阅读说明：本技术 真空泵 (Vacuum pump ) 是由 桥本建治 井上英晃 柴山浩司 铃木敏生 于 2018-03-27 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种真空泵,其包括具有简便、冷却效率良好、生产率良好的冷却结构的壳体。本发明的一个实施方式的真空泵具有泵壳体和冷却管。所述泵壳体由铸铁构成。所述冷却管具有外周面和内周面,并由不锈钢构成。所述冷却管贯通所述泵壳体,与所述泵壳体密接的所述外周面由敏化层构成。该真空泵是将由铸铁构成的泵壳体铸造在由不锈钢构成的冷却管的周围而形成的。在冷却管的外周面设置敏化层,敏化层与泵壳体密接,泵壳体高效地被冷却。(The invention provides a vacuum pump, which comprises a casing with a simple cooling structure with good cooling efficiency and good productivity. A vacuum pump of one embodiment of the present invention has a pump housing and a cooling tube. The pump housing is constructed of cast iron. The cooling tube has an outer circumferential surface and an inner circumferential surface, and is composed of stainless steel. The cooling pipe penetrates the pump housing, and the outer peripheral surface that is in close contact with the pump housing is formed of a sensitizing layer. The vacuum pump is formed by casting a pump casing made of cast iron around a cooling pipe made of stainless steel. A sensitizing layer is provided on the outer peripheral surface of the cooling tube, and the sensitizing layer is in close contact with the pump casing, so that the pump casing is efficiently cooled.)

真空泵

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

作为容积型的干式真空泵，已知有例如双螺杆泵。此种螺杆泵具有一对螺杆转子、收容一对螺杆转子的壳体和使一对螺杆转子旋转的驱动机构。通过这一对螺杆转子旋转，气体从壳体的进气口被输送到排气口，从而真空容器内的气体被排出(例如，参考专利文献1)。

有时壳体在一对螺杆转子长时间一直工作的情况下被加热成高温。因此，壳体通常采用风冷方式或水冷方式进行冷却。并且，在希望真空泵紧凑化的情况下，在作为其一部分的壳体中如何形成简便且高效的冷却结构变得重要。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-185778号公报。

发明内容

发明要解决的问题

关于上述冷却结构，由于需要简便的冷却结构，所以需要采用循环型冷却结构。另外，作为冷却介质，一般使用冷却效率比油、冷却液高且容易处理的水。另外，若冷却介质是水，则适合对水的耐受性高的不锈钢制的冷却管。但是，在使用不锈钢制的冷却管的情况下，重要的是设法使不锈钢制的冷却管与壳体均匀地密接，并且不使其敏化至不锈钢制的冷却管的内周面。

鉴于如上这样的情况，本发明的目的在于提供一种真空泵，其包括具有简便、冷却效率良好、生产率良好的冷却结构的壳体。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空泵具有：泵壳体和冷却管。上述泵壳体由铸铁构成。上述冷却管具有外周面和内周面，并由不锈钢构成。上述冷却管贯通上述泵壳体，与上述泵壳体密接的上述外面由敏化层构成。

该真空泵是将由铸铁构成的泵壳体铸造在由不锈钢构成的冷却管的周围而形成的。由此，简便地形成了具有贯通泵壳体的冷却管的真空泵。进而，在冷却管的外周面设置敏化层，敏化层与泵壳体密接，泵壳体高效地被冷却。

在上述真空泵中可以进一步具有收容在上述泵壳体内的第一螺杆转子和第二螺杆转子，该第一螺杆转子具有螺旋状的第一齿部，第二螺杆转子具有与上述第一齿部啮合的螺旋状的第二齿。

如果是这种真空泵，则即使使一对螺杆转子长时间工作，泵壳体也能够通过设置在泵壳体的冷却管而高效地被冷却。

在上述真空泵中，上述冷却管具有第一冷却管部和与上述第一冷却管部并列的第二冷却管部。上述第一螺杆转子和上述第二螺杆转子被上述第一冷却管部和上述第二冷却管部所夹持。

如果是这种真空泵，则在泵壳体中以夹持一对螺杆转子的方式设置第一冷却管部和第二冷却管部。由此，泵壳体被均匀地冷却。

在上述真空泵中，上述冷却管还具有连接管部，该连接管部对上述第一冷却管部和上述第二冷却管部进行连结，并设置在上述泵壳体之外。上述第一冷却管部、上述连接管部和上述第二冷却管部被依次串联连结，并构成为一体。

