发明内容

本发明的目的是提供一种振动模块，该振动模块直接搁置在鼓膜上并通过扁平机电致动器对鼓膜和听小骨施加力，这引起鼓膜和听小骨在可听频率范围内的振动，从而引起听觉印象。

扁平声音换能器的使用可以使振动模块的重量保持较低，并将振动模块的重心转移到更靠近鼓膜的位置。因此，可以仅通过粘附力可靠地紧固而无需支撑在耳道上。这可以提供高度的舒适度，并且不需要产生耳道印象。以薄层技术有利地制备的压电层可以可选地在较小的安装空间内实现足够的力和挠曲，以在至多4V的电压下实现120dB SPL和更高的等效声压。低移动质量实现了在可听范围内依赖于频率的传递行为。

通过根据权利要求1所述的用于放置在鼓膜上的振动模块和根据权利要求19所述的用于制备这种振动模块的方法来实现该目的。从属权利要求指出了根据本发明所述的振动模块的有利的进一步改进。

根据本发明，指定了一种适合放置在鼓膜上的振动模块。有利地，振动模块可以放置在鼓膜上，使得所述振动模块不与耳道壁接触或仅轻微接触。因此，放置在鼓膜上的合适性是与振动模块的尺寸有关的议题，该议题例如可以是这样的：振动模块可以放置在作为振动模块的目标群体的普通成年人或给定年龄组的普通人的鼓膜上。

相互连接的部件(所述部件被设计成使得所述部件在搁置在鼓膜上时由鼓膜支撑和/或仅与鼓膜接触)的单元在此可被视为振动模块。然而，优选地，这种排他性应理解为使得仍然可以提供用于传递电能和/或信号的与其他部件，例如控制部件，的接触。

根据本发明所述的振动模块具有扁平声音换能器和鼓膜接触模具。扁平声音换能器由此可以理解为在表面(优选为平面)中比在与该表面垂直的厚度方向上延伸得更远的声音换能器。有利地，平面方向上的最大延伸量可以大于或等于厚度方向上的最大延伸量的5倍、优选地7倍、优选地10倍、优选地20倍。优选地，声音换能器的表面(在该表面中所述声音换能器平坦延伸)在鼓膜接触模具的整个范围上延伸，除了用于保持扁平声音换能器和/或将扁平声音换能器连接到鼓膜接触模具的那些区域之外。鼓膜接触模具的范围可以理解为鼓膜接触模具的表面在声音换能器平坦延伸的平面上的投影。作为替代或补充，扁平声音换能器也可以理解为在声音换能器表面上的法线方向上执行振动的声音换能器。在这种情况下，振动性(vibratory)部件或振动的(vibrating)部件的振动的最大振幅的方向优选地垂直于声音换能器平坦延伸的表面。

声音换能器在此可以理解为将电或光输入信号转换为机械振动和/或将机械振动转换为电或光信号的元件。

根据本发明所述的振动模块还具有用于接触鼓膜的鼓膜接触模具。鼓膜接触模具被设计成使得该鼓膜接触模具可以直接地或经由至少一个中介层接触鼓膜。如果在鼓膜接触模具和鼓膜之间设置一个或多个中介层，则所述中介层也可以可选地被视为鼓膜接触模具的一部分。鼓膜接触模具优选地具有这样的表面，当按预期使用时，该表面面向鼓膜并且成形为使得该表面至少部分地遵循鼓膜的形状。

在本发明的有利实施方式中，振动模块可以被设计成使得扁平声音换能器和鼓膜接触模具封围成内部容积。扁平声音换能器和鼓膜接触模具封围成内部容积这一事实意味着它们在所有侧上封围或包围该内部容积。可替代地，扁平声音换能器和鼓膜接触模具也可以界定内部容积，优选地在所有三个空间方向上界定内部容积。因此可以在所有空间方向上从内部容积布置表面，该表面在该方向上界定内部容积，其中，所述界定可以是完全的但不必是完全的。尽管扁平声音换能器和鼓膜接触模具于是可以封围成内部容积使得它们完全包围所述内部容积，但有利的是提供穿过扁平声音换能器和/或鼓膜接触模具的一个或多个开口或通道。这也应优选地被视为包封、封围或包围。内部容积可以是空的或填充有空气，或者所述内部容积可以容纳有例如用于传递振动的元件和/或其他材料。

