阅读说明：本技术 抛光加工装置 (Polishing processing device ) 是由 神村大地 大桥正英 二村优 于 2019-05-22 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种抛光加工装置,其能够不改变活塞的动作方向地用一个工具对槽的两侧面进行加工,具有：按压被加工面(4)而进行加工的圆棒形状的尖端(10)；和加压单元(30),加压单元(30)使尖端(10)对被加工面(4)进行加压,并且具有：沿与所述尖端(10)正交的方向往复移动的活塞(31)；以能够往复移动的方式收纳活塞(31)的气缸部(32)；以及加压机构(33),在使活塞(31)往复移动,将尖端(10)按压于被加工面(4)的按压加工时和将尖端(10)拉到被加工面(4)的拉引加工时这两者中,加压机构(33)使尖端(10)对被加工面(4)施力。(The invention provides a polishing device, which can process two side surfaces of a groove by one tool without changing the action direction of a piston, and comprises: a round rod-shaped tip (10) which is processed by pressing the surface (4) to be processed; and a pressurizing unit (30), wherein the pressurizing unit (30) pressurizes the processed surface (4) by the tip (10), and comprises: a piston (31) that reciprocates in a direction orthogonal to the tip (10); a cylinder part (32) which can accommodate the piston (31) in a reciprocating manner; and a pressurizing mechanism (33) which forces the tip (10) against the surface (4) to be processed by reciprocating the piston (31) during both pressing processing for pressing the tip (10) against the surface (4) to be processed and drawing processing for drawing the tip (10) against the surface (4) to be processed.)

抛光加工装置

技术领域

本发明涉及一种抛光加工装置。

背景技术

通常，用于嵌入O型环等密封部件的槽是将圆筒形状的工件用O形环槽加工刀具尖端进行切削加工而形成的。通过切削加工形成的O形槽的表面被切削精加工。近年来，虽然要求提高O形环的寿命、提高密封性，但是由于通过切削精加工的精加工表面粗糙度受到尖端的磨损的影响，因此难以稳定。

作为使切削加工的加工面的表面粗糙度良好的方法，已知有抛光加工。作为对切削加工了的槽的表面粗糙度良好地进行精加工而提高密封性的工具，有对切削加工了的槽的侧面进行抛光加工的抛光加工用工具(例如，日本专利实开昭59-124047号公报，以下“专利文献1”)。

专利文献1中记载的抛光加工用工具具有：具备保持有超硬抛光工具的后部支架的抛光机；和安装抛光机的活塞。活塞被设置成能够出没于支架，通过设置在支架内的弹簧而被突出施力。超硬抛光工具与抛光机一起被施力，被按压到旋转的工件的圆筒外周槽的侧面，进行抛光加工。

在专利文献1的抛光加工用工具中，相对于支架仅在按压的方向上对超硬抛光工具施力。因此，为了加工圆筒外周槽的两个侧面，必须改变活塞的动作方向。或者，需要另外准备能够对支架向拉引的方向施力的活塞。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够不改变活塞的动作方向地用一个工具对槽的两侧面进行加工的抛光加工装置。

本发明的抛光加工装置具有：

圆棒形状的尖端，所述尖端按压被加工面而进行加工；和

加压单元，所述加压单元使所述尖端对所述被加工面加压，并且具有：

活塞，所述活塞沿与所述尖端正交的方向往复移动；

气缸部，所述气缸部以所述活塞可往复移动的方式***述活塞；以及

加压机构，在使所述活塞往复移动，在将所述尖端按压于所述被加工面的按压加工时和将所述尖端拉到所述被加工面的拉引加工时这两者中，所述加压机构使所述尖端对所述被加工面施力。

发明效果

根据本发明，能够不改变活塞的动作方向地用一个工具对槽的两侧面进行抛光加工。

附图说明

图1是实施方式1的抛光加工装置的截面图。

图2是图1的A-A线截面图。

图3是实施方式1的尖端的放大侧视图。

图4是表示在按压加工时实施方式1的活塞移动的状态的截面图。

图5是表示在拉引加工时实施方式1的活塞移动的状态的截面图。

图6是实施方式1的抛光加工装置的比较例的截面图。

图7是实施方式1的变形例的抛光加工装置的立体图。

图8是实施方式1的变形例的抛光加工装置的主要部分截面图。

图9是实施方式2的抛光加工装置的截面图。

图10是表示实施方式2的抛光加工装置的调整了弹簧负荷的状态的截面图。

图11A是表示在按压加工时实施方式2的活塞移动的状态的截面图，图11B是表示在拉引加工时实施方式2的活塞移动的状态的截面图。

符号说明

1 抛光加工装置

1a 抛光加工装置

2 工件

4 侧面(被加工面)

