具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1并结合图2所示，本发明一实施例中，提供了一种UT曝光机用掩模版的制作装置，包括：工装基座1、CCD显示器2、调整平台3、掩模版固定组件、伸缩件7、固定台8、UV灯9以及气动滴胶头10；其中，UV灯9、气动滴胶头10、CCD显示器2以及调整平台3均设置在工装基座1上，CCD显示器2位于调整平台3的上方，CCD显示器2相对工装基座1的位置可调；掩模版固定组件位于CCD显示器2和调整平台3之间，调整平台3与掩模版固定组件连接，用于调节掩模版固定组件的位置；固定台8位于掩模版固定组件和调整平台3之间，固定台8朝向掩模版固定组件的一侧设置有固定槽801，伸缩件7的一端与掩模版固定组件朝向调整平台3的一侧连接，另一端与固定台8连接。

具体地，本申请中包括两个CCD显示器2、两个UV灯9以及两个气动滴胶头10，其中，CCD显示器2通过连接板固定在工装基座1，两个UV灯9分别位于掩模版固定组件的左右两侧，两个气动滴胶头10也分别为掩模版固定组件的左右两侧，调整平台3包括底座、X轴滑轨、Y轴滑轨、Z轴滑轨以及滑块，其中X轴滑轨设置在底座上，Y轴滑轨与X轴滑轨滑动连接，且Y轴滑轨能够沿X轴方向在X轴滑轨上移动，Z轴滑轨与Y轴滑轨滑动连接，且Z轴滑轨能够沿Y轴方向在Y轴滑轨上移动，滑块与Z轴滑轨滑动连接，且滑块能够沿Z轴方向在Z轴滑轨上移动，滑块与掩模版固定组件连接，同时，伸缩件7选用气缸。

在使用时，通过将铁片固定到固定槽801内，如图3所示，然后通过调整平台3调节掩模版固定组件的位置，以使得掩模版固定组件上的掩模版12上的丰字标识1202最上面的十字与CCD显示器2镜头上的十字线重合，此时使用气动滴胶头10将UV胶滴在铁片的中间位置，同时通过伸缩件7带动固定台8向上移动，当铁片与掩模版1202的背面紧贴时，伸缩件7停止运动，最后开启UV灯9对掩模版12和铁片之间的UV胶进行固化即可，整体装置在使用时，由于掩模版12和铁片的位置都是相对固定的，从而能够确保铁片与掩模版镜面之间的装配精度。

在一些实施例中，如图2并结合图1所示，本申请中的UT曝光机用掩模版的制作装置还包括升降组件11，掩模版固定组件包括掩模版固定座5和掩模版固定用盖板6，掩模版固定用盖板6位于掩模版固定座5的上方，其中，升降组件11设置在工装基座1上，掩模版固定用盖板6设置在升降组件11上，掩模版固定用盖板6上设置有通孔601，伸缩件7远离固定台8的一端与掩模版固定座5连接；调整平台3与掩模版固定座5的底面连接。

具体地，上述升降组件11包括导轨、滑块、丝杆以及电机，其中，导轨和电机固定在工装基座1上，滑块设置在导轨上，且滑块能够沿工装基座1的高度方向在导轨上移动，电机的输出轴通过联轴器与丝杆连接，丝杆与滑块连接，掩模版固定用盖板6与滑块连接，通过启动电机带动丝杆转动，从而就可以使得滑块沿工装基座1的高度方向在导轨上移动，由于掩模版固定用盖板6与滑块连接，所以在滑块移动的时候就可以带动掩模版固定用盖板6移动；

在使用时，参考图1-3所示，将掩模版12图形面向上，镜面向下放置到掩模版固定座5上，同时启动掩模版固定用盖板11朝向掩模版12移动，以使得掩模版12固定在掩模版固定座5与掩模版固定用盖板6之间，此时，掩模版12上的丰字标识1202的位置与掩模版固定用盖板6上的通孔601的位置相对应；然后通过调整平台3调节掩模版固定座5的位置，以使得掩模版固定座5上的掩模版12上的丰字标识1202最上面的十字与CCD显示器2镜头上的十字线重合，同时将铁片固定在固定槽801内，此时使用气动滴胶头10将UV胶滴在铁片的中间位置，同时通过伸缩件7带动固定台8向上移动，当铁片与掩模版1202的背面紧贴时，伸缩件7停止运动，最后开启UV灯9对掩模版12和铁片之间的UV胶进行固化即可，整体装置在使用时，由于掩模版12和铁片的位置都是相对固定的，从而能够确保铁片与掩模版镜面之间的装配精度。

在一些实施例中，为了方便将调整平台与掩模版固定座连接在一起，如图1所示，本申请中的UT曝光机用掩模版的制作装置还包括连接杆4，该连接杆4的一端与掩模版固定座5的底面连接，另一端与调整平台3连接。

在一些实施例中，为了使得铁片能够进一步稳定的固定在固定槽801内，本申请中的UT曝光机用掩模版的制作装置还包括电磁铁，该电磁铁设置在固定槽801内。当铁片放置到固定槽801内，通过启动电磁铁，从而可以使得铁片稳定的固定在固定槽801内。

