阅读说明：本技术 检查治具以及基板检查装置 (Inspection jig and substrate inspection apparatus ) 是由 长沼正树 高桥学 加藤靖典 于 2018-04-16 设计创作，主要内容包括：本发明包括活动平板8,在检查侧支撑体5的相向平板51,形成有用以插通探针Pr的前端部的探针插通孔16,在电极侧支撑体6的支撑平板61,设置有使探针Pr的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔23,在活动平板8,设置有用以使探针Pr贯通的探针贯通孔18,检查治具4包括能够切换容许状态与约束状态的定位孔19及接收孔20,所述容许状态是使活动平板8能够沿与平坦面X平行的容许方向移动的状态,所述约束状态是以探针贯通孔18的中心相对于探针支撑孔23的中心沿容许方向偏离规定的偏离量La的方式设置活动平板8的状态。(The present invention includes a movable plate 8, a probe insertion hole 16 for inserting a tip end portion of a probe Pr is formed in an opposing plate 51 of an inspection side support 5, a probe support hole 23 for supporting a rear end portion of the probe Pr by being inserted is formed in a support plate 61 of an electrode side support 6, a probe through hole 18 for passing the probe Pr is formed in the movable plate 8, and an inspection jig 4 includes a positioning hole 19 and a receiving hole 20 capable of switching between an allowable state in which the movable plate 8 is movable in an allowable direction parallel to a flat surface X and a restrained state in which the movable plate 8 La is disposed so that a center of the probe through hole 18 is deviated from a center of the probe support hole 23 by a predetermined deviation amount in the allowable direction.)

检查治具以及基板检查装置

技术领域

本发明涉及一种用以使探针(probe)与设置在成为检查对象的基板上的检查点相接触的检查治具、及具备所述检查治具的基板检查装置。

背景技术

检查治具是用以经由探针(接触销)，自检查装置对包含基板的检查对象所具有的检查对象部(检查点)供给电力(电信号等)，并且通过检测来自检查对象的电输出信号，来检测检查对象的电气特性，或进行动作试验的实施等。在本说明书中，将设定在检查对象的基板上的检查对象部称为“检查点”。

例如，当在成为检查对象的基板上搭载集成电路(integrated circuit，IC)等半导体电路或电阻器等电气、电子部件时，配线或焊料凸块(bump)等的电极成为检查点。此时，由于检查点保证能够将电信号准确地传递至这些搭载部件，故而测定封装电气、电子部件之前的印刷配线基板、液晶面板或电浆显示面板(plasma display panel)所形成的配线上的规定的检查点之间的电阻值等电气特性，来判断所述配线的好坏。

具体而言，所述配线的好坏的判定是通过如下方式来进行：使电流供给用的探针及电压测定用的探针抵接于检查对象的各检查点，自所述电流供给用的探针将测定用电流供给至检查点，测定抵接于检查点的电压测定用的探针的前端间的配线中所产生的电压，基于这些供给电流及经测定的电压，算出规定的检查点之间的配线的电阻值。

已知有如下构成的检查治具：为了使此种探针与检查点相接触，将两块导板(guide plate)固定在框体上且隔开规定间隔而相向配置，并且使探针插通于两块导板，由此保持探针。而且，已知有如下的检查治具：通过利用两块导板以弯曲的状态保持此种探针，而使探针与检查点弹性接触，从而使接触稳定性提高(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平9-274054号公报

发明内容

然而，存在如下情况：若反复进行基板检查，则会针对检查点反复进行探针的接离，从而使探针损伤。经损伤的探针必须自两块导板拔出而进行更换。然而，自两块导板难以直接拔出以弯曲的状态保持着的探针。因此，必须例如拆下将导板固定在框体的螺钉等而对检查治具进行分解，更换探针而再次组装检查治具，从而存在要耗费工夫来更换探针的问题。

本发明的目的在于提供一种能够以产生有弯曲的状态保持探针，并且容易进行探针的更换的检查治具及基板检查装置。

根据本发明的一方面的检查治具是一种用以使探针与设置在成为检查对象的基板的检查点相接触的检查治具，其包括：检查侧支撑体，具有相向平板，所述相向平板上设置有与所述基板相相向地配置的相向面；电极侧支撑体，相向配置在与所述相向平板的所述相向面相反之侧，具有支撑平板及平坦面；连结构件，将所述检查侧支撑体与所述电极侧支撑体隔开规定距离地加以保持；以及活动平板，相对于所述平坦面平行地滑动自如地相向配置；且在所述相向平板，形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，在所述支撑平板，对应于所述相向平板的探针插通孔而设置有使所述探针的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔，在所述活动平板，对应于所述支撑平板的探针支撑孔而设置有用以使所述探针贯通的探针贯通孔，所述检查治具进而包括能够切换容许状态与约束状态的切换部，所述容许状态是使所述活动平板能够沿与所述平坦面平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以所述探针贯通孔的中心相对于所述探针支撑孔的中心沿所述容许方向偏离规定的偏离量的方式设置所述活动平板的状态。

