部分，来计算液滴DR的外表面。例如，控制器180可以通过相对于中心线CL将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分连接，来计算液滴DR的外表面。在这种情况下，可以将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分以直线或通过计算液滴DR的中心以曲线连接。

控制器180可以通过使用计算出的液滴DR的外表面来计算液滴DR的3D形状。更详细地，控制器180可以通过相对于前述中心线CL旋转计算出的液滴DR的外表面来计算液滴DR的3D形状。控制器180可以存储以上液滴DR的3D形状。在这种情况下，控制器180可以计算液滴DR的第三中心CE3。在这种情况下，第三中心CE3可以是液滴DR的3D形状的重心或3D形状的几何中心等。在这种情况下，在第三位置PO3处的液滴DR的3D形状可以与球形相同或相似。

如以上描述的，控制器180可以将液滴DR从其下落的液滴排放器140的喷嘴的末端的中心设置为参考点，并且将该中心与计算出的液滴DR的第三中心CE3进行比较，从而识别液滴DR的第三中心CE3从参考点在X轴、Y轴和Z轴方向上移动了多少。在这种情况下，控制器180可以计算在Y轴方向上从参考点到第三中心CE3的距离。此外，在基于第一检测器151和第二检测器152的检测结果计算液滴DR的第三中心CE3之后，控制器180可以计算在X轴方向上液滴DR的第三中心CE3与参考点之间的距离。此外，控制器180可以计算在Z轴方向上液滴DR的第三中心CE3与参考点之间的距离。如以上描述，控制器180可以计算每个距离，并且可以计算并存储液滴DR的第三中心CE3相对于参考点的X、Y和Z坐标。

如以上描述的，控制器180可以计算在第一位置PO1、第二位置PO2和第三位置PO3处的液滴DR的3D形状，并且可以通过使用计算出的3D形状来计算在各个位置处的液滴DR的体积。例如，控制器180可以通过计算在每个位置处的液滴DR的体积来计算在每个位置处的液滴DR的3D形状的体积。在这种情况下，在计算出的体积当中的最大的体积可以是从液滴排放器140排放的液滴DR的体积。

在图2至图8的实施例中，为了方便起见，计算在第一位置PO1至第三位置PO3处的液滴DR的体积，并且计算从液滴排放器140排放的液滴DR的体积。然而，一个或多个实施例不限于此。通过使用第一检测器151和第二检测器152在多个位置处检测液滴DR，并且在每个位置处计算液滴DR的体积。因此，可以计算从液滴排放器140排放的液滴DR的体积。

根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备100可以通过使用第一检测器151和第二检测器152来检测液滴DR，并且因此，可以准确并且精确地检测从液滴排放器140排放的液滴DR。

此外，经由通过连接液滴DR的外表面的检测器151和152未检测的形状来计算液滴DR的外表面，可以准确地测量或计算液滴DR的形状、体积、排放角度和排放速度等。

控制器180可以基于液滴DR从每个位置移动到另一位置的时间点以及移动位置之间的距离，来计算液滴DR的下落速度。即，控制器180可以基于在Z轴方向上的从液滴排放器140的喷嘴的末端到第一位置PO1的距离以及移动这样的距离所花费的时间，来计算液滴DR的下落速度。此外，控制器180可以基于在Z轴方向上的第一位置PO1与第二位置PO2之间的距离以及液滴DR从第一位置PO1下落到第二位置PO2所花费的时间，来计算液滴DR的下落速度。此外，控制器180可以基于第二位置PO2与第三位置PO3之间的距离以及液滴DR从第二位置PO2下落到第三位置PO3所花费的时间，来计算液滴DR的下落速度。可以通过对计算出的下落速度的算术平均值进行计算来计算液滴DR的平均下落速度。

控制器180可以通过经由在各个位置处的液滴DR的中心之间的连接创建虚拟直线并且将这样的直线连接到液滴排放器140的液滴DR被排放的点，来计算液滴DR的下落速度。此外，控制器180可以通过将由中心线CL和液滴DR的下落路径形成的角度确定为液滴DR的排放角度并且计算该角度，来计算液滴DR的排放角度。根据一些示例实施例，控制器180可以将由液滴DR的下落路径和与液滴DR从其排放的液滴排放器140的喷嘴的末端垂直的任意直线所形成的角度确定为液滴DR的排放角度。

