阅读说明：本技术 喷雾器喷嘴、成膜装置以及成膜方法 (Sprayer nozzle, film forming device and film forming method ) 是由 平野正树 于 2018-02-22 设计创作，主要内容包括：实现一种能容易地控制成膜区域的喷雾器喷嘴等。喷雾器喷嘴(10)具备：喷嘴主体(1,2,3)；喷嘴头端部(4),其与喷嘴主体(1,2,3)的头端进行连结；至少1个轨道变更部(6),其配置于喷嘴头端部(4)中的载气通道内且使膜材料的轨道变更。(To realize a spray nozzle or the like capable of easily controlling a film formation region. The sprayer nozzle (10) is provided with: a nozzle body (1, 2, 3); a nozzle tip (4) connected to the tip of the nozzle body (1, 2, 3); at least 1 orbit change part (6) which is arranged in the carrier gas channel in the nozzle head end part (4) and changes the orbit of the film material.)

喷雾器喷嘴、成膜装置以及成膜方法

技术领域

本发明涉及用以将膜材料与载气（Carrier Gas）一同向基材喷射来在该基材上成膜的、喷雾器喷嘴、成膜装置以及成膜方法。

背景技术

近年，在电子工学领域，电子部件及电路的小型化、轻量化正不断发展。随之而来的是微小区域的表面处理（表面改性）以及微小区域上的电极形成等这些需求也不断增加。

为了满足这样的需求，利用喷涂法来成膜的方法在近年受到了关注。例如，作为喷涂法之一，有包括以下步骤的的冷喷涂法：（1）将温度低于膜材料的熔点或软化温度的载气加速成高速射流；（2）向该载气射流中投入膜材料来加速该膜材料；（3）使膜材料以固相状态高速撞击基板等来成膜。

关于使用冷喷涂法来成膜的技术，在专利文献1、2中有所揭载。

（现有技术文献）

专利文献

专利文献1：日本国公开专利公报“特开2011-240314号（2011年12月1日公开）”

专利文献2：日本国公开专利公报“特开2009-120913号（2009年6月4日公开）”。

发明内容

（发明所要解决的问题）

以往的冷喷涂法利用了掩模技术来在期望的区域成膜。然而掩模技术的问题在于，当存在与成膜不相关的区域时，成膜效率会较低。

专利文献2揭示了一种为了改善成膜效率而在头端部形成有开口的喷嘴。然后即便利用了专利文献2所述的喷嘴，仍不易在期望的区域高效率地成膜。

本发明是鉴于上述问题研发的，目的在于实现一种能容易地控制成膜区域的、喷雾器喷嘴、成膜装置以及成膜方法。

（解决问题的技术手段）

为解决上述问题，本发明的喷雾器喷嘴适用于通过将载气与膜材料一同向基材喷射来在该基材上成膜的成膜装置，该喷雾器喷嘴具备：喷嘴主体；喷嘴头端部，其与所述喷嘴主体的头端相连结；至少1个轨道变更部，其配置于所述喷嘴头端部中的所述载气的通道内且使所述膜材料的轨道变更。

根据上述方案，在本发明一实施方式的喷雾器喷嘴中，所述至少1个轨道变更部使所述膜材料的轨道变更。所述膜材料的轨道变更，则所述基材上的成膜区域会变化。如此，本发明一实施方式的喷雾器喷嘴能够通过所述至少1个轨道变更部来控制所述基材上的成膜区域。

