用于激光接合的结构和包含这种结构的液体透镜
阅读说明：本技术 用于激光接合的结构和包含这种结构的液体透镜 (Liquid lens for the structure of laser engagement and comprising this structure ) 是由 罗伯特·艾伦·贝尔曼 于 2019-05-21 设计创作，主要内容包括：液体透镜包括基板和沉积于基板上的结构。所述结构包括设置在所述基板上的导电层和设置在所述导电层上的电磁吸收层。该结构在390nm至700nm的可见光波长范围内的可见光波长下具有小于约1％的最小反射率,在100nm至400nm的紫外波长范围内的紫外波长下具有约25％或更小的反射率。还提供了液体透镜的制造方法和操作方法。(Liquid lens includes substrate and the structure that is deposited on substrate.The structure includes the conductive layer being arranged on the substrate and the electromagnetic absorption layer being arranged on the conductive layer.The structure has the minimum reflectance less than about 1% under the visible wavelength in the visible wavelength range of 390nm to 700nm, has about 25% or smaller reflectivity under the ultraviolet wavelength in the UV wavelength range of 100nm to 400nm.Additionally provide the manufacturing method and operating method of liquid lens.)
相关申请的交叉引用
本申请要求2018年5月21日提交的美国临时申请No.62/674,526的优先权，其内容通过引用整体并入本文。
技术领域
本公开内容总体上涉及用于激光接合的结构、包括这种结构的液体透镜以及制造和操作液体透镜的方法。
背景技术
液体透镜通常包括两种不混溶的液体，它们布置在透镜体的腔内。改变液体所受的电场可以改变其中一种液体相对于腔内表面的润湿性，从而改变两种液体之间形成的界面(例如液体透镜)的形状。液体透镜可以发挥作用，因此可作为光学透镜应用于各种场合。
发明内容
以下是本公开内容的简化概述，以提供对详细说明中描述的一些实施例的基本理解。
在一些实施例中，液体透镜可以包括基板和设置在基板上的结构。所述结构可以包括设置在基板上的导电层和设置在导电层上的电磁吸收层。该结构在390nm～700nm的可见光波长范围内的可见光波长下表现出小于约1％的最小反射率，在100nm～400nm的紫外波长范围内的紫外波长下表现出约25％或更低的反射率。
在一些实施例中，可见光波长可以在550nm到620nm的较窄可见光波长范围内，紫外波长可以为约355nm。
在一些实施例中，在紫外波长下的反射率可为约10％或更小。
在一些实施例中，导电层可以包括第一导电层，第一导电层包括设置在第一玻璃基板上的Ti。导电层还可以包括第二导电层，第二导电层包括设置在第一导电层上的Cu。导电层还可以包括第三导电层，第三导电层包括设置在第二导电层上的Ti。
在一些实施例中，电磁吸收层可以包括第一电磁吸收层，第一电磁吸收层包括设置在导电层上的Cr。电磁吸收层还可包括第二电磁吸收层，第二电磁吸收层包括设置在第一电磁吸收层上的CrON。电磁吸收层还可以包括第三电磁吸收层，该第三电磁吸收层包括设置在第二电磁吸收层上的Cr2O3。
在一些实施例中，第一导电层的厚度约为10nm，第二导电层的厚度约为100nm，第三导电层的厚度约为30nm。第一电磁吸收层的厚度可以在约10nm到约11nm之间。第二电磁吸收层的厚度可以在约33nm到约34nm之间。第三电磁吸收层的厚度可在约22nm到约23nm之间。
在一些实施例中，在30℃下在Transene 1020中蚀刻电磁吸收层可以在小于约5秒的时间内暴露导电层。
在一些实施例中，第二基板可以设置在电磁吸收层上，使得结构设置在基板和第二基板之间。可以至少部分地由结构来限定接合。所述接合能气密地密封基板和所述第二基板。
在一些实施例中，基板或第二基板中的至少一个可以包括玻璃基板。
在一些实施例中，可至少部分由该接合限定腔。极性液体和非极性液体可以布置在腔内。极性液体和非极性液体可以基本上不混溶，从而极性液体和非极性液体之间的界面限定液体透镜的透镜。
在一些实施例中，操作液体透镜的方法可以包括令极性液体和非极性液体经受电场。该方法还可以包括调整电场以改变界面的形状。
在一些实施例中，制造液体透镜的方法可以包括通过将结构的导电层施加于玻璃基板，并将结构的电磁吸收层施加于导电层，从而将结构施加于玻璃基板。该结构在390nm～700nm的可见光波长范围内的可见光波长下表现出小于约1％的最小反射率，在100nm～400nm的紫外波长范围内的紫外波长下表现出约25％或更低的反射率。
在一些实施例中，可见光波长可以在550nm到620nm的较窄可见光波长范围内，紫外波长可以为约355nm。
在一些实施例中，在紫外波长下的反射率可为约10％或更小。
在一些实施例中，施加导电层可包括将包含Ti的第一导电层施加于玻璃基板。施加导电层的方法还可以包括将包含Cu的第二导电层施加于第一导电层。施加导电层的方法还可以包括将包含Ti的第三导电层施加于第二导电层。
在一些实施例中，施加电磁吸收层可以包括将包含Cr的第一电磁吸收层施加于导电层。所述施加方法还可以包括将包含CrON的第二电磁吸收层施加于第一电磁吸收层。所述施加方法还可以包括将包含Cr2O3的第三电磁吸收层施加于第二电磁吸收层。
在一些实施例中，该方法可以包括在30℃下将包含Transene 1020的蚀刻剂施加于电磁吸收层，从而在小于约5秒的时间内暴露导电层。
在一些实施例中，该方法可以包括将极性液体和非极性液体添加到至少部分由玻璃基板限定的液体透镜的腔中。极性液体和非极性液体可以基本上不混溶，从而在极性液体和非极性液体之间限定界面。
在一些实施例中，该方法可以包括在电磁吸收层上定位第二玻璃基板。该方法还可以进一步包括通过用激光束照射所述结构，将玻璃基板与第二玻璃基板至少部分地接合。
在一些实施例中，该方法可以包括通过调整极性液体和非极性液体所受的电场来改变界面的形状。
在一些实施例中，接合物品可以包括第一基板、第二基板以及设置在第一基板和第二基板之间的结构。该结构可包括导电层和电磁吸收层。该结构在390nm～700nm的可见光波长范围内的可见光波长下表现出小于约1％的最小反射率，在100nm～400nm的紫外波长范围内的紫外波长下表现出约25％或更低的反射率。
在一些实施例中，第一基板或第二基板中的至少一个可以包括玻璃基材料。
在一些实施例中，可见光波长可以在550nm到620nm的较窄可见光波长范围内，紫外波长可以为约355nm。
在一些实施例中，在紫外波长下的反射率可以为约10％或更小。
在一些实施例中，导电层可以包括第一导电层，第一导电层包括设置在第一基板上的Ti。导电层还可以包括第二导电层，第二导电层包括设置在第一导电层上的Cu。导电层还可以包括第三导电层，第三导电层包括设置在第二导电层上的Ti。
在一些实施例中，电磁吸收层可以包括第一电磁吸收层，第一电磁吸收层包括设置在导电层上的Cr。电磁吸收层还可包括第二电磁吸收层，第二电磁吸收层包括设置在第一电磁吸收层上的CrON。电磁吸收层还可以包括第三电磁吸收层，第三电磁吸收层包括设置在第二电磁吸收层上的Cr2O3。
在一些实施例中，第一导电层的厚度约为10nm，第二导电层的厚度约为100nm，第三导电层的厚度约为30nm。第一个电磁吸收层的厚度可以为约10nm到约11nm，第二电磁吸收层的厚度可以为约33nm到约34nm，第三电磁吸收层的厚度可以为约22nm到约23nm。
在一些实施例中，在30℃下在Transene 1020中蚀刻电磁吸收层可以在小于约5秒的时间内暴露导电层。
在一些实施例中，接合物品可以包括气密密封的包装。
在一些实施例中，液体可以置于气密密封的包装内。
附图说明
当参照附图阅读以下详细描述时，可以更好地理解这些和其他特性、实施例和优点，其中:
图1示意性示出根据本公开内容实施例的液体透镜的示例实施例的截面图；
图2示出根据本公开内容实施例沿图1的线2-2的液体透镜的顶视(平面)图；
图3示出根据本公开内容实施例沿图1的线3-3的液体透镜的底视图；
图4示出根据本公开内容实施例在图1的视图4处截取的液体透镜的包括接合的部分的放大视图；
图5示出根据本公开内容实施例制造图4的接合的示例方法，包括施加导电层；
图6示出根据本公开内容实施例制造图4的接合的示例方法，包括将吸收层施加于图5的导电层以提供暗镜结构；
图7示出根据本公开内容实施例制造图4的接合的示例方法，包括对图6的暗镜结构进行激光接合的方法；
图8示出根据本公开内容实施例的液体透镜的一部分的示例实施例，包括在图7的激光接合暗镜结构的方法后通过图5-7的示例方法制造的接合；
图9示出根据本公开内容实施例在图2的截面图9-9处截取的制造电触点的示例方法，包括对图6的暗镜结构的吸收层施加蚀刻剂的方法；以及
图10示出通过根据本公开内容实施例将蚀刻剂施加于图9的暗镜结构的吸收层所形成的电触点的示例实施例。
具体实施方式
下面将参照示出示例性实施例的附图更全面地描述实施例。在可能的情况下，在所有附图中使用相同的附图标记来表示相同或相似的部件。然而，本公开内容可能以许多不同的形式实施，不应被解释为仅限于本文所述的实施例。
