阅读说明：本技术 放电灯用的反射器及使用该反射器的发光装置 (The reflector of use for discharge lamp and the light emitting device for using the reflector ) 是由 池田富彦 于 2019-08-21 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种定位精度高的放电灯用的反射器及使用该反射器的发光装置。由配设放电灯(70)并具有开口(23)的碗状的反射面(22)和形成于反射面(22)的开口(23)侧的端部并具有至少一个角部(28)的凸缘部(16)构成反射器(10)。并且,在角部(28)的开口(23)侧的端面处的端缘(34)与反射面(22)的开口(23)之间,形成与从反射面(22)的底部朝向开口(23)的方向相同方向的台阶(34)。(The present invention provides a kind of reflector of the use for discharge lamp that positioning accuracy is high and the light emitting device using the reflector.By arranging discharge lamp (70) and with opening (23) bowl-shape reflecting surface (22) and be formed in reflecting surface (22) opening (23) side end and have at least one corner (28) flange part (16) constitute reflector (10).And, between the ora terminalis (34) of endface and the opening (23) of reflecting surface (22) of opening (23) side of corner (28), the step (34) with the direction same direction from the bottom of reflecting surface (22) direction opening (23) is formed.)

放电灯用的反射器及使用该反射器的发光装置

技术领域

本发明涉及例如在用于曝光装置等的多灯式的照明装置中使用的放电灯用的反射器。

背景技术

以往，使用了多个放电灯的照明装置被用于曝光装置等(例如，专利文献1)。

在专利文献1所涉及的照明装置中，通过使与放电灯组合使用的反射器的开口端侧的角部与支承框部件抵接，从而进行该反射器的准确的定位，其结果，放电灯的点亮位置能够定位在给定位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-115817号公报

发明内容

发明所要解决的问题

但是，可知上述的现有的定位方法在定位精度方面存在极限。这是因为，一般地，反射器使用模具来制造，该模具的合模面大多设置在与反射器的开口端侧的角部的侧面对应的位置，所以在反射器的该“开口端侧的角部的侧面”(参照图12中的箭头)会出现毛刺(burrs)。因此，该毛刺(burrs)的大小直接成为与反射器组合的放电灯的位置公差。

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于，提供一种定位精度高的放电灯用的反射器及使用该反射器的发光装置。

用于解决问题的手段

根据本发明的一个方式，提供一种反射器，其具备：碗状的反射面，配设放电灯并具有开口；以及凸缘部，形成在所述反射面的所述开口侧的端部，并具有至少一个角部，在所述角部的所述开口侧的端面处的端缘与所述反射面的所述开口之间，形成有与从所述反射面的底部朝向所述开口的方向相同方向的台阶。

优选地，所述台阶的端缘形成为直线状。

优选地，所述台阶的端缘形成为圆弧状。

根据本发明的另一个方式，提供一种发明装置，其包括上述的反射器和放电灯。

发明效果

如本发明那样，通过在反射面的开口端侧的角部处的该角部的端缘与开口端之间形成台阶，即使在反射器的角部的侧面形成有毛刺(burrs)的情况下，也能够使形成为比侧面更靠内侧(反射面的开口侧)的台阶的面不产生毛刺(burrs)。

通过将这样没有毛刺(burrs)且能够以高尺寸精度形成的台阶面用作接触面，能够进一步提高反射器及放电灯的定位精度。

附图说明

图1为表示实施方式所涉及的反射器10的立体图。

图2为表示实施方式所涉及的反射器10及放电灯70的主视图。

图3为表示实施方式所涉及的反射器10的后视图。

图4为表示实施方式所涉及的反射器10的俯视图。

图5为将形成有台阶34的角部28放大后的立体图。

图6为表示放电灯70的一例的剖视图。

图7为表示安装有多个发光装置60的发光装置台100的一例的图。

图8为表示设置于发光装置台100的安装孔102与发光装置60之间的关系的图。

图9为表示相对于发光装置台100进行了定位时的发光装置60与安装孔102之间的关系的图。

图10为表示变形例1所涉及的反射器10的主视图。

图11为表示变形例2所涉及的反射器10的主视图。

图12为表示在反射器10的开口端侧的角部的侧面形成的“毛刺(burrs)”的立体图。

具体实施方式

(反射器10的结构)