如以上描述的，控制器180可以计算在X轴、Y轴和Z轴方向中的每个方向上的液滴排放器140的液滴DR的排放角度和下落路径。例如，如以上描述的，控制器180可以基于液滴DR的第一中心CE1、第二中心CE2和第三中心CE3中的每个的位置，来计算在X轴或Y轴方向上的液滴DR从液滴排放器140的喷嘴的末端排放的角度。具体地，如以上描述的，控制器180可以通过连接液滴DR相对于参考点的X坐标和Y坐标来计算液滴DR的排放角度和液滴DR的下落路径。

通过以上过程，控制器180可以计算液滴DR的3D形状、体积、下落速度、下落路径和排放角度中的至少一个。

然后，如以上描述的，控制器180可以基于以上的描述准确地控制液滴排放器140。

当通过喷嘴将液滴DR提供到参考图18描述的像素限定层19的开口19OP时，控制器180可以将所测量的液滴DR的体积与预先设定的体积进行比较。当确定所测量的液滴DR的体积小于预先设定的体积时，控制器180可以控制液滴排放器140，以使与现有量相比能够增加从液滴排放器140排放的液滴DR的量。相反，当确定所测量的液滴DR的体积大于预先设定的体积时，控制器180可以控制液滴排放器140，以使与现有量相比能够减少从液滴排放器140排放的液滴DR的量。此外，当所测量的液滴DR的体积等于预先设定的体积时，控制器180可以控制液滴排放器140维持当前状态。在这种情况下，当预先设定的体积是要提供到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的总量时，可以根据所测量的液滴DR的量来调节从液滴排放器140排放液滴DR所花费的时间。

相反，当通过至少两个喷嘴将液滴DR提供到像素限定层19的开口19OP时，控制器180可以计算从每个喷嘴排放的液滴DR的体积。在这种情况下，控制器180可以控制通过该至少两个喷嘴中的至少一个喷嘴提供的液滴DR，使得液滴DR的体积与要提供到像素限定层19的开口19OP的液滴DR的总量(例如，设定的或预定的总量)相对应。例如，控制器180可以控制从该至少两个喷嘴中的一个喷嘴排放的液滴DR的体积，以使该体积与液滴DR的总量(例如，设定的或预定的总量)相对应，并且可以控制其他喷嘴停止工作。根据一些示例实施例，控制器180可以分别控制从至少两个喷嘴提供的液滴DR的体积，以使该体积与液滴DR的总量(例如，设定的或预定的总量)相对应。根据一些示例实施例，可以驱动至少三个喷嘴中的一些喷嘴以及至少三个喷嘴中的其他喷嘴，以使从该至少三个喷嘴提供的体积与液滴DR的总量(例如，设定的或预定的总量)相对应。例如，当三个喷嘴将液滴DR提供到像素限定层19的一个开口19OP时，并且当要提供到像素限定层19的开口19OP的液滴DR的总量(例如，设定的或预定的总量)是20mm³，从三个喷嘴中的一个喷嘴排放的液滴DR的量是9mm³，从三个喷嘴中的另一喷嘴排放的液滴DR的量是10mm³，并且从三个喷嘴中的其他喷嘴排放的液滴DR的量是11mm³时，三个喷嘴中的该一个和该另一喷嘴可以被驱动，并且该其他喷嘴可以不被驱动。可以将液滴DR的量(例如，设定的量或预定的量)准确地提供到像素限定层19的每个开口19OP。根据一些示例实施例，当使用多个喷嘴时，通过不同地控制从各个喷嘴排放液滴DR所花费的时间，可以使要提供到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的总量与一值(例如，设定的值或预定的值)相匹配。

控制器180可以将计算出的液滴DR的下落速度(或平均下落速度)与下落速度(例如，设定的或预定的下落速度)进行比较。在这种情况下，控制器180可以根据以上下落速度来控制显示基板S或液滴排放器140的移动速度。例如，在液滴排放器140将液滴DR排放到显示基板S的情况下，当计算出的液滴的下落速度(或平均下落速度)小于下落速度(例如，设定的或预定的下落速度)时，控制器180可以控制显示基板S或液滴排放器140的移动速度快于移动速度(例如，设定的或预定的移动速度)。相反，在液滴排放器140将液滴DR排放到显示基板S的情况下，当计算出的液滴的下落速度(或平均下落速度)大于下落速度(例如，设定的或预定的下落速度)时，控制器180可以控制显示基板S或液滴排放器140的移动速度慢于移动速度(例如，设定的或预定的移动速度)。因此，通过以上过程，可以将液滴排放到准确的位置处。

