阅读说明：本技术 一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件 (Flow measurement assembly with seal structure and suitable for microgram-level flow ) 是由 付新菊 张恒 吕泰增 关威 刘旭辉 汪旭东 龙军 李秀堂 石召新 杨灵芝 王平 于 2019-09-25 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件,包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量,将流量信号转化为变化的电阻阻值信号,进而转化为电压模拟量的变化；陶瓷电连接器用于承载测量元件,通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出,同时与流道组件配合,起到承压与密封作用；流道组件承载被测流体,形成层流换热通道,同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻,适合于微克级气体的高精度测量。(The invention provides a flow measurement assembly with a sealing structure and suitable for microgram-level flow, which comprises a measurement element, a ceramic electric connector and a flow channel assembly. The measuring element is used for sensing the flow of the measured fluid, converting the flow signal into a variable resistance signal and further converting the variable resistance signal into a variable voltage analog quantity; the ceramic electric connector is used for bearing the measuring element, outputting a signal measured by the measuring element through the conductive film on the ceramic material, and simultaneously being matched with the flow channel assembly to play a role in bearing and sealing; the runner assembly carries the fluid to be measured, forms a laminar flow heat exchange channel and is matched with the ceramic electric connector. The invention has simple structure, high reliability, small size and light weight, and is suitable for high-precision measurement of microgram-grade gas.)

一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件

技术领域

本发明一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，属于传感器技术领域，

背景技术

传统的流量传感器流量范围较大，基本在毫克以上，因此其流道结构设计为分流模式，通过测量分流后的气体流量，经过计算得整体气体流量。该种测量方法适合毫克级以上的流量测量。而对于微克量级的流量测量，采用分流会导致由于分流流量过小，无法测量流量且压损过大，影响下游工作压力。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，以便在满足高精度及微流量测量要求的同时，实现高可靠、低压损的结构设计。

本发明采用的技术方案为：一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；

流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；

测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)；

流道组件(3)的外壳体上设有环形跑道形状的凹槽，凹槽底部与流体通道连通；测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成测量单元；测量单元中测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中，测量单元和流道组件(3)外壳体通过电子束焊接方式进行密封。

优选的，测量元件(1)，包括：四个温度敏感电阻和八个功能端；

四个温度敏感电阻，分别为薄膜电阻R1、薄膜电阻R2、薄膜电阻R3、薄膜电阻R4；

薄膜电阻R1作为上游测温电阻、薄膜电阻R2作为上游加热电阻，薄膜电阻R3作为下游加热电阻，薄膜电阻R4作为下游测温电阻；

八个功能端，上游测温电阻第一测量端、上游测温电阻第二测量端、上游加热电阻第一测量端、上游加热电阻第二测量端、下游测温电阻第一测量端、下游测温电阻第二测量端、下游加热电阻第一测量端、下游加热电阻第二测量端；

薄膜电阻R1的一端连接上游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R1的另一端连接上游测温电阻第二测量端；

薄膜电阻R2的一端连接上游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R2的另一端连接上游加热电阻第二测量端；

薄膜电阻R3的一端连接下游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R3的另一端连接下游加热电阻第二测量端；

薄膜电阻R4的一端连接下游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R4的另一端连接下游测温电阻第二测量端。

优选的，陶瓷电连接器2，包括：传输基座、焊针、刚性连接圈；

传输基座，包括：导电薄膜层、陶瓷层；导电薄膜层加工在陶瓷层上；

陶瓷层上设置有微孔，焊针的一端通过钎焊的方式***微孔中，焊针的另一端作为信号输出端；

刚性连接圈套在传输基座外侧，并通过钎焊的方式与传输基座固连；

陶瓷层上设有：测量元件安装槽；

导电薄膜层为八根信号传输线，每根传输线分为两层，分别是镍铬层和金层，镍铬层底面与陶瓷层接触，镍铬层表面附有金层；

八根信号传输线的一端能够与测量元件(1)的八个功能端分别相连；八根信号传输线的另一端与八根焊针的***微孔中一端连接。

优选的，流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；外壳体上设有安装孔，能够与外部连接。

外壳体的两端设有连接口，能够与外部管路连接；

优选的，外壳体设有的环形跑道形状的凹槽，包括：第一直线段、第二直线段、第一弧线段、第二弧线段；

第一直线段的一端连接第一弧线段的一端，第一弧线段的另一端连接第二直线段的一端，第一直线段的另一端连接第二弧线段的一端，第二弧线段的另一端连接第二直线段的另一端。

优选的，流道组件(3)的流体通道承载被测流体，形成层流换热通道。

优选的，陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)，通过陶瓷材料上的导电薄膜层将测量元件(1)所测信号输出，同时与流道组件(3)配合，起到承压与密封作用。