使用附图对应用了本发明的反射器10进行说明。图1为表示本实施方式所涉及的反射器10的立体图，图2为表示该反射器10的主视图。另外，图3为表示本实施方式所涉及的反射器10的后视图，图4为表示该反射器10的俯视图。

反射器10大致包括主体部12、颈部14、凸缘部16、供电部18。

主体部12是在内侧具有凹部20的碗状的部分，凹部20的内表面成为使从与该反射器10组合使用的放电灯70放出的光的一部分反射的碗状的反射面22。在本实施方式中，反射面22由旋转抛物面规定，但反射面22的形状并不限定于此，也可以是旋转椭圆面，还可以是其他旋转面，另外，也可以由多个小面(facet：小区域)构成反射面22。另外，将规定反射面22的旋转抛物面的旋转轴称为反射器10的中心轴CL。

另外，从放电灯70放出的光的一部分如上所述由反射面22反射后，从开口23向外部放出，其余的光不被反射面22反射而从该开口23直接向外部放出。

颈部14是从主体部12的底部突出设置的大致圆柱状的部分，在其中央部形成有用于安装放电灯70的放电灯插设孔24。该放电灯插设孔24与主体部12中的反射面22的底部连接。即，反射面22的底部与外部经由放电灯插设孔24相互连通。

凸缘部16是形成在主体部12的开口23侧的端部的、向与中心轴CL大致正交的方向突出的部分。在本实施方式中，凸缘部16的外形形成为大致四边形(特别参照图2)。具体而言，该大致四边形由3个角部28和1个弯曲部30构成。

另外，如本实施方式那样，由3个角部28和1个弯曲部30构成大致四边形的凸缘部16只不过是一例，只要具有至少1个角部28，则可以以任何形态构成凸缘部16。

若关注构成本实施方式的凸缘部16的3个角部28当中的一个(图2中的右下的角部28)，则如图5所示，在该角部28的开口23侧的端面即开口端面33，在角部28处的端缘32与反射面22的开口23之间，形成有与反射器10的中心轴CL(从反射面22的底部朝向开口23的方向的轴)相同方向的台阶34。另外，所谓“相同方向”，是指不仅包括中心轴CL与台阶34完全平行的状态，还包括在中心轴CL和台阶34之间具有一些角度的情况。

另外，在从与反射器10的中心轴CL正交的平面观察时(参照图2)，该台阶34中的端缘36形成为对反射器10中的凸缘部16的外形进行规定的图中下边38到图中右边40的直线状。

供电部18是使供电线通过的部分，具有供电部主体42和供电线插通孔44，其中供电线用于向与反射器10组合的放电灯70的一个电极(位于反射面22侧的电极)进行供电。

供电部主体42形成在主体部12的外表面(形成有反射面22的相反侧的面)，其内部与供电线插通孔44相互连通。

供电线插通孔44是使供电部主体42的内部与反射器10的反射面22的内侧相互连通的孔。

如图6所示，与上述反射器10组合构成发光装置60的放电灯70具有发光管部72和从该发光管部72延伸出的一对密封部74。发光管部72及一对密封部74由石英玻璃一体地形成。而且，在发光管部72内形成有由密封部74封闭的内部空间76。

在放电灯70的各密封部74内分别设有：埋设的钼制的箔78；一端与箔78的一端部连接且另一端配置在内部空间76内的钨制的一对电极80；以及一端与箔78的另一端部连接且另一端从密封部74向外部延伸出的一对引线棒82。另外，在内部空间76封入有给定量的汞84和卤素(例如溴)。

当向设置于放电灯70的一对引线棒82施加给定的高电压时，在设置于发光管部72的内部空间76的一对电极80之间开始的辉光放电转换为电弧放电，通过由该电弧蒸发并激发的汞84放射光(主要是紫外线)。

(反射器10的定位方法)