参考图9，当液滴DR被排放到显示基板S并且被提供到像素限定层19的开口19OP时，显示基板S或液滴排放器140可以被移动。在这种情况下，控制器180可以如以上描述的将液滴DR的下落路径与下落路径(例如，设定的或预定的下落路径)进行比较，并且可以控制显示基板S或液滴排放器140的移动。

例如，控制器180可以将液滴DR的下落路径与下落路径(例如，设定的或预定的下落路径)进行比较。在这种情况下，控制器180可以计算在液滴DR的下落路径中的在显示基板S或液滴排放器140的移动方向上的下落路径。根据以上下落路径，控制器180可以计算显示基板S的在其上提供液滴DR的点。具体地，控制器180可以确定当液滴DR穿过点(例如，设定的或预定的点)D₀时，计算出的显示基板S的在其上提供液滴DR的点是否在与显示基板S或液滴排放器140的移动方向(例如，Y轴方向)平行的任意直线上。

当确定计算出的液滴DR的点在任意直线上时，控制器180可以将计算出的液滴DR的点与点(例如，设定的点或预定的点)D₀进行比较。例如，当计算出的液滴DR的点是第一点D₁时，控制器180可以使显示基板S或液滴排放器140的移动速度小于移动速度(例如，设定的或预定的移动速度)。相反，当计算出的液滴DR的点是第二点D₂时，控制器180可以使显示基板S或液滴排放器140的移动速度大于移动速度(例如，设定的或预定的移动速度)。

当确定计算出的液滴DR的点不在任意直线上时，控制器180可以清洁液滴排放器140。例如，当计算出的液滴DR的点是第三点D₃或第四点D₄时，控制器180可以清洁液滴排放器140。根据一些示例实施例，控制器180可以通过控制移动单元130来调节液滴排放器140的位置，以使计算出的液滴DR的点能够在任意直线上。

控制器180可以将计算出的液滴DR的排放角度与排放角度(例如，设定的或预定的排放角度)进行比较。在这种情况下，控制器180可以计算在X轴和Y轴方向中的每个方向上的液滴DR的排放角度。如以上描述的，当计算出的液滴DR的排放角度是在X轴方向上而不是在显示基板S或液滴排放器140的移动方向上时，控制器180可以清洁液滴排放器140。根据一些示例实施例，可以通过刷子或使用清洁溶液来清洁液滴排放器140。

当计算出的液滴DR的排放角度不在X轴方向上而是在显示基板S或液滴排放器140的移动方向上时，控制器180可以将在作为显示基板S或液滴排放器140的移动方向的Y轴方向上计算出的液滴DR的排放角度与排放角度(例如，设定的或预定的排放角度)进行比较。在这种情况下，当计算出的液滴DR的排放角度是第一排放角度θ₁时，控制器180可以控制显示基板S或液滴排放器140的移动速度小于移动速度(例如，设定的或预定的移动速度)。相反，当计算出的液滴DR的排放角度是第二排放角度θ₂时，控制器180可以控制显示基板S或液滴排放器140的移动速度大于移动速度(例如，设定的或预定的移动速度)。因此，在以上控制下，可以根据液滴DR的排放角度将液滴DR提供在显示基板S的准确位置处。

以上控制可以单独地或共同地执行。即，当液滴DR的3D形状、体积、下落速度、下落路径和排放角度中的至少两个与设定的或预定的值不同时，控制器180可以共同地控制用于制造显示装置的设备100的每个部件，并且因此可以能够将液滴DR准确地提供到显示基板S。

图10是根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备的一部分的示意性透视图，图11是位于图10的第一时间点的液滴的局部形状的示意性平面图，图12是位于图10的第二时间点的液滴的局部形状的示意性平面图，并且图13是位于图10的第三时间点的液滴的局部形状的示意性平面图。

