阅读说明：本技术 一种托盘升降轴焊件及其加工工艺 (Tray lifting shaft weldment and machining process thereof ) 是由 张忠恕 王连连 赵鹤 陈强 于洋 冯继瑶 张娟 边占宁 孙云涛 李宝军 张连兴 于 2019-12-21 设计创作，主要内容包括：本发明公开一种托盘升降轴焊件及其加工工艺,包括第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒、支架板、固定台、延伸轴,所述第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒通过焊接方式固定为一体,所述第三连接棒为乳白石英,位于所述第四连接棒上端固定有延伸轴,所述延伸轴与第四连接棒为一体结构,位于所述延伸轴与所述第四连接棒相接处外圆周上固定设有支架板,所述第一连接棒上中心位置开有第一通孔,所述第一通孔延伸至第二连接棒处。(The invention discloses a tray lifting shaft weldment and a processing technology thereof, wherein the tray lifting shaft weldment comprises a first connecting rod, a second connecting rod, a third connecting rod, a fourth connecting rod, a support plate, a fixing table and an extension shaft, the first connecting rod, the second connecting rod, the third connecting rod and the fourth connecting rod are fixed into a whole in a welding mode, the third connecting rod is opal quartz, the extension shaft is fixed at the upper end of the fourth connecting rod, the extension shaft and the fourth connecting rod are of an integral structure, the support plate is fixedly arranged on the outer circumference of the joint of the extension shaft and the fourth connecting rod, a first through hole is formed in the center of the first connecting rod, and the first through hole extends to the second connecting rod.)

一种托盘升降轴焊件及其加工工艺

技术领域

本发明涉及石英技术领域，尤其涉及一种托盘升降轴焊件及其加工工艺。

背景技术

现有的石英焊接件均为整体塑造成型结构，透明度差，原有石英棒为整体塑性结构，其在使用过程中整体过热不利于扩散，整体热量超过密封整体受热极限程度，导致使用受限，寿命短，更换耗费人力物力，而且造价较高，为此本申请人特别设计了一种新的升降轴焊件，以此来满足使用的需要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种托盘升降轴焊件及其加工工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

本发明的目的是通过下述技术方案予以实现：一种托盘升降轴焊件，包括第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒、支架板、固定台、延伸轴，所述第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒通过焊接方式固定为一体，所述第三连接棒为乳白石英，位于所述第四连接棒上端固定有延伸轴，所述延伸轴与第四连接棒为一体结构，位于所述延伸轴与所述第四连接棒相接处外圆周上固定设有支架板。

进一步地，所述第一连接棒上中心位置开有第一通孔，所述第一通孔延伸至第二连接棒处。

进一步地，所述第二连接棒圆周面上开有第二通孔，所述第二连接棒与第一连接棒焊接固定为一体，所述第二通孔与第一通孔相互贯通。

进一步地，所述第一连接棒上对称开有两个凹型槽，所述第一连接棒远离所述第二连接棒一端的外端面上固定开有一个横向的矩形槽。

进一步地，所述支架板均布有三个，所述支架板通过焊接方式与第四连接棒固定连接。

进一步地，所述支架板上端固定成型设有固定台，所述固定台上端固定开有固定孔，所述固定孔延伸并贯通支架板。

进一步地，所述支架板与第四连接棒连接一端固定有焊接台，所述焊接台上固定开坡角。

进一步地，所述支架板上开有至少2个对称的通孔。

一种托盘升降轴焊件的加工工艺，包括如下步骤：

1)整体下料并清洗坯料，通过2％HF浸泡,纯水清洗；

2)通过车床将第一连接棒、第二连接棒打孔，整体抛光，充分退火,恒温120分钟；通过2％HF浸泡,纯水清洗；

3)支架板铣削平磨，打孔，倒坡角，整体抛光，充分退火，恒温120分钟，经过2％HF浸泡,纯水清洗；

4)通过车床火加工将第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒连接，经过2％HF浸泡,纯水清洗；