（发明的效果）

本发明的喷雾器喷嘴、成膜装置以及成膜方法发挥能容易地控制成膜区域的这一效果。

附图说明

图1是本发明实施方式的喷雾器喷嘴的截面图。

图2是本发明实施方式的冷喷涂装置的简略图。

图3是第3躯干部上安设有喷嘴头端部时的外观照片。

图4是从第3躯干部上拆下了喷嘴头端部时的外观示意图。

图5是喷嘴头端部的立体图。

图6是膜材料M的轨道因至少1个轨道变更部而发生变化的简略说明图。

图7是在不使用轨道变更部的情况下将膜材料成膜后的基材表面的照片，（a）示出了喷嘴头端部，（b）示出了基材表面的照片。

图8是使用1个轨道变更部来将膜材料成膜后的基材表面的照片，（a）示出了喷嘴头端部，（b）示出了基材表面的照片。

图9是使用2个轨道变更部来将膜材料成膜后的基材表面的照片，（a）示出了喷嘴头端部，（b）示出了基材表面的照片。

图10是在不使用轨道变更部的情况下将膜材料成膜到基材上后的成膜区域的截面图。

图11是使用1个轨道变更部来将膜材料成膜到基材上后的成膜区域的截面图。

图12是使用2个轨道变更部来将膜材料成膜到基材上后的成膜区域的截面图。

图13是至少1个轨道变更部在载气流动方向上的截面形状为圆形时的简略图。

图14是至少1个轨道变更部在载气流动方向上的截面形状为三角形时的简略图。

图15是至少1个轨道变更部在载气流动方向上的截面形状为矩形时的简略图。

具体实施方式

以下，结合附图来对各实施方式进行说明。以下说明中，对相同的部件及构成要素赋予相同的符号，其名称及功能也相同。因此，不对其详细内容做反复说明。

〔实施方式1〕

首先结合图2，对采用本实施方式的喷雾器喷嘴10的冷喷涂装置（成膜装置）100进行说明。

以下说明中，设想喷雾器喷嘴10适用于冷喷涂法。但喷雾器喷嘴10也能适用于其他喷涂法（火焰喷涂、高速火焰喷涂、HVOF、FVAF或等离子喷涂等）。此外，根据工作气体压，冷喷涂法大致可分为高压冷喷涂与低压冷喷涂。实施方式1的喷雾器喷嘴10能够适用于高压冷喷涂及低压冷喷涂的任何一者。

〔冷喷涂〕

近年，本领域中开始采用被称为冷喷涂法的成膜方法。冷喷涂法是一种使温度低于膜材料的熔点或软化温度的载气成为高速射流，并向该载气射流中投入膜材料来加速该膜材料，由此使膜材料以固相状态高速撞击基板等来成膜的方法。

冷喷涂法的成膜原理如下。

为了将膜材料附着、堆积在基板上来实现成膜，撞击速度需要达到某一临界值以上，该临界值称为临界速度。若膜材料以低于临界速度的速度撞击基板，则只会磨损基板而在基板上形成小坑状的凹陷。临界速度根据膜材料的材质、大小、形状、温度、含氧量或基板的材质等而不同。

若膜材料以临界速度以上的速度撞击基板，则膜材料与基板（或者已成形的膜）之间的界面附近会发生因强大的剪应力而引起的塑性变形。伴随该塑性变形以及因撞击而在固体内产生的强大冲击波，界面附近的温度会上升，在此过程中，膜材料与基板之间、以及膜材料与膜（已附着的膜材料）之间会形成固相结合。

作为膜材料，可举出以下材料，但不限于这些材料。

1.纯金属

铜（Cu）、铝（Al）、钛（Ti）、银（Ag）、镍（Ni）、锌（Zn）、锡（Sn）、钼（Mo）、铁（Fe）、钽（Ta）、铌（Nb）、硅（Si）、铬（Cr）

2.低合金钢

Ancorsteel 100

3.镍铬合金

50Ni-50Cr、60Ni-40Cr、80Ni-20Cr

4.镍基超合金

Alloy625、Alloy718、Hastelloy C、In738LC

5.不锈钢

SUS304／304L、SUS316／316L、SUS420、SUS440

6.锌合金：Zn-20Al

7.铝合金：A1100、A6061

8.铜合金：C95800（Ni-AL Bronze）、60Cu-40Zn

9.MCrAlY：NiCrAlY、CoNiCrAlY

10.其他：非晶质（准晶）金属、复合材料、金属陶瓷、陶瓷。

（冷喷涂装置100）

图2是冷喷涂装置100的简略图。如图2所示，冷喷涂装置100具备：罐110、加热器120、喷雾器喷嘴10、供料器140、基材保持架150以及控制装置（未图示）。

罐110用于储存载气。载气从罐110向加热器120供给。作为载气的一例，可举出氮气、氦气、空气或这些气体的混合气。载气的压力例如调整成：在罐110的出口处为70PSI以上且150PSI以下（约0.48Mpa以上且约1.03Mpa以下）。但载气在罐110出口处的压力并不限上述的范围，可根据膜材料的材质、大小或基板的材质等来适当调整。