优选的，测量元件1为方形芯片，芯片上椭圆区域为测量区域，内部为4个温度敏感电阻；芯片下方具有8个焊盘，输出芯片上的电阻信号。

优选的，陶瓷材料上设有方形定位槽。

优选的，陶瓷电连接器(2)的传输基座为陶瓷材料。

与现有技术相比，本发明具有如下优点：

(1)本发明减小了流量测量设备的压力损失，流动稳定且能量损耗小，不影响下游工作压力。本发明的流道及密封结构为直通式结构，压力损失类似于直通管路，满量程100μg/s流量时压损<0.1kPa，工业上用的流量测量设备在此情况下的压损>10kPa，与之相比本结构大大减小了压力损失，流动稳定且不影响下游工作压力。

(2)本发明为一体化焊接结构，承压能力强，可靠性高。传统热式流量传感器多采用胶粘方式进行，承压范围小，且长期应用后存在泄露的风险。本结构采用一体化焊接结构，其中陶瓷材料与可伐合金通过钎焊进行连接，可伐合金与流道不锈钢材料通过异种金属的电子束焊接进行连接，焊接后对产品加压6MPa，保压5分钟，漏率小于1×10^-4Pa·L/s。

(3)本发明结构简单，整体结构仅3个零件，与传统的流量测量设备相比，零件加工及装配成本大大降低，可靠性大幅提升。

附图说明

图1为根据本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件的整体结构示意图；

图2为根据本发明的测量元件尺寸及结构示意图；

图3为根据本发明的陶瓷电连接器结构示意图；

图4为根据本发明的测量元件与陶瓷电连接器配合示意图。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细的说明。

本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量，将流量信号转化为变化的电阻阻值信号，进而转化为电压模拟量的变化；陶瓷电连接器用于承载测量元件，通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出，同时与流道组件配合，起到承压与密封作用；流道组件承载被测流体，形成层流换热通道，同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻，适合于微克级气体的高精度测量。

本发明申请用于TQ-1卫星推进子系统变推力模块，该变推力模块为无拖曳推进系统，其作用为进行空间引力波探测时，提供高精度、低噪声、连续可调的推力，用于抵消太阳光压等的影响，满足超静卫星平台在工作期间高稳定度、高精度的要求。其中流量传感器是无拖曳推进系统的关键产品，用于测量流经推力器的气体流量，参与推力闭环控制。流量测量范围为3～100μg/s，测量精度优于1％，工作压力0.1MPa。为精确测量气体流量，并保证后端阀门及推力器产品工作正常，需要流体流动稳定且能量损耗小，不影响下游工作压力。传统的流量传感器工作压力较高，流量范围较大，其主流道和分流道分开测量的模式适合毫克级以上的流量测量。而对于TQ-1需求的微克量级流量测量，分流导致微小流量无法测量，流动紊乱且能量损耗过大，导致测试噪声过大且影响下游工作压力，这对于变推力模式是无法接受的。为此，本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，满足TQ-1型号对流量测量的微流量、高精度的需求，但不限于用在TQ-1卫星推进子系统变推力模块上，可以广泛适用于微克级气体的高精度测量。

如图1所示，本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)；流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；流道组件(3)的外壳体上设有环形跑道形状的凹槽，凹槽底部与流体通道连通；测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成测量单元；测量单元中测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中，测量单元和流道组件(3)外壳体通过电子束焊接方式进行密封。

优选的，如图2所示，测量元件(1)为5mm*3.5mm*0.5mm的方形芯片，芯片上设置椭圆区域为测量区域，距离芯片下边沿3.8mm；测量区域内部设置为四个温度敏感电阻；芯片下方具有八个功能端。

