阅读说明：本技术 一种薄膜真空计 (Film vacuum gauge ) 是由 张心强 靳毅 齐英 蔺宇 陈林 于 2019-11-19 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种薄膜真空计,属于检测设备技术领域,包括：外壳,内部具有参考压力腔；导线,一端伸至于所述外壳的参考压力腔内,另一端伸出所述外壳；吸气剂,悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件,所述电热元件的两端与所述导线连接。本发明的薄膜真空计,吸气剂悬置在参考压力腔内,在对吸气剂进行激活加热的过程中,吸气剂不与其他部件接触,因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且,在吸气剂内内置电热元件,使电热元件的热量直接作用于吸气剂,使吸气剂的加热效率更高,另外,内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。(The invention provides a film vacuum gauge, which belongs to the technical field of detection equipment and comprises the following components: a housing having a reference pressure chamber therein; one end of the lead extends into the reference pressure cavity of the shell, and the other end of the lead extends out of the shell; a getter suspended within the reference pressure chamber; an electric heating element is arranged in the getter, and two ends of the electric heating element are connected with the conducting wire. According to the film vacuum gauge, the getter is suspended in the reference pressure cavity, and the getter is not contacted with other parts in the process of activating and heating the getter, so that the problem of overhigh temperature of other parts in the process of heating the getter can be avoided; in addition, the electric heating element is arranged in the getter, so that the heat of the electric heating element directly acts on the getter, the heating efficiency of the getter is higher, and in addition, the electric heating element arranged in the getter can also play a supporting role on the getter.)

一种薄膜真空计

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种薄膜真空计。

背景技术

真空计是测量真空度或气压的仪器，是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可以将真空计分为主要的三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

其中，薄膜真空计为利用力学性能的真空计，薄膜真空计的核心部件为一片径向性辐射拉伸应力状态的膜片，该膜片将外压力测试压力腔体与参考压力腔隔开，参考压力腔内压力值恒定，测试压力腔室中压力的变化会产生两个腔体压差的变化，压差的变化会导致膜片偏移，膜片偏移会产生电容值的变化，从成形成电容和压力变化对应关系。因此，参考压力腔内的气压为计算的基础，气压值的恒定直接决定了压差传感器的寿命和精度。

目前，为了使薄膜真空计的参考压力腔内的设定气压进行维持，参考压力腔内通常放置外加热型吸气剂来维持真空，在封接前加热烘烤激活吸气剂，激活完后进行电路组装和调试。如图2所示，为现有技术中的一种薄膜真空计，该薄膜真空计在外壳上需设置用于安装吸气剂的安装孔，该安装孔与参考压力腔连通。吸气剂设置在吸气剂外壳8内，吸气剂外壳8安装在上述安装孔上，并使吸气剂可与参考压力腔连通。在吸气剂外壳的外部设置有加热器9，工作时，加热器9上的热量通过吸气剂外壳8将热量传导到吸气剂上，从而激活吸气剂，使吸气剂对参考压力腔的压力进行调节。

然而，上述方案中，吸气剂激活时加热器温度至少在450℃以上方能使得吸气剂发挥最好的效果，在吸气剂激活时间内，由于热传传递(传导、辐射、对流)的作用，使得传感器的外壳局部至少会达到250℃，对信号输出的端子及电极引线会造成一定影响。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的薄膜真空计在激活吸气剂时容易导致传感器的外壳温度过高的缺陷，从而提供一种可在较低温度下进行吸气剂激活的薄膜真空计。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种薄膜真空计，包括：

外壳，内部具有参考压力腔；

导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；

吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。

作为优选方案，所述电热元件为加热丝或加热片。

作为优选方案，所述加热丝为保持螺旋的形状。

作为优选方案，所述吸气剂与所述外壳的内壁之间保持均匀的间隔设置。

作为优选方案，所述吸气剂悬置在所述参考压力腔的上下方向的中间。

作为优选方案，所述导线为刚性导线。

作为优选方案，所述导线朝向远离所述参考压力腔内部的薄膜片的方向向外伸出。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。

2.本发明提供的薄膜真空计，导线伸至于外壳外，在使用过程中，可方便的多次对吸气剂进行在线激活，通过多次对参考压力腔的测量精度的修正，可以提高或延迟真空计的使用寿命，从而大大降低产品的购置成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明

具体实施方式

或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的薄膜真空计的一种具体实施方式的主视剖视图。

图2为现有技术中的薄膜真空计的一种具体实施方式的主视剖视图。

附图标记说明：

1、外壳；2、参考压力腔；3、加热丝；4、导线；5、吸气剂；6、薄膜片；7、压力测试腔；8、吸气剂外壳；9、加热器。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供一种薄膜真空计的具体实施方式，如图1所示，包括:外壳1，所述外壳1内被分隔成参考压力腔2和压力测试腔7，在所述参考压力腔2和压力测试腔7之间通过薄膜片6进行密封间隔。

在所述参考压力腔2内部悬设有吸气剂5，所述吸气剂5内部设有电热元件，所述电热元件的两端与导线4连接。所述导线4从所述参考压力腔2穿过外壳1、另一端伸出外壳1的外部；并且，所述导线4为朝向远离所述参考压力腔2内部的薄膜片6的方向向外伸出，在进行吸气剂5激活时，可便于对导线4的接电操作。

所述导线4为刚性导线，刚性导线是指硬线,如单芯2.5平方毫米的铜柱或合金柱，具有易于保持形状、便于接线的优点。通过将外部包裹有吸气剂5的电热元件的两连接端分别与导线连接，可实现将吸气剂5悬置在参考压力腔2内。

另外，作为可替换实施方式，所述导线4在也可以为非刚性件，在参考压力腔2内可另设其他刚性件，使吸气剂5连接在该刚性件上以保持吸气剂5的悬置固定。

所述电热元件为保持螺旋的形状的加热丝3，通过将加热丝3设置在吸气剂5内，可对吸气剂5起到支撑作用。

另外，作为可替换实施方式，所述电热元件还可以采用除了加热丝3以外的其他常规电热元件，如电热板，电热带、电热盘等。

使用方法

本实施例的薄膜真空计，对于在使用过程中，由于老化造成的测试不准的问题。可对其进行在线修正，使其测量精度恢复到原始状态，延长真空计的寿命。具体的，通过对伸出外壳1的导线4进行通电，使悬设在参考压力腔2内的加热丝3进行发热，从而可激活包裹连接在发热丝外的吸气剂5，使参考压力腔2保持预设的真空条件，恢复到原始状态。

通过加速老化的方法对本实施例的薄膜真空计的精度和寿命进行验证，薄膜真空计在每一次老化后进行吸气剂5的重新激活，使真空计的测量精度恢复到原始状态，依次可进行五次。因此，本实施例的薄膜真空计的寿命至少可延长至原薄膜真空计寿命的四倍。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。