如果是这种真空泵，则由于冷却管由第一冷却管部、连接管部和第二冷却管部串联地连接，并构成为一体，因此冷却管成为简便的结构。

在上述真空泵中，上述冷却管的厚度可以是1mm以上且5mm以下。

如果是这种真空泵，则由于冷却管的厚度设定为1mm以上且5mm以下，所以由不锈钢构成的冷却管在铸造时不会熔融至内周面，且外周面会适度地熔融，冷却管的外周面与泵壳体密接。

在上述真空泵中，上述敏化层的厚度可以是0.3mm。

如果是这种真空泵，则在铸造泵壳体时，由于冷却管与熔化的铸铁接触，即使冷却管的表面被加热，也是冷却管的外周面被敏化，而内周面不会被敏化。由此，在冷却管的外周面形成敏化层。

在上述真空泵中，上述泵壳体的容积除以如下乘积而得到的值可以是30以上且300以下，该乘积是将上述冷却管的厚度乘以上述冷却管与上述泵壳体相接的面积所得到的值。

如果是这种真空泵，则由于上述除法运算得到的值设定为30以上且300以下，所以由不锈钢构成的冷却管在铸造时不会熔融至内周面，冷却管的外周面与泵壳体密接。

发明效果

如以上所述，根据本发明，提供一种真空泵，其包括具有简易、冷却效率良好、生产率良好的冷却结构的壳体。

附图说明

图1是表示本实施方式的真空泵的主要部分的示意立体图。

图2是表示本实施方式的真空泵的内部主要部分的示意剖视图。

图3是冷却管的外周面附近的电子探针显微分析仪结果。

图4是表示本实施方式的冷却管的变形例的示意图。

具体实施方式

以下，一边参考附图，一边对本发明的实施方式进行说明。在各附图中，有时引入XYZ轴坐标。

图1是表示本实施方式的真空泵的主要部分的示意立体图。

在图1中示出了作为真空泵1的气缸部的泵壳体10。另外，在泵壳体10中嵌入冷却管20A的一部分。作为一例，泵壳体10应用于双螺杆泵。本实施方式的真空泵不限于双螺杆泵，也可以是罗茨干式真空泵、旋转真空泵等。

在泵壳体10的内部设置有泵室10p。泵室10p在X轴方向上延伸。能够在泵室10p中配置一对螺杆转子31、32。在图1中，为了对泵壳体10的结构进行说明，以双点划线示出了一对螺杆转子31、32。一对螺杆转子31、32在泵室10p内在Y轴方向上排列。

泵壳体10具有第一壳体部11、第二壳体部12和第三壳体部13。第一壳体部11设置在第二壳体部12和第三壳体部之间。第一壳体部11、第二壳体部12和第三壳体部通过浇铸而构成为一体。

第一壳体部11和第二壳体部12例如作为收容一对螺杆转子31、32的齿部的容器发挥功能。并且，第二壳体部12例如作为使一对螺杆转子31、32贯通并与使一对螺杆转子31、32驱动的驱动机构侧相连接的法兰盘发挥功能。另外，第三壳体部13从第二壳体部12的相反侧堵住泵室10p。

泵壳体10的材料是例如FC250等的铸铁。由铸铁构成了这种泵壳体10的真空泵1的熔点高，即使真空泵1处于高温，金属组织也难以发生变化。另外，铸铁的线膨胀系数低，即使真空泵1在高温下运转，由热膨胀引起的尺寸变化的影响也小。另外，铸铁的硬度高，在吸入了异物时也容易粉碎。另外，铸铁对氨等腐蚀性气体的耐受性高。

冷却管20A的一部分贯通第二壳体部12。即，冷却管20A的一部分设于第二壳体部12内。冷却管20A具有第一冷却管部21、第二冷却管部22和连接管部23。第一冷却管部21和第二冷却管部22分别在Y轴方向上以直线状延伸，并在Z轴方向上并列。连接管部23连结了第一冷却管部21和第二冷却管部22。

第一冷却管部21、连接管部23和第二冷却管部22被依次串联连结。第一冷却管部21的端部21t和第二冷却管部22的端部22t分别从第二壳体部12突出。连接管部23设置在第二壳体部12之外，连接管部23的一个端部与第一冷却管部21的另一个端部连接，连接管部23的另一个端部与第二冷却管部22的另一个端部连接。

