具体实施方式

1.元件装配机1的结构例

首先，参照图1～图4对安装有装配头46的元件装配机1的结构例进行说明。图1的从左上朝向右下的方向是搬运基板K的X轴方向，从左下(后侧)朝向右上(前侧)的方向是Y轴方向，铅垂方向是Z轴方向。元件装配机1反复实施元件的装配作业。元件装配机1由基板搬运装置2、元件供给装置3、元件移载装置4、元件相机11以及省略图示的控制装置等构成。

基板搬运装置2由第一导轨21和第二导轨22、一对传送带以及夹持装置等构成。第一导轨21以及第二导轨22以横穿基台10的上部中央并沿X轴方向延伸且相互平行的方式组装于基台10。沿第一导轨21以及第二导轨22设有相互平行地配置的一对传送带。一对传送带在将基板K载置于传送带搬运面的状态下进行轮转，将基板K相对于设定于基台10的中央的装配实施位置搬入以及搬出。另外，在基台10的中央部的传送带的下方设有夹持装置。夹持装置利用多个顶起销将基板K顶起而以水平姿势夹持，并定位于装配实施位置。

元件供给装置3以能够装卸的方式装备于元件装配机1的后侧。元件供给装置3通过在设备托盘35上排列设置多个送料器装置31而构成。送料器装置31具备：主体32；供给带盘33，设于主体32的后侧；以及元件取出部34，设于主体32的前端上部。在供给带盘33卷绕保持有以预定间距封入有多个元件的载带。当该载带以预定间距被送出时，元件被解除封入状态而被依次送入元件取出部34。

元件移载装置4由一对Y轴轨道41、Y轴移动台42、Y轴马达43、X轴移动台44、X轴马达45以及装配头46等构成。一对Y轴轨道41从基台10的前侧配设至后侧的元件供给装置3的上方。Y轴移动台42架设于一对Y轴轨道41。Y轴移动台4经由滚珠丝杠机构被Y轴马达43驱动而在Y轴方向上移动。

X轴移动台44架设于Y轴移动台42。X轴移动台44经由滚珠丝杠机构被X轴马达45驱动而在X轴方向上移动。装配头46以能够装卸的方式安装于X轴移动台44的后侧。Y轴轨道41、Y轴移动台42、Y轴马达43以及X轴马达45构成驱动装配头46的头驱动机构40。

装配头46在下侧具有旋转工具47。旋转工具47被R轴马达4A(参照图11)驱动而旋转。虽然在图1中被省略，但是在旋转工具47的下侧呈环状地配置有多个吸嘴5(参照图2)。标记相机49设于装配头46的下侧，与旋转工具47并排配置。标记相机49对附设于定位后的基板K的位置标记进行拍摄，检测基板K的精确的装配实施位置。

元件相机11朝上地设于基板搬运装置2与元件供给装置3之间的基台10的上表面。元件相机11对装配头46的多根吸嘴5通过元件取出部34吸附元件并向基板K移动的中途的状态进行拍摄。由此，元件相机11能够一并拍摄被分别多根吸嘴5分别保持的元件。对所取得的图像数据进行图像处理，确认元件的有无、正误，并且取得吸附姿势。

控制装置保持基板K的每个种类的作业数据，控制装配作业。作业数据是记述了装配作业的详细的步骤、方法等的数据。控制装置向基板搬运装置2、元件供给装置3、元件移载装置4以及元件相机11发送各种指令。另外，控制装置从这些装置接收与动作状况相关的信息。控制装置可以由单一的计算机装置构成，也可以在多个计算机装置中分散功能而构成。

2.吸嘴5以及装配头46的结构

接着，对吸嘴5以及装配头46的详细结构进行说明。在远离旋转工具47的中心的圆周上等间隔地设有多个吸嘴保持部4B。如图2所示，吸嘴保持部4B由沿上下方向延伸的圆柱状的内部空间形成。吸嘴保持部4B将吸嘴5保持为能够装卸且能够动作。

