具体实施方式

以下，基于附图，对物品搬运设备的实施方式进行说明。如图1及图7所示，物品搬运设备100具备沿行进路径1设置的行进导轨2、沿行进路径1行进来搬运物品W的多个物品搬运车3、控制物品搬运车3的运行的设备控制器H(控制装置)。在本实施方式中，作为物品搬运车3，例示如后所述地在悬挂支承于顶棚的行进导轨2(参照图2、图3等)行进来将物品W悬挂支承地搬运的顶棚搬运车。此外，在本实施方式中，物品搬运车3将容纳半导体晶圆的FOUP(Front Opening Unified Pod)作为物品W搬运。如图1所示，在物品搬运设备100，具备多个对半导体晶圆进行各种处理的物品处理部P。物品搬运车3向多个物品处理部P搬运物品W。

以下，将沿行进路径1的方向称作路径长边方向X，上下方向Z观察时将相对于路径长边方向X正交的方向称作路径宽度方向Y来说明。此外，在行进路径1，将物品搬运车3的行进方向(物品搬运车3行进的方向)称作下游侧，将其相反侧称作上游侧来说明。

如图1所示，行进路径1具备一个环状的主路径1P、多个环状的副路径1S、连接主路径1P和副路径1S的连接路径1N。副路径1S分别经由多个物品处理部P而环状地形成，在分岔部1c和合流部1d与主路径1P连接。在连接路径1N，包括分岔部1c的分岔用的连接路径1N和合流部1d的合流用的连接路径1N，前述分岔部1c的分岔用的连接路径1N使物品搬运车3从主路径1P向副路径1S分岔行进，前述合流部1d的合流用的连接路径1N使物品搬运车3从副路径1S向主路径1P合流行进。物品搬运车3在主路径1P及多个副路径1S均沿相同环绕方向(在本实施方式中为顺时针)行进。另外，在图1中，将物品搬运车3的行进方向用箭头表示。

如图3所示，行进导轨2由左右一对导轨部7构成。如图2及图3所示，物品搬运车3具备在被从顶棚悬挂支承的行进导轨2上行进的行进部9、位于行进导轨2的下方而悬挂支承于行进部9的主体部10、从沿行进路径1配设的供电线11非接触地接受驱动用电力的受电部12。在主体部10具备支承机构13，前述支承机构13升降自如地装备于主体部10，将物品W以悬挂状态支承。

行进部9包括沿物品搬运车3的前后方向排列的第1行进部9F和第2行进部9R。第1行进部9F及第2行进部9R是同一结构，以下无需特别区别的情况下，仅作为行进部9说明。在行进部9具备行进用马达14、被行进用马达14旋转驱动的左右一对行进轮15。左右一对行进轮15在行进导轨2(左右一对导轨部7)的上表面滚动。此外，在行进部9，具备绕沿上下方向Z的纵轴心 (绕上下轴心)旋转的引导轮16。引导轮16在行进部9的左右的单侧被沿前后方向排列地配置两个，并且分别在行进部9的左右配置。即，引导轮16在一个行进部9分别具备四个。引导轮16在左右一对导轨部7的互相相向的侧面滚动。引导轮16在路径长边方向X(沿行进路径1的方向)上离开的多个部位与行进导轨2接触。

在第1行进部9F及第2行进部9R，分别以比行进轮15的下端向下方突出的状态具备连结轴19。第1行进部9F的连结轴19和主体部10被绕沿上下方向Z的纵轴心能够相对旋转地连结。第2行进部9R的连结轴19和主体部10也被绕沿上下方向Z的纵轴心能够相对旋转地连结。即，第1行进部9F和第2行进部9R分别绕不同的纵轴心能够独立地旋转。

物品搬运车3通过行进部9的行进轮15被行进用马达14旋转驱动，行进部9的引导轮16被一对导轨部7引导，在路径宽度方向Y上的位置被限制的同时沿行进路径1行进。此外，物品搬运车3通过第1行进部9F及第2行进部9R相对于主体部10绕纵轴心摆动，曲线路径1b、分岔部1c、合流部1d等即使是曲线状的路径也能够沿行进路径1行进。

