一种光刻机的棱镜旋转调节机构
阅读说明：本技术 一种光刻机的棱镜旋转调节机构 (Prism rotation adjusting mechanism of photoetching machine ) 是由 张含妮 于 2021-07-16 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种光刻机的棱镜旋转调节机构,包括安装板、滑轨、移动箱、连接板一、转动片一、转轴片一、连接板二、转动片二、转轴片二和连接板三,所述安装板的下端焊接有滑轨,所述滑轨的外侧滑动连接有移动箱,所述移动箱的下端通过螺栓连接有连接板一,所述连接板一的下端固定连接有转动片一,所述转动片一的内侧转动连接有转轴片一,所述转轴片一的下端固定连接有连接板二,所述连接板二的下端固定连接有转动片二,所述转动片二的内侧转动连接有转轴片二,所述转轴片二的下端固定连接有连接板三。本发明涉及一种光刻机的棱镜旋转调节机构,具有可以多角度旋转与棱镜角度的调节精度更高特点。(The invention discloses a prism rotation adjusting mechanism of a photoetching machine, which comprises a mounting plate, a slide rail, a moving box, a first connecting plate, a first rotating sheet, a first rotating shaft sheet, a second connecting plate, a second rotating sheet, a second rotating shaft sheet and a third connecting plate, wherein the slide rail is welded at the lower end of the mounting plate, the moving box is connected to the outer side of the slide rail in a sliding manner, the lower end of the moving box is connected with the first connecting plate through a bolt, the lower end of the first connecting plate is fixedly connected with the first rotating sheet, the inner side of the first rotating sheet is rotatably connected with the first rotating shaft sheet, the lower end of the first rotating shaft sheet is fixedly connected with the second connecting plate, the lower end of the second connecting plate is fixedly connected with the second rotating sheet, the inner side of the second rotating sheet is rotatably connected with the second rotating shaft sheet, and the lower end of the second rotating shaft sheet is fixedly connected with the third connecting plate. The invention relates to a prism rotation adjusting mechanism of a photoetching machine, which has the characteristics of multi-angle rotation and higher adjustment precision of the angle of a prism.)