加热器120对从罐110供给过来的载气进行加热。更具体地，将载气加热到比从供料器140供给于喷雾器喷嘴10的膜材料的熔点低的温度。例如，在于加热器120的出口进行测定的情况下，载气经加热的温度可在50℃以上且500℃以下的范围。但载气经加热的温度并不限上述的范围，可根据膜材料的材质、大小或基板的材质等来适当调整。

载气经加热器120加热后，供给至喷雾器喷嘴10。

喷雾器喷嘴10将经加热器120加热后的载气以300m／s以上且1200m／s以下的速度范围加速，并向基材20喷射。这里，载气的速度并不限上述的范围，可根据膜材料的材质、大小或基板的材质等来适当调整。

供料器140向被喷雾器喷嘴10加速的载气射流中供给膜材料。从供料器140供给过来的膜材料的粒径大小为1μm以上且50μm以下。供料器140供给过来的膜材料与载气一同从喷雾器喷嘴10向基材20喷射。

基材保持架150对基材20进行固定。载气及膜材料从喷雾器喷嘴10向固定在基材保持架150上的基材20喷射。基材20的表面与喷雾器喷嘴10的头端之间的距离例如调整在1mm以上且30mm以下的范围。基材20的表面与喷雾器喷嘴10的头端之间的距离若小于1mm，则成膜速度会下降。这是由于从喷雾器喷嘴10喷出的载气会逆流至喷雾器喷嘴10内的缘故。此时，由于载气逆流时产生的压力，与喷雾器喷嘴10连接着的部件（导管等）可能会脱落。另一方面，基材20的表面与喷雾器喷嘴10的头端之间的距离若大于30mm，则成膜效率也会下降。这是由于从喷雾器喷嘴10喷出的载气及成膜材料会难以到达基材20的缘故。

但基材20的表面与喷雾器喷嘴10之间的距离并不限上述的范围，可根据膜材料的材质、大小或基板的材质等来适当调整。

控制装置根据预先存储的信息及／或操作人员输入的内容，对冷喷涂装置100进行控制。具体而言，控制装置对从罐110向加热器120供给的载气的压力、载气被加热器120加热的温度、从供料器140供给过来的膜材料的种类和量、以及基材20的表面与喷雾器喷嘴10之间的距离等进行控制。

（喷雾器喷嘴10）

接下来，结合图1等来说明喷雾器喷嘴10。图1是喷雾器喷嘴10的截面图。

喷雾器喷嘴10用以将膜材料与载气一同向基材20喷射，从而在基材20上成膜。喷雾器喷嘴10具备第1躯干部1、第2躯干部2、第3躯干部3、喷嘴头端部4、以及至少1个轨道变更部6。

这里，第1躯干部1、第2躯干部2、第3躯干部3以及喷嘴头端部4可形成为一体。或者，第1躯干部1、第2躯干部2、第3躯干部3以及喷嘴头端部4也可各自单独形成，并设置成能通过螺合方式或螺钉等而相互拆装。

另外，第1躯干部1、第2躯干部2及第3躯干部统称为喷嘴主体。但有时也会将第1躯干部1和第2躯干部2统称为喷嘴主体，此时，可将第3躯干部视为喷嘴头端部4的一部分，并将第3躯干部及喷嘴头端部4一并称为喷嘴头端部。作为喷嘴主体，也可直接采用市售的标准喷雾器喷嘴。

喷雾器喷嘴10可具备从供料器140接收膜材料的供给口等，但附图中省略其详细说明。

喷雾器喷嘴10中的载气的流动方向如图1中箭头所示（方向为从附图右侧向左侧）。载气经加热器120加热后，被供给至喷雾器喷嘴10的第1躯干部1。

在第1躯干部1中，载气的通道沿着该载气的流向而缩小。由此，载气的速度在第1躯干部1得到增加。

紧接着第1躯干部1，设有第2躯干部2。在第2躯干部2中，载气的通道沿着该载气的流向而扩大。由此，喷雾器喷嘴10中，载气在第2躯干部2得到膨胀，而膜材料通过载气的该膨胀来得以加速。