参考图10至图13，第一检测器151和第二检测器152可以通过使用被照射到与液滴DR的下落路径垂直的任意第二平面SF2上并从其反射的激光来检测液滴DR的平面形状的一部分。在这种情况下，基于第一检测器151和第二检测器152的检测结果，当液滴DR穿过与液滴DR的下落路径垂直的任意第二平面SF2时，控制器180可以计算在其中第二平面SF2与液滴DR重叠的形状。在这种情况下，第二平面SF2可以平行于X-Y平面。

例如，从液滴排放器140下落的液滴DR的位置可以根据时间而变化。例如，当在液滴DR从液滴排放器140下落之后经过第一时间点T₁时，由于液滴排放器140的喷嘴的吸引，液滴DR可以具有长尾巴。此外，在液滴DR从液滴排放器140下落之后经过第二时间点T₂时，与第一时间点T₁的液滴DR相比，液滴DR可以具有更短的尾巴。当液滴DR从液滴排放器140下落之后恰好经过第三时间点T₃时，与第二时间点T₂的液滴DR相比，液滴DR可以具有更短的尾巴。因此，液滴DR的形状可以几乎是球形。

如以上描述的，第一检测器151和第二检测器152可以在第一时间点T₁、第二时间点T₂和第三时间点T₃检测液滴DR。在这种情况下，液滴DR从液滴排放器140开始下落的时间与第一时间点T₁之间的间隔、第一时间点T₁与第二时间点T₂之间的间隔以及第二时间点T₂与第三时间点T₃之间的间隔可以彼此相同。即，第一检测器151和第二检测器152可以以特定的时间间隔检测下落的液滴DR。图10至图13示出了第一检测器151和第二检测器152可以在第一时间点T₁至第三时间点T₃检测液滴DR，但是一个或多个实施例不限于此。第一检测器151和第二检测器152可以在多个时间点检测液滴DR。例如，第一检测器151和第二检测器152可以从第一时间点至第十时间点检测液滴DR，从第一时间点至第二十时间点检测液滴DR，或者从第一时间点至第N时间点检测液滴DR。

参考图10和图11，当在液滴DR被排放之后的第一时间点T₁到来时，第一检测器151和第二检测器152可以检测液滴DR的局部形状。更详细地，第一检测器151可以检测液滴DR的位于第二平面SF2上的外表面DR_1a的一部分，并且第二检测器152可以检测液滴DR的位于第二平面SF2上的外表面DR_1b的一部分。

由第一检测器151检测的液滴DR的外表面DR_1a和由第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_1b可以彼此对称。根据一些示例实施例，由第一检测器151检测的液滴DR的外表面DR_1a的形状和由第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_1b的形状可以彼此不同。

如以上参考图3描述的，当液滴DR的外表面的形状的角度等于或大于特定程度时，液滴DR的外表面的形状可能不被检测到。因此，根据一些示例实施例的设备100的控制器180可以通过连接除由第一检测器151和第二检测器152检测的液滴DR的外表面DR_1a和DR_1b的局部形状以外的部分，来计算液滴DR的外表面。例如，控制器180可以通过将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分彼此连接，来计算液滴DR的外表面的形状。在这种情况下，将液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分以直线或相对于液滴DR的中心以曲线彼此连接。例如，液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分可以以曲线连接，并且因此，液滴DR的外表面的形状可以是圆形。

参考图10和图12，第一检测器151和第二检测器152可以在液滴DR被排放之后的第二时间点T₂检测液滴DR的外表面的局部形状。更详细地，第一检测器151可以检测液滴DR的位于第二平面SF2上的外表面DR_2a的一部分，并且第二检测器152可以检测液滴DR的位于第二平面SF2上的外表面DR_2b的一部分。

如以上描述的，控制器180可以通过连接液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分，来计算液滴DR的外表面的形状。在这种情况下，在第二时间点T₂的液滴DR的外表面的形状可以具有比在第一时间点T₁的液滴DR的外表面的形状更大的尺寸。

参考图10和图13，第一检测器151和第二检测器152可以在液滴DR被排放之后的第三时间点T₃检测液滴DR的外表面的局部形状。更详细地，第一检测器151可以检测液滴DR的位于第二平面SF2上的外表面DR_3a的一部分，并且第二检测器152可以检测液滴DR的位于第二平面SF2上的外表面DR_3b的一部分。