另外，根据本发明的一方面的基板检查装置包括：所述检查治具；电极，在所述电极侧支撑体的与所述平坦面相反之侧，与所述探针的后端部接触；以及***，基于经由所述电极自所述探针获得的电信号进行基板检查。

另外，根据本发明的一方面的基板检查装置包括：所述检查治具；电极板，形成有在所述电极侧支撑体的与所述平坦面相反之侧与所述探针的后端部接触的电极；以及***，基于经由所述电极自所述探针获得的电信号进行基板检查；且所述销立设于所述电极板。

附图说明

[图1]是概略性地表示具备本发明一实施方式的检查治具的基板检查装置的构成的前视图。

[图2]是表示图1所示的检查治具的一例的立体图。

[图3]是图2所示的检查治具的分解立体图。

[图4]是图2、图3所示的检查治具的IV-IV线剖面图。

[图5]是图4所示的检查治具呈容许状态时的剖面图。

[图6]是放大地表示图4所示的约束状态的检查治具的一根探针及销附近的剖面图。

[图7]是用以说明呈容许状态的检查治具的说明图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。再者，各图中标注有相同符号的构成表示相同的构成，并省略其说明。再者，为了便于说明，有时在图面中适当地标注有前后左右的方向，基于所述方向进行说明，但本发明并不限定于所述方向。

(第1实施方式)

图1是概略性地表示具备本发明一实施方式的检查治具的基板检查装置1的构成的前视图。图1所示的基板检查装置1是用以检查形成于检查对象的基板100的电路图案的装置。

图1所示的基板检查装置1具有框体11。在框体11的内部空间内，主要设置有基板固定装置12、第一***13(***)及第二***14(***)。基板固定装置12构成为将成为检查对象的基板100固定在规定的位置上。

基板100例如，也可为印刷配线基板、玻璃环氧基板、可挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或电致发光(Electro-Luminescence，EL)显示器等的显示器用的电极板、触摸屏用等的透明导电板、及半导体封装用的封装基板或膜形载体(film carrier)、半导体晶片或半导体芯片或芯片尺寸封装体(Chip size package，CSP)等的半导体基板等各种基板。在基板100，形成有配线图案或焊料凸块等检查点。

第一***13位于固定在基板固定装置12的基板100的上方。第二***14位于固定在基板固定装置12的基板100的下方。第一***13及第二***14包括形成有用以与探针Pr电连接的电极91的电极板9。在第一***13及第二***14的各电极板9，安装有用以检查形成于基板100的电路图案的检查治具4U、检查治具4L。在检查治具4U、检查治具4L，安装有多个探针Pr。另外，第一***13及第二***14包括后述图标省略的扫描仪电路(scanner circuit)、以及用以在框体11内适当移动的***移动机构15。

基板检查装置1包括对基板固定装置12、第一***13及第二***14等的动作进行控制的控制部2。控制部2例如是利用微计算机(micro computer)而构成。控制部2是以如下方式构成：通过使第一***13及第二***14适当移动，使检查治具4U、检查治具4L的探针Pr与固定在基板固定装置12的基板100相接触，而利用检查治具4U、检查治具4L对形成于基板100的电路图案进行检查。检查治具4U、检查治具4L是彼此同样地构成。以下，将检查治具4U、检查治具4L统称为检查治具4。

图2是表示图1所示的检查治具4的一例的立体图。图3是图2所示的检查治具4的分解立体图。图4是图2、图3所示的检查治具4的IV-IV线剖面图。图5是图4所示的检查治具4呈容许状态时的剖面图。图2及图4表示约束状态的检查治具4，图3及图5表示容许状态的检查治具4。图2及图3中，已省略探针Pr的记载。

关于表示检查治具4的图，已表示安装在下侧的第二***14的检查治具4L的方向，上侧的检查治具4U是与图示的上下左右为相反方向地安装在第一***13。

图2～图5所示的检查治具4包括与基板100相向而配置的检查侧支撑体5、相向配置在所述检查侧支撑体5的与基板100侧相反之侧的电极侧支撑体6、对这些检查侧支撑体5与电极侧支撑体6隔开规定距离而相互平行地加以保持的连结构件7、以及活动平板8。

检查侧支撑体5是通过依次自配置基板100的上方起积层相向平板51、导引平板52而构成。相向平板51包含与基板100相向而配置的相向面F。相向平板51是利用螺栓等可拆装的固定组件而一体地固定在导引平板52。

在相向平板51，形成有使探针Pr的前端部插通的后述多个探针插通孔16(参照图6)。各探针插通孔16针对设置在基板100的多个检查点分别导引探针Pr的前端。在导引平板52，形成有与多个探针插通孔16连通的后述多个探针导引孔21。