在本发明的有利实施方式中，扁平声音换能器可以在其表面的至少一部分上或作为其表面的至少一部分具有膜结构。该膜结构可以具有至少一个载体层和至少一个压电层，所述压电层被布置在载体层上并具有至少一种压电材料。膜结构可以被设计成使得可以通过对压电层施加电压来激发声音换能器至少部分地振动。

膜结构可以在表面被至少一条切割线分开，所述至少一条切割线将膜结构的所有层分割成至少一个分段、两个分段或更多个分段，使得膜结构在切割线处被机械分离。

在本发明的一个有利的实施方式中，声音换能器可以具有膜结构，该膜结构具有至少一个载体层和至少一个压电层，所述压电层被布置在载体层上具有至少一种压电材料。所述至少一个载体层和所述至少一个压电层因此形成层系统，在该层系统中，载体层和压电层平行地彼此叠置。在该实施方式中，可以通过对压电层施加电压(特别是交流电压)来产生膜结构的振动。这利用了当施加电压时压电层会变形这一事实，其中，变形的方向取决于施加的电压的正负号。膜结构在本文中可以理解为基本上平坦延伸的结构，其在两个维度上比在垂直于该两个维度的维度上具有显著更大的延伸量。膜结构主要在其中延伸的两个维度由此跨越膜表面和声音换能器的表面。

声音换能器的膜结构可以在其平坦延伸部中被至少一条切割线分成至少一个分段、两个分段或更多个分段。分开膜表面意味着整个膜、因而载体层和压电层两者、以及必要时的电极层被相互切割线分开，使得膜在切割线处被机械分离，这意味着膜结构的被切割线分隔开的两个区域可以相互独立地移动。因此，膜表面的分开或分段意味着载体层的对应分段和必要时压电层的对应分段以及必要时电极层的对应分段。

分段能够以非常小的安装尺寸实现高幅值的振动，而不会由于这些措施使力变得太小。

在本申请的含义中，声音振动应理解为具有可以被人耳感知的频率的振动，即在大约20Hz至20,000之间的振动。声音振动还适用于在介质(特别是空气或外淋巴)中激发声波。

膜结构有利地具有至少一个载体层和至少一个压电层，所述压电层具有至少一种压电材料且被布置在载体层上。载体层和压电层于是形成双压电晶片结构并且因此有利地被布置和设计成使得可以通过对压电层施加电压(尤其是交流电压)而使膜结构振荡，并且/或者由膜振动产生的压电层中的电压是可检测的。载体层和压电层在此可以以平行的层平面彼此叠置或布置在彼此上并且应当直接或间接地彼此连接。前述切割线优选地分割膜结构的所有层。

为了保证良好的听力学质量，膜结构被有利地设计成当振动模块按预期放置在鼓膜凸上在鼓膜上时，它能够实现0.01至5μm、优选地5μm的最大挠曲量。由此优选地克服鼓膜凸处大约1200N/m的机械刚度(直至大约1kHz有效)。在这种情况下，对于5μm所需的力为大约6mN。在更高的频率下，刚度增加，但同时听觉更敏感，因此所需的挠曲量降低。

分段可以被配置成使得阻抗是最佳的，特别是关于所述分段的长度是最佳的。

特别优选的是，以薄层技术实现膜结构。薄层是有利的，因为需要高场来产生高能量密度；然而由于生物环境的原因，施加的电压应尽可能低。必要的能量密度可在薄层膜中实现。

特别地，由此可以以薄层技术制备根据本发明所述的压电层。为了制备膜结构的压电层，以压电层的厚度施加压电材料。可以使用如物理气相沉积、化学气相沉积、溶胶-凝胶工艺等沉积技术来进行施加。

压电层优选地具有≤20μm、优选地≤10μm、特别优选地≤5μm和/或≥0.2μm、优选地≥1μm、优选地≥1.5μm、特别优选地＝2μm的厚度。电极层有利地具有≤0.5μm、有利地≤0.2μm、特别优选地≤0.1μm和/或≥0.02μm、有利地≥0.05μm、并且特别优选地≥0.08μm的厚度。

声音换能器的薄层——硅梁结构和压电层两者——确保只有很小的质量通过梁的挠曲而移动。所描述的致动器变体的振动系统的共振频率处于人类听觉频率带宽的上限范围内。因此，当振动模块按预期放置在鼓膜上时，可以在整个人类频率范围内均匀激发圆窗。