技术领域
本发明属于光刻机领域，具体为一种光刻机的棱镜旋转调节机构。
背景技术
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上光刻技术是一种将掩模图案曝光成像到基底上的工艺技术。在光刻过程中，基底放在工件台上，通过位于光刻设备内的曝光装置，将掩模图案投射到基底表面。曝光是光刻工艺的一个重要环节，曝光方式分为接触式、接近式、投影式和直写式。投影式曝光是在掩模板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。投影光刻对大规模集成电路的制造来说具有重要意义，投影物镜决定了投影光刻机的图像传递能力，是光刻机的核心。投影物镜通常采用棱镜对光路进行处理。但是目前光刻机的棱镜旋转调节机构存在一些问题：1、在使用时光刻机的棱镜需要根据反射出的光线的位置的不同来做出相应的改变，但是其调整机构的调整角度过于单一无法满足生产需求；2、光刻机在调整棱镜角度时无法满足其调整角度的精度需求。因此，需要设计一种光刻机的棱镜旋转调节机构。
发明内容
：本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光刻机的棱镜旋转调节机构，解决了背景技术中提到的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：
一种光刻机的棱镜旋转调节机构，包括安装板、滑轨、移动箱、连接板一、转动片一、转轴片一、连接板二、转动片二、转轴片二和连接板三，所述安装板的下端焊接有滑轨，所述滑轨的外侧滑动连接有移动箱，所述移动箱的下端通过螺栓连接有连接板一，所述连接板一的下端固定连接有转动片一，所述转动片一的内侧转动连接有转轴片一，所述转轴片一的下端固定连接有连接板二，所述连接板二的下端固定连接有转动片二，所述转动片二的内侧转动连接有转轴片二，所述转轴片二的下端固定连接有连接板三，所述连接板三的下端通过螺栓连接有安装架，所述安装架的内部固定连接有棱镜。
作为优选，所述滑轨的外侧开设有轨道，所述轨道的内部滑动连接有滑块，所述滑块的下端与所述移动箱的上端固定连接，所述滑轨的下端开设有驱动槽，所述驱动槽的内壁的上端固定连接有直齿条，所述移动箱的内壁上固定连接有固定轴，所述固定轴的外侧转动连接有移动齿轮一，所述移动箱的内部的下端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴的末端固定连接有移动齿轮二，所述移动齿轮二与所述移动齿轮一啮合，所述移动齿轮一的上端与所述直齿条啮合，所述滑块的形状为L型。
作为优选，所述转轴片一的内部固定套接有轴套一，所述转动片一的左端固定连接有支撑轴一，所述支撑轴一的外侧与所述轴套一的内侧转动连接，所述转轴片一的下端开设有通孔一，所述连接板二的上端固定连接有支架一，所述支架一的内部固定套接有轴套二，所述轴套二的内部转动连接有转轴一，所述支架一的上端固定连接有电机板一，所述电机板一的上端固定连接有自锁电机一，所述自锁电机一的输出轴的末端固定连接有电机齿轮一，所述电机板一的上端固定连接有轴架一，所述轴架一的内部转动连接有齿轮轴一，所述齿轮轴一的外侧固定连接有大齿轮一，所述齿轮轴一的误测固定连接有小齿轮一，所述电机板一的上端开设有齿轮孔一，所述转轴一的外侧固定套接有驱动齿轮一，所述转轴一的末端固定连接有角度齿轮一。
作为优选，所述电机齿轮一的外侧与所述大齿轮一的外侧啮合，所述小齿轮一的下端与所述驱动齿轮一的上端啮合，所述转动片一的下端设置有齿条，所述角度齿轮一的上端与所述转动片一的下端啮合。
作为优选，所述转轴一从通孔一中穿过，所述驱动齿轮一从所述齿轮孔一中穿过。
作为优选，所述转轴片二的内部固定套接有轴套三，所述转动片二的左端固定连接有支撑轴二，所述支撑轴二的外侧与所述轴套三的内侧转动连接，所述转轴片二的下端开设有通孔二，所述连接板三的上端固定连接有支架二，所述支架二的内部固定套接有轴套四，所述轴套四的内部转动连接有转轴二，所述支架二的上端固定连接有电机板二，所述电机板二的上端固定连接有自锁电机二，所述自锁电机二的输出轴的末端固定连接有电机齿轮二，所述电机板二的上端固定连接有轴架二，所述轴架二的内部转动连接有齿轮轴二，所述齿轮轴二的外侧固定连接有大齿轮二，所述齿轮轴二的外侧固定连接有小齿轮二，所述电机板二的上端开设有齿轮孔二，所述转轴二的外侧固定套接有驱动齿轮二，所述转轴二的末端固定连接有角度齿轮二。