紧接着第2躯干部2，设有第3躯干部3。在第3躯干部3中，载气的通道的形状沿着该载气的流向而均一。这里，在第3躯干部3中，载气的通道可为均一式、扩大式或者缩小式中的任一者，但更优选均一式、扩大式。

紧接着第3躯干部3，设有喷嘴头端部4。在喷嘴头端部4中，载气的通道的形状沿着该载气的流向而均一。在第3躯干部3中，载气的通道可为均一式、扩大式或者缩小式中的任一者，但更优选均一式、扩大式。

第1躯干部1、第2躯干部2、第3躯干部3及喷嘴头端部4中的载气通道在与载气流动方向垂直的方向上的截面形状各为圆形。但该形状也可以为其他形状。

喷嘴头端部4中可***至少1个轨道变更部6。至少1个轨道变更部6使得经过喷嘴头端部4内部的膜材料的轨道发生变更。以下，通过图3等来更详细说明喷嘴头端部4以及至少1个轨道变更部6。

这里，在以下的说明中，设想至少1个轨道变更部6沿着与载气流动方向垂直的方向来横穿喷嘴头端部4内的载气通道。但至少1个轨道变更部6也可以按照与载气流动方向构成大于0°且小于90°的夹角的方式，横穿喷嘴头端部4内的载气通道。或者，至少1个轨道变更部6也未必一定要沿着与载气流动方向垂直的方向来横穿喷嘴头端部4内的载气通道。

像这样，至少1个轨道变更部6只要可使经过喷嘴头端部4内部的膜材料的轨道发生变更，则可以按照各种方式来设置于喷嘴头端部4内的载气通道。

（喷嘴头端部4以及至少1个轨道变更部6）

图3是第3躯干部3上安设有喷嘴头端部4时的外观照片。图4是从第3躯干部3拆下了喷嘴头端部4时的外观示意图。图5是喷嘴头端部4的立体图。

如图3及图4所示，喷嘴头端部4能够相对于第3躯干部3拆装。喷嘴头端部4上形成有开口7及开口8。喷嘴头端部4及第3躯干部3可通过插进开口8的螺钉12而相互固定。

载气的一部分经由开口7而释放到喷嘴头端部4的外部。由此，载气在喷嘴头端部4内部的逆流得到抑制，膜材料可在其加速度不受阻碍的情况下喷射向基材20。

如图3及图4所示，喷嘴头端部4中可***至少1个轨道变更部6。图3中，喷嘴头端部4中插有1个轨道变更部6。而图4中，喷嘴头端部4中插有6个轨道变更部6a～6f。

结合图5来说明，喷嘴头端部4上形成有开口9a～9f（不对开口9a～9f加以区别时，将它们简称为“开口9”）。开口9a～9f中被分别***相应的轨道变更部6a～6f。开口9a～9f各自的形状分别与相应的轨道变更部6a～6f的形状吻合或大致吻合。

开口9的位置并不限位于开口7与喷嘴头端部4的头端之间，也可以位于开口7与第3躯干部3之间。另外，喷嘴头端部4也未必一定要具有开口7。

（膜材料的轨道因轨道变更部而发生的变化）

图6是膜材料M的轨道因至少1个轨道变更部6而发生的变化的简略说明图。图6中，膜材料M从图面的上侧朝下侧供给。膜材料M的轨道上设有至少1个轨道变更部6。当膜材料M撞击到至少1个轨道变更部6时，膜材料M发生轨道变化，并沿着变化后的轨道到达基材20的表面。其结果是，与喷嘴头端部4不具备轨道变更部6时的方案相比，基材20上的成膜区域有所变化。像这样，在喷嘴头端部4中，能够通过适当改变至少1个轨道变更部6的数量、尺寸、形状或位置等来控制基材20表面上的成膜区域。

接下来，结合图7等来说明成膜后的基材20的表面情况。

（成膜后的基材20的表面观察）

图7是在不使用轨道变更部6的情况下将膜材料成膜后的基材20表面的照片，（a）示出了喷嘴头端部4，（b）示出了基材20表面的照片。图8是使用1个轨道变更部6来将膜材料成膜后的基材20表面的照片，（a）示出了喷嘴头端部4，（b）示出了基材20表面的照片。图9是使用2个轨道变更部6来将膜材料成膜后的基材20表面的照片，（a）示出了喷嘴头端部4，（b）示出了基材20表面的照片。在图7的（b）、图8的（b）及图9的（b）中，图面俯视方向为喷嘴的工作方向，虚线内侧代表成膜区域。