根据本发明所述的声音换能器的机械振动的产生由此是基于弯曲梁的弹性变形的原理，其中，膜或膜的分段可以被认为是弯曲梁。通过施加电压和由此产生的电场，能够缩短或伸长压电层。由此在由载体层和压电层制成的材料复合物中产生机械应力，所述机械应力在缩短的压电层中引起梁或膜结构向上弯曲，并且在伸长的压电层的情况下引起对应的向下移动。压电层是伸长还是缩短取决于压电层的极化方向和施加的电压或施加的电场的方向。

在单层声音换能器的情况下，所述载体层可以承载单层压电材料。此外，电极形成层结构的其他部件。由此可以将下电极直接地或经由阻挡层施加到硅衬底上，而相反地，可以将上电极置于压电层的顶上。压电材料的极化方向优选地垂直于硅结构的表面。如果现在在上电极和下电极之间施加电压并形成电场，则由于横向压电效应，压电材料在梁纵向方向上缩短或伸长(取决于电压的正负号)，在层复合物中产生机械应力，并且梁结构发生弯曲。

优选的是膜结构具有圆形或椭圆形周边。特别地，有利的是膜结构的周边对应于耳朵的鼓膜的周边，使得在放置声音换能器时膜结构的周边线大致平行于鼓膜的周边行进。膜结构可以具有n角周边，其中，n优选地≥6。

特别是在圆形周边的情况下，然而对于膜结构的其他形状来说，进一步优选的是，将膜表面分成分段的切割线从膜结构的边缘沿膜的中心点方向径向延伸。切割线不必直接从边缘开始，也不必到达中心点；如果切割线从边缘附近行进直至中心点附近则也是足够的。然而，如果切割线没有到达中心点，则切割线在其中结束的自由区域应存在于中心点中，从而保证分段在面向中心点的那端处机械分离。

分段可以由此被配置成使所述分段呈饼楔形；因此，其具有两个边缘作为彼此成角度行进的侧边缘和在膜结构的周边上平行于该周边行进的外边缘。在侧边缘的与外边缘相对的另一端，这些分段可以一起行进成一个点或被切割，从而在中心点周围形成自由区域。在边缘处，这些分段于是可以被永久性地布置在膜结构的边缘上并且在侧边缘处彼此独立，并且如果需要的话则在面向中心点的那个边缘处彼此独立，使得它们可以围绕外边缘自由振动。最大挠曲因此通常会发生在面向中心点的分段的那个边缘处。分段数优选地≥6，特别优选地≥8。

切割线可以径向笔直地行进，使得分段具有笔直的径向边缘。

然而，径向延伸的切割线也可以以曲线形式延伸，从而产生没有直的径向延伸边缘的分段。特别地，因此可以形成在径向方向上以拱形、波浪形或沿着锯齿线延伸的分段。许多其他几何形状也是可以想到的。

在本发明的一个替代性实施方式中，膜结构可以由至少一个螺旋形切割线构成。所述至少一条切割线由此行进，从而产生至少一个螺旋形分段，其优选地围绕膜结构的中心点盘绕。还可以提供多条切割线，它们将膜结构分开，从而产生两个或更多个螺旋形分段，其有利地分别围绕膜结构的中心点盘绕并且特别优选地行进到彼此之中。

为了使膜结构震荡和/或为了在压电层上分接电压，将至少一个第一电极层和至少一个第二电极层布置在膜结构上，其中，将所述至少一个压电层布置在第一电极层与第二电极层之间。电极层在此优选地覆盖压电层并且以平行的层平面被布置在压电层上或在压电层顶上。第一电极层或第二电极层优选地被布置在载体层与压电层之间，使得压电层被布置在载体层顶上的一个电极层之上。压电层和电极层特别优选地彼此完全覆盖。

与非结构化膜相比，分段结构的使用能够实现更高的挠曲，因为梁元件可以在它们被切割线分隔开的地方(例如在圆盘的中心)自由变形，并且因此在仅一个方向上恒定弯曲。相比之下，连贯膜的变形以曲率方向的变化为特征，这会引起较小的挠曲。