5)接棒后进行充分退火，恒温120分钟；

6)检查石英棒对接后的同心度是否合格，车削凹型槽及矩形槽，加工延伸轴，经过2％HF浸泡,纯水清洗；

7)焊接组焊支架板与第四连接棒，2％HF浸泡,纯水清洗；

8)整体抛光，充分退火，恒温120分钟；

9)先检验应力，然后检验外观，封装入库。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该发明在石英棒中间加入不透明石英，阻热防止棒身过热，使密封环超过受热极限，加工时需将不透明石英与透明石英对接后再接透明石英，相当于在透明石英棒中加入不透明石英，保证支架板。

附图说明

图1是本发明整体示意图；

图2是本发明石第一连接棒示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-2所示，一种托盘升降轴焊件，包括第一连接棒1、第二连接棒2、第三连接棒3、第四连接棒31支架板4、固定台5、延伸轴6，所述第一连接棒1、第二连接棒2、第三连接棒3、第四连接棒31通过焊接方式固定为一体，所述第三连接棒3为乳白石英，位于所述第四连接棒31上端固定有延伸轴6，所述延伸轴6与第四连接棒31为一体结构，位于所述延伸轴6与所述第四连接棒31相接处外圆周上固定设有支架板4。

在本实施例中，所述第一连接棒1上中心位置开有第一通孔，所述第一通孔延伸至第二连接棒2处。

在本实施例中，所述第二连接棒2圆周面上开有第二通孔，所述第二连接棒2与第一连接棒1焊接固定为一体，所述第二通孔与第一通孔相互贯通。

在本实施例中，所述第一连接棒1上对称开有两个凹型槽，所述第一连接棒1远离所述第二连接棒2一端的外端面上固定开有一个横向的矩形槽。

在本实施例中，所述支架板4均布有三个，所述支架板4通过焊接方式与第四连接棒31固定连接。

在本实施例中，所述支架板4上端固定成型设有固定台5，所述固定台5上端固定开有固定孔，所述固定孔延伸并贯通支架板4。

在本实施例中，所述支架板4与第四连接棒31连接一端固定有焊接台，所述焊接台上固定开坡角。

在本实施例中，所述支架板4上开有至少2个对称的通孔。

一种托盘升降轴焊件的加工工艺，包括如下步骤：

1)整体下料并清洗坯料，通过2％HF浸泡,纯水清洗；

2)通过车床将第一连接棒1、第二连接棒2打孔，整体抛光，充分退火，恒温120分钟；通过2％HF浸泡,纯水清洗；

3)支架板4铣削平磨，打孔，倒坡角，整体抛光，充分退火,恒温120分钟，经过2％HF浸泡,纯水清洗；

4)通过车床火加工将第一连接棒1、第二连接棒2、第三连接棒3连接，经过2％HF浸泡,纯水清洗；

5)接棒后进行充分退火，恒温120分钟；

6)检查石英棒对接后的同心度是否合格，车削凹型槽及矩形槽，加工延伸轴6，经过2％HF浸泡,纯水清洗；

7)焊接组焊支架板4与第四连接棒31，2％HF浸泡,纯水清洗；

8)整体抛光，充分退火,恒温120分钟；

9)先检验应力，然后检验外观，封装入库。

在单片系统中，每次对一张硅片进行工艺，工艺中此产品的轴是系统中的主要部件，轴是由一根Φ15mm石英棒与3个石英片组成，石英棒是轴的主件，轴上焊有一段不透明石英，起到隔热保温的作用，防止热能更多的从石英件散到腔体以外，造成接触部位的密封环快速老化。石英棒下面的定位槽与机械旋转电机相连，是使石英轴转动起来的主要定位方式。三个支架片在同一平面内使硅片处于一个平衡的状态，按120°均匀分布，这样可使支架片处于相对平衡，当主轴旋转时，有相同的离心力，使轴上的硅片可以平衡转动，不产生轴的离心摆动，使硅片工艺稳定、均匀，成品率高。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。