曝光玻璃快装结构
阅读说明：本技术 曝光玻璃快装结构 (Fast-assembling structure of exposure glass ) 是由 倪沁心 陈铁玉 陈建明 梁添贵 于 2021-08-23 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种曝光玻璃快装结构,位于支撑架与曝光玻璃之间以将曝光玻璃固定于支撑架上。包括位于支撑架上的安装板以及设置于安装板上的第一密封组件和固定组件,安装板上开设有安装槽和密封槽,安装槽用于吸附安装曝光玻璃,密封槽用于安装第一密封组件,安装槽和密封槽之间还设置有用于安装固定组件的安装部,固定组件包括气囊、固定条和弹片,气囊位于固定条内,弹片位于气囊和曝光玻璃之间,气囊通气以使气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片,以使弹片抵接于曝光玻璃并将曝光玻璃固定于安装槽内；或者气囊排气以收缩进固定条内,以能释锁曝光玻璃。本发明的曝光玻璃快装结构,拆装方便,结构简单,且使得曝光玻璃的安装更加安全。(The invention provides a quick-mounting structure of exposure glass, which is positioned between a support frame and the exposure glass so as to fix the exposure glass on the support frame. The fixing component comprises an air bag, a fixing strip and a spring plate, the air bag is positioned in the fixing strip, the spring plate is positioned between the air bag and the exposure glass, and the air bag is ventilated to enable one end of the air bag to stretch out of the fixing strip and extrude the spring plate so as to enable the spring plate to abut against the exposure glass and fix the exposure glass in the mounting groove; or the air bag is exhausted to shrink into the fixing strip, so that the exposure glass can be unlocked. The quick-mounting structure of the exposure glass is convenient to disassemble and assemble and simple in structure, and the exposure glass is safer to mount.)
技术领域
本发明涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种曝光玻璃快装结构。
背景技术
曝光机广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技等技术领域。在曝光机中一般包括上下两块曝光玻璃，两块玻璃分别通过不同的框架安装于曝光机上。在现有技术中，一般是在玻璃上打孔然后通过螺钉固定于框架上，或者是直接通过胶水将玻璃粘贴于框架上。在玻璃上打孔容易损坏玻璃，而且通过螺钉固定拆装需要一定的时间，效率低；而通过胶水固定，拆装麻烦；螺钉安装和胶水固定均给曝光玻璃的安装维修带来了一定不便性。
因此，有必要提供一种能够快速拆装且安全可靠的曝光玻璃快装结构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够快速拆装且安全可靠的曝光玻璃快装结构。
为实现上述目的，本发明提供了一种曝光玻璃快装结构，位于支撑架与曝光玻璃之间以将曝光玻璃固定于支撑架上。包括位于支撑架上的安装板以及设置于安装板上的第一密封组件和固定组件，安装板上开设有安装槽和密封槽，安装槽用于吸附安装曝光玻璃，密封槽用于安装第一密封组件，安装槽和密封槽之间还设置有用于安装固定组件的安装部，固定组件包括气囊、固定条和弹片，气囊位于固定条内，弹片位于气囊和曝光玻璃之间，气囊通气以使气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片，以使弹片抵接于曝光玻璃并将曝光玻璃固定于安装槽内；或者气囊排气以收缩进固定条内，以能释锁曝光玻璃。