本公开内容的实施例可以包括可用于广泛应用领域的接合物品。例如，本公开内容的接合物品可以包括能够包含流体(例如液体)的气密密封的包装，可以防止该流体泄漏出气密密封的包装和/或保护该流体免受来自气密密封的包装外部的污染物。本公开内容的实施例讨论了液体透镜形式的接合物品，尽管也可以在进一步的实施例中提供其他接合物品。在本公开内容中，与液体透镜有关的特征可以结合其他接合物品的特征。
需要理解的是，这里公开的特定实施例旨在是示范性的，因此不是限制性的。为了本公开内容的目的，在一些实施例中，可以提供一种液体透镜以及用于制造和操作液体透镜的方法。尽管附图中描述并示出单一液体透镜，但除非另外注明，应理解，在一些实施例中可以提供多个液体透镜，并且多个液体透镜中的一个或多个可以包含与单一液体透镜相同或相似的特征，而并不脱离本公开内容的范围。
例如，在一些实施例中，可以更有效地(例如，同时、更快、更便宜、并行)将多个液体透镜制造为包括多个液体透镜的阵列(例如，基于微机电系统(MEMs)晶片规模制造)。例如，与手动地(例如，由人手)或单独且分离地制造多个单一液体透镜相比，在一些实施例中，包括多个液体透镜的阵列可以由包括控制器(例如，计算机、机器人)的微机电系统自动制造，从而增加制造过程的生产效率、良品率、可扩展和可重复性中的一个或多个。
此外，在一些实施例中，例如，在制造了包括多个液体透镜的阵列之后，可以从阵列中分离(例如，切割)出一个或多个液体透镜，并将其提供为根据本公开内容实施例的单一液体透镜。在一些实施例中，无论是作为单一液体透镜制造的，还是作为包含多个液体透镜的阵列制造的，本公开内容的液体透镜均可根据本公开内容实施例而提供、制造、操作和使用，而不脱离本公开内容的范围。
本公开内容总体上涉及一种液体透镜及用于制造和操作液体透镜的方法。现在将通过根据本公开内容的示例性实施例描述具有包括导电层和绝缘层的液体透镜的装置以及用于制造和操作包括导电层和绝缘层的液体透镜的方法。
正如示意性示出的，图1显示了根据本公开内容实施例的液体透镜100的示例实施例的示意性截面图。为了视觉清晰，省略了图1截面图的特征的断面线。在一些实施例中，液体透镜100可包括透镜体102和在透镜体102中限定的(例如形成的)腔104。在一些实施例中，液体透镜100可包括多个组件，这些组件单独或组合限定透镜体102。除非另有说明，在一些实施例中，可以在不脱离本公开内容范围的情况下提供透镜体102的各种形状和尺寸。在一些实施例中，透镜体102可以限定圆形形状(如图所示)，尽管其他形状包括但不限于矩形、正方形、椭圆形、圆柱形、长方体或其他二维或三维几何形状。同样，在一些实施例中，透镜体102可以限定厘米、毫米、微米量级的尺寸，或者其他对于透镜适合的大小，这里的透镜包括但不限于用于手持电子设备或其他包括根据本公开内容实施例的一个或多个透镜的电子设备的相机镜头。
例如，在一些实施例中，液体透镜100可包括第一外层118、中间层120和第二外层122，它们单独或组合限定透镜体102。在一些实施例中，中间层120可以置于第一外层118和第二外层122之间，其中至少部分由中间层120中提供的内部空间(如孔隙、体积)限定腔104，腔在液体透镜100的第一侧(例如，对象侧101a)以第一外层118为界且在液体透镜100的第二侧(例如，图像侧101b)以第二外层122为界。在一些实施例中，中间层120可以包括金属材料、聚合物材料、玻璃材料、陶瓷材料或玻璃陶瓷材料的一个或多个，例如由其制成。此外，在一些实施例中，中间层120可以包括(例如，被制造成包括)孔105(例如，孔径)，其形成在第一外层118和第二外层122之间至少部分地限定腔104的一部分的空间。
在一些实施例中，在中间层120中形成的孔105可以包括窄端105a和宽端105b。除非另有说明，在一些实施例中，窄端105a限定的孔105的尺寸(例如，直径)比由孔105的宽端105b所限定的相应尺寸(例如，直径)小。例如，在一些实施例中，孔105和腔104可以是锥形的，从而孔105和腔104的截面积沿着液体透镜100的光轴112在从液体透镜100的对象侧101a向液体透镜100的图像侧101b延伸的方向上减小。此外，在一些实施例(未显示)中，孔105和腔104可以是锥形的，从而孔105和腔104的截面积沿着光轴112在从液体透镜100的图像侧101b向液体透镜100的对象侧101a延伸的方向上增加。此外，在一些实施例中(未显示)，孔105和腔104可以是非锥形的，从而孔105和腔104的截面积沿光轴112基本上恒定。
在一些实施例中，透镜体102可以包括在第一外层118的第一主面118a和第一外层118的第二主面118b之间限定的第一窗口114。同样，在一些实施例中，透镜体102可以包括在第二外层122的第一主面122a和第二外层122的第二主面122b之间限定的第二窗口116。因此，在一些实施例中，第一外层118的至少一部分可以限定第一窗口114，而第二外层122的至少一部分可以限定第二窗口116。在一些实施例中，第一窗口114可以限定液体透镜100的对象侧101a，第二窗口116可以限定液体透镜100的图像侧101b。例如，在一些实施例中，第一外层118的第一主面118a可面对液体透镜100的对象侧101a，第二外层122的第二主面122b可面对液体透镜100的图像侧101b。因此，在一些实施例中，腔104可以设置在第一窗口114和第二窗口116之间。例如，在一些实施例中，第一外层118的第二主面118b可以面对第二外层122的第一主面122a并与其间隔非零距离。因此，在一些实施例中，腔104可以单独或组合限定为在第一外层118的第二主面118b与第二外层122的第一主面122a之间的空间(例如，体积)的至少一部分，包括由中间层120中形成的孔105限定的空间。
此外，虽然液体透镜100的透镜体102示意性示出为包括第一外层118、中间层120和第二外层122，但在不脱离本公开内容范围的情况下，还可以在进一步的实施例中提供其他组件和配置。例如，在一些实施例中，可以省略外层118、122中的一个或多个，中间层120中的孔105可以作为盲孔提供，该盲孔不能完全贯穿中间层120。同样，尽管腔104的第一部分示意性示为设置在第一外层118的凹部107内，但在不脱离本公开内容范围的情况下，其他实施例可以在进一步的实施例中提供。例如，在一些实施例中，可以省略凹部107，并且腔104的第一部分可以设置在中间层120中的孔105内。因此，在一些实施例中，腔104的第一部分可限定为孔105的上部，腔104的第二部分可限定为孔105的下部。在一些实施例中，腔104的第一部分可部分设置在中间层120的孔105内，部分设置在孔105外。
在一些实施例中，腔104可包括第一部分(例如，顶部空间)和第二部分(例如，底部区域)。例如，在一些实施例中，腔104的第一部分可至少部分地限定为由第一外层118中的凹部107提供的空间(例如，体积)。附加地或者替代地，在一些实施例中，腔104的第一部分可以至少部分地限定为由中间层120中形成的孔105的至少一部分提供且以第一外层118和第二部分为界的空间。同样，在一些实施例中，腔104的第二部分可以至少部分地限定为由中间层120中形成的孔105的至少一部分提供且以第二外层122和第一部分为界的空间(例如，体积)。
在一些实施例中，可以在透镜体102内密封(例如，气密地密封)腔104。例如，在一些实施例中，第一外层118可以在第一接合135处与中间层120接合。附加地或替代地，在一些实施例中，第二外层122可以在第二接合136处与中间层120接合。在一些实施例中，第一接合135和第二接合136中的至少一个可以包括一个或多个粘性接合、激光接合(例如，激光焊接)，或其他合适的接合，以在接合135处将第一外层118密封(例如，气密地密封)至中间层120及在接合136处将第二外层122密封(例如，气密地密封)至中间层120。因此，在一些实施例中，形成于透镜体102中的腔104(包括设置在腔104内的内容物)可以相对于其中使用液体透镜100的环境进行气密地密封和隔离。
在一些实施例中，液体透镜100可包括导电层128和绝缘层132。在一些实施例中，导电层128的至少一部分和绝缘层132的至少一部分可设置在腔104内。例如，在一些实施例中，导电层128可以包括施加于中间层120的导电涂层。在一些实施例中，导电层128可以包括导电金属材料、导电聚合物材料或其他合适的导电材料的一个或多个，例如由其制成。附加地或替代地，在一些实施例中，导电层128可以包括单层或多层，其中至少有一层或多层可以导电。
同样，在一些实施例中，绝缘层132可以包括施加于中间层120上的电绝缘(例如，电介质)涂层。例如，在一些实施例中，绝缘层132可以包括施加于导电层128的至少一部分和第二外层122的第一主面122a的至少一部分的电绝缘涂层。在一些实施例中，绝缘层132可包括聚四氟乙烯(PTFE)材料、聚对二甲苯材料、或其他合适的聚合物或非聚合物电绝缘材料中的一种或多种，例如由其制造。附加地或替代地，在一些实施例中，绝缘层132可以包括单层或多层，其中至少有一层或多层可以电绝缘。此外，在一些实施例中，绝缘层132可以包括疏水材料，例如由其制造。附加地或替代地，在一些实施例中，绝缘层132可包括亲水材料，例如由亲水材料制成，该亲水材料包括表面涂层或表面处理以向绝缘层132的例如与腔104内的内容物接触的暴露表面133提供疏水材料特性。
在一些实施例中，可在第一外层118与中间层120接合(例如，接合135)和/或第二外层122与中间层120接合(接合，接头136)之前将导电层128施加于中间层120。同样，在一些实施例中，可在第一外层118与中间层120接合和/或第二外层122与中间层120接合之前将绝缘层132施加于中间层120。在一些实施例中，可在第一外层118与中间层120接合和/或第二外层122与中间层120接合之前将绝缘层132施加于导电层128的至少一部分和第二外层122的第一主面122a的至少一部分。或者，在一些实施例中，可在第二外层122与中间层120接合之后和第一外层118与中间层120接合之前将绝缘层132施加于导电层128的至少一部分和第二外层122的第一主面122a的至少一部分。因此，在一些实施例中，绝缘层132可以在腔104内覆盖导电层128的至少一部分以及第二外层122的第一主面122a的至少一部分。