如图3~图5所示，在行进路径1的分岔部1c，具备在物品搬运车3的行进方向上观察截面形状形成为T字形的引导导轨4。此外，在物品搬运车3，具备绕沿上下方向Z的纵轴心(绕上下轴心)旋转的引导辅助轮17。引导辅助轮17被在行进部9的中央部能够沿左右方向移动地在前后方向上排列地配置两个。引导辅助轮17被装备成，与配置于左右一对导轨部7的路径宽度方向Y的中央部的引导导轨4相比能够向右侧及左侧改变位置，与引导导轨4的右侧面或左侧面接触而旋转。运载器控制器31在分岔部1c使引导辅助轮17如图3~图5所示地向车体横宽方向(路径宽度方向Y)移动。

如图4所示，使物品搬运车3在分岔部1c不分岔地直行的情况下，运载器控制器31使引导辅助轮17位于引导导轨4的第1引导面41侧(朝向进行方向为左侧)。由此，行进部9在引导导轨4的第1引导面41与引导辅助轮17抵接的状态下被引导。如图4所示，在分岔部1c直行时，一对导轨部7中的左右一侧(这里是右侧)的行进导轨2中断，但引导导轨4经由引导辅助轮17承接负载来引导支承，由此，抑制行进部9从未中断的左右另一侧(这里是左侧)的行进导轨2脱落，物品搬运车3能够在分岔部1c直行行进。

如图5所示，使物品搬运车3在分岔部1c分岔的情况下，运载器控制器31使引导辅助轮17位于引导导轨4的第2引导面42的一侧(朝向进行方向为右侧)。由此，行进部9在引导导轨4的第2引导面42和引导辅助轮17抵接的状态下被引导。如图5所示，在分岔部1c分岔时，一对导轨部7中的左右一侧(这里是左侧)的行进导轨2中断，但引导导轨4经由引导辅助轮17承接负载来引导支承，由此，抑制从行进部9未中断的左右另一侧(这里是右侧)的行进导轨2脱落，物品搬运车3能够在分岔部1c分岔行进。

上述内容中关于物品搬运车3在分岔部1c直行行进及分岔行进的方式进行了说明，但在合流部1d也相同。

如图7所示，物品搬运车3具备运载器控制器31、通信部32、致动器组A、传感器组S。在传感器组S包括读取表示沿行进路径1配置的位置信息的位置标志的未图示的编码读取器、基于行进轮15的旋转量检测物品搬运车3的行进距离的未图示的旋转编码器、检测进行方向上的其他物品搬运车3或障碍物的未图示的障碍物传感器等。致动器组A包括驱动行进轮15的行进用马达14、使引导辅助轮17沿车体横宽方向(路径宽度方向Y)移动的未图示的致动器、使支承机构13升降的未图示的致动器等。

运载器控制器31基于编码读取器、旋转编码器的检测结果判定行进路径1上的物品搬运车3的位置。各物品搬运车3的位置信息被向设备控制器H及其他物品搬运车3通过无线通信传送。设备控制器H基于各物品搬运车3的位置信息控制物品搬运设备100的物品搬运车3的行进。运载器控制器31基于来自设备控制器H的搬运指令搬运物品W。运载器控制器31基于该搬运指令、本车辆的位置信息、其他车辆的位置信息、障碍物传感器的检测结果等，使悬挂支承着物品W的物品搬运车3自主行进。

如上所述，在物品搬运车3，有行进轮15、引导轮16、引导辅助轮17等的由于与行进导轨2、引导导轨4的接触而磨损的部件、行进用马达14等的致动器等随着物品搬运车3的行进而消耗部件。此外，支承行进轮15、引导轮16、引导辅助轮17等的车轴的轴承也有消耗或破损的情况。例如若轴承破损则旋转阻力变大。因此，物品搬运车3优选地进行检查、零件更换等定期的维护。也能够确定时期来进行维护，但对于各物品搬运车3未必在适当的时期进行维护。因此，优选地，检测物品搬运车3的各部分的状态，根据物品搬运车3的状态进行零件更换、调整等的维护。