吸嘴5由吸嘴主体部51、吸嘴前端部53以及施力弹簧56等构成。吸嘴主体部51形成为在上下方向上较长，以能够升降的方式配置于吸嘴保持部4B的内部。吸嘴主体部51的外周面与吸嘴保持部4B的内周面之间为气密构造。吸嘴主体部51具有轴向流路511、径向流路512、外周流路513以及前端保持空间514。轴向流路511形成于吸嘴主体部51的中心，沿上下方向延伸。径向流路512沿径向形成，从轴向流路511的上部与吸嘴主体部51的外周面连通。

外周流路513是通过使吸嘴主体部51的外周的一部分缩径而形成的。外周流路513一边与径向流路512连通，一边在吸嘴主体部51的外周沿上下方向以及周向扩展。前端保持空间514形成为与轴向流路511的下侧连通。前端保持空间514是直径比轴向流路511大的空间，向下方开口。吸嘴主体部51具有从前端保持空间514的内侧面向外周面开口的升降限制窗52。

吸嘴前端部53被设为能够在前端保持空间514的内部一边确保气密一边升降。吸嘴前端部53由圆筒状的部件形成，其外径与前端保持空间514的内径大致相等。吸嘴前端部53在下侧具有随着向下方前进而逐渐缩径并且向下方开口的开口部54。为了应对所吸附的各种大小的元件，使用开口部54的开口面积不同的多种吸嘴5。

在吸嘴前端部53的中途高度设有不妨碍空气的流动的支撑板55。支撑板55沿水平方向配置，其端部卡入到升降限制窗52。在支撑板55与吸嘴主体部51之间设有施力弹簧56。施力弹簧56以吸嘴主体部51为基准，对吸嘴前端部53向下方施力。因而，在通常时，吸嘴前端部53被维持在支撑板55与升降限制窗52的下表面接触的高度(参照图2)。

在此，在装配头46的靠后部的特定部位设定有供吸嘴5动作的吸嘴动作位置。在吸嘴动作位置的上方设有相当于升降驱动部的Z轴马达48。通过旋转工具47的旋转而设置在吸嘴动作位置的吸嘴5被Z轴马达48驱动，在吸嘴保持部4B中升降。另外，设置在吸嘴动作位置的吸嘴5被Q轴马达4C(参照图11)驱动而在吸嘴保持部4B中自转。

进而，在吸嘴动作位置的附近设有触及监视传感器4D。触及监视传感器4D监视被驱动而下降的吸嘴5的下端与物体抵接的触及状态。作为触及监视传感器4D，能够示例利用检测光的通过以及反射来监视支撑板55的高度位置的光电传感器。光电传感器(触及监视传感器4D)被Z轴马达48驱动而与吸嘴5一起下降。

对基于光电传感器(触及监视传感器4D)的检测方式进行补充说明。在由Z轴马达48进行了下降驱动时，吸嘴主体部51、吸嘴前端部53以及光电传感器在开始时一起下降。当吸嘴前端部53与物体抵接而无法下降时，之后吸嘴主体部51以及光电传感器继续下降。其结果是，施力弹簧56被压缩，支撑板55从升降限制窗52的下表面离开。即，从光电传感器观察，支撑板55相对地上升，因此能够进行触及状态的检测。此外，作为触及监视传感器4D，也可以使用光电传感器以外的监视单元，例如拍摄吸嘴5的下降动作的监视相机。

进而，在旋转工具47上，对应每个吸嘴5设有内部流路4E以及机械阀4F。内部流路4E向吸嘴5选择性地供给负压以及正压的空气。内部流路4E形成为向吸嘴保持部4B开口，与吸嘴5的外周流路513连通。由于外周流路513在上下方向以及周向上扩展，因此即使吸嘴5升降或者自转，也能够维持内部流路4E与外周流路513的连通。

机械阀4F机械地进行内部流路4E的开闭。机械阀4F一边切断内部流路4E一边沿上下方向延伸，被设为能够升降。机械阀4F在上部具有被驱动而升降的卡合部4G，在靠下方处具有使内部流路4E连通的开口部4H。机械阀4F具备省略图示的摩擦力保持机构，能够抑制重力、振动等的影响。由此，机械阀4F在通常时稳定地位于下侧。