较佳地，弹片包括位于固定条内的第一端部以及位于固定条外的第二端部，气囊位于固定条和弹片之间；气囊通气以挤压弹片，以使第二端部弹性活动并抵接于曝光玻璃，以将曝光玻璃锁定于安装槽内。
较佳地，第一端部与第二端部呈一体结构的L型。
较佳地，固定条内设置有与弹片配合的卡接部，第一端部伸入固定条内并置于气囊的下方且第一端部的一端位于卡接部内；借由第一端部与卡接部的配合，以免气囊通气挤压第二端部时弹片脱离气囊。
较佳地，固定条上开设有用于容置气囊的容置腔，容置腔呈与弹片配合的L型，安装板上于安装部的两侧还设置有固定块，气囊位于容置腔内且两端能与固定块接触，以使气囊仅能朝靠近曝光玻璃的方向活动。
较佳地，气囊底部设置有通气件，借由通气件以对气囊进行充气；弹片上开设有与通气件配合的避让部。
较佳地，固定条上设置有多个与安装部配合的固定部，借由固定部与安装部的配合以使固定条稳固的安装于安装板上。
较佳地，曝光玻璃与固定组件配合的面按预设角度倾斜设置。
较佳地，曝光玻璃的各侧边均设置有固定组件。
较佳地，曝光玻璃快装结构还包括第二密封组件，安装槽内还设置有用于安装第二密封组件的槽体，借由第二密封组件安装于槽体内以加固曝光玻璃在安装槽内的安装。
与现有技术相比，本发明的曝光玻璃快装结构，位于支撑架与曝光玻璃之间,用于将曝光玻璃固定于支撑架上。曝光玻璃快装结构包括位于支撑架上的安装板以及设置于安装板上的第一密封组件和固定组件。其中，安装板上开设有安装槽和密封槽，安装槽用于安装曝光玻璃，密封槽用于安装第一密封组件，以使整体的结构配合更加紧密合理。安装槽和密封槽之间还设置有用于安装固定组件的安装部，具体地，固定组件包括气囊、固定条和弹片。气囊位于固定条内，弹片位于气囊和曝光玻璃之间，气囊通气以使气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片，以使弹片抵接于曝光玻璃并将曝光玻璃固定于安装槽内。或者，气囊排气以收缩进固定条内，从而能释锁曝光玻璃。本发明的曝光玻璃快装结构，将曝光玻璃放置于安装槽内，通过对固定组件的气囊充气，使得气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片以使弹片抵接于曝光玻璃，曝光玻璃的端部倾斜设置以能更好的与弹片配合，通过弹片的抵接按压以将曝光玻璃固定于安装槽内，气囊放气即可释锁曝光玻璃，安装和拆卸均简单便捷。本发明的曝光玻璃快装结构，能够快速的安装固定曝光玻璃，亦能快速的对曝光玻璃进行拆卸，结构简单，安装稳固，且使得曝光玻璃的安装更加安全可靠。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明一实施例提供的曝光玻璃快装结构的结构示意图。
图2是图1中安装板的结构示意图。
图3是图2中A处的放大图。
图4是图1中固定组件的结构示意图。
图5是图4一方向上的剖视图。
图6是图4中固定条的结构示意图。
图7是图6中B处的放大图。
图8是图4中弹片的结构示意图。
图9是图1中曝光玻璃的结构示意图。
图10是图9中C处的放大图。
附图标记说明：
100、曝光玻璃快装结构；101、支撑架；102、曝光玻璃；1021、倾斜部；
10、安装板；11、安装部；111、安装孔；12、固定块；13、密封槽；14、安装槽；141、通气孔；15、槽体；
20、固定组件；21、固定条；211、固定部；212、容置腔；213、卡接部；22、气囊；221、充气内腔；222、通气件；23、弹片；231、第一端部；232、第二端部；233、避让部；
30、第一密封组件；
40、第二密封组件。
具体实施方式
为了详细说明本发明的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
请参阅图1至图4，本发明提供了一种曝光玻璃快装结构100，位于支撑架101与曝光玻璃102之间，曝光玻璃快装结构100用于将曝光玻璃102快速安全的固定于支撑架101上。曝光玻璃快装结构100包括位于支撑架101上的安装板10以及设置于安装板10上的第一密封组件30和固定组件20。其中，在安装板10上开设有安装槽14和密封槽13。安装槽14用于吸附安装曝光玻璃102，安装槽14内设置有连通于吸真空装置的通气孔141，通气孔141通真空以能吸附曝光玻璃102，从而使得曝光玻璃稳固的设置于安装槽14内。密封槽13用于安装第一密封组件30，安装槽14和密封槽13之间还设置有用于安装固定组件20的安装部11。具体地，固定组件20包括气囊22、固定条21和弹片23，气囊22位于固定条21内，弹片23位于气囊22和曝光玻璃102之间，气囊22通气以使气囊22的一端凸伸出固定条21外并挤压弹片23，以使弹片23抵接于曝光玻璃102并将曝光玻璃102固定于安装槽14内。或者是气囊22排气以收缩进固定条21内，以能释锁曝光玻璃102。可以理解的，安装时，将曝光玻璃102放置于安装槽14内，通过对固定组件20的气囊22进行充气，使得气囊22的一端凸伸出固定条21外并挤压弹片23以使弹片23抵接于曝光玻璃102。曝光玻璃102的端部倾斜设置以能更好的与弹片23配合，通过弹片23的抵接按压以将曝光玻璃102固定于安装槽14内。需要拆卸曝光玻璃102时，对气囊22进行放气即可时气囊22收缩进固定条21内，从而使得弹片23往远离曝光玻璃102的方向移动，进而能够释锁曝光玻璃102。曝光玻璃102的安装和拆卸均简单便捷。