因此，本实施方式的物品搬运设备100中，从实际搬运物品W的物品搬运车3收集检查数据，基于该检查数据判定零件的更换、调整等维护的时期。此时，可以比较正常的基准值和检查数据来进行判定，也可以基于积累多个检查数据的所谓的大数据进行判定。这里，将提取检查数据的对象的物品搬运车3称作对象搬运车3T。对象搬运车3T具备检测行进中的本车辆的行动的传感器(例如振动传感器S1)。对象搬运车3T是被设备控制器H从多个物品搬运车3中作为检查对象指定的物品搬运车3。另外，可以是全部物品搬运车3可作为对象搬运车3T指定的方式，也可以是全部物品搬运车3中的一部分可作为对象搬运车3T指定的方式。

此外，如图1及图6所示，行进路径1包括设定于用于使被指定的对象搬运车3T行进的检查区域E中的路径K。设备控制器H控制多个物品搬运车3，使得检查区域E中仅存在一台对象搬运车3T。物品搬运车3在本车辆的前方存在其他物品搬运车3(其他车辆)的情况下，为了避免碰撞，有使行进速度下降或暂时停止来待机的情况。图6中如附图标记“3a”所示，在对象搬运车3T的前方存在其他车辆，对象搬运车3T如上所述地使行进速度下降或暂时停止时，并非适合检查的行进，有设备控制器H无法得到适当的检查数据的可能性。但是，在本实施方式中，控制多个物品搬运车3的行进，使得检查区域E中仅存在一台对象搬运车3T。因此，对象搬运车3T能够在不影响本车辆的前方的其他车辆的情况下以适合检查的方式行进。

此外，设备控制器H使对象搬运车3T在检查区域E中以预先规定的检查行进模式行进。设备控制器H从检查行进模式中正在行进的对象搬运车3T取得基于传感器(振动传感器S1等)的检测结果的检查数据。如上所述，控制成在检查区域E不存在对象搬运车3T以外的物品搬运车3(其他车辆)，所以对象搬运车3T能够在不影响其他车辆的情况下以规定的检查行进模式行进。对象搬运车3T在不影响其他车辆的情况下以规定的检查行进模式行进，由此，设备控制器H能够得到再现性高的检查数据。

这里，在对象搬运车3T检测正在行进的本车辆的行动的传感器检测使对象搬运车3T行进的行进用马达14的转矩、对象搬运车3T的行进轮15或与行进轮15联动的旋转部件的旋转速度、对象搬运车3T的振动的至少一个。

例如，行进轮15、引导轮16、引导辅助轮17等由于消耗而摩擦力变大的情况下，有旋转阻力变大而行进用马达14需要大的转矩的情况。转矩的大小可以被转矩传感器检测，也可以基于在行进用马达14的驱动回路流动的电流的大小等检测。另外，转矩的大小不限于使用转矩传感器的方式，也可以是用在运载器控制器31控制行进用马达14的伺服驱动器算出的方式。

此外，行进轮15的直径由于磨损等而变小时，即使是相同的旋转速度，行进距离也不同。例如，如上所述，沿行进路径1配置有表示位置信息的位置标志的情况下，能够基于位置标志检测行进距离。通过比较该行进距离和基于旋转速度的行进距离，能够判定行进轮15的磨损的状态。因此，能够将检测行进轮15的旋转速度的传感器(旋转编码器等的旋转传感器)设为检测行动的传感器。另外，不限于检测行进轮15的旋转速度，也可以是检测在从行进用马达14至行进轮15的动力传递路径具备的旋转部件的旋转速度的传感器。此外，读取位置标志的编码读取器也可以被包含于检测行动的传感器。

此外，行进轮15、引导轮16、引导辅助轮17等由于磨损等而消耗时，有物品搬运车3的稳定性崩溃而行进中的物品搬运车3的振动增加的情况。借助振动传感器S1检测振动的大小，由此，设备控制器H能够判定行进轮15、引导轮16、引导辅助轮17等消耗的程度。因此，振动传感器S1相当于检测行动的传感器。