另外，在装配头46的吸嘴动作位置的附近设有驱动轴4J以及步进马达4L。驱动轴4J具有对机械阀4F的卡合部4G进行卡定的卡定部4K，并被保持为能够升降。当旋转工具47旋转时，驱动轴4J的卡定部4K卡定其它机械阀4F的卡合部4G。

步进马达4L驱动驱动轴4J而使其升降。在图3中，步进马达4L不动作，驱动轴4J位于下侧，机械阀4F位于下侧。此时，机械阀4F的开口部4H从内部流路4E偏离，内部流路4E被切断。当步进马达4L动作而将驱动轴4J向上方驱动时，卡定部4K将卡合部4G向上方驱动，机械阀4F上升。由此，机械阀4F的开口部4H与内部流路4E重叠，内部流路4E被连通。机械阀4F在位于吸嘴动作位置的情况下被开闭操作，在吸嘴动作位置以外始终成为关闭的状态。

另外，如图3所示，在X轴移动台44的后侧设有用于安装装配头46的夹持机构4M。夹持机构4M由下部的腿部支撑部4N、上部的推动部件4P以及按压部件4Q等构成。腿部支撑部4N形成为向上方开口的V槽形状。推动部件4P被设为能够上下移动，在下侧具有卡定斜面4P1，在上侧具有从动斜面4P2。按压部件4Q以能够前后移动的方式配置于推动部件4P的后方的上部的位置。形成于按压部件4Q的前侧的下部的驱动斜面4Q1与推动部件4P的从动斜面4P2接触。另外，在X轴移动台44的比夹持机构4M靠上方的位置设有朝向后方延伸的省略图示的电连接部。

另一方面，装配头46在前侧的下部具有腿部4R，在前侧的上部具有卡合辊4S。腿部4R的截面呈V字状地向下突出。卡合辊4S的截面为圆形。另外，在装配头46的上表面设有连接器461(参照图6、图7)。连接器461与X轴移动台44的电连接部连接，接受电源供给，并且确保进行控制信息的授受等的通信路径。

在装配头46的装配作业中，首先，使装配头46倾斜，将腿部4R卡入到腿部支撑部4N。接着，将装配头46立起，使卡合辊4S进入到推动部件4P的前侧。接着，当向前侧驱动按压元件4Q时，驱动斜面4Q1向下按压从动斜面4P2，推动元件4P下降。由此，推动部件4P的卡定斜面4P1将卡合辊4S卡定。最后，X轴移动台44的电连接部与装配头46的连接器461连接，装配作业完成。此外，装配头46的拆卸作业大致为装配作业的相反顺序。

另外，如图4所示，X轴移动台44具有负压源4T、正压源4U、切换阀4V以及供给管路4W。负压源4T向吸嘴5供给负压的空气，例如是使用吸引空气的真空泵而构成的。正压源4U向吸嘴5供给正压的空气，例如是使用将空气压缩并送出的压缩机而构成的。切换阀4V切换向供给管路4W供给的空气的负压和正压。切换阀4V例如是由一个三通阀、多个开闭阀的组合而构成的。

如图3所示，供给管路4W在X轴移动台44的后表面开口。另一方面，内部流路4E从旋转工具47与装配头46的主体连通，在装配头46的前表面开口。在使用夹持机构4M安装了装配头46时，供给管路4W与内部流路4E维持气密地连通。如图4所示，内部流路4E在中途分支为与吸嘴5的个数相等的流路数，经由机械阀4F到达吸嘴5。

在比内部流路4E的分支点靠上游侧处设有内部空气传感器。内部空气传感器是为了在装配头46运转时监视流路系统的异常等而设置的。内部空气传感器包括内部流量传感器4X以及内部压力传感器4Y中的至少一者。内部流量传感器4X串联地连接在内部流路4E内。在本实施方式中，内部流量传感器4X为检测双向的空气的流量的双向空气流量传感器。并不局限于此，内部流量传感器4X也可以是仅检测单向的空气的流量的单向空气流量传感器。内部压力传感器4Y与从内部流路4E分支的分支流路4Z连接，形成封闭路径。内部压力传感器4Y采用能够测定负压以及正压这双方的类型。