在一些实施例中，为了方便调节UV灯9和气动滴胶头10的方位，本申请中的UT曝光机用掩模版的制作装置还包括伸缩臂，其中UV灯9和气动滴胶头10均通过伸缩臂与工装基座1连接。

如图4所示，本发明还提供了一种UT曝光机用掩模版的制作方法，用于如本申请实施例中任意一项的装置，该方法至少包括以下步骤：

步骤110：将掩模版上需要粘贴铁片的位置制作成透明区；

步骤120：将掩模版图形面向上，镜面向下放置到掩模版固定座上，同时启动掩模版固定用盖板朝向掩模版移动，以使得掩模版固定在掩模版固定座与掩模版固定用盖板之间，此时，掩模版上的丰字标识的位置与掩模版固定用盖板上的通孔的位置相对应；

步骤130：通过调整平台调节掩模版固定座的位置，以使得掩模版固定座上的掩模版上的丰字标识最上面的十字与CCD显示器镜头上的十字线重合；

步骤140：将铁片通过电磁铁固定在固定槽内；

步骤150：使用气动滴胶头将UV胶滴在铁片的中间位置，同时通过伸缩件带动固定台向上移动，当铁片与掩模版背面紧贴时，伸缩件停止运动；

步骤160：开启UV灯，UV光从掩模版上的透明区照射到铁片上，对掩模版和铁片之间的UV胶进行固化。

在本申请中，使用黏合强度最高且无发白现象的UV胶进行贴合必须保证贴合部分有一面为透光区域，由于铁片为金属材质无法透光，所以如图3所示，选择将掩模版12对应铁片位置的两个角上的遮光层掏空成透光区1201，然后将掩模版12图形面向上，镜面向下放置到掩模版固定座5上，同时启动掩模版固定用盖板6朝向掩模版移动，以使得掩模版固定在掩模版固定座5与掩模版固定用盖板6之间，此时，掩模版12上的丰字标识1202的位置与掩模版固定用盖板6上的通孔601的位置相对应；通过调整平台3调节掩模版固定座5的位置，以使得掩模版固定座5上的掩模版12上的丰字标识1202最上面的十字与CCD显示器2镜头上的十字线重合，同时将铁片固定在固定槽801内的电磁铁上，启动电磁铁以使得铁片的位置固定，此时使用气动滴胶头10将UV胶滴在铁片的中间位置，同时通过伸缩件7带动固定台8向上移动，当铁片与掩模版1202的背面紧贴时，伸缩件7停止运动，最后开启UV灯9对掩模版12和铁片之间的UV胶进行固化即可，该方法在使用时，由于掩模版12和铁片的位置都是相对固定的，从而能够确保铁片与掩模版镜面之间的装配精度。

在一些实施例中，为了避免过多的UV胶滴在铁片上影响粘贴效果，本申请中的使用气动滴胶头将UV胶滴在铁片的中间位置包括：

第一步：计算铁片朝向掩模版背面一侧的面积A；

第二步：计算气动滴胶头滴出一滴胶的体积V；

第三步：根据体积V和面积A来确定UV胶的用量：其中，M和N均为常数，b为每滴胶的理想厚度，η为UV胶的粘度，t为胶水从开始反应到成为凝胶的时间；

第四步：使用气动滴胶头将总量为Q的UV胶滴在铁片。

具体地，参考图1所示，当铁片放在固定槽801内后，铁片朝向掩模版固定座5上的掩模版12的一侧的面积即为A，其中，0<M<1，0<N<1，由于本申请能够精确的计算出滴在铁片上的UV胶的总量Q，从而就可以避免过多的UV胶滴在铁片，进而就可以提高粘贴效果。

在一些实施例中，为了避免UV胶在气动滴胶头中发生堵塞，本申请中的在使用气动滴胶头将UV胶滴在铁片的中间位置之前，该方法还包括：将气动滴胶头加热到预设温度。

在一些实施例中，本申请中的开启UV灯，UV光从掩模版上的透明区照射到铁片上，对掩模版和铁片之间的UV胶进行固化，包括：

调节UV灯与铁片之间的距离；

开启UV灯，以使得UV光从掩模版上的透明区照射到铁片上；

检测掩模版和铁片之间的UV胶固化的百分率，当掩模版和铁片之间的UV胶固化的百分率达到阈值时，关闭UV灯。

本申请通过调节UV灯与铁片之间的距离，从而可以使得UV灯发出的光很好的照射到铁片上的UV胶上，同时通过检测掩模版和铁片之间的UV胶固化的百分率，可以很好的控制UV灯的开启时间。

在一些实施例中，本申请中的对掩模版和铁片之间的UV胶进行固化之后，该方法还包括：

检测掩模版和铁片之间的相对位置，若掩模版和铁片之间的相对位置误差在预设范围内，则制作完成；若掩模版和铁片之间的相对位置误差超过预设范围，则重新制作。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。