在一个优选实施方式中，膜结构具有多个压电层，所述多个压电层以平行表面彼此叠置，其中，电极层被布置在每两个相邻的压电层之间。电极层和压电层因此分别交替地被布置在载体层上。电极层和压电层可以直接彼此叠置、彼此连接或者经由一个或多个中介层彼此叠置。利用该实施方式可以产生具有特别大的力或功率的振动并且可以特别精确地检测振动。

在该换能器改型中，在层结构中具有不同电势的电极与压电层交替。硅结构之后首先是下电极，然后是第一压电层、具有相反电势的电极、第二压电层、具有下电极电势的电极等。

各个压电层的极化方向可以垂直于膜结构的表面，就像单层换能器中的情况那样；然而，对于交替的压电层，其面向相反的方向。在电势相反的电极之间建立的电场和各个压电层交替的极化方向确保了整个层结构的长度的相互变化，这又引起硅结构弯曲。

电极层被有利地配置或接触，使得可以将具有不同极性的电荷施加到每两个相邻的电极层。通过这种方式，可以在压电层中产生电场，该电场在每种情况下从一个电极层延伸到相邻的电极层。以这种方式，可以用电场特别均匀地穿透压电层。在振动检测的情况下，在压电层处产生的不同正负号的电压可以优选地在每种情况下由相邻的电极层分接。

在本发明的另一有利实施方式中，形成电极对的至少两个条形的、因此细长的电极被布置在所述至少一个压电层的表面上或被布置在载体层的表面上，使得它们平行于对应的表面延伸并且优选地还彼此平行地延伸。能够将具有不同极性的电荷分别施加到电极对的两个电极上，使得在电极对的电极之间形成电场并且该电场至少部分地穿透压电层。如果设置多个电极对，则相邻电极对的不同极性的电极之间也可以形成电极场并且该电极场可以穿透压电层。在振动检测的情况下，电极对能够分接或检测电压。

条形电极的条状导体结构可以优选地具有矩形横截面。

特别有利的是，多个电极对(每个电极对包括能够对其施加不同极性的两个电极)被布置成使得所述多个电极对的电极彼此平行地延伸。电极对因此应该另外布置，使得能够将不同极性的电荷施加到两个相邻延伸的电极。以这种方式，在每两个相邻电极之间形成穿透压电层的电场。在如此处所描述的设置多个电极对的情况下，则多个电极存在于压电层或载体层的一个表面上并且可以彼此平行地延伸并且可以以交替极性彼此相邻地布置。

在该情况下，压电材料的极性在整个压电层上不均质地分布；相反，极化方向从负极延伸到正极，形成线形场。在换能器的工作过程中，当对梳形电极施加交流电势时，则沿压电材料的极化方向形成电场，压电材料沿该电场延伸或缩短。通过这种方式，整个压电层在梁纵向方向上伸长或缩短，这引起硅结构向上弯曲或向下弯曲。

在这种情况下，特别有利的是，电极额外地平行于膜结构的边缘延伸。如果膜结构是圆形的，则电极优选地围绕膜结构的中心点形成同心圆。对应地，在椭圆形膜结构的情况下，电极也优选地被配置为椭圆形。电极可以各自沿着与膜结构的周边平行的整个周边延伸，或者仅在周边的一部分上延伸，使得它们具有例如圆弧截面的形状。

带形电极可以特别有利地经由相互导体接触，其中，多个电极可以通过一个相互导体接触。因此，

一种极性的多个电极可以连接到至少一个第一导体，而另一种极性的电极可以连接到至少一个第二导体。为了使不同极性的电极交替布置，分配给不同导体的不同极性的电极可以呈梳形啮合到彼此之中。因此，相互导体可以切断它们对应极性的电极并延伸，例如，在圆形电极的情况下优选地径向延伸。

在电极的条形实施方式的情况下，膜结构也可以被设计为多层。也可以使多个压电层彼此叠置，其中，条形电极于是可以在两个分别相邻的压电层之间延伸。电极的布置因此对应于上述压电层的表面上的布置。然而，膜结构也可以具有至少一个压电层，所述压电层在一个或多个平面中被条形电极或电极对穿透。在这种情况下，电极对的电极在对应压电层的内部延伸。布置的不同的可能性在此也对应于在压电层的表面上的上述布置的可能性。

声音换能器的这种变型具有较厚的压电层，与之前的解决方案相比，该较厚的压电层可以被多层梳形电极穿透。压电材料中的极化再次从负极条状导体电极行进到正极条状导体电极，形成线形场。在施加电压时，沿极化方向形成电场，这引起压电材料沿场线延伸或缩短，并引起梁结构向下弯曲或向上弯曲。