3.实施方式的装配头维护装置6

转移到实施方式的装配头维护装置6的说明。如图5所示，装配头维护装置6是使用箱形状的框架61而形成的。在框架61的下侧设有多个脚轮62，装配头维护装置6能够移动。在框架61的前表面的上部设有门63。门63由透明的树脂形成，能够目视观察框架61内。装配头46在门63被打开时被带入框架61内。在门63的上侧设有操作部91以及显示部92。

在图6中示出了从装配头维护装置6拆下框架61的状态的大致上半部分。在框架61的内部的大致中间高度处水平地架设有基台64。装配头维护装置6构成为包括安装单元65、检查单元7以及控制部9(参照图11)。

安装单元65竖立设置在基台64的靠后的位置。在安装单元65的前侧设有夹持机构66。夹持机构66具有与设于X轴移动台44的夹持机构4M相同的结构。因而，装配头46以与朝向X轴移动台44的安装作业相同的要领安装于安装单元65。在图6以及图7中，已安装有装配头46，示出了夹持机构66的上部的电连接部68以及装配头46的上表面的连接器461。

检查单元7除了基于内部空气传感器以及基准空气传感器(后述)的测定的功能以外，还具有清洗装配头46的功能。检查单元7由压力源71、检查功能部8、污垢吸引鼓风机72以及X-Y驱动机构73等构成。压力源71配置于安装单元65的内部。如图8～图10所示，压力源71具有与X轴移动台44的供给管路4W相同形状的供给管路75。供给管路75与安装于安装单元65的装配头46的内部流路4E连通。此外，在图8～图10中，吸嘴动作位置以外的机械阀4F以及内部流路4E被省略图示。

压力源71向装配头46的内部流路4E选择性地供给负压以及正压的空气。压力源71切换产生与负压源4T同等的负压以及与正压源4U同等的正压。进而，压力源71兼作清洗内部流路4E中的至少供负压的空气流动的负压流路范围的清洗用空气的供给源。压力源71例如由真空泵、压缩机以及阀类的组合构成。在本实施方式中，内部流路4E的整体相当于负压流路范围。另外，清洗用空气的压力被设为比正压源4U的正压高的吹扫压力。

检查功能部8被收纳在位于安装于安装单元65的装配头46的下侧的箱体的内部。如图9以及图10所示，检查功能部8由外部流路、阀类以及基准空气传感器构成。外部流路使用树脂制软管、金属制管而构成。外部流路包括共用外部流路80、第一外部流路81、第二外部流路82以及测定流路83。阀类包括切换阀85、第一开闭阀86以及第二开闭阀87。阀类被设为能够电控制的电磁阀。基准空气传感器包括基准流量传感器8X以及基准压力传感器8Y。

共用外部流路80连通设于上游端的密封件801与切换阀85的共用端口850。如图7所示，密封件801向箱体的上部突出。从安装于安装单元65的装配头46观察，密封件801被设定为与基板K相同的高度。第一外部流路81连通切换阀85的第一端口851与第一开闭阀86。第二外部流路82连通切换阀85的第二端口852与第二开闭阀87。测定流路83从第一外部流路81的中途位置分支，并与第二外部流路82的中途位置合流。

切换阀85对接下来说明的第一状态和第二状态进行切换。在第一状态下，共用端口850与第一端口851连通，第二端口852被关闭(参照图9)。在第二状态下，共用端口850与第二端口852连通，第一端口851被关闭(参照图10)。第一开闭阀86对第一外部流路81的下游端811进行开闭操作。第二开闭阀87对第二外部流路82的下游端821进行开闭操作。

基准空气传感器设于测定流路83。需要确认基准空气传感器具有良好的检测精度。基准流量传感器8X串联地连接在测定流路83内。基准流量传感器8X是仅检测从第一外部流路81朝向第二外部流路82的单向的空气的流量的单向空气流量传感器。基准压力传感器8Y与从第一外部流路81和基准流量传感器8X之间分支的分支流路8Z连接，形成封闭路径。基准压力传感器8Y采用能够测定负压以及正压这双方的类型。另外，在比分支流路8Z的分支点靠近第一外部流路81的部位串联地连接有除去混入的尘埃的过滤器831。