在不使用轨道变更部6将膜材料成膜的情况下，成膜区域会随着喷嘴移动方向来形成，但在与喷嘴移动方向垂直的方向（图面的左右方向）上，成膜区域并不会扩大（图7的（b））。另一方面，在使用至少1个轨道变更部6将膜材料成膜的情况下，至少1个轨道变更部6使得膜材料的轨道发生变化，从而即使在与喷嘴移动方向垂直的方向（图面的左右方向）上，成膜区域也会扩大（图8的（b）及图9的（b））。也就是说，采用图8及图9的方案时，喷嘴头端部4能以成膜面积得以扩大的方式来控制成膜区域。

另外，如图9的（b）所示，在使用2个轨道变更部6（轨道变部6a及轨道变更部6b）将膜材料成膜的情况下，轨道变更部6a的正下方成膜区域及轨道变更部6b的正下方成膜区域的颜色较淡。这说明该成膜区域的膜厚较小。但在轨道变更部6a的正下方成膜区域与轨道变更部6b的正下方成膜区域之间所形成的成膜区域，其颜色比轨道变更部6a的正下方成膜区域及轨道变更部6b的正下方成膜区域浓。这说明与轨道变更部6a的正下方成膜区域及轨道变更部6b的正下方成膜区域相比，形成在该2个正下方成膜区域之间的成膜区域的膜厚较大。

图10是在不使用轨道变更部6的情况下将膜材料成膜到基材20上后的成膜区域的截面图。图11是使用1个轨道变更部6来将膜材料成膜到基材20上后的成膜区域的截面图。图12是使用2个轨道变更部6来将膜材料成膜到基材20上后的成膜区域的截面图。图10～图12中，膜材料向基材20喷射的喷射条件均相同。

在图10中，最大膜厚为0.700mm，离中央0.4mm的部位的膜厚为0.590mm。在图11中，最大膜厚为0.640mm，中央的膜厚为0.410mm。在图12中，最大膜厚为0.713mm，离中央0.4mm的部位的膜厚为0.626mm。

图11的情况中，成膜区域以如下方式形成：中央附近的膜厚较小，且从中央稍许错开的部位的膜厚为最大。图12的情况中，最大膜厚以及离中央0.4mm的部位的膜厚均表现出比图10的情况大的数值。将图10中的最大膜厚与图12中的最大膜厚相比较时，存在约0.01mm的膜厚差。0.01mm这个数值对于本领域技术人员而言，可理解为是具有充分技术意义的膜厚差。

根据上述方案，在喷雾器喷嘴10中，至少1个轨道变更部6使膜材料的轨道变更。膜材料的轨道变更，则基材20上的成膜区域会变化。如此，喷雾器喷嘴10能够通过至少1个轨道变更部6来控制基材20上的成膜区域。而相对于此，以往技术认为若要变更成膜区域，就需要变更喷嘴主体的设计。另外，若要变更喷嘴主体的设计，还需要考虑载气的气压及／或气流量所带来的局限。

如上所述，与现有的喷雾器喷嘴相比，喷雾器喷嘴10能够以任意范围（位置及面积等）来控制成膜区域。关于喷雾器喷嘴10的这一技术效果，可通过设置至少1个轨道变更部6来实现。

（至少1个轨道变更部6的位置）

如前文结合图8等所说明的，至少1个轨道变更部6可安设于各种位置。

在图8的例子中，喷嘴头端部4中的载气通道在与载气流动方向垂直的方向上的截面形状为圆形，并且至少1个轨道变更部6为棒状。此外，至少1个轨道变更部6沿着与载气流动方向垂直的方向且以与所述圆形的中心重合的方式横穿喷嘴头端部4。