在螺旋形分段的情况下，条形电极可以沿分段的纵向方向布置。在这种情况下，优选一对电极就足够了。

可以通过对致动器电极施加直流电压来增加压电换能器的有效性和线性度，作为声振动的重要因素的交流电压叠加在所述致动器电极上。这增加了压电材料的极化，因此电压的较小变化会引起力或挠曲的较大变化。

因为声音换能器使用在可能潮湿的生物环境中，所以有利的是，施加到电极的电压(特别是直流电压)小于5伏、优选地小于4.3伏、特别优选地小于1.3伏。替代地或另外地，还可以将电极封装成液密和/或电绝缘的，使得所述电极不与围绕声音换能器的可选流体接触，或者如果由于腐蚀而发生故障则定期更换换能器。

因为相关区域中的压电效应与穿透材料的电场的强度成正比，所以可以通过在距电极非常小的距离处使用非常薄的压电层来产生高场(电场在均质情况下计算为施加的电压与电极距离的商)，使得当振动模块按预期放置在鼓膜上时，压电效应足以实现激发鼓膜所需的振动挠曲和力。

载体层可以具有或包括硅。合适的压电材料，除其他之外，包括

PbZrxTi1-xO3，其中，优选地0.45<x<0.59，特别优选地具有例如La、Mg、Nb、Ta、Sr等掺杂剂，优选地其浓度在0.1至10％之间。其他固溶体，包括PbTiO3，例如Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3、Pb(Sn1/3Nb2/3)O3，也是合适的。可能的材料还有：包括KNbO3、NaNbO3的无铅材料；具有Li、Ta等的掺杂剂；含双压电层；包括Ti、Ta、Nb的aurivilius相；此外还有钙钛矿相，如BiFe3。常规薄层材料，如AlN和ZnO，也是可能的。

硅作为压电层的载体材料使得能够使用微系统技术的结构化技术制备盘形结构和饼楔形弯曲梁。已知且经过验证的涂覆和蚀刻方法可以用于制备梁、电极和压电层，例如溶胶-凝胶技术、溅射方法、化学蚀刻、离子蚀刻等。此外，微系统技术的方法允许制造工艺中的并行化：通过一次制造工艺，可以从一个硅晶片制备多个声音换能器。这使得制备具有成本效益。

所述至少一个压电层有利地具有≤20μm、有利地≤10μm、特别优选地≤5μm和/或≥0.2μm、有利地≥1μm、优选地≥1.5μm、特别优选地＝2μm的厚度。电极层各自有利地具有≤0.5μm、有利地≤0.2μm、特别优选地≤0.1μm和/或≥0.02μm、有利地≥0.05μm、特别优选地≥0.08μm的厚度。膜结构的直径有利地≤4mm、优选地≤3mm、特别优选地≤2mm和/或≥0,2mm、有利地≥0,5mm、优选地≥1mm、特别优选地＝1.5mm。0.7μm的层厚度也被证明是特别有利的。

根据本发明，声音换能器还可以具有多个上述膜结构。因此，这些膜结构被相同地构造并且布置在彼此之上且彼此平行，使得结构的相同分段或膜结构的切割线位于彼此之上。相同的分段于是可以彼此联接，使得一个分段的挠曲和/或力的施加传递到相邻的分段。膜结构由此可以被布置在彼此之上，使得在将限定极性的电压施加到声音换能器时，所有分段在相同方向上挠曲。膜结构由此相同定向。在这种情况下，可以实现比单个膜结构更高的合力。还可以使膜结构彼此叠置，使得相邻的膜结构分别沿相反方向定向，从而在施加限定极性的电压时，相邻的膜结构分别沿不同的方向挠曲。在这种情况下，可以实现大于单个膜结构的总挠曲。

膜结构可以优选地在膜结构的表面被至少一条切割线分开，将膜结构的所有层分割成至少一个分段、两个分段或更多个分段，使得膜结构在切割线处被机械分离。膜结构在切割线处被机械分离由此意味着，膜结构在切割线一侧的移动不会引起膜结构在切割线另一侧的任何移动，或仅引起非常小的移动，这将在力作用于切割线上的情况下引起。如果膜结构被分成两个分段或更多个分段，则这些分段可以例如通过径向延伸的切割线形成。在这种情况下，例如，膜结构自身可以在膜结构的平面中具有圆形周边，并且切割线径向延伸至该中心点。所有切割线由此优选地在中心点处机械分离。