在一些实施例中，导电层128可以限定公共电极124和驱动电极126中的至少一个。例如，在一些实施例中，在第一外层118和第二外层122中的至少之一与中间层120接合之前，导电层128可施加于中间层120的几乎整个表面，包括施加于孔105的侧壁。此外，在一些实施例中，将导电层128施加于中间层120后，可将导电层128分割为一个或多个电隔离的导电元件，包括但不限于公共电极124和驱动电极126。
例如，在一些实施例中，液体透镜100可包括在导电层128中形成的划线130，以将公共电极124与驱动电极126隔离(例如，电隔离)。在一些实施例中，划线130可以包括导电层128中的间隙(例如，空间)。例如，在一些实施例中，划线130可以在导电层128中限定位于公共电极124和驱动电极126之间的间隙。在一些实施例中，划线130的尺寸(例如，宽度)可以是约5μm(微米)、约10μm、约15μm、约20μm、约25μm、约30μm、约35μm、约40μm、约45μm、约50μm，包括其间的所有范围和附属范围。
此外，在一些实施例中，第一液体106和第二液体108可以设置在腔104内。例如，在一些实施例中，至少一定量(例如，体积)的第一液体106可设置在腔104的第一部分的至少一部分中。同样，在一些实施例中，至少一定量(例如，体积)的第二液体108可设置在腔104的第二部分的至少一部分中。例如，在一些实施例中，基本所有或预定量的第一液体106可以置于腔104的第一部分中，且基本所有或预定量的第二液体108可以置于腔104的第二部分中。
如所述，在一些实施例中，腔104可以在透镜体102内密封(例如，气密地密封)。因此，在一些实施例中，在气密地密封透镜体102之前可将第一液体106和第二液体108放置于腔104内，由此限定气密密封的腔104，其包括置于气密密封的腔104内的第一液体106和第二液体108。
例如，在一些实施例中，第二外层122可以在第二接合136处接合中间层120，然后第一液体106和第二液体108可以被添加到通过在第二接合136处接合第二外层122和中间层120而提供的腔104的区域。在一些实施例中，将第二外层122在第二接合136处接合至中间层120可以在接合136处将第二外层122密封(例如，气密地密封)到中间层120。此外，在一些实施例中，将第一液体106和第二液体108添加到腔104的区域后，第一外层118可在第一接合135处与中间层120接合。在一些实施例中，在第一接合135处将第一外层118和中间层120接合可以在第一接合135处将第一外层118密封(例如，气密地密封)到中间层120。因此，在一些实施例中，形成于透镜体102中的腔104(包括置于腔104内的第一液体106和第二液体108)可以相对于使用该液体透镜100的环境被气密地密封和隔离。
或者，在一些实施例中，第一外层118可以在第一接合135处接合中间层120，然后第一液体106和第二液体108可以被添加到通过在第一接合135处将第一外层108接合到中间层120而提供的腔104的区域。在一些实施例中，在第一接合135处将第一外层118接合到中间层120可以在第一接合135处将第一外层118与中间层120密封(例如，气密地密封)。此外，在一些实施例中，将第一液体106和第二液体108添加到腔104的区域后，第二外层122可在第二接合136处与中间层120接合。在一些实施例中，在第二接合136处将第二外层122和中间层120接合可以在第二接合136处密封(例如，气密地密封)第二外层122和中间层120。因此，在一些实施例中，形成于透镜体102中的腔104(包括置于腔104内的第一液体106和第二液体108)可以相对于使用该液体透镜100的环境被气密地密封和隔离。
此外，在一些实施例中，第一液体106可以是低折射率极性液体或导电液体(例如，水)。附加地或替代地，在一些实施例中，第二液体108可以是高折射率非极性液体或绝缘液体(例如，油)。此外，在一些实施例中，第一液体106和第二液体108可以彼此不混溶，并且可以具有不同的折射率(例如，水和油)。因此，在一些实施例中，第一液体106和第二液体108的边界(例如，弯月面)可以限定界面110。在一些实施例中，在第一液体106和第二液体108之间限定的界面110可以限定透镜(例如，液体透镜)(例如，包括其一个或多个特性)。在一些实施例中，根据本公开内容实施例的界面110的周界111(例如，界面110的接触腔104的孔105的侧壁的边缘)可以位于腔104的第一部分和/或腔104的第二部分中。此外，在一些实施例中，第一液体106和第二液体108可以具有基本相同的密度。在一些实施例中，提供具有基本相同密度的第一液体106和第二液体108有助于避免界面110的形状在液体透镜100的物理定向方面至少部分基于例如作用于第一液体106和第二液体108的重力而相对于重力的方向改变。
在一些实施例中，在腔104内，公共电极124可与第一液体106电通信。此外，在一些实施例中，驱动电极126可设置在腔104内的孔105侧壁上，并可例如通过绝缘层132与第一液体106和第二液体108电绝缘。例如，在一些实施例中，在腔104内，绝缘层132可以覆盖导电层的128的一个或多个驱动电极126、第二外层122的第一主面122a的至少一部分、划线130、和导电层128的公共电极124的至少一部分。此外，在一些实施例中，至少一部分公共电极124可以相对于绝缘层132未被覆盖，以将公共电极124的非绝缘部分暴露给腔104，从而提供与第一液体106电通信的公共电极124的非绝缘部分。例如，在一些实施例中，绝缘层132可以包括周界或边界134(例如，边缘、外缘)，其限定公共电极124相对于绝缘层132未被覆盖部分所对应的位置。
因此，在一些实施例中，在腔104内，第一液体106可以与导电层128的公共电极124电通信，第二液体108可以通过绝缘层132与公共电极124电隔离，并且第一液体106和第二液体108可以通过绝缘层132与导电层128的驱动电极126电隔离。此外，在一些实施例中，绝缘层132的暴露表面133可与第一液体106和第二液体108接触。
因此，在一些实施例中，作为第一液体106和第二液体108之间的界面110限定的液体透镜可以至少部分地通过电润湿进行调整。在一些实施例中，电润湿可限定为通过控制公共电极124和驱动电极126的电压来控制第一液体106相对于绝缘层132的暴露表面133的润湿性。例如，在一些实施例中，可以向公共电极124和驱动电极126提供不同的电压，以限定第一液体106和第二液体108可以经受的一个或多个电场。因此，在一些实施例中，可以使用第一液体106和第二液体108所经受的一个或多个电场来至少部分地通过电润湿改变界面110的形状(例如，轮廓)。
在一些实施例中，可以将控制器(未显示)配置为将第一电压(例如，公共电压)提供到公共电极124，并因而提供到与公共电极124电通信的第一液体106。在一些实施例中，控制器可配置为向驱动电极126提供第二电压(例如驱动电压)，该驱动电极126通过绝缘层132与第一液体106和第二液体108电隔离。在一些实施例中，公共电极124(包括第一液体106)与驱动电极126之间的电压差可以根据本公开内容的实施例限定界面110的形状。此外，在一些实施例中，公共电压和/或驱动电压可以包括振荡电压信号(例如方波、正弦波、三角波、锯齿波或其他振荡电压信号)。在一些实施例中，公共电极124和驱动电极126之间的电压差可以包括均方根(RMS)电压差。附加地或替代地，在一些实施例中，还可以基于脉宽调制(例如，通过操纵差压信号的占空比)操纵公共电极124和驱动电极126之间的电压差。
在一些实施例中，控制公共电极124(包括第一液体106)和驱动电极126的电压可以增加或减少第一液体106相对于腔104内的绝缘层132的暴露表面133的润湿性，并因此改变界面110的形状。例如，在一些实施例中，绝缘层132的暴露表面133的疏水特性可以基于非极性第二液体108与疏水暴露表面133之间的引力而有助于将第二液体108保持在腔104的第二部分内。同样，在一些实施例中，绝缘层132的暴露表面133的疏水特性可以至少部分基于第一液体106相对于腔104内的绝缘层132的暴露表面133的润湿性的增加或减小，而使得界面110的周界111沿着疏水暴露表面133移动。因此，在一些实施例中，至少部分基于电润湿，可以单独或组合提供本公开内容的一个或多个特征，以沿着疏水性暴露表面133移动界面110的周界111，从而控制(例如，保持、更改、调节)液体透镜的形状，其中该液体透镜根据本公开内容的实施例被定义为在液体透镜100的腔104内的第一液体106和第二液体108之间的界面110。
在一些实施例中，控制界面110的形状可以控制由液体透镜100的界面110限定的液体透镜的变焦和焦距或焦点中的一个或多个(例如，屈光度和倾斜中的至少一个)。例如，在一些实施例中，通过控制界面110的形状来控制焦距或焦点，可以使液体透镜100执行自动聚焦功能。附加地或替代地，在一些实施例中，控制界面110的形状可以使界面110相对于液体透镜100的光轴112倾斜。例如，在一些实施例中，相对于光轴112倾斜界面110可以使液体透镜100执行光学稳像(OIS)功能。此外，在一些实施例中，界面110的形状可以被控制而液体透镜100没有相对于其中包括并使用液体透镜100的相机模块的例如图像传感器、固定镜头、镜头堆叠、外壳、和其他组件中的一个或多个发生物理移动。