电极侧支撑体6是依次自与相向面F相反之侧层叠支撑平板61、分隔膜(spacerfilm)63及分隔平板(spacer plate)62而构成。将支撑平板61的下表面设为抵接于形成有后述电极91的电极板9的背面B。在支撑平板61，形成有与多个探针插通孔16相对应的后述多个探针支撑孔23(图6)。

在分隔平板62、分隔膜63的大致中央部，形成有沿上下方向贯通的开口部621、开口部631。通过在相向平板51上，层叠形成有开口部621、开口部631的分隔平板62及分隔膜63，而形成开口部621、开口部631凹陷的凹部64。而且，将开口部621、开口部631内所露出的支撑平板61的上表面、即凹部64的底面设为与相向面F大致平行的平坦的平坦面X。另外，在支撑平板61上的与凹部64的底面相对应的位置上，如图4、图5所示，形成有贯通支撑平板61的定位孔19。

活动平板8收容在凹部64内。在活动平板8，对应于多个探针支撑孔23而设置有用以使探针Pr贯通的后述多个探针贯通孔18(图6)。活动平板8的容许方向即左右方向上的宽度W1如图3所示，小于凹部64的左右方向上的宽度W2。

由此，活动平板8在未插通探针Pr时，在凹部64内滑动自如，从而可在左右方向(容许方向)上在宽度W1与宽度W2的差d的范围内移动。将差d例如设为2mm左右，当活动平板8位于凹部64的中央时，活动平板8可相对于左右两侧移动各1mm。

在活动平板8，可接收销P地形成有接收孔20，所述销P在约束状态时贯通支撑平板61且自定位孔19突出(图4)。接收孔20设置在例如活动平板8的对角线上的两处(图3)。

连结构件7包括在前后方向上延伸且立设在导引平板52的壁部71、与壁部71大致平行地隔开间隔而相向配置的壁部72、以及将壁部71、壁部72的后端部加以连结的壁部73。在壁部71、壁部72、壁部73，形成有呈窗口状贯通而形成开口的开口部711、开口部721、开口部731。

连结构件7是以连结构件7的下表面成为跨越凹部64的缘部的区域A的方式，安装在导引平板52。由此，连结构件7的下端部向凹部64的内侧突出，而覆盖收容于凹部64内的活动平板8的缘部。其结果为，活动平板8的与平坦面X垂直的方向上的移动被连结构件7的下端部限制。连结构件7相当于隔离限制构件的一例，兼用作连结构件及隔离限制构件。

活动平板8及分隔平板62由具有相同厚度的板材构成。通过在支撑平板61上层叠有分隔平板62及分隔膜63，而使凹部64的深度比活动平板8的厚度深相当于分隔膜63的厚度的程度。其结果为，在连结构件7的下端部与活动平板8的上表面之间产生间隔，活动平板8不夹于连结构件7与平坦面X之间，故而使活动平板8在左右方向(容许方向)上移动时的摩擦阻力减少，从而滑动自如。

连结构件7限制活动平板8在与平坦面X垂直的方向上，超过根据分隔膜63的厚度而预先设定的垂直移动容许距离进行移动。在上侧的检查治具4U上，与图2～图5上下反转，而使活动平板8被连结构件7(隔离限制构件)支撑，从而在活动平板8与平坦面X之间产生垂直移动容许距离的间隔。

再者，不一定必须层叠分隔膜63，也可使分隔平板62的板厚与活动平板8的板厚相比厚仅垂直移动容许距离。另外，电极侧支撑体6并不限于包含分隔平板62及支撑平板61的示例，也可为电极侧支撑体6包含一块支撑平板61，在支撑平板61的上表面形成有凹部64。

另外，并不限于在电极侧支撑体6形成有凹部64的示例。也可将电极侧支撑体6的上表面设为平坦面X，也可为电极侧支撑体6包含一块支撑平板61，将支撑平板61的上表面设为平坦面X。

另外，并不限于连结构件7兼用作隔离限制构件的示例。也可将连结构件7设为不突出于凹部64内的构成，与连结构件7无关地另外设置隔离限制构件。另外，在下侧的检查治具4L中，活动平板8因自重而与平坦面X相接，因此不一定必须设置隔离限制构件。然而，自防止在销P的***时或使探针Pr弯曲时等活动平板8自平坦面X浮起的角度考虑，优选为在检查治具4L中也设置隔离限制构件。

图6是放大地表示图4所示的约束状态的检查治具4的一根探针Pr及销P附近的剖面图。图6表示将检查治具4安装在第二***14的电极板9上的状态。

在相向平板51，形成有垂直地贯通相向平板51而用以插通探针Pr的探针插通孔16。探针插通孔16对应于设置在基板100的检查点而形成有多个。在探针插通孔16，设置有大径部16a、以及与大径部16a为同心且直径小于大径部16a的小径部16b。