作为优选，所述电机齿轮二的外侧与所述大齿轮二的外侧啮合，所述小齿轮二的下端与所述驱动齿轮二的上端啮合，所述转动片二的下端设置有齿条，所述角度齿轮二的上端与所述转动片二的下端啮合。
作为优选，所述转轴二从所述通孔二中穿过，所述驱动齿轮二从齿轮孔二中穿过。
本发明的有益效果是：本发明涉及一种光刻机的棱镜旋转调节机构，具有可以多角度旋转与棱镜角度的调节精度更高特点，在具体的使用中，与传统的光刻机的棱镜旋转调节机构相比较而言，本光刻机的棱镜旋转调节机构具有以下两个有益效果：
首先，通过在连接板一的下端设置转动片一与转轴片一等结构，使的棱镜可以进行前后方向上的角度调整，通过在连接板二的下端加设转动片二与转轴片一等结构，使得棱镜可以进行左右方向上的调整，从而使棱镜的调节角度更多，可以适应更多的成像位置。
其次，通过在电机板的上端加设大齿轮、小齿轮与驱动齿轮等结构，大齿轮的直径大于电机齿轮的直径，驱动齿轮的直径远大与小齿轮的直径，使得自锁电机输出的圈经过逐级减少，最后可以对转动片的角度进行更精确的调整。
附图说明
：为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的图1的右视图；
图3为本发明的图1的A部结构放大图；
图4为本发明的图1的B部结构放大图；
图5为本发明的图2的C部结构放大图；
图6为本发明的图2的D部结构放大图；
图7为本发明的图2的E部结构放大图；
图8为本发明的图3的电机板一的俯视图。
图中：1、安装板；2、滑轨；3、移动箱；4、连接板一；5、转动片一；6、转轴片一；7、连接板二；8、转动片二；9、转轴片二；10、连接板三；11、安装架；12、棱镜；21、轨道；22、滑块；23、驱动槽；24、直齿条；31、固定轴；32、移动齿轮一；33、伺服电机；34、移动齿轮二；51、轴套一；52、支撑轴一；53、通孔一；54、角度齿轮一；55、驱动齿轮一；56、齿轮孔一；61、支架一；62、轴套二；63、转轴一；64、电机板一；65、自锁电机一；66、电机齿轮一；67、轴架一；68、齿轮轴一；69、小齿轮一；60、大齿轮一；71、支撑轴二；72、轴套三；73、通孔二；74、角度齿轮二；75、驱动齿轮二；76、齿轮孔二；81、支架二；82、轴套四；83、转轴二；84、电机板二；85、自锁电机二；86、电机齿轮二；87、轴架二；88、齿轮轴二；89、小齿轮二；80、大齿轮二。
具体实施方式
：
如图1-8所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
实施例：
一种光刻机的棱镜旋转调节机构，包括安装板1、滑轨2、移动箱3、连接板一4、转动片一5、转轴片一6、连接板二7、转动片二8、转轴片二9和连接板三10，所述安装板1的下端焊接有滑轨2，所述滑轨2的外侧滑动连接有移动箱3，所述移动箱3的下端通过螺栓连接有连接板一4，所述连接板一4的下端固定连接有转动片一5，所述转动片一5的内侧转动连接有转轴片一6，所述转轴片一6的下端固定连接有连接板二7，所述连接板二7的下端固定连接有转动片二8，所述转动片二8的内侧转动连接有转轴片二9，所述转轴片二9的下端固定连接有连接板三10，所述连接板三10的下端通过螺栓连接有安装架11，所述安装架11的内部固定连接有棱镜12。
其中，所述滑轨2的外侧开设有轨道21，所述轨道21的内部滑动连接有滑块22，所述滑块22的下端与所述移动箱3的上端固定连接，所述滑轨2的下端开设有驱动槽23，所述驱动槽23的内壁的上端固定连接有直齿条24，所述移动箱3的内壁上固定连接有固定轴31，所述固定轴31的外侧转动连接有移动齿轮一32，所述移动箱3的内部的下端固定连接有伺服电机33，所述伺服电机33的输出轴的末端固定连接有移动齿轮二34，所述移动齿轮二34与所述移动齿轮一32啮合，所述移动齿轮一32的上端与所述直齿条24啮合，所述滑块22的形状为L型。