然后，如以上描述的，控制器180可以通过连接液滴DR的外表面的局部形状当中的未被第一检测器151和第二检测器152检测的部分，来计算液滴DR的外表面的形状。在这种情况下，在第三时间点T₃的液滴DR的外表面的形状可以具有比在第一时间点T₁或第二时间点T₂的液滴DR的外表面的形状更大的尺寸。

图14是根据一些示例实施例的通过使用用于制造显示装置的设备检测的液滴的平面形状的示意性透视图。

参考图10至图14，基于第一检测器151和第二检测器152的检测结果，控制器180可以根据液滴DR穿过与液滴DR的下落路径垂直的任意第二平面SF2时的时间，来计算液滴DR在第二平面SF2上的外表面的形状，并且可以通过将计算出的液滴DR的外表面重叠，来计算液滴DR的3D形状。

更详细地，第一检测器151和第二检测器152可以在第一时间点T₁检测液滴DR的外表面的局部形状，控制器180可以通过连接检测到的液滴DR的外表面的局部形状来计算在第一时间点T₁的液滴DR的第一外部形状DR-1。第一检测器151和第二检测器152可以在第二时间点T₂检测液滴DR的外表面的局部形状，控制器180可以通过连接检测到的液滴DR的外表面的局部形状来计算在第二时间点T₂的液滴DR的第二外部形状DR-2。第一检测器151和第二检测器152可以在第三时间点T₃检测液滴DR的外表面的局部形状，控制器180可以通过连接检测到的液滴DR的外表面的局部形状来计算在第三时间点T₃的液滴DR的第三外部形状DR-3。

如以上描述的，第一检测器151和第二检测器152可以在第N时间点检测液滴DR的外表面的局部形状，控制器180可以通过连接检测到的液滴DR的外表面的部分形状来计算在第N时间点的液滴DR的第N外部形状DR-N，其中N是自然数。在液滴DR被排放之后，随着时间的流逝，计算出的液滴DR的外表面的形状可以增大并且然后减小。

控制器180可以计算液滴DR的3D形状，因为如图14中所示，计算出的第一外部形状DR-1至第N外部形状DR-N在液滴DR排放的方向上堆叠并且彼此连接。控制器180可以通过使用计算出的3D形状来计算液滴DR的体积。

基于如以上描述地计算的液滴DR的体积，控制器180可以控制从液滴排放器140排放的液滴DR的量。可替代地，基于计算出的液滴DR的体积，控制器180可以确定必须驱动液滴排放器140的至少两个喷嘴当中的哪些喷嘴。此外，控制器180可以通过控制液滴排放器140的排放速度来控制提供到显示基板S的液滴DR的总量。

因此，用于制造显示装置的设备100可以调节提供到显示基板S的液滴DR。

图15是根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备的一部分的示意性透视图。图15的实施例与图2的实施例的不同之处在于，除了第一检测器151和第二检测器152以外，进一步包括第三检测器153至第六检测器156。因为在图2和图15中相同的附图标记指代相同的元件，所以已经提供的描述可以不再次被提供，并且将主要描述它们之间的差异。

参考图15，第一检测器151和第二检测器152可以彼此相对布置。第一检测器151和第二检测器152可以相对于液滴DR的下落路径在不同的方向上布置。即，第一检测器151和第二检测器152可以在与液滴DR下落的Z方向垂直的X方向上彼此分开。

第三检测器153和第五检测器155可以被对准成沿着液滴DR的下落路径与第一检测器151分开。即，第三检测器153和第五检测器155可以在液滴DR下落的Z方向上与第一检测器151分开。第四检测器154和第六检测器156可以被对准成沿着液滴DR的下落路径与第二检测器152分开。即，第四检测器154和第六检测器156可以在液滴DR下落的Z方向上与第二检测器152分开。例如，第四检测器154可以被布置在第三检测器153对面，并且第六检测器156可以被布置在第五检测器155对面。

第三检测器153和第四检测器154可以检测穿过同一区域的液滴DR，第一检测器151和第二检测器152可以检测穿过同一区域的液滴DR，并且第五检测器155和第六检测器156可以检测穿过同一区域的液滴DR。在这种情况下，由第三检测器153和第四检测器154检测的区域、由第一检测器151和第二检测器152检测的区域以及由第五检测器155和第六检测器156检测的区域可以彼此不同，或者可以是连续的或彼此分离的。