在进行装配头46的维护时，取代吸嘴动作位置的吸嘴5而将连通部件67安装于吸嘴保持部4B。连通部件67形成为上下方向上的尺寸以及施力弹簧56等的结构与吸嘴5相同。如上所述，吸嘴5的开口部54具有开口面积不同的多个种类。连通部件67的下侧的开口部的开口面积被设定为与最大的开口部54相匹配。由此，即使在内部流路4E中混入有较大的尘埃，也能够将其可靠地排出。

被保持于吸嘴保持部4B的连通部件67与内部流路4E连通，且能够进行来自Z轴马达48的升降驱动以及基于触及监视传感器4D的监视。另外，检查功能部8的密封件801被设为适合于连通部件67的开口部的形状。因而，在连通部件67下降而压接于密封件801时，连通部件67以及共用外部流路80一边确保气密一边相互连通。

如图6～图8所示，污垢吸引鼓风机72一体地设于检查功能部8的箱体的上侧。污垢吸引鼓风机72被用于装配头46的内部流路4E的清洗。污垢吸引鼓风机72形成为向上方开口的圆筒状，具备风扇等而具有尘埃的吸引功能。X-Y驱动机构73配置于基台64的上表面的安装单元65的前侧。X-Y驱动机构73将检查功能部8以及污垢吸引鼓风机72向水平两个方向驱动。

控制部9由具有CPU并通过软件来进行动作的计算机装置构成。控制部9的配设位置并没有特别限定。如图11的功能框图所示，在控制部9附属有上述操作部91以及显示部92。操作部91由操作开关、数字键等构成，被输入有清洗、测定的动作指令等。显示部92由液晶显示装置等构成，显示装配头46的个体信息、清洗、测定的进展状况以及实施结果等。

控制部9包括马达控制部93以及测定控制部94。马达控制部93控制装配头46的Z轴马达48、R轴马达4A、Q轴马达4C以及步进马达4L。测定控制部94控制压力源71、X-Y驱动机构73、切换阀85、第一开闭阀86以及第二开闭阀87。测定控制部94依据记述了清洗动作以及基于正压和负压的空气的测定动作的顺序的软件来推进控制。

进而，控制部9具备三个功能部、即检测结果取得部95、比较判定部96以及校正部97。检测结果取得部95以建立对应的方式来取得内部流量传感器4X和内部压力传感器4Y检测出的内部检测结果以及基准流量传感器8X和基准压力传感器8Y检测出的基准检测结果。

在此，内部检测结果以及基准检测结果的必要条件是成为能够直接比较的物理量。详细而言，由于空气的流动在时间上不是恒定的，因此检测出的瞬时值可能时刻发生变化。另外，过渡性的空气的流动的状态依赖于流路的位置而变化。因而，作为内部检测结果以及基准检测结果，使用有能够直接比较的同时刻的值、空气的流动停止后的压力值、流量的时间平均值等。

比较判定部96对内部检测结果和基准检测结果进行比较，判定内部流量传感器4X和内部压力传感器4Y的精度以及能否使用中的至少一方。由于假设从测定用的流路系统泄漏一些空气，因此比较判定部96优选具有某些容许值来进行判定。例如，比较判定部96运算由内部检测结果与基准检测结果的差值表示的测定误差，并显示于显示部92。另外，例如，比较判定部96将测定误差与预先设定的最大允许误差进行比较来判定能否使用，并将判定结果显示于显示部92。

校正部97基于比较判定部96的判定结果，校正内部流量传感器4X以及内部压力传感器4Y。例如，校正部97在显示部92显示对内部流量传感器4X、内部压力传感器4Y赋予的输出调整功能的调整方法。另外，例如，校正部97在显示部92显示将内部流量传感器4X以及内部压力传感器4Y的电输出换算为物理量时的换算系数的更新值。

4.使用装配头维护装置6的维护动作

接下来，对使用装配头维护装置6来实施装配头46的维护的动作进行说明。在维护中，首先，实施装配头46的内部流路4E的清洗，接着，实施基于内部空气传感器以及基准空气传感器的测定以及检查。图12所示的动作流程是通过作业者与装配头维护装置6的共同作业而进行的。