其中，所述转轴片一6的内部固定套接有轴套一51，所述转动片一5的左端固定连接有支撑轴一52，所述支撑轴一52的外侧与所述轴套一51的内侧转动连接，所述转轴片一6的下端开设有通孔一53，所述连接板二7的上端固定连接有支架一61，所述支架一61的内部固定套接有轴套二62，所述轴套二62的内部转动连接有转轴一63，所述支架一61的上端固定连接有电机板一64，所述电机板一64的上端固定连接有自锁电机一65，所述自锁电机一65的输出轴的末端固定连接有电机齿轮一66，所述电机板一64的上端固定连接有轴架一67，所述轴架一67的内部转动连接有齿轮轴一68，所述齿轮轴一68的外侧固定连接有大齿轮一60，所述齿轮轴一68的误测固定连接有小齿轮一69，所述电机板一64的上端开设有齿轮孔一56，所述转轴一63的外侧固定套接有驱动齿轮一55，所述转轴一63的末端固定连接有角度齿轮一54。
其中，所述电机齿轮一66的外侧与所述大齿轮一60的外侧啮合，所述小齿轮一69的下端与所述驱动齿轮一55的上端啮合，所述转动片一5的下端设置有齿条，所述角度齿轮一54的上端与所述转动片一5的下端啮合。
其中，所述转轴一63从通孔一53中穿过，所述驱动齿轮一55从所述齿轮孔一56中穿过。
其中，所述转轴片二9的内部固定套接有轴套三72，所述转动片二8的左端固定连接有支撑轴二71，所述支撑轴二71的外侧与所述轴套三72的内侧转动连接，所述转轴片二9的下端开设有通孔二73，所述连接板三10的上端固定连接有支架二81，所述支架二81的内部固定套接有轴套四82，所述轴套四82的内部转动连接有转轴二83，所述支架二81的上端固定连接有电机板二84，所述电机板二84的上端固定连接有自锁电机二85，所述自锁电机二85的输出轴的末端固定连接有电机齿轮二86，所述电机板二84的上端固定连接有轴架二87，所述轴架二87的内部转动连接有齿轮轴二88，所述齿轮轴二88的外侧固定连接有大齿轮二80，所述齿轮轴二88的外侧固定连接有小齿轮二89，所述电机板二84的上端开设有齿轮孔二76，所述转轴二83的外侧固定套接有驱动齿轮二75，所述转轴二83的末端固定连接有角度齿轮二74。
其中，所述电机齿轮二86的外侧与所述大齿轮二80的外侧啮合，所述小齿轮二89的下端与所述驱动齿轮二75的上端啮合，所述转动片二8的下端设置有齿条，所述角度齿轮二74的上端与所述转动片二8的下端啮合。
其中，所述转轴二83从所述通孔二73中穿过，所述驱动齿轮二75从齿轮孔二76中穿过。
本发明的使用状态为：在需要对其棱镜12的角度进行调节时，启动自锁电机一65，自锁电机一65带动电机齿轮一66进行转动，电机齿轮一66通过大齿轮一60带动齿轮轴一68进行转动，齿轮轴一68外侧固定连接的小齿轮一69也随之转动，小齿轮一69通过驱动齿轮一55带动转轴一63进行转动，转轴一63通过两端固定连接的角度齿轮一54带动转动片一5进行前后的角度调节，因电机齿轮一66小于大齿轮一60，所述电机齿轮一66转一周大齿轮一60旋转不到一周，小齿轮一69与大齿轮一60为同轴转动，所以二者旋转圈数相同，小齿轮一69的直径远小于驱动齿轮一55的直径，从而小齿轮一69旋转一周驱动齿轮一55旋转一定角度，使得转动片一5可以做出细微的角度变动，从而可以对棱镜12的角度调节更加精确，可以通过启动自锁电机二85，自锁电机二85带动电机齿轮二86进行转动，电机齿轮二86通过大齿轮二80带动齿轮轴二88进行转动，齿轮轴二88外侧固定连接的小齿轮二89也随之转动，小齿轮二89通过驱动齿轮二75带动转轴二83进行转动，转轴二83通过两端固定连接的角度齿轮二74带动转动片二8进行左右的角度调节，因电机齿轮二86小于大齿轮二80，所述电机齿轮二86转一周大齿轮二80旋转不到一周，小齿轮二89与大齿轮二80为同轴转动，所以二者旋转圈数相同，小齿轮二89的直径远小于驱动齿轮二75的直径，从而小齿轮二89旋转一周驱动齿轮二75旋转一定角度，使得转动片二8可以做出细微的角度变动，从而可以对棱镜12的角度调节更加精确，在需要对其进行横向移动时，启动伺服电机33，伺服电机33通过移动齿轮二34带动移动齿轮一32进行转动，移动齿轮一32通过上端啮合的直齿条24带动移动箱3进行横向移动。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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