10 尖端

20 尖端支架

30 加压单元

31 活塞

32 气缸部

33 加压机构

38 滚动体

46 推进体

47 弹簧部件(弹性部件)

51 弹簧承接部件

52 基座

53 负荷调节螺钉(负荷调节部件)

60 加压单元

61 活塞

62 气缸部

63 加压机构

64 第一按压面

72 第二按压面

78 第一支撑面

83 第二支撑面

85 弹性部件

86 第一承接部件

87 第二承接部件

130 加压单元

131 活塞

132 气缸部

133 加压机构

138 滚动体

146 推进体

具体实施方式

关于本发明的实施方式，参照附图进行详细说明。即使将工件的外表面、内表面、端面中的任一个作为被加工面，抛光加工装置也能够进行抛光加工。在本实施方式中，如图4所示，以抛光加工装置1在工件2的外周面加工O形环安装槽3的情况为例进行举例说明。另外，在本实施方式的抛光加工装置1中，在加工工件2时，有时使用中心按压台5使工件2旋转。

(实施方式1)

如图1所示，本实施方式的抛光加工装置1具有尖端10、尖端支架20和加压单元30。

尖端10按压O形环安装槽3的两侧面4等工件2的被加工面而进行加工。尖端10是细圆棒形状，是前端部能够***到O形环安装槽3内的大小。如图3所示，尖端10具有平行部11和锥形部12。平行部11形成于尖端10的前端部，其外周面与被加工面(侧面4)平行。由于尖端10的轴向的平行部11的长度较短，因此尖端10与工件2的接触面积变小。由此，能够以比较小的尖端10的按压负荷对工件2进行加工。锥形部12位于比平行部11靠基端侧，随着朝向基端侧而缩径。锥形部12释放作用于工件2的负荷。在***到O形环安装槽3内的尖端10的平行部11与被加工面接触之后，随着锥形部12与被加工面接触，压力逐渐减轻，并且产生由周向速度差引起的摩擦，从而能够得到良好的精加工面。另外，尖端10的形状没有限定，也可以是不具有锥形部而仅由平行部构成的形状。

尖端10由金刚石、超硬合金等超高硬度材料构成。另外，尖端10的材质也可以根据工件2的材质或加工部分的状态来决定。因此，尖端10不限于超高硬度材料，也可以由一般钢材形成。通过对尖端10实施表面处理或表面加工，能够使尖端10与工件2的摩擦阻力变化，或者能够提高尖端10的耐久性。

如图1所示，尖端支架20支撑尖端10。尖端支架20具有比上端部细的躯干部21。尖端支架20在下端部(与尖端10侧相反的一侧的端部)的外周面具有螺纹部22。

另外，尖端支架也可以可旋转地支撑尖端。在这种情况下，尖端支架20具有用于使尖端10旋转的滚珠轴承。

加压单元30使尖端10对被加工面(侧面4)进行加压。加压单元30具有活塞31、气缸部32和加压机构33。

活塞31保持尖端支架20。活塞31的轴向与尖端10的轴向正交。尖端10的轴向沿图1的上下方向延伸。活塞的轴向沿图1的左右方向延伸。活塞31具有截面矩形形状(参照图2)。活塞31沿图1的左右方向往复移动。供尖端支架20插通的支撑孔34沿上下方向贯通活塞31的前端部(尖端侧端部)。在支撑孔34中，插通有尖端支架20的躯干部21。通过使螺母23螺合于躯干部21的螺纹部22，从而将尖端支架20固定于活塞31。在活塞31的基端部(与尖端侧相反的一侧的端部)可装卸地螺栓固定有凸缘部35。凸缘部35起到防止活塞31从气缸部32的通孔36脱落的挡块的作用。

如图2所示，在活塞31的中间部形成有上下贯通的空洞部37。在空洞部37设置有圆筒状的滚动体38。滚动体38能够以与活塞31的轴向正交的(沿图1的纸面表背方向以及图2的左右方向延伸的)轴为中心旋转。本实施方式的滚动体38的轴是架设在空洞部37的侧壁之间的圆柱体39。滚动体38位于空洞部37的轴向中间部，滚动体38的下端以与活塞31的下端相同高度的方式配置。