在图12的步骤S1中，作业者打开装配头维护装置6的门63，将装配头46安装于安装单元65。通过电连接部68与连接器461的连接，确保朝向装配头46的电源供给，且能够由控制部9控制装配头46。在接下来的步骤S2中，作业者拆下位于装配头46的吸嘴动作位置的吸嘴5而安装连通部件67。

在接下来的步骤S3中，作业者关闭门63，从操作部91输入动作指令。动作指令是持续实施清洗动作、基于正压空气的测定动作以及基于负压空气的测定动作的指令。并不局限于此，也可以对三个动作设定单独的指令而仅实施某一个动作。识别出动作指令的控制部9起动测定控制部94。测定控制部94第一个控制清洗动作。

具体而言，测定控制部94控制X-Y驱动机构73，使污垢吸引鼓风机72向连通部件67的正下方移动，成为图8所示的状况。接下来，测定控制部94经由马达控制部93控制步进马达4L而打开机械阀4F，使内部流路4E连通。接着，测定控制部94控制压力源71而供给吹扫压力的清洗用空气。通过该控制，清洗用空气从压力源71通过内部流路4E以及连通部件67而朝向污垢吸引鼓风机72排气。因而，混入到内部流路4E的尘埃随着清洗用空气的流动而移动，继而被排出到污垢吸引鼓风机72。

在接下来的步骤S4中，测定控制部94第二个控制基于正压空气的测定动作。具体而言，测定控制部94控制X-Y驱动机构73，使检查功能部8向连通部件67的正下方移动。进而，测定控制部94经由马达控制部93控制Z轴马达48而使连通部件67下降，并使其压接于密封件801。由此，形成图9以及图10所示的测定用的流路系统。

接下来，测定控制部94将切换阀85控制为第一状态，将第一开闭阀86控制为关闭状态，将第二开闭阀87控制为打开状态，将压力源71控制为正压源4U的正压。于是，正压空气沿图9所示的粗线的箭头的方向流动，能够进行基于基准流量传感器8X的测定。若从压力源71的控制起经过第一预定时间，则正压空气的流动稳定化，因此测定控制部94向检测结果取得部95发送流量检测指令。检测结果取得部95对内部流量传感器4X以及基准流量传感器8X设定相同的测定时间幅度，取得测定时间幅度中的正压空气的流量的时间平均值。

测定控制部94接着进行关闭第二开闭阀87的控制。由此，测定用的流路系统的出入口消失，能够进行基于内部压力传感器4Y以及基准压力传感器8Y的静态的正压的测定。若从第二开闭阀87关闭起经过第二预定时间，则正压空气的流动停止而静态压力稳定化，因此测定控制部94向检测结果取得部95发送压力检测指令。检测结果取得部95取得内部压力传感器4Y以及基准压力传感器8Y分别检测出的正压值。

在接下来的步骤S5中，测定控制部94第三个控制基于负压空气的测定动作。具体而言，测定控制部94将切换阀85控制为第二状态，将第一开闭阀86控制为打开状态，将第二开闭阀87控制为关闭状态，将压力源71控制为负压源4T的负压。于是，负压空气沿图10所示的粗线的箭头的方向流动，能够进行基于基准流量传感器8X的测定。

若从压力源71的控制起经过第三预定时间，则负压空气的流动稳定化，因此测定控制部94向检测结果取得部95发送流量检测指令。检测结果取得部95对内部流量传感器4X以及基准流量传感器8X设定相同的测定时间幅度，取得测定时间幅度中的负压空气的流量的时间平均值。此外，在内部流量传感器4X为单向空气流量传感器的情况下，流量的时间平均值仅根据正压空气或者负压空气中的有意义的一方取得。

测定控制部94接着进行关闭第一开闭阀86的控制。由此，测定用的流路系统的出入口消失，能够进行基于内部压力传感器4Y以及基准压力传感器8Y的静态的负压的测定。若从第一开闭阀86关闭起经过第四预定时间，则负压空气的流动停止而静态压力稳定化，因此测定控制部94向检测结果取得部95发送压力检测指令。检测结果取得部95取得内部压力传感器4Y以及基准压力传感器8Y分别检测出的负压值。另外，第一～第四预定时间可以互不相同，或者也可以相等。

