阅读说明：本技术 一种阴极电子枪灯丝装置 (Cathode electron gun filament device ) 是由 郭新勇 张康 李盛 于 2019-08-13 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种透射电子显微镜阴极电子枪灯丝装置。适用于透射电子显微镜中的阴极电子枪电子光源。本发明包括：带开孔的衬套(1)；开槽圆片(2)；接触片(3)；灯丝抻柱(4)；灯丝(5)；带螺丝固定的接线柱(6)；绝缘位移螺丝(7)。本发明适用于透射电子显微镜的高稳定性、高亮度、可调节位置、寿命长、造价低的电子枪灯丝装置。(The invention relates to a filament device of a cathode electron gun of a transmission electron microscope. The cathode electron gun is suitable for a cathode electron gun electron light source in a transmission electron microscope. The invention comprises the following steps: a bushing (1) with an opening; a slotted disc (2); a contact piece (3); filament stretching columns (4); a filament (5); a binding post (6) fixed by a screw; an insulation displacement screw (7). The invention is suitable for the electron gun filament device with high stability, high brightness, adjustable position, long service life and low cost of the transmission electron microscope.)

一种阴极电子枪灯丝装置

技术领域

本发明公开一种阴极电子枪灯丝装置。

背景技术

透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率，目前电子显微镜的电子枪的灯丝寿命都比较短一般80-200小时，灯丝形状都是v型稳定性比较差工作时容易断裂，灯丝断裂需要更换整个灯丝装置，目前灯丝装置很多都是进口的一个上千元比较贵，更换整个装置比较浪费，接触片传输电流不稳定，影响电子束的稳定不好对焦导致成像系统的分辨率差。影响透射电子显微镜工作效率。

发明内容

本发明提供一种透射电子显微镜阴极电子枪灯丝装置，本发明包括：带开孔的衬套(1) ；开槽圆片(2)；接触片(3)；灯丝抻柱(4)；灯丝（5）；带螺丝固定的接线柱（6）；绝缘位移螺丝（7）。

优选的带开孔的衬套(1)其特征是在底部纵向和上部横向都开有孔，可以用螺丝进行固定，连接开槽圆片（2）和灯丝抻柱（4）。

优选的开槽圆片（2）其特征是在圆片上开有槽和带开孔的衬套（1）连接，起到固定作用，连接开槽圆片（2）和灯丝抻柱（4），在保护灯丝接线柱的基础上能够优化灯丝电极的连接。

优选的接触片（3）其特征是半圆形，材质为锡磷青铜，作为接触器。

优选的灯丝（5）其特征是形状为圆弧形，可以起到高稳定性、高亮度、可调节位置、寿命长、造价低。

本发明的有益效果是：弧形灯丝增加灯丝寿命延长使用时间，减少更换灯丝的频率保护透射电子显微镜的真空。接触片增加电流稳定性延长灯丝使用时间，亮度稳定。

附图说明，图1电子枪结构示意图，带开孔的衬套(1) ；开槽圆片(2)；接触片(3)；灯丝抻柱(4)；灯丝（5）；带螺丝固定的接线柱（6）；绝缘位移螺丝（7）。

具体实施方式

，如图1所示，灯丝（5）所在的带开孔的衬套（1），将灯丝抻柱（4）固定在其上，并通过开槽圆片（2）以真空密闭的方式通过带螺丝固定（6）的接线柱固定在接触片（3）上，接触片（3）与电镜高压电缆具有电气连接。同时，灯丝抻柱（4）是灯丝（5）的实际连接点，并将灯丝固定在带开孔的衬套（1）中，保护灯丝抻柱（4）不受污染。

根据本发明的电子枪装置在工作时，高压通过高压电缆被送进带螺丝固定的接线柱（6），与灯丝抻柱（4）在带开孔的衬套（1）中相连接，这时带螺丝固定的接线柱（6）和灯丝抻柱（4）的电极与外部绝缘，且处于高真空环境中，可有效保护灯丝不受污染且保护其工作电流稳定性。借助绝缘位移螺丝（7），可调节灯丝（5）与灯丝（5）发射方向中心孔的相对位置，从而实现对电子束的调节作用。