在导引平板52，形成有垂直地贯通导引平板52而用以导引探针Pr的探针导引孔21。探针导引孔21对应于探针插通孔16而与探针插通孔16同心地形成有多个。在探针导引孔21，设置有大径部21a、大径部21b，以及与大径部21a、大径部21b为同心且直径小于大径部21a、大径部21b的小径部21c。

探针Pr包括例如直径100μm左右的棒状的导体部31、以及覆盖所述导体部31的外周面的绝缘部32。作为导体部31，例如，可适宜使用具有弹性且焊料不易附着的钯合金。绝缘部32由合成树脂等绝缘体形成。绝缘部32可使用通过在导体部31的表面实施绝缘涂饰而形成的绝缘被膜。

在探针Pr的前端部及后端部，未形成绝缘部32，而设置有导体部31露出的露出部。探针Pr的前端部的露出部自探针插通孔16的小径部16b突出而抵接于基板100的检查点。

使小径部16b及小径部21c的内径稍大于导体部31的外径，使小径部21c的内径稍小于绝缘部32的外径。由此，一面利用小径的小径部16b将导体部31高准确度地导引至检查点，一面通过绝缘部32与小径部21c相干涉，而使探针Pr不会自相向面F侧脱落。

在电极板9，自与朝向电极侧支撑体6的安装面为相反侧的背面以沿电极板9的厚度方向贯通的方式贯入有线缆(wire cable)92的一端。将电极板9的朝向电极侧支撑体6的安装面研磨成平坦，而使多个线缆92的端面露出。将这些线缆92所露出的端面设为电极91。各线缆92与扫描仪电路连接。

另外，在电极板9上，安装有自安装在支撑平板61的面垂直地突出的销P。使销P的自电极板9算起的突出长度长于支撑平板61的厚度。在销P的前端部，形成有与销P的外周相连且朝向轴心而倾斜的倾斜面P1。作为销P的前端部的形状，可采用具有倾斜面P1的各种形状，例如可设为圆锥状或半球面状等形状。

在支撑平板61，形成有将探针Pr的后端部导引至电极91的探针支撑孔23。探针支撑孔23是垂直地贯通支撑平板61而使探针Pr的后端部插通来进行支撑。探针支撑孔23对应于探针插通孔16及电极91而形成有多个。

在探针支撑孔23设置有：支撑侧大径部23a，朝向支撑平板61的活动平板8侧的面形成开口；以及支撑侧小径部23b，形成于比支撑侧大径部23a更远离活动平板8之侧，与支撑侧大径部23a为同心，并且直径小于支撑侧大径部23a。插通至探针支撑孔23内的探针Pr的后端部自支撑侧小径部23b突出而与电极91相抵接。

此外，在支撑平板61，形成有贯通支撑平板61的定位孔19。定位孔19可插通用以对活动平板8的位置进行约束的销P。

在活动平板8，对应于支撑平板61的探针支撑孔23而设置有多个用以使探针Pr贯通的探针贯通孔18。在探针贯通孔18，形成有朝向活动平板8的支撑平板61侧的面形成开口的活动侧大径部18a。另外，在探针贯通孔18形成有活动侧小径部18b，所述活动侧小径部18b形成于比活动侧大径部18a更远离支撑平板61之侧，与活动侧大径部18a为同心，并且直径小于活动侧大径部18a。

此外，在活动平板8，形成有可接收销P地形成的接收孔20，所述销P贯通支撑平板61而自定位孔19突出。通过将销P***至定位孔19及接收孔20，而使定位孔19的中心线与接收孔20的中心线相一致，使活动平板8相对于支撑平板61相对地定位，而成为约束状态。

以在约束状态下，活动平板8位于探针贯通孔18的中心相对于探针支撑孔23的中心沿容许方向(图的左右方向)偏离规定的偏离量La的位置上的方式，配置定位孔19及接收孔20。约束状态下的偏离量La小于支撑侧大径部23a的半径及活动侧大径部18a的半径的合计值与探针Pr的外径的差。由此，在约束状态下，也可使探针Pr贯通探针支撑孔23及探针贯通孔18。

定位孔19及接收孔20相当于切换容许状态与约束状态的切换部的一例，所述容许状态是使活动平板8可沿与平坦面X平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以探针贯通孔18的中心相对于探针支撑孔23的中心沿容许方向偏离规定的偏离量La的方式设置活动平板8的状态。

再者，接收孔20不一定限于贯通活动平板8的示例，也可为有底的孔(凹部)。另外，切换部并不限于定位孔19及接收孔20。切换部也可为可切换容许状态与约束状态的扣钩等，所述容许状态是使活动平板8可沿与平坦面X平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以探针贯通孔18的中心相对于探针支撑孔23的中心沿容许方向偏离规定的偏离量La的方式设置活动平板8的状态。