在接下来的步骤S6中，比较判定部96以及校正部97对测定结果进行处理而生成检查结果，并显示于显示部92。此外，比较判定部96以及校正部97也可以对与多个吸嘴5相对应的多个测定结果进行汇总处理，或者将多个检查结果汇总显示于显示部92。然后，作业者拆下连通部件67，安装吸嘴5。由此，与一个吸嘴5相对应的内部流路4E的维护结束。

在接下来的步骤S7中，判定与吸嘴5的全部数量相对应的维护是否结束。在否的情况下，测定控制部94经由马达控制部93控制R轴马达4A，使旋转工具47旋转。由此，与下一个吸嘴5相对应的内部流路4E成为维护的对象。然后，动作流程的执行返回到步骤S2。

在步骤S7中，在与全部吸嘴5相对应的维护结束的情况下，动作流程的执行进入步骤S8。在步骤S8中，作业者打开门63，从安装单元65拆下装配头46并取出到装置外。由此，对一个装配头46的维护结束。

在实施方式的装配头维护装置6中，检测结果取得部95以建立对应的方式来取得装配头46所具有的内部空气传感器(4X、4Y)的内部检测结果以及设于装配头46外的基准空气传感器(8X、8Y)的基准检测结果。因而，通过比较两个检测结果，能够进行内部空气传感器(4X、4Y)的校正。即，在两个检测结果一致的情况下，保证内部空气传感器(4X、4Y)的检测精度正确。另外，在两个检测结果不一致的情况下，校正部97实施内部空气传感器(4X、4Y)的校正而能够恢复检测精度。

另外，由于基准流量传感器8X使用单向空气流量传感器，因此需要以正压以及负压切换空气的流动方向的切换阀85。尽管如此，与将特殊且昂贵的双向空气流量传感器用于基准流量传感器8X的结构相比，装配头维护装置6的成本低廉化。

5.实施方式的应用以及变形

此外，即使在装配头46不具备旋转工具47而仅具备一根吸嘴5的情况下，也能够使用装配头维护装置6。另外，装配头46的内部流路4E也可以分为负压流路范围和正压流路范围，在该方式中，清洗用空气在内部流路4E的至少负压流路范围流动。另外，在不进行清洗动作时，也可以不使用连通部件67，而利用软管将吸嘴5的开口部54与检查功能部8的密封件801之间连接。

进而，在具有多个连通部件67的情况下，也可以在动作流程的开始将全部吸嘴5更换为连通部件67。在该情况下，交替地反复进行清洗动作以及测定动作、旋转工具47的旋转。另外，能够使检查功能部8变形而连接在压力源71与装配头46之间。在该方式中，连通部件67使用开口类型以及闭合类型这两个种类。

另外，也可以仅使用内部流量传感器4X以及内部压力传感器4Y中的一方来监视装配头46的内部流路4E，省略另一方。在该方式中，不需要对应的基准流量传感器8X以及基准压力传感器8Y中的一方。此外，检查功能部8的流路系统被简化。

进而，也能够采用省略了比较判定部96以及校正部97的方式。在该方式中，检测结果取得部95在显示部92显示内部检测结果以及基准检测结果，或者通过其它方法输出。由此，能够进行基于人的比较判定以及内部流量传感器4X和内部压力传感器4Y的基于人的校正。本实施方式除此以外还能够进行各种应用、变形。

附图标记说明

1：元件装配机44：X轴移动台46：装配头47：旋转工具4B：吸嘴保持部4D：触及监视传感器4E：内部流路4F：机械阀4M：夹持机构4T：负压源4U：正压源4X：内部流量传感器4Y：内部压力传感器5：吸嘴6：装配头维护装置66：夹持机构67：连通部件7：检查单元71：压力源72：污垢吸引鼓风机73：X-Y驱动机构8：检查功能部80：共用外部流路81：第一外部流路82：第二外部流路83：测定流路85：切换阀86：第一开闭阀87：第二开闭阀8X：基准流量传感器8Y：基准压力传感器9：控制部93：马达控制部94：测定控制部95：检测结果取得部96：比较判定部97：校正部