在一些实施例中，图像光(由箭头115表示)可以穿过第一窗口114进入液体透镜的100的对象侧101a，在限定液体透镜的第一液体106和第二液体108之间的界面110处折射，并穿过第二窗口116离开液体透镜100的图像侧101b。在一些实施例中，图像光115可以沿沿光轴112延伸的方向移动。因此，在一些实施例中，根据本公开内容的实施例，第一外层118和第二外层122中的至少一个可以包括光学透明度，以使图像光115能够进入、通过和离开该液体透镜100。例如，在一些实施例中，第一外层118和第二外层122中的至少一个可以包括一种或多种光学透明材料(包括但不限于聚合物材料、玻璃材料、陶瓷材料或玻璃陶瓷材料)，例如由其制成。同样，在一些实施例中，绝缘层132可包括光学透明性，以使图像光115从界面110通过绝缘层132并进入第二窗口116。此外，在一些实施例中，图像光115可以通过在中间层120中形成的孔105，因此中间层120可以选择性地包括光学透明性。
在一些实施例中，液体透镜100的外表面可以是平面的，而不是例如像固定透镜(未显示)的外表面那样的非平面的(例如，弯曲的)。例如，在一些实施例中，如示意性示出的，第一外层118的第一主面118a和第二主面118b中的至少一个和第二外层的第一主面122a和第二主面122b中的至少一个可以基本为平面的。因此，在一些实施例中，液体透镜100可以包括平面外表面，然而，通过例如折射穿过界面110的图像光115而作为弯曲透镜来运行和操作，该界面110可以根据本公开内容的实施例包括弯曲(例如凹面、凸面)形状。然而，在一些实施例中，第一外层118和第二外层122中的至少一个的外表面可以是非平面的(例如，弯曲、凹、凸)，而不脱离本公开内容的范围。因此，在一些实施例中，液体透镜100可以包括一集成的固定透镜或其他光学组件(例如，过滤器、透镜、防护涂层、耐划伤性涂层)，其被单独提供或与界面110所限定的液体透镜110结合而提供，以提供根据本公开内容实施例的液体透镜100。
在一些实施例中，根据本公开内容的实施例可以提供一个或多个控制装置(未显示)，其包括但不限于控制器、驱动器、传感器(例如，电容传感器、温度传感器)、或透镜或摄像系统的其他机械、电子或机电组件，以例如操作液体透镜100的一个或多个特性。例如，在一些实施例中，可以提供控制装置，并将该控制装置电连接到导电层128，以例如操作该液体透镜100的一个或多个特征。在一些实施例中，可以提供控制装置，并将控制装置电连接到公共电极124，以例如施加和控制提供给公共电极124的第一电压(例如，公用电压)。类似地，在一些实施例中，可以提供控制装置，并将控制装置电连接到驱动电极126，以例如施加和控制提供给驱动电极126的第二电压(例如，驱动电压)。
因此，在一些实施例中，第一外层118和中间层120之间的接合135可以在一个或多个位置提供跨越接合135的电连续性，以实现基于(例如，通过控制装置)提供给在密封腔104外部限定的导电层128(例如，公共电极124)的一个或多个电信号，控制在密封腔104内限定的公共电极124。同样，在一些实施例中，第二外层122和中间层120之间的接合136可以在一个或多个位置提供跨越接合136的电连续性，以实现基于(例如，通过控制装置)提供给在密封腔104外部限定的导电层128(例如，驱动电极126)的一个或多个电信号，控制在密封腔104内限定的驱动电极126。因此，在一些实施例中，至少基于电隔离公共电极124和驱动电极126的划线130，单独且独立的电信号可以(例如，通过一个或多个控制设备)提供到根据本公开内容实施例的每个公共电极124和驱动电极126。
图2示意性地示出了沿图1的线2-2截取的液体透镜100的顶视图(例如，平面图)，该视图表示面向第一外层118并通过第一窗口114从对象侧101a看到腔104内的视图。尽管图2示出液体透镜100具有圆形周界，本公开内容还包括其他实施例。例如，在其他实施例中，液体透镜的周界为三角形、矩形、椭圆形或另一多边形或非多边形形状。同样地，图3示意性地示出了沿着图1的线3-3截取的液体透镜100的底视图，该视图表示面向第二外层122并通过第二窗口116从图像侧101b看到腔104内的视图。为了清晰起见，在图2和图3中示意性示出整个液体透镜100，尽管图1提供了液体透镜100的示例横截图。例如，在一些实施例中，图1可以理解为显示根据本公开内容的实施例沿着图2的线1-1截取的液体透镜100的示例截面图。
如图2所示，在一些实施例中，液体透镜100可以在第一外层118中包括一个或多个第一切口201a、201b、201c、201d。例如，在一些实施例中，可以提供四个第一切口201a、201b、201c、201d，尽管在不脱离本公开内容范围的情况下可以在进一步的实施例中提供更多或更少的第一切口。在一些实施例中，第一切口201a、201b、201c、201d可以限定透镜体102的特定部分，在该特定部分中第一外层118可以被移除、加工或制造以暴露导电层128的公共电极124的相应部分。因此，在一些实施例中，第一切口201a、201b、201c、201d可以提供电触点位置，以根据本公开内容的实施例实现公共电极124到控制器、驱动器、或透镜或摄像系统的其他机械、电子、机电组件的电连接。
如图3所示，在一些实施例中，液体透镜100可以在第二外层122中包括一个或多个第二切口301a、301b、301c、301d。例如，在一些实施例中，可以提供四个第二切口301a、301b、301c、301d，尽管在不脱离本公开内容范围的情况下可以在进一步的实施例中提供更多或更少的第二切口。在一些实施例中，第二切口301a、301b、301c、301d可以限定透镜体102的特定部分，在该特定部分中第二外层122可以被移除、加工或制造以暴露导电层128的驱动电极126的相应部分。因此，在一些实施例中，第二切口301a、301b、301c、301d可以提供电触点位置，以根据本公开内容的实施例实现驱动电极126到控制器、驱动器、或透镜或摄像系统的其他机械、电子、机电组件的电连接。
此外，如图2和图3所示，在一些实施例中，导电层128的驱动电极126可包括多个驱动电极段126a、126b、126c、126d。在一些实施例中，驱动电极段126a、126b、126c、126d中的每一个都可以通过划线130与公共电极124电隔离，并由各自的划线130a、130b、103c、130d相互电隔离。在一些实施例中，划线130a、130b、103c、130d可以从宽端105b到窄端105b从沿着中间层120的孔105的划线130延伸(图2)并在中间层120之下延伸到中间层120的背侧上(图3)。在一些实施例中，可以将不同的驱动电压提供给一个或多个驱动电极段126a、126b、126c、126d，以围绕光轴112倾斜液体透镜100的界面110，从而为液体透镜100提供例如光学稳像(OIS)功能。例如，在一些实施例中，至少基于由导电层128中的划线130a、130b、130c、130d提供的电隔离，第二切口301a、301b、301c、301d可以各自独立地且单独地与每一驱动电极段126a、126b、126c、126d分别电通信，以根据本公开内容的实施例将不同驱动电压提供至驱动电极段126a、126b、126c、126d中的一个或多个。
附加地或替代地，在一些实施例中，相同的驱动电压可以提供给每个驱动电极段126a、126b、126c、126d，以保持液体透镜100的界面110围绕光轴112的基本球面取向，从而向液体透镜100提供例如自动对焦功能。此外，虽然将驱动电极126描述为被分割成四个驱动电极段126a、126b、126c、126d，但在一些实施例中，驱动电极126可以被分割成两个、三个、五个、六个、七个、八个或更多的驱动电极段，而不脱离本公开内容的范围。因此，在一些实施例中，第二切口301a、301b、301c、301d的数量可以匹配驱动电极段126a、126b、126c、126d的数量。同样，在一些实施例中，例如取决于驱动电极段126a、126b、126c、126d的数量，相应数量的划线130a、130b、130c、130d可以形成在导电层128中，以根据本公开内容的实施例将每一驱动电极段126a、126b、126c、126d电隔离。
下面通过依照本公开内容的示例性实施例和方法，参考图4-8描述包括接合135的液体透镜100的制造方法。例如，图4显示了在图1的视图4处截取的液体透镜100的一部分的放大视图，其包括接合135以依照本公开内容实施例密封(例如，气密地密封)第一外层118和中间层120。除非另外注明，应理解在某些实施例中，可以单独或组合地提供参照图4的液体透镜100的部分所描述的一个或多个特征或方法，以提供根据本公开内容实施例的接合。例如，在一些实施例中，公开的一个或多个特性或方法可以提供第一外层118和中间层120之间的接合135、第二外层122和中间层120之间的接合136、或至少两个组件之间的其他接合，从而将至少两个组件接合(例如，密封、气密地密封)在一起。
同样，出于公开的目的，除非特别指出，应理解将至少两个组件接合在一起的接合可以包含或者被限定为包括至少两个组件之间的一个或多个材料，以例如实现接合及提供导电性或其他机械或功能目标，而没有离开公开的范围。例如，对于接合第一外层118和中间层120的接合135，在一些实施例中，导电层128(例如，公共电极124)可以提供在第一外层118和中间层120之间，以例如实现接合及提供到腔104中的导电性，而不脱离公开的范围。因此，在一些实施例中，接合135可以包括或被限定为包括根据本公开内容实施例的导电层128(例如，公共电极124)。此外，在一些实施例中，可以制造该接合135来限定一种或多种形状和尺寸，包括根据本公开内容的实施例未明确公开的形状和尺寸，以在不脱离本公开内容范围的情况下气密地密封透镜体102。
图5显示了根据本公开内容的实施例制造图4的接合135的示例性方法，包括将来自导电材料供应设备500(如喷嘴、喷雾器、涂布器、导电材料源)的导电材料501施加至中间层120以提供导电层128(例如，公共电极124)。在一些实施例中，导电层128可包括多个导电层124a、124b、124c，所述导电层124a、124b、124c可依次或同时施加于中间层120。如下文更详细地讨论的，在一些实施例中，可以选择导电层128的多个导电层124a、124b、124c中的每一导电层包括能够在接合135和接合方法方面获得优势的材料(例如，具有预定材料性能的材料)。