从X轴方向观察冷却管20A的情况下，其外形为U字形。在此，第一螺杆转子31和第二螺杆转子32在Z轴方向上被第一冷却管部21和第二冷却管部22夹持。连接管部23在Y轴方向上与第一螺杆转子31及第二螺杆转子32并列。

第一冷却管部21、连接管部23和第二冷却管部22是由相同材料构成的一体物。例如，冷却管20A是通过弯管机或弯管器等手动器具将一根长金属制管弯折而形成。冷却管20A由SUS304、SUS316等不锈钢构成。

例如，冷却管20A的一部分被预先装入到形成泵壳体10的模具中，并向该模具浇注熔融了的铸铁。由此，冷却管20A的外周面与熔融了的铸铁接触，从而形成冷却管20A设于第二壳体部12内的泵壳体10。

冷却管20A具有外周面201和内周面202(图1(b))。冷却管20A的外周面201与第二壳体部12相接，内周面202与在冷却管20A内流动的介质相接。介质例如是水、油、冷却液等。在将熔融的铸铁浇注到形成泵壳体10的模具时，冷却管20A的外周面201与熔融的铸铁接触，冷却管20A的外周面201承受来自熔融的铸铁的热。

由此，冷却管20A的外周面201被加热(500℃以上且850℃以下)，冷却管20A的外周面201被敏化。在此，敏化是指例如不锈钢所含有的铬与碳结合而使铬的碳化物沿不锈钢的晶界析出的现象。其结果是，在泵壳体10的浇铸结束后，冷却管20A的外周面201由敏化层20s构成，冷却管20A的外周面201与泵壳体10密接。

换言之，在泵壳体10通过熔融的铸铁进行浇铸时，正因为熔融的铸铁与冷却管20A的外周面201密接，冷却管20A的外周面201被熔融的铸铁加热，所以冷却管20A的外周面201被敏化。另外，冷却管20A的外周面201被熔融的铸铁加热到敏化的程度是指，在冷却管20A和第二壳体部12之间发生某种程度的固溶。由此，冷却管20A的外周面201与泵壳体10密接。

图2是表示本实施方式的真空泵的内部主要部分的示意剖视图。

在图2中示出了沿图1的A1-A2线的位置处的X-Y平面的截面。另外，在图2中示出了图1中未图示的驱动机构40和中间壳体50等。

螺杆转子31、32分别具有与X轴方向平行的轴心。螺杆转子31、32分别在Y轴方向上彼此相邻，并配置在第一壳体部11内。第一螺杆转子31具有螺旋状第一齿31s，第二螺杆转子32具有与第一齿31s啮合的螺旋状的第二齿32s。第一齿31s和第二齿32s各自的圈数不限于图示的数量。

第一齿31s和第二齿32s除了各自的扭转方向为彼此相反的方向以外，分别具有大致相同的形状。第一齿31s在第一螺杆转子31的轴部310的周围以同一直径进行缠绕。第二齿32s在第二螺杆转子32的轴部320的周围以同一直径进行缠绕。

第一齿31s与第二齿32s相互啮合。例如，第一齿31s位于第二齿32s的齿与齿之间的槽处。该槽与第一齿31s之间设置有间隙。同样地，第二齿32s位于第一齿31s的齿与齿之间的槽处。该槽与第二齿32s之间设置有间隙。

第一齿31s的外周面与泵壳体10的内壁面以及第二螺杆转子32的轴部320的外周面空出微小的间隙而相向。第二齿32s的外周面与泵壳体10的内壁面以及第一螺杆转子31的轴部310的外周面空出微小的间隙而相向。

在泵壳体10中，第一壳体部11是圆筒状的容器，第二壳体部12和第三壳体部13分别是与第一壳体部11的两侧连接的法兰盘。但是，泵室10p贯通第二壳体部12。

在第三壳体部13分别穿插第一螺杆转子31的轴端部311和第二螺杆转子32的轴端部321。另外，在轴端部311和第三壳体部13之间设置有轴承14a，在轴端部321和第三壳体部13之间设置有轴承14b。通过轴承14a，轴端部311可旋转地支承在第三壳体部13，通过轴承14b，轴端部321可旋转地支承在第三壳体部13。