请参阅图4、图5和图8，在一些可选的实施例中，弹片23包括位于固定条21内的第一端部231以及位于固定条21外的第二端部232，气囊22位于固定条21和弹片23之间。即弹片23的第一端部231位于固定条21内并置于气囊22下方，以使弹片23的第二端部232能够立于气囊22和曝光玻璃102之间。在另一种实施方式中，弹片23还可以一端固定于安装板10上，另一端立于气囊22和曝光玻璃102之间，弹片23立于气囊22和曝光玻璃102之间的端部能够在外力的作用下向两侧活动，以在气囊22通气时能够带动弹片23抵接于曝光玻璃102。具体地，气囊22通气以能挤压弹片23，以使弹片23的第二端部232弹性活动并抵接于曝光玻璃102，并在气囊22的持续作用，弹片23按压于曝光玻璃102上以将曝光玻璃102锁定于安装槽14内。在本实施例中，弹片23的第一端部231与第二端部232呈一体结构的L型，第一端部231位于固定条21内并置于气囊22下方，第二端部232立于气囊22和曝光玻璃102之间；结构简单，设计合理。
请参阅图6和图7，在一些可选的实施例中，安装板10的安装部11上设置有多个安装孔111，固定条21上设置有多个与安装孔111配合的固定部211，借由固定部211与安装部11的配合以使固定条21稳固的安装于安装板10上。安装孔111等距均匀的分布于安装部11上，固定部211等距均匀的排布于固定条21上。固定部211可以为螺纹孔，安装孔111与固定部211配合并通过螺钉进行紧固，以使固定条21整体稳固的安装于安装板10上，以免气囊22通气膨胀时固定条21被挤压活动。其中，在固定条21上还开设有用于容置气囊22的容置腔212，容置腔212呈与弹片23配合的L型，以能在顶部和远离曝光玻璃102的方向上对气囊22的活动进行限制。具体地，在安装板10上于安装部11的两侧还设置有固定块12，气囊22位于容置腔212内且两端能与固定块12接触，固定块12用于在气囊22的两端对气囊22充气的活动方向进行限制，以使气囊22仅能朝靠近曝光玻璃102的方向活动，从而能够挤压弹片23的第二端部232，并使弹片23抵接按压于曝光玻璃102，进而能够将曝光玻璃102锁定于安装槽14内。可以理解的，容置腔212呈L型，且两端镂空设置，能够更方便的安装气囊22和弹片23。当然，固定条21和两端的固定块12亦可以呈一体设置，只要固定块12和固定条21配合以使容置腔212内的气囊22仅能朝靠近曝光玻璃102的方向进行膨胀即可。
请参阅图6和图7，在一些可选的实施例中，在固定条21内还开设有与弹片23配合的卡接部213，卡接部213位于固定条21的底部并连通于容置腔212。弹片23的第一端部231从底部伸入固定条21的容置腔212内并置于气囊22的下方且第一端部231的一端位于卡接部213内。借由第一端部231与卡接部213的配合，以免气囊22通气挤压第二端部232时弹片23脱离气囊22。可以理解的，在固定条21的底部开设有能与弹片23配合的卡接部213，弹片23的第一端部231部分位于卡接部213内，第一端部231与卡接部213之间具有一定的活动空间，以使第一端部231能够方便的放置于卡接部213内。在气囊22通气时，第一端部231能够在卡接部213的活动空间内有一定角度的倾斜，从而使得第二端部232预先有一个倾斜的趋势，进而能够在气囊22的挤压下更好的与曝光玻璃102进行配合。在气囊22通气膨胀时，卡接部213能够对第一端部231进行限位，能够有效的避免弹片23整个被气囊22挤压移动，设置有卡接部213，弹片23整体的放置更加稳固。
请参阅图4、图5和图8，在一些可选的实施中，气囊22为可弹性伸缩的弹性材料制成的结构，气囊22内设置有充气内腔221，气囊22底部设置有连通于充气内腔221的通气件222，借由对通气件222充气以能对气囊22的充气内腔221进行充气，从而使得气囊22能够膨胀并挤压弹片23的第二端部232。其中，在弹片23上还开设有与通气件222配合的避让部233，设置有避让部233能够供通气件222穿过。可以理解的，在安装板10上亦设置有供通气件222穿过的通孔，充气件穿过通孔以能在安装板10底部连通于充气泵等充气设备。