如果膜结构仅具有一条切割线，则其可以特别有利地以螺旋形延伸。在这种情况下，膜结构也可以有利地具有圆形周边。

鼓膜接触模具优选地在其边缘处至少部分地连接到扁平声音换能器的边缘。该连接可以是直接连接或经由一个或多个另外的部件连接，然而，其中，直接连接是优选的。特别优选的是，扁平声音换能器在其整个周边上连接到鼓膜接触模具。扁平声音换能器和鼓膜接触模具可以优选地具有相同的周边形状，使得膜结构和鼓膜接触模具可以在它们的整个边缘上彼此连接。

在有利的实施方式中，扁平声音换能器可以具有所描述的膜或膜结构，以及围绕膜或膜结构的刚性边缘。边缘可以优选地沿着鼓膜接触模具的表面行进，当振动模块按预期放置在鼓膜上和/或由该表面界定时，该表面沿耳道的方向定向。然而，边缘可以有利地具有大于膜或膜结构的厚度。

鼓膜接触模具于是可以在扁平声音换能器的边缘的至少一部分上、优选地在该边缘的整个长度上连接到扁平声音换能器的刚性边缘。

如上所述，有利的是，振动模块可以完全搁置在鼓膜上而没有或仅在很小程度上被支撑在耳道壁上。为此，优选的是，扁平声音换能器和/或鼓膜接触模具所具有的最小直径小于鼓膜的最小直径，并且/或者扁平声音换能器和/或鼓膜接触所具有的最大直径小于鼓膜的最大直径。以这种方式，通过适当地对准振动模块，该振动模块可以完全搁置在鼓膜上而不接触鼓膜的边缘。优选地，可以单独地修改这些尺寸以适应将在其中佩戴振动模块的人耳的鼓膜的尺寸。然而，也可以修改这些尺寸以适应对应年龄组或以不同方式分类的人群的鼓膜的平均尺寸。有利地，例如，扁平声音换能器和/或鼓膜接触模具的最大直径可以小于或等于12mm、特别优选地小于或等于10mm、特别优选地小于或等于9mm、特别优选地小于或等于7mm。此外，扁平声音换能器和/或鼓接触形状的最小直径可以有利地大于或等于3mm、优选地大于或等于5mm。

在本发明的有利实施方式中，振动模块可以具有振动传递元件，利用该振动传递元件可以将扁平声音换能器的振动传递到鼓膜接触模具。由此，振动传递元件可以有利地一方面连接到或抵靠扁平声音换能器，并且另一方面连接到或抵靠鼓膜接触模具。特别地，振动传递元件可以在其表面上的一个位置处连接到或抵靠扁平声音换能器，并且在其表面的另一相反位置处连接到或抵靠鼓膜接触模具。在本发明的该实施方式中，振动传递元件特别优选地连接到或抵靠扁平声音换能器的当对声音换能器施加电压时或当声音换能器暴露于声振动时经历最大挠曲的位置。这种振动传递元件可以改善由声音换能器产生的振动传递到鼓膜接触模具以及因此传递到鼓膜。振动传递元件可以部分地或完全地填充内部容积。

在本发明的有利实施方式中，内部容积可以部分地或完全地填充有可压缩的或弹性的振动传递材料或者也填充有不可压缩的振动传递材料。由此也可以改善由扁平声音换能器产生的振动传递到鼓膜接触模具。

以下使用振动传递元件和/或振动传递材料的解决方案是特别有利的。可以有利地在内部容积中设置振动传递元件，其被内部容积中的空气包围。这里的振动传递元件没有完全充满内部容积，并且部分内部容积用空气填充。

这样的实施方式也是有利的，其中，振动传递元件与可压缩材料(例如硅树脂泡沫)一起设置在内部容积中。在这种情况下，振动传递元件填充内部容积的一部分，并且可压缩材料填充剩余的内部容积。