销P立设在电极板9，因此通过在电极板9安装检查治具4而使销P***至定位孔19及接收孔20而使活动平板8定位在约束状态，且通过自电极板9拆下检查治具4而自定位孔19及接收孔20拔出销P而切换成容许状态。

如图6所示，在约束状态下，探针贯通孔18的中心18c相对于探针支撑孔23的中心23c沿容许方向(左右方向)偏离偏离量La。因此，***至定位孔19，且被支撑侧小径部23b保持着前端部的探针Pr利用探针贯通孔18的活动侧小径部18b而沿容许方向，在图6中向左弯曲偏离量La。其结果为，探针Pr呈大致S字状弯曲。

探针贯通孔18包括活动侧大径部18a及活动侧小径部18b，探针支撑孔23包括支撑侧大径部23a及支撑侧小径部23b。因此，探针Pr可由活动侧小径部18b及支撑侧小径部23b支撑着，并且在活动侧大径部18a及支撑侧大径部23a的内部倾斜。其结果为，可使探针Pr顺利地弯曲。

再者，也可仅由活动侧大径部18a构成探针贯通孔18，且仅由支撑侧大径部23a构成探针支撑孔23。然而，当仅由活动侧大径部18a构成探针贯通孔18，仅由支撑侧大径部23a构成探针支撑孔23时，存在如下可能性：在约束状态时，在探针贯通孔18及探针支撑孔23的内部，探针Pr不倾斜而沿偏离方向(图6中为左方向)平行移动。若在探针贯通孔18及探针支撑孔23的内部，探针Pr不倾斜而平行移动，则探针Pr难以呈大致S字状地弯曲。因此，优选为探针贯通孔18包括活动侧大径部18a及活动侧小径部18b，探针支撑孔23包括支撑侧大径部23a及支撑侧小径部23b。

探针Pr的前端部在检查治具4的相向面F未抵接于基板100时，自相向面F突出。而且，当为了检查基板100而使检查治具4的相向面F抵接于基板100时，探针Pr的前端部抵接于检查点而将所述突出部分按入至探针插通孔16内。

此时，通过探针Pr呈大致S字状弯曲，而使得探针Pr对应于前端部的按入而顺利地弯曲，吸收其按入量。此外，呈大致S字状弯曲的探针Pr通过所述弹性恢复力而将探针Pr的前端施力至检查点，故而可使探针Pr的前端与检查点弹性接触。其结果为，可提高检查点与探针Pr的接触稳定性。

如上所述，当将检查治具4安装至电极板9时，使立设于电极板9的销P插通至定位孔19及接收孔20内而使活动平板8处于约束状态，使探针Pr呈大致S字状弯曲，而形成为适合于基板100的检查的状态。

另外，探针支撑孔23的中心23c相对于探针插通孔16的中心16c在与平坦面平行的方向上偏离仅偏离量Lb。中心16c也可为探针导引孔21的中心。此外，探针支撑孔23的中心23c相对于探针插通孔16的中心16c的偏离方向(图6中为左方向)、与约束状态下的探针贯通孔18的中心18c相对于探针支撑孔23的中心23c的偏离方向(图6中为左方向)相同。

由此，在约束状态时，由探针Pr的活动侧小径部18b保持着的部分相对于探针插通孔16的中心16c，在偏离方向(图6中为左方向)上偏离相当于偏离量La与偏离量Lb相加所得的长度的程度的结果为，可增大探针Pr的弯曲量。

再者，探针支撑孔23的中心23c相对于探针插通孔16的中心16c的偏离方向、与约束状态下的探针贯通孔18的中心18c相对于探针支撑孔23的中心23c的偏离方向也可不相同。

探针Pr对应于检查点的数量，在检查治具4U、检查治具4L分别具备例如数千根左右。而且，当其中一根发生劣化或损伤等之类而需要更换时，需要自检查治具4拔出经损伤等的探针Pr，而将新的探针Pr再次***至检查治具4。

当更换以弯曲的状态保持着的探针时，无法拔插弯曲着的探针。因此，以往，必须拆下固定平板的螺钉等而对检查治具进行分解，更换探针而再次组装检查治具。

另一方面，在基板检查装置1的情况，可如下所述来更换探针Pr。即，当更换探针Pr时，使用者首先自电极板9拆下检查治具4。当自电极板9拆下检查治具4后，自接收孔20及定位孔19拔出立设于电极板9上的销P，而切换成活动平板8可沿容许方向移动的容许状态。