当如以上描述地布置第一检测器151至第六检测器156时，第一反射器171可以对应于第三检测器153被设置，第二反射器172可以对应于第四检测器154被设置，第三反射器173可以对应于第五检测器155被设置，并且第四反射器174可以对应于第六检测器156被设置。

第一反射器171至第四反射器174可以将从第三检测器153至第六检测器156发射的激光束分别引导到液滴DR的下落路径。例如，第一反射器171至第四反射器174可以是镜子类型。

根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备可以通过使用第一检测器151至第六检测器156来准确地且精确地检测从液滴排放器140排放的液滴DR。

图16是根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备的一部分的示意性透视图。图16的实施例与图15的实施例的不同之处在于除了第一检测器151至第六检测器156以外的第七检测器157、第八检测器158、第九检测器159和第十检测器161。因为在图15和图16中相同的附图标记指代相同的元件，所以已经提供的描述可以不再次被提供，并且将主要描述它们之间的差异。

参考图16，第七检测器157和第八检测器158可以被布置在从液滴排放器140下落的液滴DR的下落路径上，但是可以相对于液滴DR的下落路径在相反的方向上布置。第七检测器157和第八检测器158可以在与液滴DR下落的Z方向垂直的X方向上彼此间隔开。例如，第八检测器158可以被布置在第七检测器157对面。

第九检测器159和第十检测器161可以在从液滴排放器140下落的液滴DR的下落路径上，但是可以相对于液滴DR的下落路径在相反的方向上布置。第九检测器159和第十检测器161可以在与液滴DR下落的Z方向垂直的X方向上彼此间隔开。例如，第九检测器159可以被布置在第十检测器161对面。

第三检测器153和第四检测器154可以检测穿过同一区域的液滴DR，第七检测器157和第八检测器158可以检测穿过同一区域的液滴DR，并且第一检测器151和第二检测器152可以检测穿过同一区域的液滴DR。此外，第九检测器159和第十检测器161可以检测穿过同一区域的液滴DR，并且第五检测器155和第六检测器156可以检测穿过同一区域的液滴DR。在这种情况下，由第三检测器153和第四检测器154检测的区域、由第七检测器157和第八检测器158检测的区域、由第一检测器151和第二检测器152检测的区域、由第九检测器159和第十检测器161检测的区域以及由第五检测器155和第六检测器156检测的区域可以彼此不同，或者可以是连续的或彼此分离的。

当如以上描述地布置第七检测器157至第十检测器161时，第五反射器175可以对应于第七检测器157被设置，第六反射器176可以对应于第八检测器158被设置，第七反射器177可以对应于第九检测器159被设置，并且第八反射器178可以对应于第十检测器161被设置。

第五反射器175至第八反射器178可以将从第七检测器157至第十检测器161发射的激光束分别引导到液滴DR的下落路径。例如，第五反射器175至第八反射器178可以是镜子类型。

根据一些示例实施例的用于制造显示装置的设备可以通过使用第一检测器151至第十检测器161来准确地且精确地检测从液滴排放器140排放的液滴DR。

图17是根据一些示例实施例的通过使用制造显示装置的设备制造的显示装置的示意性平面图，并且图18是根据一些示例实施例的通过使用制造显示装置的设备制造的显示装置的示意性截面图。

参考图17和图18，显示装置1可以包括显示区域DA和在显示区域DA周围的非显示区域NDA。非显示区域NDA可以围绕显示区域DA。显示装置1可以通过使用由布置在显示区域DA中的多个像素PX发射的光来提供图像。在非显示区域NDA中，可以不显示图像。根据一些示例实施例，数据信号可以经由数据线DLn被提供给多个像素PX中的每个像素PX，并且扫描信号可以经由扫描线SL被提供给多个像素PX中的每个像素PX。

显示装置1可以包括显示基板S。显示基板S可以包括基板10、显示层DL的中间层以及不包括公共电极23的层。

显示层DL和薄膜封装层TFE可以位于基板10上。显示层DL可以包括像素电路层PCL和显示元件层DEL。

基板10可以包括玻璃或聚合物树脂，聚合物树脂例如聚醚砜、聚芳酯，聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、PC、TAC或乙酸丙酸纤维素。