请参阅图9和图10，在一些可选的实施例中，曝光玻璃102与固定组件20配合的面按预设角度倾斜设置。即曝光玻璃102的端部设置有倾斜部1021，倾斜部1021从靠近固定组件20的一端呈由下往上倾斜的趋势。示例性的，预设角度可以为45°，或者30°，或者60°等等，只要倾斜部1021能够与弹片23的第二端部232配合，以使曝光玻璃102能够更加稳固的放置于安装槽14内即可。
请参阅图1，在一些可选的实施例中，曝光玻璃102的各侧边均设置有固定组件20，以能从各边上对曝光玻璃102进行固定，从而使得曝光玻璃102能够更稳固的被固定于安装槽14内，结构简单，加工方便，安装方便。在另一种实施方式中，固定组件20呈环状的设置于曝光玻璃102的外圈，即设置有环状的固定条21，固定条21内设置有环状的气囊22，弹片23的第一端部231呈环状的位于固定条21内，第二端部232可以根据实际需要分割成多个部分，从而能够更好的与气囊22和曝光玻璃102进行配合。
请参阅图1至图3，在一些可选的实施例中，安装板10上开设有环设于多个固定组件20外周的密封槽13，密封槽13用于安装第一密封组件30，第一密封组件30呈环状的安装于密封槽13内，第一密封组件30可以为充气密封圈。设置有第一密封组件30使得位于支撑架101上的曝光玻璃102能够更好的与其他结构进行配合。另一方面，曝光玻璃快装结构100还包括第二密封组件40，第二密封组件40可以为O型密封圈。具体地，安装槽14内还设置有用于安装第二密封组件40的槽体15，借由第二密封组件40安装于槽体15内以加固曝光玻璃102在安装槽14内的安装。可以理解的，在安装槽14内设置有用于通真空的通气孔141，通气孔141分布于安装槽14内的各个部位，以使曝光玻璃102能够更好的被吸附固定于安装槽14内。若曝光玻璃102直接安装于安装槽14内，安装槽14与曝光玻璃102之间存在间隙，会漏气，从而不能很好的吸附曝光玻璃102。在安装槽14内于两个槽体15之间设置有通气孔141，槽体15环设于安装槽14内，从而使得在槽体15上的两个O型密封圈之间能形成一个密封的空间。通气孔141位于该密封空间内，在该密封空间内吸气，从而能够更好的吸附曝光玻璃102。结构简单，设计合理，且安装更安全稳固。同时，在气囊22和弹片23施加的力过大时，若曝光玻璃102直接安装于安装槽14内，曝光玻璃102与安装槽14之间刚性接触，容易损坏曝光玻璃102。在安装槽14内设置有至少两个槽体15，每个槽体15内安装有第二密封组件40，安装槽14内至少设置有两个O型密封圈能够稳固的托住曝光玻璃102，在气囊22和弹片23对曝光玻璃102施加按压力时，曝光玻璃102能够在一定范围内按压第二密封组件40。而第二密封组件40为弹性材料的O型密封圈，O型密封圈能够使曝光玻璃102更稳固设置于安装槽14内，且O型密封圈的弹性伸缩能承受来自气囊22的部分按压力，以免损坏曝光玻璃102，整体结构更加稳固合理。
如图1至图10所示，本发明的曝光玻璃快装结构100，位于支撑架101与曝光玻璃102之间,用于将曝光玻璃102固定于支撑架101上。曝光玻璃快装结构100包括位于支撑架101上的安装板10以及设置于安装板10上的第一密封组件30、固定组件20和第二密封组件40。其中，安装板10上开设有安装槽14和密封槽13，安装槽14用于吸附安装曝光玻璃102。第二密封组件40设置于安装槽14内以形成能够吸附曝光玻璃102的密封空间，从而能够加固曝光玻璃102的安装，且第二密封组件40能够分担来自气囊22的部分挤压力，使得曝光玻璃102的安装更加安全稳固。而密封槽13用于安装第一密封组件30，整体的结构配合紧密且合理。安装槽14和密封槽13之间还设置有用于安装固定组件20的安装部11，具体地，固定组件20包括气囊22、固定条21和弹片23。气囊22位于固定条21内，弹片23位于气囊22和曝光玻璃102之间，气囊22通气以使气囊22的一端凸伸出固定条21外并挤压弹片23，以使弹片23抵接于曝光玻璃102并将曝光玻璃102固定于安装槽14内，而安装槽14内的第二密封组件40能够承接曝光玻璃102上的一部分挤压力，从而能够更加有效的保护曝光玻璃102不被挤压力损坏。拆卸时，气囊22排气以收缩进固定条21内，从而能释锁曝光玻璃102。本发明的曝光玻璃快装结构100，将曝光玻璃102放置于安装槽14内，通过对固定组件20的气囊22进行充气，使得气囊22的一端凸伸出固定条21外并挤压弹片23以使弹片23抵接于曝光玻璃102。曝光玻璃102的端部倾斜设置以能更好的与弹片23配合，通过弹片23的抵接按压以将曝光玻璃102固定于安装槽14内。而气囊22放气即可释锁曝光玻璃102，安装和拆卸均简单便捷。本发明的曝光玻璃快装结构100，能够快速的在曝光机上安装固定曝光玻璃102，亦能快速的对曝光玻璃102进行拆卸，且结构简单稳固，使用更加安全，适于广泛推广使用。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，均属于本发明所涵盖的范围。