图7是用以说明呈容许状态的检查治具4的说明图。若成为容许状态，则通过经挠曲的探针Pr欲恢复成直线状的弹性恢复力，而使得活动平板8沿与偏离方向(图7中为左方向)相反的方向(图7中为右方向)移动。此时，由于探针插通孔16及探针导引孔21的中心16c与探针支撑孔23的中心23c沿容许方向偏离偏离量Lb，故而探针Pr欲恢复成将探针支撑孔23与导引平板52加以链接的直线状。其结果为，探针Pr朝向与平坦面X垂直的方向，以倾斜角R倾斜。

倾斜角R例如为0.5度～2度，更优选为大致1度。通过在容许状态下，探针Pr以此种微小的倾斜角倾斜，而使得探针插通孔16、探针导引孔21、探针贯通孔18及探针支撑孔23与探针Pr相干涉，而产生微小的摩擦力。通过所述摩擦力，即使在自电极板9拆下检查治具4时，使背面B朝向下方的情况下，探针Pr也难以自检查治具4脱落。由此，使无需更换的探针Pr自检查治具4脱落的可能性降低。

再者，探针插通孔16及探针导引孔21的中心16c与探针支撑孔23的中心23c也可不一定偏离，也可在与相向面F垂直的一条直线上设置有各孔。此时，也容易进行探针Pr的更换。

此外，在容许状态下，活动平板8通过探针Pr欲恢复成直线状的弹性恢复力而进行移动，因此探针Pr成为大致直线状。因此，在容许状态下，检查治具4保持探针Pr的力仅成为因微小的倾斜角R而产生的微小的摩擦力。所述摩擦力为防止探针Pr落下的程度的微小的阻力。因此，使用者容易抵抗所述摩擦力而自检查治具4抽出探针Pr，将新的探针Pr***至检查治具4。

在连结构件7的壁部71、壁部72、壁部73，形成有开口部711、开口部721、开口部731，故而在使用者更换探针Pr时，使用者可一面在检查侧支撑体5与电极侧支撑体6之间的空间内自开口部711、开口部721、开口部731肉眼观察探针Pr，一面更换探针Pr。其结果为，探针Pr的更换操作变得容易。

根据基板检查装置1，在更换探针Pr时，只要自基板检查装置1拆下检查治具4，检查治具4便自探针Pr弯曲的约束状态切换成探针Pr呈大致直线状的容许状态，故而可在使探针Pr产生有弯曲的状态下保持探针Pr，并且使探针Pr的更换变得容易。

另外，使突出长度Lc小于销P的倾斜面P1的沿与轴心正交的方向的宽度Wp，所述突出长度Lc是变为容许状态，活动平板8通过探针Pr的恢复力而移动之后，接收孔20的下端(支撑平板61侧的端部)的开口部周缘的开口缘部20a相对于定位孔19的内壁面而突出的长度。

因此，当在容许状态下将销P***至定位孔19，进而按入销P时，接收孔20的开口缘部20a抵接于销P的倾斜面P1。若自此处进而按入销P，则倾斜面P1与开口缘部20a滑动，伴随着销P的行进，使活动平板8在使定位孔19与接收孔20的中心相一致的方向(左方向)上移动，从而使销P***至接收孔20而使活动平板8处于约束状态。

因此，在使用者更换探针Pr之后，只要在基板检查装置1安装检查治具4，便使销P***至定位孔19及接收孔20而使活动平板8处于约束状态，探针Pr呈大致S字状弯曲，而形成为适合于检查的状态。由此，使用者只要在更换探针Pr之后，在基板检查装置1安装检查治具4，便使活动平板8处于约束状态而成为适合于检查的状态，因此容易在更换探针Pr后将检查治具4设为可检查的状态。

再者，销P也可不一定立设于电极板9。即使销P未立设于电极板9，检查治具4也通过将销P***至定位孔19及接收孔20而成为约束状态，且通过自接收孔20拔出销P而成为容许状态，从而使探针Pr的更换变得容易。因此，即使销P未立设于电极板9，检查治具4也一面以产生有弯曲的状态保持探针Pr，一面容易进行探针Pr的更换。

另外，在探针Pr，也可未形成倾斜面P1。即使未形成倾斜面P1，也通过配合定位孔19及接收孔20的位置***探针Pr而使检查治具4成为约束状态，且通过自接收孔20拔出销P而使检查治具4成为容许状态。

其次，对图1所示的第一***13、第二***14及控制部2进行说明。在第一***13及第二***14，收容有例如包含电流计、电压计、电流源、复用器(multiplexer)、开关电路等图标省略的扫描仪电路。在扫描仪电路，连接有图6所示的线缆92。由此，当在电极板9安装检查治具4时，各探针Pr的后端部会抵接于电极91，使各探针Pr与扫描仪电路电连接。

若在所述状态下，使基板100压接于相向平板51，则探针Pr的前端部被基板100按压，通过与探针Pr的弹性相对应的所施加的力，而使得探针Pr的前端部压接于基板100的检查点。

