阅读说明：本技术 一种控制硅烷上线的方法制备方法 (Preparation method for controlling silane on-line ) 是由 郭海涛 于 2021-09-09 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种控制硅烷上线的方法,涉及特殊气体技术领域,包括三通阀、ISO管束气动阀、莲花盘气源以及手动气源控制所述三通阀用于对硅烷气体在ISO管束气动阀和莲花盘气源进行通气,所述ISO管束气动阀用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出,所述莲花盘气源用于对管路中的压力进行控制。本发明手动控制压力提升,对系统的安全有好的控制作用,使用三通阀及软管,将莲花盘接口接至三通一侧,将ISO车气动阀管路接到三通一侧,系统通气,由于压力较高(120kg)手动控制将ISO车管束内阀门缓慢打开,实时检测管道内压力,逐步提升,解决了系统冲压的危险,保护各阀门的状态,使阀门得到了缓冲；更好的控制整个系统的稳定。(The invention discloses a method for controlling silane online, which relates to the technical field of special gas and comprises a three-way valve, an ISO tube bundle pneumatic valve, a lotus flower disc gas source and a manual gas source, wherein the three-way valve is controlled by the manual gas source and used for ventilating silane gas in the ISO tube bundle pneumatic valve and the lotus flower disc gas source, the ISO tube bundle pneumatic valve is used for outputting silane in a silane vehicle, and the lotus flower disc gas source is used for controlling pressure in a pipeline. The pressure is manually controlled to be increased, the safety of the system is well controlled, the three-way valve and the hose are used, the lotus disc interface is connected to one side of the three-way valve, the pneumatic valve pipeline of the ISO vehicle is connected to one side of the three-way valve, the system is ventilated, the valve in the pipe bundle of the ISO vehicle is slowly opened under the manual control with higher pressure (120kg), the pressure in the pipeline is detected in real time and is gradually increased, the danger of system stamping is solved, the state of each valve is protected, and the valves are buffered; the stability of the whole system is better controlled.)

一种控制硅烷上线的方法制备方法

技术领域

本发明涉及特殊气体技术领域，具体为一种控制硅烷上线的方法制备方法。

背景技术

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现,包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础；硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称；硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。

针对现有技术存在以下问题：

1、硅烷ISO车辆满车，系统默认每次硅烷上线瞬间打开，存在严重的安全风险；

2、硅烷ISO车辆满车，针对硅烷上线系统的安全系数低，不能及时规避现场安全及财产损失。

发明内容

本发明的目的是提供一种控制硅烷上线的方法制备方法，具备手动控制压力提升，对系统的安全有好的控制作用的优点，解决了上述背景技术中提到安全风险的问题。

本发明为解决上述技术问题，提供如下技术方案：一种控制硅烷上线的方法，包括三通阀、ISO管束气动阀、莲花盘气源以及手动气源控制。

所述三通阀用于对硅烷气体在ISO管束气动阀和莲花盘气源进行通气。

所述ISO管束气动阀用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出。

所述莲花盘气源用于对管路中的压力进行控制。

所述手动气源控制用于对压力的提升起到安全控制的作用。

进一步的，所述莲花盘气源、接ISO管束气动阀配合软管分别与三通阀的接口连接，且管路串通，所述三通阀的剩余一个接口连接在常开管道上。

进一步的，所述软管包括ISO管束气动阀管和莲花盘气源管。

进一步的，该控制硅烷上线的方法包括自动控制和手动控制，其自动控制包括以下步骤：

A1、打开硅烷上线的气动阀安全锁；

A2、将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力；

A3、系统控制开关；

其手动控制包括以下步骤：

B1、首先将所有管道连接，

B2、手动控制常开管道进行缓慢打开ISO管束气动阀。

进一步的，所述将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力的方法为：在ISO管束气动阀处于打开时常开管道被封堵，此时莲花盘气源、接ISO管束气动阀串通，且形成压力进行打开阀门。

进一步的，所述手动控制过程中的B步骤在打开ISO管束气动阀时，使硅烷气体缓慢通过，减小硅烷气体的供给量。

与现有技术相比，该控制硅烷上线的方法具备如下有益效果：

本发明提供一种控制硅烷上线的方法，硅烷ISO车辆满车4000kg，夏季压力约1700psi，冬季1400psi，系统默认，每次上线时阀门瞬间打开，存在严重的安全风险，手动控制压力提升，对系统的安全有好的控制作用，使用三通阀及软管，将莲花盘接口接至三通一侧，将ISO车气动阀管路接到三通一侧，系统通气，由于压力较高(120kg)手动控制将ISO车管束内阀门缓慢打开，实时检测管道内压力，逐步提升，解决了系统冲压的危险，保护各阀门的状态，使阀门得到了缓冲；更好的控制整个系统的稳定。

附图说明

图1为本发明硅烷上线通气原理示意图；

图2为本发明硅烷上线通气部分结构连接结构示意图。

图中：1、莲花盘气源；2、ISO管束气动阀；3、三通阀；4、常开管道；5、ISO管束气动阀管；6、莲花盘气源管。

具体实施方式

下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供一种技术方案：一种控制硅烷上线的方法，包括三通阀3、ISO管束气动阀2、莲花盘气源1以及手动气源控制。

所述三通阀3用于对硅烷气体在ISO管束气动阀5和莲花盘气源6进行通气，莲花盘气源1、接ISO管束气动阀2配合软管分别与三通阀3的接口连接，且管路串通，三通阀3的剩余一个接口连接在常开管道4上，软管包括ISO管束气动阀管5和莲花盘气源管6，其中，选用的常开管道4可选用颜色较深的颜色进行区分，具有警示作用。

进一步的，上述软管中的ISO管束气动阀管5和莲花盘气源管6在实际应用中可选择用不同颜色软管进行区分，避免安装时发生错位(通常选用的颜色为：ISO管束气动阀管5选用绿色软管，莲花盘气源管6选用蓝色软管)。

ISO管束气动阀2用于对硅烷车辆中的硅烷进行输出；

莲花盘气源1用于对管路中的压力进行控制；

手动气源控制用于对压力的提升起到安全控制的作用。

实施例1

该控制硅烷上线的方法包括自动控制和手动控制，其自动控制包括以下步骤：

A1、打开硅烷上线的气动阀安全锁；

A2、将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力，将硅烷气体管插进启动阀内，形成压力的方法为：在ISO管束气动阀2处于打开时常开管道4被封堵，此时莲花盘气源1、接ISO管束气动阀2串通，且形成压力进行打开阀门；

A3、系统控制开关；。

实施例2

其手动控制包括以下步骤：

B1、首先将所有管道连接，

B2、手动控制常开管道4进行缓慢打开ISO管束气动阀2，手动控制过程中的B2步骤在打开ISO管束气动阀2时，使硅烷气体缓慢通过，减小硅烷气体的供给量，防止硅烷流通时产生的冲压对设备造成的危害。

本发明的有益效果为：硅烷ISO车辆满车4000kg，夏季压力约1700psi，冬季1400psi，系统默认，每次上线时阀门瞬间打开，存在严重的安全风险，手动控制压力提升，对系统的安全有好的控制作用，使用三通阀3及软管，将莲花盘接口接至三通阀3一侧，将ISO车气动阀管路接到三通一侧，系统通气，由于压力较高(120kg)手动控制将ISO车管束内阀门缓慢打开，实时检测管道内压力，逐步提升，解决了系统冲压的危险，保护各阀门的状态，使阀门得到了缓冲；更好的控制整个系统的稳定。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。