在本实施方式中，为了抑制活塞31的滚动、偏摆，设置对活塞31赋予加压的加压赋予机构。通过加压赋予机构，活塞31沿着轴向滑动。因此，抑制了尖端10的倾斜，提高了抛光加工的精度。本实施方式的加压赋予机构由设置在滚动体38的周边的多个辅助滚动体40构成。辅助滚动体40为圆筒状，与滚动体38平行地配置。辅助滚动体40能够以架设在空洞部37的侧壁之间的圆柱体41为中心旋转。辅助滚动体40具有配置在滚动体38的左右的斜上部两侧的上部滚动体40a和配置在滚动体38的左右的侧方两侧的下部滚动体40b。上部滚动体40a的斜下部与滚动体38的斜上部接触。上部滚动体40a的上端部比活塞31的上端稍向上方突出，在将活塞31***到通孔36时，上部滚动体40a的上端部向气缸部32的通孔36的上表面施力。

下部滚动体40b在滚动体38的侧方以与滚动体38隔开间隙而不接触的状态配置。下部滚动体40b的斜上部与上部滚动体40a的斜下部接触。下部滚动体40b的下端部比活塞31的下端稍向下方突出，在将活塞31***到通孔36时，下部滚动体40b的下端部向气缸部32的通孔36的下表面施力。

如上所述，由于上部滚动体40a和下部滚动体40b一边分别对通孔36赋予加压，一边在通孔36的表面滚动，因此活塞31能够沿着通孔36的轴向滑动。

另外，活塞和气缸部的形状没有特别限定。也可以将活塞设为矩形截面，在气缸部的通孔的内表面设置多个滚动体，并以滚动体包围活塞的方式进行支撑。在这种情况下，活塞被多个滚动体赋予加压。

气缸部32以活塞31能够沿轴向移动的方式容纳活塞31。气缸部32是包围活塞31的周围的筒形状，具有通孔36。通孔36具有比活塞31的外形大一圈的截面矩形形状，具有用于使活塞31能够沿轴向移动的间隙。由于一对下部滚动体40b与通孔36的下表面接触，并且一对上部滚动体40a与通孔36的上表面接触，因此活塞31的轴与通孔36的轴不会倾斜地使活塞31移动。气缸部32的下侧形成有向下方延伸，且容纳后述的加压机构33的推进体46和弹簧部件47的第二通孔43。第二通孔43从通孔36的轴向中间部的下表面贯通到气缸部32的下端部。第二通孔43具有截面圆形。第二通孔43在内周面具有台阶部44，第二通孔43的下部的口径比第二通孔43的上部的口径大。台阶部44的上侧为小径部43a，下侧为大径部43b。大径部43b在下端部的内周面具有内螺纹部45。

加压机构33在按压加工时和拉引加工时这两者中，使尖端10向被加工面(侧面4)施力。在按压加工时，加压机构33使尖端10向被加工面的里侧面(图1的左侧)按压。在拉引加工时，加压机构33将尖端10拉到被加工面的跟前侧面(图1的右侧)。具体而言，加压机构33具有滚动体38、推进体46和弹簧部件(弹性部件)47。如上所述，滚动体38设置在活塞31内。

推进体46从下侧朝向上方按压滚动体38。推进体46为圆柱形状，能够沿与活塞31的轴向以及滚动体38的轴向正交的方向(图1的上下方向)移动。推进体46可升降地***到设置于气缸部32下部的第二通孔43的小径部43a。推进体46具有与滚动体38的外周面卡合的凸轮面48，具有直动凸轮的功能。活塞31为原节，推进体46为从节。并且，滚动体38起到凸轮从动件的作用。凸轮面48形成在推进体46的上端部，中央低，随着朝向活塞31的往复方向两端部而变高。凸轮面48与滚动体38抵接。在活塞31位于基准位置时，凸轮面48相对于滚动体38的高度达到最高点，随着活塞31的往复运动，凸轮面48相对于滚动体38的高度逐渐变低。另外，凸轮面48也可以在中央部分具有平坦部。

在推进体46形成有在轴向上较长的长孔49。在长孔49内插通有圆柱状的引导杆50。引导杆50固定于第二通孔43的壁面。长孔49引导推进体46的移动方向。引导杆50防止推进体46绕轴的旋转。推进体46的上端部从第二通孔43的上端向上方突出，凸轮面48与滚动体38的下端部抵接。推进体46的下端部以比第二通孔43的台阶部44更向下方突出的状态配置。