图6显示了根据本公开内容的实施例制造图4的接合135的示例性方法，包括将来自吸收材料供应设备600(如喷嘴、喷雾器、涂布器、吸收材料源)的吸收材料601施加至图5的导电层128的公共电极124以提供吸收层125(例如，电磁吸收层)。在一些实施例中，导电层128和吸收层125中的至少一个可以限定暗镜结构605(例如，具有本文所述的反射等光学特性)。此外，在一些实施例中，吸收层125可以包括多个吸收层125a、125b、125c，这些吸收层可依次或同时施加于导电层128。如下更充分地讨论，在一些实施例中，可以选择吸收层125的多个吸收层125a、125b、125c中的每一个包括提供暗镜结构605的材料(例如，具有预定材料性能的材料)，该材料能够在接合135和接合方法方面获得优势。
图7展示了一种制造图4的接合135的示例方法，包括通过从激光器700(例如，激光装置、激光源、紫外激光装置、红外激光装置)提供激光束701(例如，集中热源、紫外激光束、红外激光束)以加热(例如，局部加热)根据本公开内容实施例的图6的暗镜结构605(例如，至少是吸收层125)来将第一外层118和中间层120激光接合(例如，激光束焊接)的方法。例如，该方法包括用激光束照射暗镜结构605以形成接合135。
除非特别指出，在一些实施例中，按照本公开内容实施例基于激光器700和激光束701的激光接合的特征和方法可以包括一设备，其配置为通过基于电磁辐射的受激发射的光学放大过程(例如，通过辐射的受激发射的光放大)发光以产生一个高度集中的窄光束。例如，在一些实施例中，激光装置700可通过受激原子或分子的光子受激发射，生成激光束701作为相干单色光或其他电磁辐射的强光束。因此，在一些实施例中，按照本公开内容实施例的激光接合可以形成接合135，其至少部分基于高度集中的窄光束局部加热和接合要连接的至少两个组件的材料(例如，通过组件的融化和/或扩散)，以包括例如限定气密地密封的接缝的连续接合。在一些实施例中，激光接合可以提供透镜体102作为气密密封的包装，其中包含在腔104内的内容物(例如，第一液体106、第二液体108)气密地密封在透镜体102的腔104内。
此外，在一些实施例中，激光器700的激光束701的特征以及激光接合方法可以提供受控、聚焦、集中的“热影响区”(HAZ)。因此，在一些实施例中，激光接合可以提供透镜体102作为气密密封的包装，其中腔104内密封的内容物(例如，第一液体106、第二液体108)可以按预期在激光接合过程期间得以保持，尽管激光接合过程包括可以将接合135加热到比室温高的温度的特征和步骤而可能干扰或劣化腔104中包含的内容物(例如，第一液体106、第二液体108)。例如，在一些实施例中，激光器700的激光束701的特征以及激光接合方法可以提供透镜体102作为气密密封的包装，其中在激光接合过程之前、期间和之后，在腔104内密封的内容物(例如，第一液体106、第二液体108)可以保持在室温(例如，未受干扰，约20摄氏度到约30摄氏度，例如约25摄氏度，或选择为不劣化或干扰第一液体106和第二液体108的其他预定温度)。
此外，在一些实施例中，根据本公开内容实施例的激光接合方法可以提供一种液体透镜100，其包括具有一个或多个接合135、136的气密密封的透镜体102，该液体透镜能够在不同的应用场合使用和操作很长时间(例如，在5、10、15、20或更多年的量级)而不使接合135、136劣化，从而提供包括透镜体102和密封腔104的液体透镜100，其对于较长持续时间具有持续的气密性且同时可在各种应用场合中使用和操作。
在一些实施例中，激光束701可以穿过第一外层118(例如，至少基于第一外层118相对于激光束701的波长或波长范围的光学透明度或波长透明度)并撞击暗镜结构605的吸收层125。在一些实施例中，吸收层125可吸收(例如，相对于反射或折射)至少一部分激光束701，从而产生热能(例如，热)。在一些实施例中，热能可以局部增加吸收层125的温度。同样，在一些实施例中，热能可以局部增加暗镜结构605的温度(例如，吸收层125和导电层128中的至少一个)。此外，在一些实施例中，局部增加暗镜结构605(包括吸收层125和导电层128中的至少一个)的温度可以局部增加第一外层118和中间层120中的至少一个的温度。此外，在一些实施例中，一个或多个外力(未显示)可施加于透镜体102，以在根据本公开内容的实施例在执行激光接合的方法的一个或多个步骤的同时将第一外层118和中间层120通过施力接合(例如，夹紧)在一起，以确保相对于接合135气密的且适当的密封。
因此，在一些实施例中，通过增加吸收层125、导电层128、第一外层118和中间层120中的一个或多个的温度，限定吸收层125、导电层128、第一外层118和中间层120中的一个或多个的一个或多个材料可以接合(例如，融化、连接、联合、结合)，从而形成接合135，并基于根据本公开内容实施例的接合135密封(例如，气密地密封)第一外层118和中间层120。例如，图8显示了液体透镜100的一部分的示范性实施例，包括在根据本公开内容的实施例的图7的激光接合方法之后通过图5-7的示例性方法制造的接合135。
在一些实施例中，由图7的激光接合方法形成的接合135可以包括或限定为包括吸收层125、导电层128、第一外层118和中间层120中的至少一个或多个的材料(例如，融化、熔化、融合或通过一个或多个化学反应或相变直接或间接提供)。因此，尽管图8中示意性示出为第一外层118和中间层120之间的线或边界，但除非特别指出，应理解在一些实施例中，接合135可以包括或限定为包括吸收层125、导电层128、第一外层118和中间层120中的至少一个或多个的材料(例如，融化、熔化、融合或通过一个或多个化学反应或相变直接或间接提供)并具有非零厚度，从而限定根据本公开内容的实施例连接第一外层118和中间层120的气密密封的无缝接缝，而不脱离本公开内容的范围。
此外，在一些实施例中，接合135由图5-7的示例方法制造并且在图8的液体透镜100部分的示例实施例中图示，该接合135可对应于图1的视图4处截取的液体透镜100的部分，因此，可用于根据本公开内容的实施例所公开的图1-3的液体透镜100。
图9显示了从图2的截面图9-9截取的切口201a的电触点的示例性制造方法，其包括将来自蚀刻剂供应设备900(如喷嘴、喷雾器、涂布器、蚀刻剂源)的蚀刻剂901施加至根据本公开内容的实施例的图6的暗镜结构605的吸收层125的方法。例如，在一些实施例中，将蚀刻剂901施加至吸收层125可以从导电层128除去(例如，至少部分基于蚀刻剂901和吸收层125之间的化学反应)吸收层125，从而暴露导电层(例如，公共电极124)，以在切口201a处提供电触点。
在一些实施例中，暗镜结构605可以包括能够使蚀刻剂901和蚀刻方法具有优势的材料(例如具有预定材料特性的材料)。例如，在一些实施例中，导电层128、吸收层125和/或蚀刻剂901的材料中的一个或多个，以及施加导电层128、吸收层125和/或蚀刻剂901的材料中的一个或多个的方法可以直接或间接(例如，基于化学反应)包括能够实现接合135和接合方法的优势的材料(例如，具有预定材料特性的材料)，并且在第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d以及第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d中的一个或多个处提供导电垫用于根据本公开内容实施例的电触点和电连接。
此外，在一些实施例中，通过图9的示例性蚀刻方法制造并在图9和图10的液体透镜100的部分(其对应于在图2的视图9-9截取的液体透镜100的部分)的示例性实施例中示意性示出的切口201a处的电触点可用于图1-3的液体透镜100以及第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d和第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d，正如根据本公开内容实施例所公开的。
在一些实施例中，中间层120的孔105的外形(包括侧壁的取向或倾斜度，该侧壁包括绝缘层132的暴露表面133)以及第一液体106、第二液体108和绝缘层132的表面能可以限定界面110的形状(例如，曲率)。此外，在一些实施例中，根据上述电润湿原理，通过对导电层128的公共电极124和驱动电极126施加电压，可以调整界面110的形状。
此外，应当认识到，制造诸如本公开内容的液体透镜100这样的电润湿装置的挑战可包括在第一外层118、中间层120和第二外层122之间形成气密密封(例如，第一接合135、第二接合136)。例如，在一些实施例中，气密密封可在低于约100摄氏度的温度下形成(例如，不加热液体106、108和/或绝缘层132至高于约100摄氏度)。在不加热液体透镜的有机成分的情况下形成气密密封的能力是有益的，因为如所述，可以在绝缘层132沉积之后和在用液体106、108填充腔104之后进行激光接合。此外，在一些实施例中，粘合剂可能无法接合湿润表面，并且可能无法形成足以操作各种设备和应用中使用的液体透镜100的持久气密密封。同样，在一些实施例中，金属与金属的接合或熔块接合会在不适合液体106、108和绝缘层132的温度下进行。
因此，在一些实施例中，根据本公开内容实施例的基于激光束焊接的接合方法可以在室温和潮湿环境中气密地接合玻璃材料与玻璃材料(例如，第一外层118、中间层120和第二外层122)和/或玻璃材料(例如，第一外层118、中间层120和第二外层122)与金属材料(例如，导电层128)。在一些实施例中，透明玻璃材料的激光束焊接采用激光束701，玻璃材料(例如，第一外层118、中间层120和第二外层122)对于激光束701的波长是透明的。同样，吸收层125可设置在要接合的界面(例如，接合135、136)，且对所述激光束701的波长不透明，从而吸收层125可吸收所聚焦的激光，由此引起快速的局域加热。在一些实施例中，产生包括接近紫外线(例如，100纳米至400纳米)限定的波长的激光束701的激光源700可以提供集中的局部加热，从而减少和/或防止液体106、108和绝缘层132劣化，以及还提供根据本公开内容实施例进入(例如，穿过)玻璃材料(例如，第一外层118、中间层120和第二外层122)的高透射率。