测量元件(1)测量区域的四个温度敏感电阻，分别为薄膜电阻R1、薄膜电阻R2、薄膜电阻R3、薄膜电阻R4；薄膜电阻R1作为上游测温电阻、薄膜电阻R2作为上游加热电阻，薄膜电阻R3作为下游加热电阻，薄膜电阻R4作为下游测温电阻；薄膜电阻R1、R2、R3、R4的材质优选为有机聚合物薄膜，厚度优选小于10微米，通过薄膜工艺加工在玻璃基材上；薄膜电阻R1、R2、R3、R4的阻值分别优选为R1＝R4＝710Ω±10％(0℃)、R2＝R3＝530Ω±10％(0℃)，通过材质的优选和阻值的配合提高了敏感的精度。

测量元件(1)上的八个功能端，分别为上游测温电阻第一测量端、上游测温电阻第二测量端、上游加热电阻第一测量端、上游加热电阻第二测量端、下游测温电阻第一测量端、下游测温电阻第二测量端、下游加热电阻第一测量端、下游加热电阻第二测量端；薄膜电阻R1的一端连接上游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R1的另一端连接上游测温电阻第二测量端；薄膜电阻R2的一端连接上游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R2的另一端连接上游加热电阻第二测量端；薄膜电阻R3的一端连接下游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R3的另一端连接下游加热电阻第二测量端；薄膜电阻R4的一端连接下游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R4的另一端连接下游测温电阻第二测量端；测量元件(1)上的八个功能端的材质为金。

如图3所示，陶瓷电连接器(2)，包括：传输基座、焊针、刚性连接圈；传输基座包括：导电薄膜层、陶瓷层。传输基座上的导电薄膜层通过薄膜工艺加工在陶瓷层上，导电薄膜层为八根信号传输线，每根传输线优选分为两层，分别是镍铬层和金层，镍铬层底面与陶瓷层接触，镍铬层表面附有金层，其作用为将与测量元件(1)的八个信号传输端、八根焊针实现电气连接；陶瓷层上有方形定位槽，用于放置测量元件(1)；陶瓷层上同时设置有八个微孔，八根焊针的一端通过钎焊的方式***八个微孔中。

传输基座上导电薄膜层为八根信号传输线，分别为信号传输线一、信号传输线二、信号传输线三、信号传输线四、信号传输线五、信号传输线六、信号传输线七、信号传输线八。

信号传输线一包括第一直线段、第二直线段、第三直线段、第四直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第一个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端与第四直线段的一端连接，第四直线段的另一端连接八根焊针的第一根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第一个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直；第四直线段与第三直线段垂直。

信号传输线二包括第一直线段、第二直线段、第三直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第二个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端连接八根焊针的第二根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第二个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直。

信号传输线三包括第一直线段、第二直线段、第三直线段、第四直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第三个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端与第四直线段的一端连接，第四直线段的另一端连接八根焊针的第三根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第三个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直；第四直线段与第三直线段垂直。

信号传输线四包括第一直线段、第二直线段、第三直线段、第四直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第四个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端与第四直线段的一端连接，第四直线段的另一端连接八根焊针的第四根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第四个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直；第四直线段与第三直线段垂直。

信号传输线五包括第一直线段、第二直线段、第三直线段、第四直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第五个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端与第四直线段的一端连接，第四直线段的另一端连接八根焊针的第五根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第五个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直；第四直线段与第三直线段垂直。

信号传输线六包括第一直线段、第二直线段、第三直线段、第四直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第六个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端与第四直线段的一端连接，第四直线段的另一端连接八根焊针的第六根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第六个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直；第四直线段与第三直线段垂直。

信号传输线七包括第一直线段、第二直线段、第三直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第七个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端连接八根焊针的第七根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第七个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直。

信号传输线八包括第一直线段、第二直线段、第三直线段、第四直线段；第一直线段的一端与测量元件(1)的八个功能端中的第八个功能端连接，第一直线段的另一端连接第二直线段的一端，第二直线段的另一端与第三直线段的一端连接，第三直线段的另一端与第四直线段的一端连接，第四直线段的另一端连接八根焊针的第八根焊针***微孔的一端；第一直线段对准且平行于测量元件(1)第八个功能端，第二直线段与第一直线段垂直，第三直线段与第二直线段垂直；第四直线段与第三直线段垂直。