通过螺栓紧固将覆盖轴承14a、14b的盖15经由O形圈等密封构件而气密地固定在第三壳体部13。由此，确保泵室10p的气密性。

在第二壳体部12中，内设有冷却管20A。而且，在第二壳体部12穿插第一螺杆转子31和第二螺杆转子32。

中间壳体50设置在泵壳体10和驱动机构40之间。中间壳体50通过螺栓紧固经由例如O形圈等密封构件等而气密地固定在第二壳体部12。由此，确保泵室10p的气密性。

在中间壳体50中穿插第一螺杆转子31的轴端部312和第二螺杆转子32的轴端部322。在轴端部312和中间壳体50之间设置有轴承15a，在轴端部322和中间壳体50之间设置有轴承15b。通过轴承15a，轴端部312可旋转地支承在中间壳体50，通过轴承15b，轴端部322可旋转地支承在中间壳体50。

驱动机构40具有电动机壳体41、电动机42、第一正时齿轮43a和第二正时齿轮43b。电动机42、第一正时齿轮43a和第二正时齿轮43b收容在电动机壳体41内。电动机壳体41通过螺栓紧固经由例如O形圈等密封构件等而气密地固定在中间壳体50。

电动机42例如由直流(DC)电动机等构成。电动机42的驱动轴420与第一螺杆转子31的轴端部312连结。电动机42使第一螺杆转子31绕其轴以规定的转速进行旋转。

第一正时齿轮43a安装在第一螺杆转子31的轴端部312处。第二正时齿轮43b安装在第二螺杆转子32的轴端部322处。正时齿轮43a、43b以相互啮合的方式在Y轴方向上并列。由此，当第一螺杆转子31旋转时，第一螺杆转子31的旋转驱动力传递给第二螺杆转子32。

在此，当将由第三壳体部13、第一壳体部11、第一齿31s和第二齿32s划定的空间设为进气室111，将由第二壳体部12、中间壳体50、第一齿31s和第二齿32s划定的空间设为排气室121时，进气室111与进气口110相连，排气室121与排气口120相连。进气口110与未图示的真空腔室的内部空间连接。排气口120与大气或未图示的辅助泵、处理排放气体的装置连接。

螺杆转子31、32分别通过电动机42的驱动向彼此相反的方向进行旋转。驱动机构40将在第一螺杆转子31、第二螺杆转子32与第一壳体部11之间形成的工作空间S1从进气口110侧向排气口120侧输送。由此，从进气口110吸入的气体通过输送的工作空间S1而被运送，并从排气口120排出。

在该情况下，从进气口110流入到进气室111的气体通过螺杆转子31、32输送到排气口120侧，并在排气室121被压缩。在此，分隔成许多个的工作空间S1中，其最终级部具有最大压力差。最终级部的前级部的工作空间的压力低，即使压缩比相同，接近大气压的最终级部也由于压缩热而更容易升温。由此，与排气室121相邻的第二壳体部12有时由于压缩热而变得异常热。因此，在真空泵1中如何以高效且简便的结构来冷却第二壳体部12变得重要。

以下，以冷却第二壳体部12的几个方法作为比较例来进行说明。

例如，作为冷却第二壳体部12的比较例，有在第二壳体部12通过钻削加工来设置孔、并将冷却管穿过该孔的方法。在该方法中，在冷却管和第二壳体部12之间配置作为加热介质的脂膏(grease)。

但是，在该方法中需要实施在第二壳体部12形成孔的钻削加工。另外，通过钻削加工形成的孔一般形成为直线状，无法穿过U字形的冷却管。要将冷却管构成为U字形，需要将多个冷却管接合成U字形，导致冷却管的结构变得复杂。另外，如果在冷却管与第二壳体部12之间配置脂膏，则有时冷却管和第二壳体部12之间的导热性变差。另外，也需要进行定期地重新涂抹脂膏的维护。

另外，作为冷却第二壳体部12的另一比较例，例如有使冷却板经由脂膏与第二壳体部12接触的方法，其中，所述冷却板是在铝制的厚板安装管路，浇铸不锈钢管，并使水在其中循环。

但是，该方法并非使真空泵紧凑化，会导致真空泵的成本增加。另外，在该方法中，与通过冷却管20A来冷却第二壳体部12的方法相比，冷却效率较差。另外，对于脂膏，也残留有相同的问题。

另外，作为冷却第二壳体部12的又一比较例有如下方法：使加热介质循环，通过经由加热介质的间接冷却来冷却第二壳体部12。

但是，在该方法中，需要增设冷却加热介质的风扇机构，需要使加热介质循环的管道，会导致成本增加。并且，在该方法中，由于通过加热介质间接地冷却第二壳体部12，所以与通过冷却管20A来冷却第二壳体部12的方法相比，冷却效率差。