这样的实施方式也是可能的，其中，振动传递元件与不可压缩的材料一起使用。在这种情况下，优选地提供如下所述的均衡开口，不可压缩的材料可以位移通过该均衡开口。

这样的实施方式也是有利的，其中，内部容积完全填满不可压缩的振动传递材料并且不提供单独的振动传递元件。这里，如下所述的开口也可能是有利的，特别是在鼓膜对振动传递材料的阻力比开口小的情况下。材料的弹性模量不应太小，即材料不应太软。具体的大小特别地取决于开口的大小。

如果如上所述扁平声音换能器和鼓膜接触模具封围成内部容积，并且如果该内部容积也部分地或完全地填充有振动传递材料，那么有利的是，扁平声音换能器具有凹槽或开口，并且/或者鼓膜接触模具的表面具有在其表面上的凹槽或开口。开口或凹槽由此被布置成使得振动传递材料可以被移位到其中。这是因为当鼓膜或鼓膜接触模具上的某个位置被振动传递元件强制挠曲到致动器表面上的某个位置时，声音换能器位移的容积并不自然对应于鼓膜或鼓膜接触模具扫过的容积。将引入附加约束，这将阻碍移动并在声音换能器上施加附加负载。均衡开口确保平面声音换能器在振动过程中的挠曲不受振动传递材料的阻碍。凹槽或开口、或者凹槽可以设置在扁平声音换能器或鼓膜接触模具的表面内部或在其壁上，使得开口或凹槽在其周边的一部分上由扁平声音换能器或鼓膜接触模具界定，并且在其周边的另一部分上通过扁平声音换能器或鼓膜接触模具的边缘界定。换句话说，在这种情况下，内部容积被鼓膜接触模具、声音换能器和开口或凹槽封围。

在本发明的有利实施方式中，振动传递元件也可以作为振动传递材料的部分区域形成在内部容积中。在这种情况下，例如，振动传递材料可以完全填满内部容积，但在不同的位置具有不同的刚度。振动传递元件于是可以被设计为这种材料的刚度增加的区域。该区域的刚度可以优选地大于或等于1,000N/m、特别优选地大于或等于10kN/m、特别优选地大于或等于100kN/m。

如果提供可压缩材料，则优选的是，该可压缩材料具有比挺杆或具有增加的刚度的材料低得多的弹性模量，优选地低于超过10倍，特别优选地低于超过100倍。

例如，以下实施方式可能是有利的。鼓膜凸的刚度为约1,200N/m。振动传递元件于是应有利地同样坚硬，特别优选地更坚硬。在鼓膜凸刚度的十倍的情况下，从声音换能器传递到鼓膜凸的振动能量损失为约1dB，是0.1dB的刚度的一百倍。振动传递元件的刚度越大，则损失越低。

例如，丙烯酸树脂适合作为振动传递元件的材料。其具有例如1,300e6 Pa的弹性模量。对于典型尺寸，这引致1.3e6 N/m的刚度，该刚度比鼓膜凸的刚度高几个数量级。

在本发明的优选实施方式中，振动传递元件可以从扁平声音换能器的最大挠曲位置行进到鼓膜接触模具的位置，当振动模块按预期布置在鼓膜上时，所述位置距鼓膜凸和/或距锤骨小于5mm、优选地小于2mm的距离。振动传递元件的各个边缘与鼓膜凸或锤骨之间的距离可视为该距离。于是该距离是这些边缘之间的最小距离。

振动传递元件可以有利地在与扁平声音换能器的表面垂直的方向上具有大于或等于0.5mm、优选地大于或等于1.5mm和/或小于或等于4mm、优选地小于或等于3mm的长度。振动传递元件可以有利地在其邻接声音换能器的一侧具有比声音换能器小的直径，其中，该直径优选地小于或等于2mm和/或大于或等于0.5mm。有利地，振动传递元件的横截面可以在与振动传递元件的纵向方向垂直的平面中在鼓膜接触模具的方向上加宽，从而实现振动传递元件与鼓膜接触模具之间更大的接触面积。