此外，在一些实施例中，与电润湿装置(例如，液体透镜100)的操作有关的考虑可以影响导电层128的一个或多个特征。例如，在一些实施例中，如果没有吸收层125，导电层128将在功能上充当吸收器，用于在例如紫外波长(例如100纳米至400纳米)下的激光束焊接。此外，在一些实施例中，导电层128可包括可见光波长(例如，约390纳米至700纳米)下的低反射率，以抑制中间层120的孔105内的杂散光学反射，因为导电层128可限定例如光学孔径。此外，由于电润湿可能是电压驱动的现象，在一些实施例中，导电层128的电阻可能不低，因为导电层128可能不暴露于大电流中。
此外，在一些实施例中，第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d以及第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d可以在液体透镜100集成到一个或多个电子设备时用作电触点(例如，连接)。因此，在一些实施例中，导电层128可能适用于例如在分离之后的导线接合、焊接、导电胶粘剂接合或导电环氧树脂接合。同样，在一些实施例中，液体透镜100可以使用在各种各样的环境中，液体透镜100的一个或多个组件经受多种条件，包括但不限于冷热温度、潮湿、潮湿结合高达75V电压以及例如在一个或多个使用者应用场合中遇到的其他严厉的或复杂的环境条件。
因此，在一些实施例中，包括导电层128(包括多个导电层124a、124b、124c)和吸收层125(包括多个吸收层125a、125b、125c)的暗镜结构605的特征以及绝缘层132、接合135和透镜体102的特征可以实现根据本公开内容实施例的这种多样考虑。
因此，在不受理论约束的情况下，可以限定一些关于液体透镜100特性的观测结果。在一些实施例中，金属可以具有高反射性，因此不适合用作吸收器，也不适合作为光学孔径提供低反射率。因此，在一些实施例中，通过在反射金属(例如，导电层128)上沉积损耗介质(例如，吸收层125)，可以提供暗镜结构605。在一些实施例中，吸收层125可以包括由CrOx或CrON涂层组成的黑色铬。此外，在一些实施例中，导电层128可包括铬金属，铬金属可用作用于光学元件的光学孔径。除非另有说明，例如，在一些实施例中，当使用液体透镜作为单腔光学元件时，这种设计可提供高的紫外反射率，以在较大的视角范围内实现可见光波长范围内的低反射率。因此，举个例子来说，在某些实施例中，用于光学设备的铬涂层可以在550纳米到620纳米范围内的波长下(例如，在可见光波长光谱内)表现出1％或更少的最小反射率以及在355纳米波长下(例如，在紫外波长光谱内)表现出25％-35％的反射率。
在一些实施例中，本公开内容的特征和方法可以使暗镜结构605(例如，吸收层125和导电层128中的至少一个)在紫外光波长光谱内的紫外光波长下具有小于等于25％，例如小于等于10％的反射率，同时在可见光波长光谱中的可见光波长下保持1％或更低的最小反射率。因此，在一些实施例中，与不采用本公开内容的特征和方法的典型或常规特征和方法相比，本公开内容的特征和方法可以提供关于激光束焊接方法的更宽的工艺窗口。
此外，在一些实施例中，在液体透镜100的周界形成电触点(例如，在第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d和在第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d)可进一步考虑吸收层125、导电层128、第一外层118和中间层120中的至少一个或多个的材料以及接合方法。例如，在一些实施例中，关于用于移除吸收层125并暴露导电层128以提供电触点(例如，第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d和第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d)的蚀刻剂901(图9)的特性或特征。
例如，在一些实施例中，CrON或CrOx(例如，吸收层125)可以是绝缘的，并因此可以被移除以提供导电层128的电触点。然而，在一些实施例中，从Cr/CrON暗镜中去除CrON可能具有挑战性，因为，例如，这两种材料都可溶于铬蚀刻剂(例如，基于硝酸铈铵的蚀刻剂，如Transene 1020或1020AC)。因此，在一些实施例中，蚀刻后留下的薄铬层可能不适用于稳固的电触点。因此，可以在薄膜金属的顶部沉积相对较厚的机械强度较强的衬垫，以提供可靠的电气连接。然而，在一些实施例中，例如在接合第一外层118、中间层120和第二外层122之后，液体透镜100的透镜体102的几何形状可能不适合电镀，因为可能没有一个简单的电触点用于电镀或用于到所有衬垫的电子路径。因此，在一些实施例中，可以使用无电式电镀化学方法以在液体透镜100的周界形成电触点(例如，第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d和第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d)。
此外，在一些实施例中，Cr/CrON电极在工作电压下驱动时，在湿热条件下可能发生电迁移故障。在不受理论约束的情况下，人们不会期望电压驱动装置出现电迁移故障；然而，在一些实施例中，认为水汽凝结会产生电流可流过的短路。在一些实施例中，使用包括Ti粘附层的Cu电极未观察到这种电迁移失败模式。然而，Cu在CrON蚀刻剂中具有很高的溶解性，因此可以在Cu和CrON之间沉积一蚀刻停止层，以形成暗镜结构(例如，暗镜结构605)。因此，在不受理论约束的情况下，Ti粘附层、Cu电极、Ti蚀刻停止层和CrON吸收层的暗镜结构可以满足电极堆叠的各种工艺参数。然而，在一些这样的实施例中，发现蚀刻CrON吸收层以暴露用于形成衬垫的金属导致电极堆叠完全故障，这是因为CrON层被缓慢蚀刻，从而为蚀刻剂提供了在蚀刻停止层中形成针孔的机会并导致电极的快速底切和故障。
因此，在一些实施例中，本公开内容的特征和方法可以提供电极结构(例如，导电层128)、CrON组成范围(例如，吸收层125)和沉积工艺，所述沉积工艺使用玻璃第一外层118、玻璃中间层120和玻璃第二外层122创建适合于在圆片规模上制造的基于圆片的电润湿装置的暗镜结构605。在一些实施例中，可以在Ti/Cu/Ti金属堆叠(例如，限定包括多个导电层124a、124b、124c的导电层128)上形成暗镜结构605，其具有一个或多个Cr、CrON和CrOx层(例如，限定包括多个吸收层125a、125b、125c的吸收层125)，如图5和图6所示。此外，在一些实施例中，CrON层及其组成层可以在30℃下在不到10秒内在Transene 1020蚀刻剂中从底层金属容易地蚀刻掉，以例如在液体透镜100的周界提供电触点(例如，第一外层118中的第一切口201a、201b、201c、201d和第二外层122中的第二切口301a、301b、301c、301d)，如图9和图10所示。在一些实施例中，CrON成分范围和沉积工艺在30℃下在Transene 1020蚀刻剂中以缩短(从45秒到小于10秒，例如，小于5秒)的蚀刻时间产生暗镜涂层，从而允许在不劣化底层金属的情况下形成衬垫。
此外，在一些实施例中，本公开内容的特征和方法可以提供在550nm到620nm的波长范围内最小反射率小于1％的暗镜结构605，从而减少为光学透镜应用定义光学透镜属性的光学孔径中的杂散光反射，如图1-3所示。同样，在一些实施例中，本公开内容的特征和方法可以为暗镜结构605提供小于25％，例如小于10％(例如，关于三层涂层)的355nm反射率，其可以提供关于激光束焊接的有利特征，如图7和图8所示，以及用于光学透镜应用的光学透镜属性，如图1-3所示。例如，在一些实施例中，本公开内容的特征和方法可以提供一种暗镜结构605，其根据本公开内容的实施例加宽了与激光束焊接相关的工艺窗口。
实验
根据本公开内容的实施例获得了实验数据。例如，具有10纳米(nm)Ti/100nm Cu/30nm Ti的导电层124a、124b、124c的导电层128是通过使用Applied Materials CenturaPVD溅射在Eagle XG(EXG)Glass的直径150毫米(mm)半标准晶片(例如，中间层120)上而沉积的(例如，来自导电材料供应设备500的导电材料501，图5)。此外，Cr、CrON和Cr2O3薄膜(例如，吸收层125的吸收层125a、125b、125c)是通过使用3"Cr靶材(Kurt J.Lesker Co.)的AJAOrion共焦溅射工具反应溅射在涂覆有Ti/Cu/Ti的150mm EXG玻璃(例如，中间层120)上而沉积的(例如，来自吸收材料供应设备600的吸收材料601，图6)，以提供暗镜结构605。使用Filmetrics F50XY在190纳米到1700纳米的波长范围内测量Cr、CrON和Cr2O3薄膜(例如，吸收层125)的光学反射率。在适当的情况下，由使用Woollam M2000执行的椭圆偏振光谱测量以及使用Tauc-Lorentz或Cody-Lorentz模型的Woollam CompleteEase执行的模拟对厚度和光学色散进行拟合。用TFCalc对椭圆偏振光谱测量获得的光学色散进行薄膜模拟。此外，薄膜的CrON蚀刻在一烧杯Transene 1020蚀刻剂(例如，来自蚀刻剂供应设备900的蚀刻剂901，图9)中在感兴趣的温度(23℃或30℃)进行，以模拟根据本公开内容实施例的电触点在例如第一外层118的第一切口201a、201b、201c、201d和第二外层122的第二切口301a、301b、301c、301d处的创建。另外，由XPS测量薄膜(例如，吸收层125)的成分。