在本实施方式中，无需通过钻削加工在第二壳体部12设置孔，第二壳体部12在与冷却管20A的一部分接触的同时被铸造，从而形成了冷却管20A的一部分设于第二壳体部12内的真空泵1。由此，更简便地形成了冷却管20A设于第二壳体部12内的真空泵1。

在此，作为冷却管20A的外周面201与第二壳体部12密接的依据，可举出冷却管20A的外周面201由薄的敏化层20s构成。即使冷却管20A的外周面201由敏化层20s构成，敏化层20s也与铸铁相接而不与水等相接，因此冷却管20A不会从外周面201发生腐蚀。

例如，图3是冷却管的外周面附近的电子探针显微分析仪的结果。横轴是在从冷却管20A的内部向第二壳体部12的方向上的距离(深度)(mm)。纵轴是X射线强度。电子束的束径例如是2μm。

如图3所示，至距离0.6mm为止，Fe强度与Cr强度大致恒定，但当超过距离0.6mm时，Fe强度和Cr强度出现显著的波动。并且，当经过距离0.9mm附近时，Fe强度和Cr强度发生极度变化。若考虑到铸铁的主成分为铁并在铁中混入了铬的产物是不锈钢，则可以说距离0.9mm的位置是冷却管20A与第二壳体部12的边界位置。

另外，从距离0.6mm到0.9mm(冷却管20A和第二壳体部12边界)的区域中，Fe强度和Cr强度出现显著的波动。在从距离0mm到0.6mm的区域中，Fe强度和Cr强度大致恒定，若考虑到在不锈钢中铬与碳结合而使铬的碳化物沿不锈钢的晶界析出的敏化现象，则可以说在从距离0.6mm到0.9mm的区域形成了敏化层20s。

并且，即使超过距离0.9mm的位置也能检测到微量的冷却管20A中的Cr和Ni，所以可以说在冷却管20A和第二壳体部12之间发生了某种程度的固溶。

由于敏化层20s的厚度为1mm以下，所以冷却管20A的厚度优选为1mm以上且5mm以下。

若冷却管20A的厚度小于1mm，则可能冷却管20A的容积的大部分由敏化层20s构成而导致冷却管20A从内周面202侧发生腐蚀，或者冷却管20A的一部分在浇铸泵壳体10时进行熔融而导致外周面201和内周面202贯通。例如，在使用壁厚为1mm的冷却管来浇铸泵壳体10的情况下，有时冷却管的一部分进行熔融导致外周面和内周面贯通。

另一方面，若冷却管20A的厚度大于5mm，则由于冷却管20A的容积变大，所以在浇铸泵壳体10时，冷却管20A的外周面201未被充分加热，在冷却管20A和第二壳体部12之间变得难以发生固溶。由此，形成冷却管20A的外周面201与第二壳体部12未紧贴的区域，与其相应地，缓慢导热的能力变差。另外，若冷却管20A的厚度大于5mm，则冷却管20A自身的强度增大，连接管部23的弯曲加工变难。此外，本实施方式中的“紧贴”是指冷却管20A的外周面与第二壳体部12熔接的意思。

敏化层20s的厚度小于0.3mm意味着冷却管20A的外周面201没有被熔融的铸铁充分地加热，冷却管20A和第二壳体部12之间变得难以发生固溶。

另一方面，若敏化层20s的厚度大于0.3mm，则可能冷却管20A的容积的大部分由敏化层20s构成，导致冷却管20A从内周面202侧发生腐蚀。

另外，在本实施方式中，泵壳体10的容积除以如下乘积而得到的值A优选为30以上且300以下，该乘积是冷却管20A与泵壳体10相接的面积乘以冷却管20A的厚度所得到的值。

若值A小于30，则可能在浇铸泵壳体10时冷却管20A未被充分加热，在冷却管20A和第二壳体部12之间未发生固溶，冷却管20A的外周面201变得不与第二壳体部12密接。

另一方面，若值A大于300，则可能冷却管20A的容积的大部分由敏化层20s构成而导致冷却管20A从内周面202侧发生腐蚀，或者冷却管20A的一部分在浇铸泵壳体10时发生熔融而导致外周面201和内周面202贯通。

此外，在冷却管20A的内周面202没有形成敏化层，或者难以与在外周面201同样程度地形成敏化层。这是因为在浇铸泵壳体10时，内周面202不与熔融的铸铁直接相接。另外，要想尽量抑制内周面202的敏化，在浇铸泵壳体10时，可以在冷却管20A内通水，或者使冷却管20A内存水。在冷却管20A的通水试验中，内周面202未发生腐蚀，或能抑制到实用上没有问题的程度的腐蚀。