八根信号传输线的第一直线段与方形定位槽距离均优选为0.15～0.35mm，优选第一直线段长度均≥0.5mm，宽度优选为0.2mm，与测量元件(1)的八个功能端位置及尺寸一一对应。

传输基座上陶瓷层优选为环形跑道形，包括第一直线段、第二直线段、第一弧线段、第二弧线段；第一直线段的一端连接第一弧线段的一端，第一弧线段的另一端连接第二直线段的一端，第一直线段的另一端连接第二弧线段的一端，第二弧线段的另一端连接第二直线段的另一端。第一直线段与第二直线段长均为11mm，第一弧线段与第二弧线段半径均为6.5mm，陶瓷层厚度为3mm，陶瓷层上的方形定位槽尺寸为5mm*3.5mm*0.5mm，方形定位槽下沿距离陶瓷层边缘为2.7mm。

八根焊针的材质优选为可伐合金4J29，表面镀镍、镀金，焊针的一端通过钎焊的方式***微孔中，与八根信号传输线导通，焊针的另一端作为信号输出端；

刚性连接圈材料优选为可伐合金4J29，套在传输基座外侧，并通过钎焊的方式与传输基座固连。刚性连接圈为T形圆环，包括外圈和内圈；外圈厚度优选为1mm，与流道组件(3)的外壳体配合；内圈厚度为3mm，与陶瓷层通过钎焊固连，通过以上优选方案提高了抗压能力和密封型。

刚性连接圈外圈为环形跑道形，包括第一直线段、第二直线段、第一弧线段、第二弧线段；第一直线段的一端连接第一弧线段的一端，第一弧线段的另一端连接第二直线段的一端，第一直线段的另一端连接第二弧线段的一端，第二弧线段的另一端连接第二直线段的另一端。第一直线段与第二直线段长均优选为11mm，第一弧线段与第二弧线段半径均优选为8.5mm；

刚性连接圈内圈为环形跑道形，包括第一直线段、第二直线段、第一弧线段、第二弧线段；第一直线段的一端连接第一弧线段的一端，第一弧线段的另一端连接第二直线段的一端，第一直线段的另一端连接第二弧线段的一端，第二弧线段的另一端连接第二直线段的另一端。第一直线段与第二直线段长均为11mm，第一弧线段与第二弧线段半径均为7.5mm。通过上述内圈和外圈尺寸进一步限定环形跑道的形状，使刚性连接圈与传输基座更紧密配合，进一步提升密封性能。

流道组件(3)，包括外壳体和流体通道。外壳体上优选设有8个螺柱，内部有内螺纹，能够与外部线路板连接；外壳体的两端设有连接口，能够与外部管路连接；外壳体设有的环形跑道形状的凹槽，放置陶瓷电连接器(2)；流体通道承载被测流体，形成层流换热通道。

外壳体的环形跑道形状的凹槽，包括：第一直线段、第二直线段、第一弧线段、第二弧线段；第一直线段的一端连接第一弧线段的一端，第一弧线段的另一端连接第二直线段的一端，第一直线段的另一端连接第二弧线段的一端，第二弧线段的另一端连接第二直线段的另一端。第一直线段与第二直线段长均优选为11mm，第一弧线段与第二弧线段半径均优选为8.5mm。通过以上参数，外壳体的环形跑道形状的凹槽与刚性连接圈实现更好的配合与密封性。

流道组件(3)材料优选为不锈钢316L。

如图4所示，测量元件(1)放置在陶瓷电连接器(2)的方形定位槽中间，测量元件(1)椭圆部分测量区域位于陶瓷电连接器(2)中轴线；测量元件(1)的八个功能端与陶瓷电连接器(2)的八根信号传输线的第一直线端连接，通过陶瓷电连接器(2)的八根焊针将信号输出。

测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成图4的测量单元，放置于图1流道组件(3)外壳体上环形跑道形状的凹槽中，凹槽底部与流体通道连通，测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中。测量单元中陶瓷电连接器(2)的刚性连接圈和流道组件(3)外壳体优选通过电子束焊接方式进行密封。