有利地，鼓膜接触模具具有背离扁平声音换能器的表面，该表面的形状对应于面向耳道的鼓膜表面的形状，或者当鼓膜接触模具按预期布置在鼓膜上时以与所述面向耳道的鼓膜表面至少部分地或完全地平行的方式行进。鼓膜接触模具也可以被设计成使得当它被放置在鼓膜的该表面上时适应该表面。此处可以取决于鼓膜接触模具的材料来选择该变型。如果材料不具柔性但易于建模，则可以在插入耳朵之前对应地对鼓膜接触模具的对应表面进行建模，使得当振动模块插入耳朵时该表面部分地或完全地搁置在鼓膜上。另一方面，如果材料是柔性的，则可能不需要预先建模，因为该表面在鼓膜接触模具被放置在鼓膜表面上时会适应鼓膜接触模具。这样的实施方式也是可能的，其中，鼓膜接触模具的所述表面在最大细节水平上遵循鼓膜的表面，并且对鼓膜接触模具的表面涂施材料，该鼓膜接触模具在振动模块被放置在鼓膜上时适应鼓膜，或者其中，鼓膜接触模具自身通过改变形状来补偿剩余的偏差。

这样的实施方式也是有利的，其中，鼓膜接触模具在按预期使用时在抵靠鼓膜的区域中具有非常小的厚度，以至于在该区域中它基本上只能在与鼓膜接触模具的表面平行的方向上形成张力。在这种情况下，鼓膜接触模具在该区域中表现得像膜。鼓膜接触模具在该区域中的厚度优选地小于或等于500μm、优选地小于或等于200μm、特别优选地小于或等于150μm。

在有利的实施方式中，鼓膜接触模具可以包括硅树脂或由硅树脂组成。

在本发明的优选实施方式中，振动模块可以具有搁置在鼓膜接触模具的背离声音换能器的表面上的层，该层被设计为提高鼓膜接触模具对鼓膜的粘附力。这样的层可以包括例如白油、脂肪、硅油、甘油和/或石蜡或者由白油、脂肪、硅油、甘油和/或石蜡组成。以这种方式，既保证了振动模块在鼓膜上的良好贴合，又保证了良好的振动传递。

扁平声音换能器与鼓膜接触模具的背离声音换能器的表面之间的最小距离有利地小于或等于2mm、特别优选地小于或等于1mm、特别优选地小于或等于400μm、特别优选地小于或等于200μm。

可能有利的是鼓膜接触模具在鼓膜的方向上具有凸起形状，该凸起形状映射鼓膜的形状，使得当振动模块按预期布置在鼓膜上时，在鼓膜接触模具与面向耳道的鼓膜表面之间形成宽度在15至100μm之间的薄间隙。当按预期使用时，可以用天然可用的液体或用额外引入的液体(例如白油)填充该间隙。为此，鼓膜接触模具可以具有对应地尺寸偏小的形状。

在本发明的有利实施方式中，扁平声音换能器可以在其边缘处被浇铸到鼓膜接触模具中或者被胶合到鼓膜接触模具中的凹槽中。以这种方式，扁平声音换能器因此可以被插入到鼓膜接触模具中，从而尤其可以通过鼓膜接触模具确定振动模块的外边缘。在这种情况下，振动模块在声音换能器的平面中的最大尺寸由鼓膜接触模具在该平面中的尺寸决定。鼓膜接触模具中的在其中插入扁平声音换能器的凹槽可以优选地沿鼓膜接触模具的边缘行进或围绕鼓膜接触模具的边缘。

优选地，扁平声音换能器可以是整体形式，即由单一材料制成的基本结构形成，在其中通过去除材料和/或添加牢固粘附的材料形成声音换能器，其中，所有的可移动元件均通过实体接头实现。特别地，可能有利的是，当设计整体式声音换能器时，添加的材料与形成基本结构的那些材料不同。

为了简化振动模块在鼓膜上的定向，可以有利地对振动模块施加标记，该标记能够使振动模块围绕与声音换能器垂直的轴线成角度对准。有利地，可以提供标记，使得当按预期布置时，它平行于锤骨或身体的纵向轴线行进或与其成限定角度地行进。应优选地施加标记，使得在观察声音换能器时标记是可见的，从而当振动模块被布置在鼓膜上时标记可以被识别。还可以将附接到声音换能器并以特定角度引出的线缆用作标记。

此外，根据本发明所述的方法被指定用于制备如上所述的振动模块。由此制备扁平声音换能器和鼓膜接触模具。

优选地，在第一步中，可以记录鼓膜表面的几何形状，可以在所记录的几何形状中确定锤骨的最低点和/或位置，可以从所记录的几何形状制成负形状，并且可以通过这种负形状制成鼓膜接触模具。形成负形状不是必需的，因为也可以直接从硅树脂制备硅树脂模具，例如，在3D打印工艺中。