阻挡层可以进一步位于显示层DL与基板10之间。阻挡层可以防止外部杂质的渗透，并且可以是包括诸如氮化硅(SiN_x，x＞0)或氧化硅(SiO_x，x＞0)的无机材料的一层或多层。

像素电路层PCL可以位于基板10上。像素电路层PCL可以包括薄膜晶体管TFT、位于薄膜晶体管TFT的元件之下和/或上的缓冲层11、第一绝缘层13a、第二绝缘层13b、第三绝缘层15以及平坦化层17。

缓冲层11可以包括诸如SiN_x、氧氮化硅(SiON)或SiO_x的无机绝缘材料，并且可以是包括以上无机绝缘材料的一层或多层。

薄膜晶体管TFT可以包括半导体层12，并且半导体层12可以包括多晶硅。可替代地，半导体层12可以包括非晶硅、氧化物半导体或有机半导体等。半导体层12可以包括沟道区12c以及位于沟道区12c的两侧的漏区12a和源区12b。栅电极14可以与沟道区12c重叠。

栅电极14可以包括低电阻金属材料。栅电极14可以包括包含钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)或钛(Ti)的导电材料，并且可以是包括以上材料的一层或多层。

半导体层12与栅电极14之间的第一绝缘层13a可以包括诸如SiO₂、SiN_x、SiON、氧化铝(Al₂O₃)、氧化钛(TiO₂)、氧化钽(Ta₂O₅)、氧化铪(HfO₂)或氧化锌(ZnO)的无机绝缘材料。

第二绝缘层13b可以覆盖栅电极14。类似于第一绝缘层13a，第二绝缘层13b可以包括SiO₂、SiN_x、SiON、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、HfO₂或ZnO。

在第二绝缘层13b上，存储电容器Cst的上电极Cst2可以被设置。上电极Cst2可以与在上电极Cst2之下的栅电极14重叠。在这种情况下，彼此重叠并且第二绝缘层13b位于其间的栅电极14和上电极Cst2可以形成存储电容器Cst。即，栅电极14可以用作存储电容器Cst的下电极Cst1。

如以上描述的，存储电容器Cst和薄膜晶体管TFT可以重叠。在一些实施例中，存储电容器Cst可以不与薄膜晶体管TFT重叠。

上电极Cst2可以包括铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、银(Ag)、镁(Mg)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、钙(Ca)、钼(Mo)、钛(Ti)、钨(W)和/或铜(Cu)，并且可以是包括以上材料的一层或多层。

第三绝缘层15可以覆盖上电极Cst2。第三绝缘层15可以包括SiO₂、SiN_x、SiON、Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、HfO₂或ZnO等。第三绝缘层15可以是包括上述无机绝缘材料的一层或多层。

漏电极16a和源电极16b可以各自位于第三绝缘层15上。漏电极16a和源电极16b可以包括具有良好导电性的材料。漏电极16a和源电极16b可以包括诸如Mo、Al、Cu和Ti的导电材料，并且可以是包括以上材料的一层或多层。根据一些示例实施例，漏电极16a和源电极16b可以具有Ti/Al/Ti的多层结构。

平坦化层17可以包括有机绝缘层。平坦化层17可以包括有机材料，例如，诸如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚苯乙烯(PS)的通用聚合物、具有苯酚类基团的聚合物衍生物、丙烯酸类聚合物、酰亚胺类聚合物、芳基醚类聚合物、酰胺类聚合物、氟类聚合物，对二甲苯类聚合物、乙烯基醇类聚合物及其共混物。

显示元件层DEL可以被设置在具有以上结构的像素电路层PCL上。显示元件层DEL可以包括有机发光二极管OLED，并且有机发光二极管OLED的像素电极21可以通过在平坦化层17中限定的接触孔电连接到薄膜晶体管TFT。

像素PX可以包括有机发光二极管OLED和薄膜晶体管TFT。每个像素PX可以从有机发光二极管OLED发射例如红光、绿光或蓝光，或者可以发射红光、绿光、蓝光或白光。

像素电极21可以包括诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟(In₂O₃)、氧化铟镓(IGO)或氧化铝锌(AZO)的导电氧化物。根据一些示例实施例，像素电极21可以包括反射层，该反射层包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr或其化合物。根据一些示例实施例，像素电极21可以进一步包括在以上反射层上/之下的包括ITO、IZO、ZnO或In₂O₃的层。