示例1
关于表1中给出的参数，一个大型CrON工艺空间被映射到AJA Orion中的Box-Behnken实验，改变总气体流量(40-80sccm)、气体流中的氧气含量(3-12％)、气体流中的氮气含量(0-35％)、和压力(6-20mtorr)，同时保持施加于枪的DC功率恒定为400W、沉积时间恒定为300sec、共焦几何常数(样品台高度32mm，向枪倾斜6mm)。
表1
将薄膜沉积在Ti/Cu/Ti涂布的EXG玻璃上，且表征为通过椭圆偏振光谱测量来测量反射光谱、厚度和光学色散，以及在23℃的Transene 1020铬蚀刻剂中的蚀刻时间。使用TFCalc模拟了暗镜薄膜堆叠，其具有计算出的每种条件下的光学色散，以确定620nm下的最低可能最小反射率。然后利用JMP将工艺参数对蚀刻时间和最小反射率的影响拟合到Box-Behnken实验中。620nm最小反射率与气体流中氧、氮的含量正相关。蚀刻时间与氧含量和压力正相关。从本实验中可以看出，在不受理论约束的情况下，可以观察到创建快速蚀刻的低反射率暗镜的良好工艺空间使用较低的氧和氮含量和中等的压力。
示例2
关于表2中给出的参数，示例1中的实验建议的较小CrON工艺空间被映射为第二Box-Behnken实验，改变压力(13-19mtorr)、气体流量(40-80sccm)、气体流中的氧含量(2-6％)、气体流中的氮含量(0-17.5％)。固定的是120sec的沉积时间、400W的DC功率以及共焦几何常数(样品台高度32mm，向枪倾斜6mm)。
表2
薄膜沉积在Ti/Cu/Ti涂布的EXG玻璃上，且表征为通过椭圆偏振光谱测量来测量反射光谱、厚度和光学色散，以及在23℃的Transene 1020铬蚀刻剂中的蚀刻时间。使用TFCalc模拟暗镜薄膜堆叠，其具有计算出的每种条件下的光学色散，以确定620nm下的最低可能最小反射率。将品质因数(FOM)计算为最小620nm反射率x log(蚀刻时间)。然后利用JMP将工艺变量对蚀刻时间、最小反射率和FOM的影响拟合到Box-Behnken实验中。最小反射率与氧气流量和气体流量负相关。此外，蚀刻时间的对数被看作与气体流中的氧含量、氮含量负相关。
对比示例1和示例2的结果，在不受理论约束的情况下，可以看出部分氧化的CrON被蚀刻地最快，而完全氧化或金属的铬被较慢地蚀刻。FOM与氧含量和气体流量负相关，与氮含量正相关。在上述4％O2和8.7％N2、55sccm总流量、16mT压力、400W直流以及上述32mm/6mm共焦几何参数下，获得了最佳的均匀性。这个工艺用在示例4中。
示例3
关于表3中给出的参数，第三个实验将示例1和示例2限定的工艺空间映射到使用中心复合设计的复合空间。工艺变量为氧含离(2～6％)和氮含量(0～17.5％)，总气体流量固定在60sccm。此外，固定的是300sec的沉积时间、400W的DC功率、以及共焦几何常数(样品台高度32mm，向枪倾斜6mm)。
序号
Ar
O2
N2
Pr
Cr
N
O
1020ET
Rmin
R355
1
47.1
2.4
10.5
16
43.7
1.80
54.9
3
6.07
24.75
2
57.6
2.4
0
16
52.1
0.00
47.9
8
4.96
14.48
3
45.9
3.6
10.5
16
42.1
1.05
56.8
3
4.3
26.79
4
48.3
1.2
10.5
16
50.9
14.6
34.0
5
13.32
18.4
5
58.8
1.2
0
16
60.31
0.00
39.69
19
14.61
16.75
6
51.15
3.6
5.25
16
43.8
1.40
54.8
4
1.79
20.75
7
52.35
2.4
5.25
16
43.16
1.72
55.11
7
1.18
21.57
8
53.55
1.2
5.25
16
58.7
8.80
31.9
14
10.44
16.80
9
52.35
2.4
5.25
16
42.8
1.41
55.8
5
5.45
23.59
10
56.4
3.6
0
16
42.6
0.00
57.4
7
3.56
28.6
表3
基板为Ti/Cu/Ti涂布的EXG玻璃。测量了反射率、厚度、光学色散和成分。将测量到的光学色散用于模拟暗镜，并在Ti/Cu/Ti涂布的EXG玻璃上沉积第二组样品，以创建厚度适合将最小反射率置于580nm到640nm波长范围内的暗镜结构。第二组样品表征为：在30℃的Transene 1020中的蚀刻时间、在可见光波段的反射率、在355nm下的反射率。采用XPS、蚀刻时间、最小可见光反射率、355nm反射率测定其成分，使用JMP针对中心复合设计拟合FOM。气体流中的氧比氮的反应性强得多。薄膜含氧量依赖于氧的含量，而含氮量则由于气体流中的氧而强烈降低。蚀刻时间与气体流中的氧含量、氮含量负相关，与薄膜中的铬含量正相关。最小可见光反射率主要取决于气体流中的氧含量或薄膜中的氧含量。FOM与气体流中的氧和氮负相关，与薄膜中的铬含量正相关，而355nm下的紫外反射率在金属膜中最低，在透明电介质中最高。因此，在不受理论约束的情况下，可以观察到，使用单层暗镜Ti/Cu/Ti/CrON设计，355nm反射率、可见光反射率和蚀刻时间并不同时最小化。
示例4
在第四个实验中，研究了在保持低可见光反射率和Transene 1020铬蚀刻剂中的低蚀刻时间的同时，减少355nm反射率的设计。从示例1-3和初步模拟的结果中，考虑了三种薄膜成分，将其包含在层堆叠中。示例2中性能最好的CrON成分在下面的示例中标记为CrON。铬金属的薄层也作为模拟而得以考虑，并且表明，单层暗镜的最小反射率强烈依赖于底层金属层的反射率，且铬的反射率比钛低。XPS测定示例3的序号10接近化学计量Cr2O3并显示出可接受的蚀刻速率。在本例中，这个工艺被标记为Cr2O3。表4提供了单层、双层和三层暗镜设计的厚度(单位为nm)。
材料
1-L
2-L
3-L
Ti
10
10
10
Cu
100
100
100
Ti
30
30
30
Cr
10
10.96
CrON
44.5
47
33.22
Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>
22.39
表4
两层设计包括CrON层下的薄Cr层，与单层设计相比，两层设计略微降低了355nm反射率，但不会对可见光反射率或蚀刻时间产生负面影响。三层设计包括CrON和Cr2O3层下的薄Cr层，其355nm反射率的改善要大得多。电极/顶部玻璃界面(例如，导电层128/第一外层118边界)的反射率降低到1％左右，场强计算显示出吸收层(例如，吸收层125)和顶部电极层(例如，导电层124a、124b、124c)的衰减。表5显示了在355nm、620nm和955nm下测量(例如，设计)和模拟(例如，s22)的反射率。在实验中，在光色点上具有一些妥协，在不受理论约束的情况下，可以观察模拟的8.07的355nm反射率(R355)低于(例如，小于)设计的10.04的355nm反射率，且模拟的0.05的最小反射率(Rmin)低于(例如，小于)设计的0.12的最小反射率。因此，根据本公开内容的实施例，暗镜结构可以包括小于25％(例如小于10％)的355nm反射率和小于1％的最小反射率。此外，实验薄膜被观察到在30℃的Transene 1020中蚀刻时间小于4sec，从而根据本公开内容的实施例实现了关于蚀刻时间、可见光最小反射率和355nm反射率的所有目标。
序号
Rmin
WLmin
R355
R620
R950
设计
0.12
584.00
10.04
0.23
15.38
s22
0.05
615.93
8.07
0.05
23.08
表5
因此，正如至少参照图1-5描述的，在一些实施例中，液体透镜100可包括第一玻璃基板(例如，中间层120)和沉积在第一玻璃基板上的结构(例如，暗镜结构605)。所述结构可以包括沉积在第一玻璃基板上的导电层(例如，导电层128)和沉积在导电层上的电磁吸收层(例如，吸收层125)。如表5所示，该结构在约390nm至约700nm的可见光波长下限定大约小于1％的最小反射率，并且在约100nm至约400nm的紫外波长下限定约25％或更低的反射率。此外，在一些实施例中，在可见光波长中大约不到1％的最小反射率可以在约550nm到约620nm的较窄可见光波长范围，而在紫外波长约25％或更少的反射率可以在约355nm的波长处。此外，在一些实施例中，紫外波长下的反射率可为约10％或更小。
如图6所示，在一些实施例中，导电层可包括第一导电层(例如，导电层124a)、第二导电层(例如，导电层124b)和第三导电层(例如，导电层124c)，其中第一导电层包括沉积在第一玻璃基板上的Ti(钛)，第二导电层包括沉积在第一导电层上的Cu(铜)，第三导电层包括沉积在第二导电层上的Ti(钛)。同样，在一些实施例中，电磁吸收层包括第一电磁吸收层(例如，吸收层125a)、第二电磁吸收层(例如，吸收层125b)和第三电磁吸收层(例如，吸收层125c)，其中第一电磁吸收层包括沉积在导电层上的Cr(铬)，第二电磁吸收层包括沉积在第一电磁吸收层上的CrON(氮氧化铬)，第三电磁吸收层包括沉积在第二电磁吸收层上的氧化铬(例如，Cr2O3(氧化铬(III))。
如图6和表4所示，在一些实施例中，第一导电层(例如，导电层124a)的厚度“t1a”可以是大约10nm，第二导电层的厚度“t1b”可以是大约100nm，并且第三导电层(例如，导电层124c)的厚度“t1c”可以是约30nm。同样地，在一些实施例中，第一电磁吸收层(例如，吸收层125a)的厚度“t2a”可以是约10nm至约11nm(例如，10.96nm，表4)，第二电磁吸收层(例如，吸收层125b)的厚度“t2b”可以是约33nm至约34nm(例如，33.22nm，表4)，并且第三电磁吸收层(例如，吸收层125c)的厚度“t2c”可以是约22nm至约23nm(例如，22.39nm，表4)。