弹簧部件47朝向滚动体38对推进体46施力。弹簧部件47是弹簧式的弹簧，容纳在第二通孔43的大径部43b中。环状的弹簧承接部件51与弹簧部件47的上端部抵接。弹簧承接部件51的外径比大径部43b的内径稍小。弹簧承接部件51配置在台阶部44的附近。在弹簧承接部件51上载置推进体46。环状的基座52与弹簧部件47的下端部抵接。基座52是推力球轴承，能够吸收弹簧部件47的扭转。

在基座52的下侧，设置有用于调整弹簧部件47的弹簧负荷的负荷调节螺钉(弹簧负荷调节部件)53。负荷调节螺钉53与第二通孔43的下端部的内螺纹部45螺合，通过旋转而上下运动。当使负荷调节螺钉53上升时，基座52上升，弹簧部件47的高度尺寸变小。由此，施加在推进体46上的弹簧负荷变大。当使负荷调节螺钉53下降时，基座52下降，弹簧部件47的高度尺寸变大。由此，施加在推进体46上的弹簧负荷变小。弹簧负荷根据工件2以及尖端10的材质、形状、所要求的被加工面的表面粗糙度等而适当设定。在负荷调节螺钉53的侧部，设置有用于将负荷调节螺钉53固定在规定位置的固定螺钉54和螺钉孔55。

在本实施方式的加压单元30中，当活塞31沿往复方向移动时，滚动体38被按压到推进体46的凸轮面48的倾斜面。于是，推进体46向下方移动，弹簧部件47被压缩。此时，弹簧部件47的复原力成为反作用力，将推进体46压回。从推进体46向上方施加的力的相对于凸轮面48的分力施加在活塞31的往复方向上。推进体46对滚动体38的作用力(弹簧部件47的反作用力)与压缩尺寸成比例。即，活塞31的从基准位置的变动量越大，推进体46对滚动体38的作用力越大。

如果凸轮面48为平面状，则推进体46对滚动体38的作用力与活塞31的从基准位置的变动量成比例。即使凸轮面48为曲面状，也能够根据凸轮面48的截面函数赋予活塞31的往复方向上的力。因此，与活塞31的位置对应的力作用于尖端10。即，能够根据活塞31的从基准位置的变动量控制尖端10对被加工面施加的应力。

接着，一边对使用抛光加工装置1进行抛光加工的情况下的各部分的动作进行说明，一边对本实施方式的作用效果进行说明。

(按压加工时)

在按压加工时，如图4所示，一边使工件2旋转，一边使尖端10向被加工面的里侧面(图4的O形环安装槽3的左侧的侧面4)按压。此时，尖端10受到反作用力，活塞31与尖端10以及尖端支架20一起，相对于气缸部32向右侧相对移动。于是，由于滚动体38相对于推进体46向右侧移动，因此滚动体38按压凸轮面48的右侧斜面，推进体46被向下方按下。由此，弹簧部件47收缩，产生弹簧力(弹性力)。该弹性力经由推进体46、滚动体38、活塞31、尖端支架20传递到尖端10。尖端10对被加工面施加的应力根据活塞31的从基准位置的变动量而变化。由此，适当的压力作用于工件2的被加工面(侧面4)，能够抛光加工成所期望的表面粗糙度。

(拉引加工时)

在拉引加工时，如图5所示，一边使工件2旋转，一边将尖端10拉到被加工面的跟前侧面(图5的O形环安装槽3的右侧的侧面4)。此时，尖端10受到反作用力，活塞31与尖端10以及尖端支架20一起，相对于气缸部32向左侧相对移动。于是，由于滚动体38相对于推进体46向左侧移动，因此滚动体38按压凸轮面48的左侧斜面，推进体46被向下方按下。由此，弹簧部件47收缩，产生弹性力。该弹性力经由推进体46、滚动体38、活塞31、尖端支架20传递到尖端10。由此，适当的压力作用于工件2的被加工面(侧面4)，能够抛光加工成所期望的表面粗糙度。

如上所述，根据本实施方式的抛光加工装置1，活塞31能够沿气缸部32的轴向两方向移动，并且加压机构33能够向活塞31的两方向传递弹簧部件47的弹力。因此，在按压加工时和拉引加工时这两者中，能够使尖端10向被加工面施力。因此，无论尖端10的按压方向如何，都能够不改变活塞31的动作方向地用一个工具对O形环安装槽3的两侧面4进行抛光加工。