此外，从防锈的观点来看，通过使用铁材管道并在内周面形成非电解镀镍膜来作为冷却管20A，能够避免由不锈钢产生的敏化的现象本身。但是，镀膜无法确保密合性，在产生了针孔的情况下，有时从针孔部发生镀膜的剥离。另外，若由于长时间的热历史而反复进行冷却管20A的膨胀和收缩，则镀膜变得更容易剥离。另外，在冷却管20A的内周面202均匀地形成镀膜在技术方面、成本方面也会变得困难。

因此，如本实施方式那样，只要将具有1mm且以上5m以下的厚度的冷却管20A与铸铁一同进行浇铸，则简便地形成在实用上没有腐蚀问题的附带冷却管20A的泵壳体10。

另外，根据本实施方式，由于冷却管20A与第二壳体部12直接相接，所以不需要在冷却管20A的外周面201和第二壳体部12之间设置脂膏。由此，通过在冷却管20A内流动的介质，高效地冷却泵壳体10。

另外，根据本实施方式，为了在U字形的冷却管20A中第一冷却管部21、连接管部23和第二冷却管部22构成为一体，不需要将多个冷却管接合成U字形，冷却管的结构变得简便。

另外，根据本实施方式，由于冷却管20A的一部分设于第二壳体部12内，所以真空泵1变得紧凑，能够抑制成本增加。

另外，根据本实施方式，在第二壳体部12，以夹持一对螺杆转子31、32的方式设置第一冷却管部21和第二冷却管部22。由此，第二壳体部12被第一冷却管部21和第二冷却管部22均匀地冷却。

另外，根据本实施方式，冷却管20A的厚度构成为1mm以上且5mm以下，因此能够在端部21t和端部22t各自的内周面202形成螺纹，利用螺纹式接头，能够容易地与管道连结。

图4(a)至图4(c)是表示本实施方式的冷却管的变形例的示意图。

在图4(a)所示的冷却管20B中，第一冷却管部21和第二冷却管部22各自的外周面201设置有凹陷210。凹陷210的数量不限于图示的数量。只要是这种冷却管20B，则冷却管20B的外周面201和第二壳体部12的接触面积增加，第二壳体部12的冷却效率进一步增加。

在如图4(b)所示的冷却管20C中，第一冷却管部21和第二冷却管部22分别具有波形结构220(例如，正弦波形结构)。波的数量、周期不限于图示的数值。只要是这种冷却管20C，则冷却管20C的外周面201和第二壳体部12的接触面积增加，第二壳体部12的冷却效率进一步增加。

在如图4(c)所示的冷却管20D中，第一冷却管部21和第二冷却管部22分别具有弯曲部230。由此，能够将第一冷却管部21的端部21t的位置、或第二冷却管部22的端部22t的位置配置在与冷却管20A不同的位置。即，根据本实施方式的冷却管结构，配置端部21t、22t的自由度增加。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不仅限于上述的实施方式，当然能够加以各种变更。例如，虽然泵壳体10是将第三壳体部13一体形成的结构，但也可以是分开的结构。为了均匀地缓慢导热，冷却管20A相对于Y-Z轴平面而构成为U字形，但是为了任意地控制缓慢导热部，可以是I字形，也可以是在X-Y轴平面上任意地构成U字形、I字形等，还可以设置2个以上的连接管部和冷却管，还可以将这些配置2组以上。另外，在使用罗茨真空泵或旋转真空泵的情况下，泵壳体的形状酌情进行变更，将冷却管配置在最合适的场所。

附图标记说明

1：真空泵

10：泵壳体

10p：泵室

11：第一壳体部

12：第二壳体部

13：第三壳体部

14a、14b、15a、15b：轴承

15：盖

20A、20B、20C、20D：冷却管

201：外周面

202：内周面

20s：敏化层

21：第一冷却管部

21t、22t：端部

22：第二冷却管部

23：连接管部

210：凹陷

220：波形结构

230：弯曲部

31：第一螺杆转子

31s：第一齿

310、320：轴部

311、312、321、322：轴端部

32：第二螺杆转子

32s：第二齿

40：驱动机构

41：电动机壳体

42：电动机

420：驱动轴

43a：第一正时齿轮

43b：第二正时齿轮

50：中间壳体

110：进气口

111：进气室

120：排气口

121：排气室

S1：工作空间