扫描仪电路例如根据来自控制部2的控制信号，将规定的电流供给至与***位相对应的一对探针Pr之间，测定与所述***位相对应的一对探针Pr之间的电压，并将其测定结果发送至控制部2。

控制部2基于自扫描仪电路获得的测定结果进行基板检查。具体而言，例如，控制部2使检查治具4的检查侧支撑体5压接于基板100，使探针Pr与各检查点相接触。继而，控制部2在检查对象的两个检查点之间，利用扫描仪电路而使预先设定的检查用电流流入至和其中一个检查点相接触的探针Pr与和另一个检查点相接触的探针Pr之间，且利用扫描仪电路而测定出和其中一个检查点相接触的探针Pr与和另一个检查点相接触的探针Pr之间的电压作为检测电压。控制部2通过例如将所述检测电压等的电信号、或根据所述检测电压求出的检查点之间的电阻值等与预先设定的基准值进行比较，来执行基板100的好坏判定。如此一来，基板检查装置1可利用检查治具4执行基板100的检查。

即，根据本发明的一方面的检测夹具是一种用以使探针与设置在成为检查对象的基板的检查点相接触的检查治具，其包括：检查侧支撑体，具有相向平板，所述相向平板上设置有与所述基板相向地配置的相向面；电极侧支撑体，相向配置在与所述相向平板的所述相向面相反之侧，具有支撑平板及平坦面；连结构件，将所述检查侧支撑体与所述电极侧支撑体隔开规定距离地加以保持；以及活动平板，相对于所述平坦面平行地滑动自如地相向配置；且在所述相向平板，形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，在所述支撑平板，对应于所述相向平板的探针插通孔而设置有使所述探针的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔，在所述活动平板，对应于所述支撑平板的探针支撑孔而设置有用以使所述探针贯通的探针贯通孔，所述检查治具进而包括能够切换容许状态与约束状态的切换部，所述容许状态是使所述活动平板能够沿与所述平坦面平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以所述探针贯通孔的中心相对于所述探针支撑孔的中心沿所述容许方向偏离规定的偏离量的方式设置所述活动平板的状态。

根据所述构成，利用切换部，而使约束状态与容许状态可切换。在约束状态下，使探针所贯通的探针贯通孔的中心相对于对探针的后端部进行支撑的探针支撑孔的中心沿容许方向偏离规定的偏离量。通过所述偏离，而以弯曲的状态保持探针。另一方面，在容许状态下，探针所贯通的活动平板可沿与平坦面平行的容许方向移动。于是，在容许状态下，通过经弯曲的探针的弹性恢复力而使活动平板移动，探针成为大致直线状。呈大致直线状的探针容易相对于检查侧支撑体及电极侧支撑体进行插拔。因此，能够以产生有弯曲的状态保持探针，并且探针的更换变得容易。

另外，优选为：所述切换部包括：定位孔，可使销插通，所述销贯通所述支撑平板并且用以对所述活动平板的位置进行约束；以及接收孔，可接收所述销地形成于所述活动平板，所述销贯通所述支撑平板且自所述定位孔突出。

根据所述构成，通过将销贯通插通至支撑平板的定位孔内，且将所述销***至接收孔内，而使得切换成相对于支撑平板约束活动平板位置的约束状态变得容易。

另外，优选为：在所述销的前端部，形成有自所述销的外周向轴心倾斜的倾斜面。

根据所述构成，通过进而按入***至定位孔的销，可使倾斜面抵接于接收孔的开口缘部。通过进而按入销，而使倾斜面与开口缘部滑动，伴随着销的行进，使活动平板在使定位孔与接收孔的中心相一致的方向上移动，从而使销接收至接收孔内而使活动平板处于约束状态。此时，只要将销***至定位孔及接收孔即可将活动平板定位成约束状态，因此切换成约束状态变得容易。

另外，优选为：所述约束状态下的所述偏离量小于所述探针支撑孔的半径及所述探针贯通孔的半径的合计值与所述探针的直径的差。

根据所述构成，在约束状态下，也可使探针贯通至探针支撑孔及探针贯通孔。

另外，优选为：所述探针支撑孔包括：支撑侧大径部，朝向所述支撑平板的所述活动平板侧的面形成开口；以及支撑侧小径部，形成于比所述支撑侧大径部更远离所述活动平板之侧，并且直径小于所述支撑侧大径部；且所述探针贯通孔包括：活动侧大径部，朝向所述活动平板的所述支撑平板侧的面形成开口；以及活动侧小径部，形成于比所述活动侧大径部更远离所述支撑平板之侧，并且直径小于所述活动侧大径部；所述约束状态下的所述偏离量小于所述支撑侧大径部的半径及所述活动侧大径部的半径的合计值与所述探针的直径的差。