另外，由于本实施方式的尖端10具有轴向长度较短的平行部11，因此能够以较小的尖端10的按压负荷对工件2进行加工。进而，由于尖端10具有锥形部12，因此在使尖端10进行按压加工或拉引加工时，压力逐渐减轻，并且产生由周向速度差引起的摩擦，从而能够得到良好的精加工面。

另外，本实施方式的加压机构33具有滚动体38、推进体46和弹簧部件47，推进体46和弹簧部件47配置成向活塞31的下方延伸。即，加压机构33向与活塞31的轴线方向垂直的方向加压。因此，由于能够减小活塞31的轴向长度，因此活塞31的后方的空间变宽。由此，能够确保使工件2旋转的中心按压台5的设置空间。

进而，由于本实施方式的加压机构33具有作为弹簧负荷调节部件的负荷调节螺钉53，因此能够将弹簧部件47的弹簧负荷调节为所期望的大小。由此，能够将用尖端10按压被加工面的力调整为适当稳定的大小，因此能够得到均匀的精加工面。

另外，在本实施方式中，通过设置在滚动体38的周围的多个辅助滚动体40，能够抑制活塞31倾斜。当不设置辅助滚动体40时，如图6所示，由于推进体46将滚动体38向上方按压，因此活塞31也上升与气缸部32的通孔36的间隙的量那么多，因而倾斜。但是，在本实施方式中，如图4和图5所示，由于上部滚动体40a与通孔36的上表面抵接，下部滚动体40b与通孔36的下表面抵接，因此能够防止活塞31倾斜。进而，由于辅助滚动体40相对于通孔36的内周面滚动接触，因此活塞31能够相对于气缸部32平滑地移动。

(实施方式1的变形例)

接着，对实施方式1的变形例的抛光加工装置进行说明。如图7和图8所示，本变形例的抛光加工装置的加压单元130的结构与实施方式1不同。本变形例的加压单元130具有活塞131、气缸部132和加压机构133。活塞131经由作为加压赋予机构的滚珠花键134可移动地支撑于气缸部132。具体而言，气缸部132具有供活塞131插通的通孔136。在气缸部132可循环地排列有由多个滚珠构成的滚珠列135。滚珠列135沿着活塞131的轴向配置，其一部分向通孔136的内侧突出。滚珠列135以夹着活塞131的方式设置在通孔136的两侧。在活塞131的外周面沿着轴向形成有引导槽137。引导槽137具有圆弧状的截面形状，在活塞131的往复移动的范围形成。滚珠列135的截面的一部分***引导槽137。滚珠列135一面将引导槽137向活塞131的半径方向按压一边滚动，在气缸部132内循环。另外，为了滑动性或抑制活塞的倾斜，也可以进一步另外设置滚珠列135。

在活塞131的外周面形成有与后述的滚动体138的外周面卡合的凸轮面139。凸轮面139具有凹槽形状，沿轴140的方向延伸。凸轮面139在中央部分具有水平部，在两端部具有倾斜部。倾斜部随着朝向活塞131的往复方向外侧而变低。凸轮面139与滚动体138抵接，在活塞131位于基准位置时，相对于滚动体138的高度达到最低点。另外，由于随着活塞131的往复运动，推进体146和滚动体138下降，因此凸轮面139相对于滚动体138的高度逐渐变高。

加压机构133具有推进体146、作为弹性部件的弹簧部件(未图示)和滚动体138。推进体146从下侧朝向上方按压活塞131。推进体146具有圆柱形状，能够在与活塞131的轴向正交的方向(图7、8的上下方向)上移动。推进体146可升降地***到设置于气缸部132下部的第二通孔43的小径部43a。在推进体46的上端部，可旋转地支撑有滚动体138。

滚动体138具有圆筒形状，以与活塞131的轴向和推进体146的轴向正交的轴140为中心可旋转地设置在推进体146的前端部。滚动体138的上端部进入活塞131的凸轮面139，从下侧与活塞131抵接。

弹簧部件将推进体146朝向活塞131侧施力。本变形例的弹簧部件是与实施方式1相同的结构，因此省略图示以及说明。另外，关于其他的结构，由于是与实施方式1相同的结构，因此图示的部分标注相同的符号并省略说明。

