阅读说明：本技术 一种非均分光分路器及其制备方法 (Non-equipartition optical splitter and preparation method thereof ) 是由 李雪峰 俞月琴 沈杰 夏国帅 朱伟冬 岳骁 宋柳蓉 于 2019-11-18 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种非均分光分路器,包括：单个光波导的输入；以及由所述单个光波导的输入至少两次分叉而形成的1XN结构的输出；N≥3,且为正整数；其中,每个光波导分叉处为1分2结构或者1分3结构,并且至少两个光波导分叉处的波导宽度和波导输出角度不同。同时,本发明还公开了一种非均分光分路器的制备方法。本发明非均分光分路器能够实现任意分光比,可靠性高。(The invention discloses a non-equipartition optical divider, which comprises: an input of a single optical waveguide; and an output of a 1XN structure formed by the at least two bifurcations of the input of the single optical waveguide; n is more than or equal to 3 and is a positive integer; wherein each optical waveguide bifurcation is of a 1-in-2 structure or a 1-in-3 structure, and the waveguide width and the waveguide output angle at least two optical waveguide bifurcations are different. Meanwhile, the invention also discloses a preparation method of the non-uniform splitter. The non-uniform splitter can realize any splitting ratio and has high reliability.)

一种非均分光分路器及其制备方法

技术领域

本发明涉及光分路器，尤其涉及利用平面光波导技术制备的非均分光分路器。

背景技术

目前光分路器制造过程中，有两种技术，一种是拉锥技术，一种是平面光波导技术。拉锥在制造过程中，拉锥光分路器的光从一端输入分配到两个输出端的能量比例可以任意控制，也就是说，拉锥可以实现任意分光比的光分路器。然而，由于工艺原因限制，一般仅能实现1路输入分成2路输出，即1X2的结构，如果需要实现1X4的结构，需要将3个分立拉锥器件熔接起来，即在1X2的输出端各自熔接级联1个1X2的光分路，以此类推，如果需要更大的结构，则需要更多的熔接级联，而熔接本身是非常容易发生损坏从而导致器件无法使用的，故拉锥光分路器产品的可靠性非常低。

目前，有技术实现了一种等分光比，改变分叉级数，利用结构的不对称，实现不均分的光分路器芯片，虽然有所突破，然而其输出分光比仍然是固定的，针对未来更多的应用场景，该芯片显得不够灵活。

发明内容

本发明的目的在于提供一种非均分光分路器及其制备方法，能够实现任意分光比，可靠性高。

实现上述目的的技术方案是：

本发明之一的一种非均分光分路器，包括：

单个光波导的输入；以及

由所述单个光波导的输入至少两次分叉而形成的1XN结构的输出；N≥3，且为正整数；

其中，每个光波导分叉处为1分2结构或者1分3结构，并且至少两个光波导分叉处的波导宽度和波导输出角度不同。

本发明之二的非均分光分路器的制备方法，包括：

由单个光波导的输入开始进行至少两次分叉，形成1XN结构的输出；N≥3，且为正整数；

改变至少一个光波导分叉处的波导宽度和波导输出角度。

优选的，每个光波导分叉处为1分2结构或者1分3结构。

本发明的有益效果是：本发明利用平面光波导分叉技术，同时通过改变光波导分叉处的波导宽度和波导输出角度，能制备出高可靠性、不等分光比、不对称结构的光分路器芯片。

附图说明

图1是本发明的非均分光分路器的一实施例的结构示意图；

图2是本发明的非均分光分路器的另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

本发明之一的一种非均分光分路器，包括：单个光波导的输入；以及由单个光波导的输入至少两次分叉而形成的1XN结构的输出；N≥3，且为正整数。其中，每个光波导分叉处为1分2结构或者1分3结构，并且至少两个光波导分叉处的波导宽度和波导输出角度不同。

如图1所示，为包含1X2结构的1X5光分路器，各个光波导分叉处100均为1分2结构，改变光波导分叉处100的波导宽度和波导输出角度，可以实现不同分光比。

如图2所示，为包含1X2结构和1X3结构的1X5光分路器，各个光波导分叉处100均为1分2结构或者1分3结构，改变光波导分叉处100的波导宽度和波导输出角度，可以实现不同分光比。

本发明之二的非均分光分路器的制备方法，包括下列步骤：

一、由单个光波导的输入开始进行至少两次分叉，形成1XN结构的输出；N≥3，且为正整数。每个光波导分叉处为1分2结构或者1分3结构。从而实现任意1XN结构，任意分光比的输出。

二、改变至少一个光波导分叉处的波导宽度和波导输出角度，实现不同分光比。

平面光波导技术是利用化学气相沉积或者离子交换法实现的，芯片中的所有光波导是一次性制作出来的，是一个整体，无需熔接等行为，可靠性非常高。因此，利用该技术，通过制作不同输入输出结构和不同分光比的掩膜版，就可以制备出高可靠性、不等分光比、不对称结构的光分路器芯片。

以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要求所限定。