具有暴露像素电极21的中心部分的开口19OP的像素限定层19可以被设置像素电极21上。像素限定层19可以包括有机绝缘材料和/或无机绝缘材料。开口19OP可以限定从有机发光二极管OLED发射的光的发射区域(在下文中，被称为发射区域EA)。例如，开口19OP的宽度可以对应于发射区域EA的宽度。

发射层22可以位于像素限定层19的开口19OP中。发射层22可以包括发射特定颜色的光的高分子量有机材料或低分子量有机材料。根据一些示例实施例，发射层22可以包括量子点材料。发射层22可以随着用于制造显示装置的设备排放液滴而形成。

根据一些示例实施例，第一功能层和第二功能层可以位于发射层22上和之下。第一功能层可以包括例如空穴传输层(HTL)或者包括HTL和空穴注入层(HIL)。第二功能层是位于发射层22上的元件，并且根据一些示例实施例，可以省略。第二功能层可以包括电子传输层(ETL)和/或电子注入层(EIL)。当以下描述的公共电极23完全覆盖基板10时，第一功能层和/或第二功能层可以是完全覆盖基板10的公共层。

公共电极23可以包括具有低功函数的导电材料。例如，公共电极23可以包括包含Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca或其合金的透明(半透明)层。可替代地，公共电极23可以进一步包括在包括以上材料的透明(半透明)层上的包括ITO、IZO、ZnO或In₂O₃的层。

薄膜封装层TFE可以位于公共电极23上。根据一些示例实施例，薄膜封装层TFE包括至少一个无机封装层和至少一个有机封装层，并且根据一些示例实施例，图18示出了薄膜封装层TFE包括顺序堆叠的第一无机封装层31、有机封装层32和第二无机封装层33。

第一无机封装层31和第二无机封装层33可以包括选自由Al₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、HfO₂、ZnO、SiO₂、SiN_x或SiON组成的组中的至少一种无机材料。有机封装层32可以包括聚合物类材料。聚合物类材料可以包括丙烯酸类树脂、环氧类树脂、聚酰亚胺和聚乙烯等。根据一些示例实施例，有机封装层32可以包括丙烯酸酯。

根据一些示例实施例，薄膜封装层TFE可以具有在其中基板10和透明的上基板通过密封构件耦接的结构，并且因此，基板10与上基板之间的内部空间被密封。在这种情况下，吸湿剂或填充物等可以位于内部空间中。密封构件可以是密封剂，并且根据一些示例实施例，密封构件可以包括通过激光硬化的材料。例如，密封构件可以是玻璃料。例如，密封构件可以包括诸如有机密封剂的氨基甲酸酯类树脂、环氧类树脂、丙烯酸类树脂或作为无机密封剂的硅等。氨基甲酸酯类树脂可以包括例如氨基甲酸酯丙烯酸酯等。丙烯酸类树脂可以包括例如丙烯酸丁酯、丙烯酸乙基己酯等。密封构件可以包括通过热硬化的材料。

根据一些示例实施例，当通过使用检测器检测从液滴排放器排放的液滴时，可以准确地测量或计算液滴的形状、体积、排放角度和排放速度等。

此外，根据一些示例实施例，从液滴排放器排放的液滴可以由空气中的检测器检测。

此外，根据一些示例实施例，当通过使用液滴的外表面的未被检测器检测的形状来计算液滴的外表面时，可以准确地测量或计算液滴的形状、体积、排放角度和排放速度等。

根据一个或多个实施例，可以实现一种能够实时准确地且精确地测量液滴并且提供精细图像的显示装置。然而，本公开的范围不受效果的限制。

应当理解，本文描述的实施例应仅在描述性意义上考虑，并且不用于限制的目的。每个实施例内的特征或方面的描述通常应被认为可用于其他实施例中的其他类似特征或方面。尽管已经参考附图描述了一个或多个实施例，但是本领域普通技术人员将理解，在不脱离由所附权利要求及其等同物限定的精神和范围的情况下，可以在形式和细节上进行各种改变。