在图9的例子中，喷嘴头端部4中的载气通道在与载气流动方向垂直的方向上的截面形状为圆形，并且轨道变更部6a及轨道变更部6b均为棒状。此外，轨道变更部6a及轨道变更部6b沿着与载气流动方向垂直的方向且以夹着所述圆形的中心的方式横穿喷嘴头端部4。此时，轨道变更部6a与轨道变更部6b相互既可以平行，也可以不平行。轨道变更部6a与轨道变更部6b相互平行时，轨道变更部6a及轨道变更部6b所要***的喷嘴头端部4（更具体而言，喷嘴头端部4的开口9）便容易加工。另外，轨道变更部6a与轨道变更部6b即使相互不平行，也能够控制基材20上的、与轨道变更部6a和轨道变更部6b之间的空间相对应的成膜区域。

如上所述，在喷雾器喷嘴10中能够将至少1个轨道变更部6配置于各种位置，无论哪种位置，均能比以往技术容易地控制基材20上的成膜区域。

（至少1个轨道变更部6的形状）

接下来，通过图13等来说明至少1个轨道变更部6的形状。图13是至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面形状为圆形时的简略图。图14是至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面形状为三角形时的简略图。图15是至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面形状为矩形时的简略图。

如图13～图15所示，至少1个轨道变更部6可以采用各种形状。也就是说，至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面形成为如下形状即可：使膜材料的轨道发生变化且使膜材料到达基材20上。在图13的例子中，至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面（与棒状的至少1个轨道变更部6的延伸方向相垂直的方向上的截面）的形状为圆形。在图14的例子中，至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面（与棒状的至少1个轨道变更部6的延伸方向相垂直的方向上的截面）的形状为三角形。该三角形的三边中的1个边与基材20的表面平行。至少1个轨道变更部6的所述截面的形状若为圆形或三角形，便能使膜材料的轨道变化并使膜材料到达基材20上。至少1个轨道变更部6能够实现在基材20上的更切实的成膜，因此，能够更容易地控制基材20上的成膜区域。关于所述截面的其他形状，至少1个轨道变更部6在载气流动方向上的截面的形状例如可举出菱形、正方形或正五边形等。

这里，在图15的例子中，膜材料有可能会堆积到至少1个轨道变更部6的顶面。但即使是图6的至少1个轨道变更部6，该至少1个轨道变更部6也能使膜材料的轨道发生变更。膜材料的轨道变更，则基材20上的成膜区域也会变更。另外，至少1个轨道变更部6能够相对于喷嘴头端部4拆装，因此若膜材料堆积在至少1个轨道变更部6的顶面，则只要交换至少1个轨道变更部6即可。

如上所述，喷雾器喷嘴10的至少1个轨道变更部6能够实现为各种形状，从而喷雾器喷嘴10能够比以往更容易地控制基材20上的成膜区域。

〔总结〕

本发明第1方面的喷雾器喷嘴适用于通过将膜材料与载气一同向基材喷射来在该基材上成膜的成膜装置，该喷雾器喷嘴具备：喷嘴主体；喷嘴头端部，其与所述喷嘴主体的头端进行连结；至少1个轨道变更部，其配置于所述喷嘴头端部中的所述载气的通道内且使所述膜材料的轨道变更。

根据上述方案，在本发明一实施方式的喷雾器喷嘴中，所述至少1个轨道变更部使所述膜材料的轨道变更。所述膜材料的轨道变更，则所述基材上的成膜区域会变化。如此，本发明一实施方式的喷雾器喷嘴能够通过所述至少1个轨道变更部来控制所述基材上的成膜区域。

本发明第2方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第1方面的基础上采用如下方案：所述喷嘴头端部能够相对于所述喷嘴主体拆装。

根据上述方案，当需要用所述至少1个轨道变更部时，将所述喷嘴头端部安装至所述喷嘴主体即可。另外，通过预先备好多种所述喷嘴头端部，便能容易地在所述基材上形成多种图案模式的成膜区域。

如此，本发明一实施方式的喷雾器喷嘴能更容易地控制所述基材上的成膜区域。

本发明第3方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第1或第2方面的基础上采用如下方案：所述至少1个轨道变更部能够相对于所述喷嘴头端部拆装。