在使用本变形例的抛光加工装置进行按压加工时，活塞131与尖端10以及尖端支架20一起相对于气缸部132向右侧相对移动。于是，由于凸轮面139相对于滚动体138向右侧移动，因此凸轮面139的左侧斜面按压滚动体138，滚动体138和推进体146被向下方按下。由此，弹簧部件收缩，产生弹性力。该弹性力经由推进体146、滚动体138、活塞131、尖端支架20传递到尖端10。

另一方面，在进行拉引加工时，活塞131与尖端10以及尖端支架20一起相对于气缸部132向左侧相对移动。于是，由于凸轮面139相对于滚动体138向左侧移动，因此凸轮面139的右侧斜面按压滚动体138，滚动体138和推进体146被向下方按下。由此，弹簧部件收缩，产生弹性力。该弹性力经由推进体146、滚动体138、活塞131、尖端支架20传递到尖端10。

根据本变形例，即使滚动体138为一个，也会抑制活塞131相对于气缸部132的倾斜，且在通孔136内移动。另外，加压赋予机构不限于滚珠花键134，也可以是其他形状。例如，也可以使用在直线状的引导槽中***凸部的线性引导件。

(实施方式2)

接着对实施方式2的抛光加工装置1a进行说明。如图9所示，实施方式2的抛光加工装置1a具有尖端10、尖端支架20和加压单元60。本实施方式的抛光加工装置1a与实施方式1的抛光加工装置1相比，加压单元60的结构不同，因此以加压单元60为重点进行说明。另外，由于本实施方式的尖端10和尖端支架20的结构与实施方式1相同，因此标注相同的符号并省略说明。

加压单元60具有活塞61、气缸部62和加压机构63。活塞61保持尖端支架20，具有与尖端10的轴向正交的轴向。活塞61具有截面圆形形状，前端侧(尖端侧端侧)为比基端侧(与尖端侧相反的一侧)直径大的阶梯圆柱形状。活塞61在轴向中间部具有台阶部。比台阶部靠前端侧(图9的左侧)为大径部65a，比台阶部靠基端侧(图9的右侧)为小径部65b。台阶部构成第一按压面64，该第一按压面64经由第一承接部件86与后述的弹性部件85的一端部(前端部)抵接。

供尖端支架20插通的支撑孔66沿上下方向贯通活塞61的前端部。插通于支撑孔66的尖端支架20通过螺母23固定于活塞61。在大径部65a形成有在轴向上较长的长孔67。在长孔67内，插通有圆柱状的引导杆68。引导杆68固定于后述的通孔75的壁面。长孔67引导活塞61的移动方向。引导杆68防止活塞61绕轴的旋转。

活塞61在基端部的外周面具有外螺纹部69。在外螺纹部69螺合有具有凸缘部70的螺母部件71。螺母部件71通过旋转而沿活塞61的轴向移动。螺母部件71的前端面构成第二按压面72，该第二按压面72经由第二承接部件87与后述的弹性部件85的另一端部(基端面)抵接。

气缸部62以活塞61能够沿轴向移动的方式容纳活塞61。气缸部62是包围活塞61的周围的筒形状，具有通孔75。通孔75的前端侧形成有活塞容纳部76a，该活塞容纳部76a沿轴向可移动地容纳活塞61。活塞容纳部76a具有比活塞61的外径稍大的内径。在比活塞容纳部76a靠基端侧，形成有经由第一台阶部77a扩径的第一大径部76b。第一台阶部77a构成第一支撑面78，该第一支撑面78经由第一承接部件86与后述的弹性部件85的一端部(前端部)抵接。在活塞61相对于气缸部62位于基准位置时，第一支撑面78与第一按压面64齐平。在比第一大径部76b靠基端侧，形成有经由第二台阶部77b进一步扩径的第二大径部76c。第二大径部76c在内周面具有内螺纹部79。

在内螺纹部79螺合有具有通孔80的螺钉部件81。螺钉部件81通过旋转而沿气缸部62的轴向移动。通孔80的内径与第一大径部76b的内径相同。在通孔80的基端周缘部，形成有向中心侧突出的伸出部82。伸出部82具有环形状，在内部具有螺母部件71能够***的内径。伸出部82的前端侧表面构成第二支撑面83，该第二支撑面83经由第二承接部件87与后述的弹性部件85的另一端部(基端面)抵接。当活塞61相对于气缸部62位于基准位置时，第二支撑面83与第二按压面72齐平。