接着，对在将放电灯70组合在给定位置的状态下，相对于发光装置台100对反射器10进行定位的方法进行简单说明。

如图7所示，用于将多个发光装置60(反射镜10与放电灯70相互组合的状态下的装置。以下相同)设置到正确位置的发光装置台100形成有多个用于安装反射镜10的安装孔102。另外，如图8所示，在该安装孔102的底部形成有定位面104，该定位面104用于通过与反射器10的凸缘部16的开口端面33抵接来决定反射器10相对于发光装置台100在中心轴CL方向上的位置。另外，通过将多个发光装置60组装到发光装置台100，由此构成曝光装置。

而且，在该定位面104的角落部(图中左下部)形成有定位凸部106，该定位凸部106用于进行反射器10相对于发光装置台100在与中心轴CL正交的方向上的定位。该定位凸部106以与反射器10的台阶34的高度相同或稍低的尺寸从定位面104突出设置。

如上述那样使反射器10的凸缘部16的开口端面33与定位面104抵接之后，如图9所示，使包括反射器10的发光装置60向形成有定位凸部106的图中左下方进行移动。然后，通过使反射器10移动到定位凸部106与形成于反射器10的角部28的台阶34抵接为止，从而完成反射器10相对于发光装置台100的定位。

通过预先将定位凸部106与反射器10的台阶34抵接时的反射器10和放电灯70的位置设定在准确的位置，即使在反射器10的角部28的端缘(侧面)32形成有毛刺(burrs)的情况下，也能够使得在形成为比端缘(侧面)32更靠内侧(反射面22的开口23侧)的台阶34的面不产生毛刺(burrs)，因此通过将能够以高尺寸精度形成的台阶34用作接触面，能够进一步提高反射器10和放电灯70的定位精度。

即，通过使用本实施方式所涉及的包括具有台阶34的反射器10的发光装置60和具有定位凸部106的发光装置台100，能够实施使反射器10移动到该定位凸部106与形成于反射器10的角部28的台阶34抵接为止的放电灯70(反射器10)的定位方法。

另外，万一相对于发光装置台100安装未形成台阶34的现有的发光装置的情况下，由于定位凸部106干扰而无法正确地定位该发光装置，导致光轴发生偏移，因此曝光面处的照度有可能不足。像这样，通过组合使用包括具有台阶34的反射器10的发光装置60和具有定位凸部106的发光装置台100，能够避免错误地使用计划外的发光装置而产生曝光不良等不良情况。

(变形例1)

在上述的实施方式中，台阶34的端缘36形成为直线状，但也可以取而代之，如图10所示，将该端缘36形成为规定凸缘部16的外形的图中下边38到图中右边40的圆弧状。

即使在像这样形成为圆弧状的情况下，在将该反射器10向发光装置台100的给定位置进行定位时，通过使定位凸部106与圆弧状的台阶34的给定位置抵接，也能够将反射器10及放电灯70定位在准确的位置。

(变形例2)

另外，如图11所示，也可以由4个角部28构成反射器10中的凸缘部16，而且在未形成台阶34的其余3个角部28的开口端面33分别形成抵接凸部50。

通过像这样形成三个抵接凸部50，相对于发光装置台100中的安装孔102的定位面104，能够通过3个“点”而不是通过反射器10中的凸缘部16的开口端面33这个“面”来进行定位，因此能够更高精度地决定反射器10相对于该定位面104在中心轴CL方向上的位置。

应当理解本次公开的实施方式在所有方面均为例示，而不是限制性的内容。本发明的范围并不是由上述的说明而是由权利要求书来示出，旨在包含与权利要求书均等的含义及范围内的所有变更。

符号说明

10…反射器

12…主体部、14…颈部、16…凸缘部、18…供电部、20…凹部、22…反射面、23…开口、24…放电灯插设孔、28…角部、30…弯曲部、32…(角部28的)端缘、33…开口端面、34…台阶、36…(台阶34的)端缘、38…(规定凸缘部16的外形的)下边、40…(规定凸缘部16的外形的)右边、42…供电部主体、44…供电线插通孔、50…抵接凸部、60…发光装置

70…放电灯、72…发光管部、74…密封部、76…内部空间、78…箔、80…电极、82…引线棒、84…汞

100…发光装置台、102…安装孔、104…定位面、106…定位凸部

CL…(反射器10的)中心轴。