根据上述方案，能容易地交换所述至少1个轨道变更部。因此，通过预先备好多种所述至少1个轨道变更部，同样能容易地在所述基材上形成多种图案模式的成膜区域。

如此，本发明一实施方式的喷雾器喷嘴能更容易地控制所述基材上的成膜区域。

此外，当由于磨损等原因而变得需要交换所述至少1个轨道变更部时，能容易地交换所述至少1个轨道变更部。由此，还发挥能为用户提供易使用的喷雾器喷嘴的这一效果。

本发明第4方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第1至第3方面中任一者的基础上采用如下方案：所述至少1个轨道变更部为棒状且以横穿所述载气的通道的方式配置。

本发明第5方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第4方面的基础上采用如下方案：就用与所述载气的流动方向相垂直的平面来将所述载气的通道截开后的截面看，所述至少1个轨道变更部以贯穿该截面的中央且与所述载气的流动方向相垂直的方式配置。

根据上述方案，能以所述至少1个轨道变更部为对称轴来在所述基材上均匀地形成成膜区域。

本发明第6方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第4方面的基础上采用如下方案：所述至少1个轨道变更部有多个；就用与所述载气的流动方向相垂直的平面来将所述载气的通道截开后的截面看，所述至少1个轨道变更部分别以夹着该截面的中央进行贯穿且与所述载气的流动方向相垂直的方式配置。

根据上述方案，与所述至少1个轨道变更部各自的正下方成膜区域相比，能够使形成于该正下方成膜区域相互间的成膜区域的厚度较大。也就是说，本发明一实施方式的喷雾器喷嘴能够将某成膜区域的膜厚控制得比其他成膜区域的膜厚大。

如此，本发明一实施方式的喷雾器喷嘴能够容易且灵活自如地控制成膜区域。

本发明第7方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第1至第6方面中任一者的基础上采用如下方案：所述至少1个轨道变更部在所述载气的流动方向上的截面形成为使所述膜材料的轨道变化且使所述膜材料到达所述基材上的形状。

根据上述方案，能够更切实地在所述基材上成膜，因此能更容易地控制所述基材上的成膜区域。

本发明第8方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第7方面的基础上采用如下方案：所述至少1个轨道变更部在所述载气的流动方向上的截面的形状为圆形。

根据上述方案，能够更高效率地在所述基材上成膜。

本发明第9方面的喷雾器喷嘴也可以在所述第7方面的基础上采用如下方案：所述至少1个轨道变更部在所述载气的流动方向上的截面的形状为三角形，所述三角形的三边中的1个边与所述基材的表面平行。

根据上述方案，能够更高效率地在所述基材上成膜。

本发明第10方面的成膜装置的特征在于具备喷雾器喷嘴，该成膜装置也可以具备所述第1～9方面中任一者所述的喷雾器喷嘴。

根据上述方案，本发明一实施方式的成膜装置能够容易地控制所述基材上的成膜区域。

本发明第11方面的成膜方法的特征在于使用喷雾器喷嘴将所述膜材料与所述载气一同从所述喷雾器喷嘴喷射来在所述基材上成膜，该成膜方法中，也可以使用所述第1～9方面中任一者所述的喷雾器喷嘴，将所述膜材料与所述载气一同从所述喷雾器喷嘴喷射来在所述基材上成膜。

根据上述方案，本发明一实施方式的成膜方法能够容易地控制所述基材上的成膜区域。

本发明第12方面的成膜方法也可以在所述第11方面的基础上采用如下方案：所述成膜方法用于喷涂法。

根据上述方案，能够在喷涂法中容易地控制所述基材上的成膜区域。在此，喷涂法是覆膜技术中的一种，其通过加热来熔化或软化膜材料，并将膜材料控制成微粒状且将之加速来撞击基材表面，并使崩解成扁平状的膜材料颗粒凝聚、堆积，由此成膜。喷涂法有许多种，而根据上述方案，所述成膜方法能够适用于全种类的喷涂法。

本发明并不限定为上述各实施方式，可在本发明所示的范围内进行各种变更，适当组合不同实施方式中分别公开的技术手段而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

<附图标记说明>

1 第1躯干部

2 第2躯干部

3 第3躯干部

4 喷嘴头端部

6 至少1个轨道变更部

6a、6b 轨道变更部

7、8、9、9a 开口

10 喷雾器喷嘴

12 螺钉

20 基材

100 冷喷涂装置

110 罐

120 加热器

140 供料器

150 基材保持架。