如图9和图10所示，在一些实施例中，电磁吸收层可使导电层在30℃下在包括Transene 1020的蚀刻剂(如蚀刻剂901)中蚀刻时，在不到约5秒的时间内暴露导电层。
在一些实施例中，液体透镜可以包括位于电磁吸收层上的第二玻璃基板(例如，第一外层118)和至少部分由结构限定的接合(例如，接合135)。此外，如图7和图8所示，在一些实施例中，接合可以气密地密封第一玻璃基板和第二玻璃基板。在一些实施例中，液体透镜可包括至少部分由接合限定的腔(例如，腔104)。在一些实施例中，极性液体(例如，第一液体106)和非极性液体(例如，第二液体108)可以置于腔内，且该极性液体和非极性液体可以基本不混溶，从而极性液体和非极性液体之间的流体界面形成透镜。在一些实施例中，液体透镜可以包括在极性液体和非极性液体之间限定的界面(例如，界面110)。
在一些实施例中，操作液体透镜的方法可以包括令极性液体和非极性液体经受电场。在一些实施例中，该方法可以包括通过调整极性液体和非极性液体所经受的电场来改变界面的形状。
如图5和图6所示，在一些实施例中，制造液体透镜100的方法可以包括将结构(例如，暗镜结构605)施加于第一玻璃基板(例如，中间层120)。在一些实施例中，所述结构的施加可包括将结构的导电层(如导电层128，图5)施加于第一玻璃基板，并将结构的电磁吸收层(例如，吸收层125，图6)施加于导电层。如表5中给出的，在一些实施例中，该结构可以在约390nm到约700nm的可见光波长限定大约小于1％的最小反射率，并且在约100nm至约400nm的紫外波长限定约25％或更低的反射率。在一些实施例中，在可见光波长中大约不到1％的最小反射率可以在约550nm到约620nm的较窄可见光波长范围，而在紫外波长约25％或更少的反射率可以在约355nm的波长处。在一些实施例中，在紫外波长下的反射率可为约10％或更小。
正如在图5和图6和表4进一步显示的，在一些实施例中，施加导电层可以包括将包括Ti的第一导电层(例如，导电层124a)施加至第一玻璃基板，将包括Cu的第二导电层(例如，导电层124b)施加至第一导电层，和将包括Ti的第三导电层(例如，导电层124c)施加至第二导电层，从而形成具有Ti/Cu/Ti结构的导电层。同样，在一些实施例中，施加电磁吸收层可包括将包括Cr的第一电磁吸收层(例如，吸收层125a)施加至导电层、将包括CrON的第二电磁吸收层(例如，吸收层125b)施加至第一电磁吸收层，和将包括Cr2O3的第三电磁吸收层(例如，吸收层125c)施加至第二电磁吸收层，从而形成具有Cr/CrON/Cr2O3结构的电磁吸收层。
如图9所示，在一些实施例中，该方法可以包括在30℃将包括Transene 1020的蚀刻剂(例如，蚀刻剂901)施加于电磁吸收层并基于蚀刻在小于约5秒的时间内暴露导电层。
此外，正如参考图1-3给出的，在一些实施例中，该方法可以包括向至少部分由第一玻璃基板限定的液体透镜的腔(例如，腔104)中添加极性液体(例如，第一液体106)和非极性液体(例如，第二液体108)。在一些实施例中，极性液体和非极性液体可以基本不混溶，并且液体透镜可以包括极性液体和非极性液体之间限定的界面(例如，界面110)。
如图7和图8所示，在一些实施例中，该方法可以包括将第二玻璃基板(例如，第一外层118)定位于电磁吸收层上，并至少部分通过激光束焊接所述结构(例如，利用激光束701)接合第一玻璃基板和第二玻璃基板。例如，该方法可以包括用电磁辐射(例如，使用激光束701)照射电磁吸收层和/或导电层。在一些实施例中，电磁辐射具有约100nm至约400nm(例如，355nm)的紫外波长。
因此，在一些实施例中，该方法可以包括将极性液体和非极性液体置于电场中，并通过调整极性液体和非极性液体所经受的电场来改变界面的形状。
本文描述的实施例和功能操作可以在数字电子电路中实现，或者在计算机软件、固件或硬件中实现，包括本说明书中公开的结构及其结构等同物，或者它们中的一个或多个的组合。这里描述的实施例可以实现为一个或多个计算机程序产品，即在有形程序载体上编码的一个或多个计算机程序指令模块，用于由数据处理装置执行或控制数据处理装置的操作。有形程序载体可以是计算机可读介质。计算机可读介质可以是机器可读存储设备、机器可读存储基板、存储器设备或它们中的一个或多个的组合。
术语“处理器”或“控制器”可以包含用于处理数据的所有装置、设备和机器，包括例如可编程处理器、计算机或多个处理器或计算机。除了硬件之外，处理器还可以包括为所讨论的计算机程序创建执行环境的代码，例如，构成处理器固件的代码、协议栈、数据库管理系统、操作系统，或者其中一个或多个的组合。
计算机程序(也称为程序、软件、软件应用程序、脚本或代码)可以用任何形式的编程语言编写，包括编译或解释语言、或声明或过程语言，并且可以以任何形式部署它，包括作为独立程序或作为模块、组件、子例程或适用于计算环境的其他单元。计算机程序不一定对应于文件系统中的文件。程序可以存储在文件的一部分中，该文件保存其他程序或数据(例如，存储在标记语言文档中的一个或多个脚本)，存储在专用于所讨论的程序的单个文件中，或存储在多个协调文件中(例如，存储一个或多个模块、子程序或代码部分的文件)。可以部署计算机程序以在一个计算机上或在位于一个站点上或分布在多个站点上并通过通信网络互连的多个计算机上执行。
本文描述的过程可以由执行一个或多个计算机程序的一个或多个可编程处理器执行，以通过对输入数据进行操作并生成输出来执行功能。过程和逻辑流程也可以由专用逻辑电路执行，并且装置也可以例如实现为专用逻辑电路，例如FPGA(现场可编程门阵列)或ASIC(专用集成电路)。
举例来说，适合于执行计算机程序的处理器包括通用和专用微处理器，以及任何类型的数字计算机的任何一个或多个处理器。通常，处理器将从只读存储器或随机存取存储器或两者接收指令和数据。计算机的基本元件是用于执行指令的处理器和用于存储指令和数据的一个或多个数据存储器设备。通常，计算机还将包括或可操作地耦合以从一个或多个用于存储数据的大容量存储设备(例如磁盘、磁光盘或光盘)接收数据或将数据传输到一个或多个大容量存储设备。但是，计算机不一定需要这样的设备。而且，计算机可以嵌入另一个设备中，例如移动电话、个人数字助理(PDA)。
适用于存储计算机程序指令和数据的计算机可读介质包括所有形式的数据存储器，包括非易失性存储器、介质和存储器设备，包括例如半导体存储器设备，例如EPROM、EEPROM和闪存设备；磁盘，例如内部硬盘或可移动磁盘；磁光盘；和CD ROM和DVD-ROM磁盘。处理器和存储器可以由专用逻辑电路补充或并入专用逻辑电路中。
为了提供与用户的交互，本文描述的实施例可以在计算机上实现，其具有用于向用户显示信息的显示设备，例如CRT(阴极射线管)或LCD(液晶显示器)监视器等，键盘以及指示设备，例如鼠标或轨迹球，或者用户可以向计算机提供输入的触摸屏。其他类型的设备也可用于提供与用户的交互；例如，可以以任何形式接收来自用户的输入，包括声学，语音或触觉输入。
本文描述的实施例可以在包括后端组件的计算系统中实现，该后端组件例如作为数据服务器，或者包括中间件组件，例如应用服务器，或者包括前端组件，例如，具有图形用户界面或Web浏览器的客户端计算机，用户可通过该客户端计算机与本文描述的主题的实现或一个或多个这样的后端、中间件或前端组件的任何组合进行交互。系统的组件可以通过任何形式或介质的数字数据通信互连，例如通信网络。通信网络的示例包括局域网(“LAN”)和广域网(“WAN”)，例如因特网。
计算系统可包括客户端和服务器。客户端和服务器通常彼此远离，并且通常通过通信网络进行交互。客户端和服务器的关系借助于在各个计算机上运行并且彼此具有客户端-服务器关系的计算机程序而产生。
应当理解，所公开的各种实施例可以涉及结合该特定实施例描述的特定特征，元件或步骤。还应当理解，尽管关于一个特定实施例描述了特定特征、元件或步骤，但是其可以被各种未示出的排列组合中的替换实施例互换或组合。
还应理解，如本文所用，术语“该”或“一”表示“至少一个”，并且不应限于“仅一个”，除非明确指出相反的。同样，“多个”旨在表示“不止一个”。
范围在本文中可以表示为从“大约”一个特定值，和/或到“大约”另一个特定值。当表达这样的范围时，实施例包括从一个特定值和/或到另一个特定值。类似地，当通过使用先行词“约”将值表示为近似值时，将理解该特定值形成另一个实施例。将进一步理解，每个范围的端点相对于另一个端点都是重要的，并且独立于另一个端点。
如本文所使用的术语“实质的”，“基本上”及其变体旨在表明所描述的特征等于或近似等于一值或描述。
除非另有明确说明，否则决不意图将本文所述的任何方法解释为要求以特定顺序执行其步骤。因此，在方法权利要求实际上没有记载其步骤所遵循的顺序或者在权利要求或说明书中没有特别说明步骤将限于特定顺序的情况下，并不意味着推断出任何特定的顺序。
虽然可以使用过渡短语“包括”来公开特定实施例的各种特征、元件或步骤，但是应该理解暗含了替代实施例，包括可以使用过渡短语“由......组成”或“基本上组成”来描述的实施例。因此，例如，对包括A+B+C的装置的隐含的替代实施例包括其中装置由A+B+C组成的实施例和其中装置基本上由A+B+C组成的实施例。
对于本领域技术人员显而易见的是，在不脱离所附权利要求的精神和范围的情况下，可以对本公开做出各种修改和变化。因此，本公开旨在覆盖本文实施例的修改和变化，只要它们落入所附权利要求及其等同物的范围内。
应当理解，虽然已经关于本公开内容的某些说明性和特定实施例详细描述了各种实施例，但是本公开不应被视为限于此，因为在不脱离所附权利要求的范围的情况下可以对所公开的特征进行多种修改和组合。
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