在按压加工时和拉引加工时这两者中，加压机构63使尖端10向被加工面(侧面4)施力。加压机构33由沿着活塞61的轴向设置的弹性部件85构成。

弹性部件85是压缩螺旋式弹簧，以包围活塞61的小径部65b的方式配置。在弹性部件85的一端部(前端部)，安装有第一承接部件86，在另一端部(基端部)，安装有第二承接部件87。弹性部件85、第一承接部件86和第二承接部件87被容纳在由活塞61的小径部65b、气缸部62的第一大径部76b和螺钉部件81的通孔80包围的空间中。

第一承接部件86为环状。第一承接部件86的前端侧端面的内周侧与第一按压面64抵接，外周侧与第一支撑面78抵接。第二承接部件87是环状的滑动球轴承，能够吸收弹性部件85的扭转。第二承接部件87的基端侧端面的内周侧与第二按压面72抵接，外周侧与第二支撑面83抵接。

螺钉部件81具备使安装在弹性部件85的基端侧的第二承接部件87沿轴方向移动的负荷调节部件的功能。如图10所示，当使螺钉部件81旋转而向前端侧移动时，第二承接部件87向前端侧移动，弹性部件85的轴向长度变小。由此，施加于活塞61的弹簧负荷变大。此时，螺母部件71也旋转，使第二按压面72向前端侧移动至与第二承接部件87抵接的位置。另一方面，当使螺钉部件81向基端侧移动时，弹性部件85的轴向长度变大，施加于活塞61的弹簧负荷变小。

接着，一边对使用本实施方式的抛光加工装置1a进行抛光加工的情况下的各部分的动作进行说明，一边对本实施方式的作用效果进行说明。

(按压加工时)

在按压加工时，如图11A所示，一边使工件2旋转，一边使尖端10向被加工面的里侧面(图11的O环安装槽3的左侧的侧面4)按压。此时，尖端10受到反作用力，活塞61与尖端10以及尖端支架20一起，相对于气缸部62向右侧相对移动。于是，活塞61的第一按压面64将弹性部件85的前端侧的第一承接部件86向右侧按压。此时，由于气缸部62不移动，因此第一承接部件86离开第一支撑面78。另一方面，由于弹性部件85的基端侧的第二承接部件87被向第二支撑面83按压，因此弹性部件85收缩，产生弹性力。另外，螺母部件71与活塞61一起向右侧移动，第二按压面72离开第二承接部件87。所产生的弹性力经由第一承接部件86从第一按压面64传递到活塞61，并经由尖端支架20传递到尖端10。由此，适当的压力作用于工件2的被加工面(侧面4)，能够抛光加工成所期望的表面粗糙度。

(拉引加工时)

在拉引加工时，如图11B所示，一边使工件2旋转，一边将尖端10拉到被加工面的跟前侧面(图11的O形环安装槽3的右侧的侧面4)。此时，尖端10受到反作用力，活塞61与尖端10以及尖端支架20一起，相对于气缸部62向左侧相对移动。于是，活塞61的基端部侧的第二按压面72向左侧按压弹性部件85的基端侧的第二承接部件87。此时，由于气缸部62不移动，因此第二承接部件87离开第二支撑面83。另一方面，弹性部件85的前端侧的第一承接部件86被向第一支撑面78按压，因此弹性部件85收缩，产生弹性力。另外，第一按压面64与活塞61一起向左侧移动，离开第一承接部件86。所产生的弹性力经由第二承接部件87从第二按压面72传递到螺母部件71，经由活塞61、尖端支架20传递到尖端10。由此，适当的压力作用于工件2的被加工面(侧面4)，能够抛光加工成所期望的表面粗糙度。

根据本实施方式的抛光加工装置1a，活塞61能够沿气缸部62的轴向两方向移动，并且加压机构63能够向活塞61的两方向传递弹性部件85的弹力。因此，在按压加工时和拉引加工时这两者中，能够使尖端10向被加工面施力。因此，无论尖端10的按压方向如何，都能够不改变活塞61的动作方向地用一个工具对O形环安装槽3的两侧面4进行抛光加工。

以上，对本发明的实施方式1、2进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内适当地进行变更。例如，实施方式1的滚动体38和辅助滚动体40设置在活塞31的内部，但不限于此，也可以突出到活塞的外部。在这种情况下，为了平衡良好地传递弹性力，优选在活塞的宽度方向两侧以对称形状设置滚动体。