本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，为热温差式测量原理，在测量元件(1)中央排布两个加热电阻R2和R3，并在气体的上、下游各排布两个测温电阻R1和R4，当没有气体流过时，温度场对称分布，上下游测温电阻R1和R4阻值相同；当有气流流过时，上下游测温电阻R1和R4将出现差值，通过检测此差值可实现气体流量检测。

实际工作时，通过图1中流道组件(3)的流体通道，将气体引入到测量元件(1)的椭圆形测量区域。气体流量变化时，测量元件(1)椭圆形测温区域内的四个电阻阻值R1～R4发生变化，阻值变化通过测量元件(1)上的八个功能端输出到陶瓷电连接器(2)的八根信号传输线，进而输出到陶瓷电连接器(2)的八根焊针上，实现信号输出。

本发明实现测量精度提高的进一步方案为：设测量元件(1)厚度为D1，陶瓷电连接器(2)凹槽深度为D2，测量元件(1)与凹槽处点胶厚度为D3，满足-0.05mm<D1+D2-D3<0.05mm，满足该优选约束条件，可以实现测量精度的进一步提高。

本发明实现测量可靠性提升的进一步方案为：设流道组件(3)外壳体的环形跑道形状凹槽的第一弧线段和第二弧线段半径为R1，陶瓷电连接器(2)刚性连接圈外圈第一弧线段和第二弧线段半径为R2，满足0mm<R1-R2<0.0034mm，即流道组件(3)与陶瓷电连接器(2)电子束焊接的焊缝间隙小于0.0034mm，满足该优选约束条件，可以实现测量可靠性的进一步提升。

本发明计算流道组件(3)流体通道中的流体流动状态的优选方案为：

流量测量量程为0～100μg/s，采用流量上限Q＝100μg/s进行试算。流体介质选择0.1MPa 25℃下的氮气，其物理性质为密度1.14kg/m3，动力黏度17.812μPa·s。

计算出流道底部中央的截面当量直径：

其中：A为过流断面的面积；S为过流断面上流体与固体接触的周长。

将流量换算为底部流速为：

其中：v为流体平均速度；ρ为流体密度。

可计算出雷诺数为：

其中：v为流体平均速度；ρ为流体密度；μ为动力黏度；d为管道特征长度。

由上述计算，可以判断出流道组件(3)流体通道中的流动为层流。

2)计算换热进口段长度L：

L＝0.05×Re×d＝0.05×0.675×0.586×10^-3m＝0.02mm

为获得层流换热，流道组件(3)流体通道中进口段长度L>0.02mm。

另，工程上通常取：

计算换热进口段长度L为：

L≈10×d＝10×0.586×10^-3m＝5.86mm

因此，流道组件(3)流体通道换热进口段长度设计为6mm，满足层流产生的条件。

本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，减小了流量测量设备的压力损失，流动稳定且能量损耗小，不影响下游工作压力。发明过程中经过了压损测试、精度测试、验证压力测试、外漏率检测，测试结果如下：

(1)压损测试：本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件为直通式结构，压力损失类似于直通管路，满量程100μg/s流量时压损<0.1kPa，工业上用的流量测量设备在此情况下的压损>10kPa，与之相比本结构大大减小了压力损失，流动稳定且不影响下游工作压力；

(2)精度测试：对本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件进行了流量标定试验，流量测量精度优于1％；

(3)验证压力测试：本发明为一体化焊接结构，承压能力强，可靠性高。对本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件加压6MPa，保压5分钟，无异常，远高于卫星需求的0.2MPa验证压力；

(4)外漏率检测：本发明的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，采用真空检外漏法，加压0.2MPa，通过氦质谱仪检测外漏率为7×10^-5Pa·L/s，优于卫星需求的1×10^-4Pa·L/s。

在此，需要说明的是，本说明书中未详细描述的内容，是本领域技术人员通过本说明书中的描述以及现有技术能够实现的，因此，不做赘述。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非用来限制本发明的保护范围。对于本领域的技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，可以对本发明做出若干的修改和替换，所有这些修改和替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。