根据所述构成，探针可由活动侧小径部及支撑侧小径部支撑，且在约束状态下在活动侧大径部及支撑侧大径部的内部使探针倾斜。其结果为，可在约束状态下，使探针顺利地弯曲。

另外，优选为：进而包括对所述活动平板的与所述平坦面垂直的方向上的移动进行限制的隔离限制构件。

根据所述构成，可防止活动平板自支撑平板脱离。

另外，优选为：所述电极侧支撑体包括***述活动平板的凹部，将所述凹部的底面设为所述平坦面，所述凹部的在所述偏离的方向上相向的侧壁间的距离比所述活动平板的所述偏离的方向上的长度大所述偏离量以上。

根据所述构成，可一面以可采用容许状态及约束状态的方式保持收容于凹部内的活动平板，一面防止活动平板在与平坦面平行的方向上的过度的移动。

另外，优选为：所述探针支撑孔的中心相对于所述探针插通孔的中心在与所述平坦面平行的方向上产生偏离。

根据所述构成，若成为容许状态，则活动平板会通过经挠曲的探针欲恢复成直线状的弹性恢复力而移动，从而探针成为大致直线状。此时，探针插通孔的中心与探针支撑孔的中心产生偏离，因此探针欲恢复成将探针插通孔与探针支撑孔加以链接的直线状。其结果为，探针朝向与平坦面垂直的方向倾斜。通过探针倾斜，探针插通孔及探针支撑孔与探针相干涉，而产生微小的摩擦力。通过所述摩擦力，使得无需更换的探针自检查治具脱落的可能性降低。

另外，优选为：所述探针支撑孔的中心相对于所述探针插通孔的中心的偏离方向与所述约束状态下的所述探针贯通孔相对于所述探针支撑孔的偏离方向相同。

根据所述构成，在约束状态时，探针保持于探针贯通孔内的部分的相对于探针插通孔的偏离量成为将探针支撑孔相对于探针插通孔的偏离量与探针贯通孔相对于探针支撑孔的偏离量相加所得的偏离量。其结果为，可增大约束状态下的探针的弯曲量。

另外，优选为：进而包括所述探针，所述活动平板是在所述容许状态下，基于所述探针的弹性恢复力而定位。

根据所述构成，在容许状态下，活动平板通过探针欲变为大致直线状的弹性恢复力而移动、定位。因此，通过切换成容许状态，可使活动平板自动位于可使探针呈大致直线状的位置。

另外，根据本发明的一方面的基板检查装置包括：所述检查治具；电极，在所述电极侧支撑体的与所述平坦面相反之侧，与所述探针的后端部接触；以及***，基于经由所述电极自所述探针获得的电信号进行基板检查。

根据所述构成，可提供一种能够以产生有弯曲的状态保持探针，并且容易进行探针的更换的基板检查装置。

另外，根据本发明的一方面的基板检查装置包括：所述检查治具；电极板，形成有在所述电极侧支撑体的与所述平坦面相反之侧与所述探针的后端部接触的电极；以及***，基于经由所述电极自所述探针获得的电信号进行基板检查；且所述销立设于所述电极板。

根据所述构成，在更换探针时，通过自基板检查装置的电极板拆下检查治具，而自检查治具拔出销，自探针弯曲的约束状态切换成探针呈大致直线状的容许状态，因此可在使探针产生有弯曲的状态下保持探针Pr，并且使探针的更换变得容易。

此种构成的检查治具及基板检查装置可在使探针产生有弯曲的状态下保持探针Pr，并且使探针的更换变得容易。

本申请以2017年4月27日申请的日本专利申请特愿2017-088539为基础，其内容包含在本申请。再者，用于实施发明的形态的项中所成的具体的实施方案或实施例归根结底是明确本发明的技术内容，本发明并不仅限定于此种具体例而狭义地解释。

符号的说明

1：基板检查装置

2：控制部

4、4U、4L：检查治具

5：检查侧支撑体

6：电极侧支撑体

7：连结构件(隔离限制构件)

8：活动平板

9：电极板

11：框体

12：基板固定装置

13：第一***(***)

14：第二***(***)

15：***移动机构

16：探针插通孔

16a：大径部

16b：小径部

16c、18c、23c：中心

18：探针贯通孔

18a：活动侧大径部

18b：活动侧小径部

19：定位孔(切换部)

20：接收孔(切换部)

20a：开口缘部

21：探针导引孔

21a、21b：大径部

21c：小径部

23：探针支撑孔

23a：支撑侧大径部

23b：支撑侧小径部

31：导体部

32：绝缘部

51：相向平板

52：导引平板

61：支撑平板

62：分隔平板

63：分隔膜

64：凹部

71、72、73：壁部

91：电极

92：线缆

100：基板

621、631、711、721、731：开口部

A：区域

B：背面

d：差

F：相向面

La、Lb：偏离量

P：销

P1：倾斜面

Pr：探针

R：倾斜角

W1、W2、Wp：宽度

X：平坦面