但是，上述内容中主要例示了判定物品搬运车3的零件的磨损等状态的方式。但是，不限于这样的方式，也可以根据基于旋转编码器的检测结果的物品搬运车3的位置、基于编码读取器的检测结果的物品搬运车3的位置的差诊断旋转编码器的状态。此外，也可以将行进路径1上被指定的停止位置和物品搬运车3的实际的停止位置的差作为检查数据，诊断编码读取器、其他停止位置检测传感器(未图示)等传感器灵敏度等。

如上所述，行进轮15在行进导轨2的上表面滚动，引导轮16在行进导轨2的侧面滚动。即，行进轮15及引导轮16在除了分岔部1c、合流部1d内的一部分的行进路径1的全域与行进导轨2接触。另一方面，引导辅助轮17在引导导轨4的侧面滚动。引导导轨4设置于分岔部1c、合流部1d，因此，引导辅助轮17仅在行进路径1的一部分、具体地仅在分岔部1c、合流部1d与引导导轨4接触。因此，优选地，在检查区域E包括路径K分岔成多个的分岔部1c、多个路径K合流的合流部1d。此外，分岔部1c及合流部1d以外的路径K的形状也不限于直线而有是曲线的情况。因此，优选地，在检查区域E包括直线状的路径(直线路径1a)及曲线状的路径(曲线路径1b)。

图1中例示了在汇总为一个的检查区域E包括直线路径1a、曲线路径1b、分岔部1c、合流部1d的方式。但是，检查区域E也可以分成多个部位地配置。例如，也可以是，仅包括直线路径1a的第1检查区域E、仅包括曲线路径1b的第2检查区域E、包括分岔部1c的第3检查区域E、包括合流部1d的第4检查区域E被分开配置。

此外，在图1及图6中，例示了通常除了为了搬运物品W而物品搬运车3行进的路径K(通常路径K1)还设置有检查用的路径K(检查用路径K2)的方式。但是，也可以是，检查用路径K2的全部或一部分兼用通常路径K1地设置。例如，如图1及图6例示的方式，即使是检查用路径K2除了通常路径K1之外另外设置的情况，从通常路径K1向检查用路径K2的分岔部1c、从检查用路径K2向通常路径K1的合流部1d能够由通常路径K1和检查用路径K2兼用。

此外，检查行进模式设定成包括加速、减速、定速行进。例如，加速、减速时，行进导轨2和行进轮15的摩擦力也产生影响。与行进轮15的消耗的程度对应，也有在行进轮15发生打滑的情况。不仅定速行进还包括加速、减速地设定检查行进模式，由此，设备控制器H能够得到适当的检查数据。

此外，如图1及图6所示，在本实施方式中，检查区域E设定成，包括与物品搬运车3的进行方向相同且并行地配置的两个路径K中的一方(检查用路径K2)。通过这样设定检查区域E，在图6如由附图标记“3b”所示的物品搬运车3，能够使用通常路径K1使未指定成对象搬运车3T的物品搬运车3行进，并且，使用并行的检查用路径K2使对象搬运车3T行进。对象搬运车3T能够在不受其他车辆的影响的情况下，在检查用路径K2基于检查行进模式行进。此外，在与检查用路径K2并行的通常路径K1，为了搬运物品W而能够使其他物品搬运车3行进，所以也抑制物品搬运设备100的搬运效率的下降。

如图6所示，检查用路径K2和通常路径K1并行地设置的情况下，从通常路径K1向检查用路径K2的分岔部1c、从检查用路径K2向通常路径K1的合流部1d包括检查用路径K2和通常路径K1的双方。因此，检查区域E(检查用路径K2)如图6所示，能够与包括分岔部1c及合流部1d的通常路径K1的并行区间F并行地配置。

但是，如上所述，有作为多个物品搬运车3中的一部分的多台或全部被指定成对象搬运车3T的可能性。在本实施方式中，将搬运中的物品W的重量(搬运重量)为共通的规定值作为条件而被指定成对象搬运车3T。由此，设备控制器H能够使条件一致来收集检查数据。

在作为物品W的FOUP容纳半导体晶圆，所以，例如，能够将满载半导体晶圆的FOUP的重量、未容纳半导体晶圆的FOUP(空的FOUP)的重量、或容纳规定的多张半导体晶圆的FOUP的重量设为搬运重量的规定值。例如，优选地，作为对于物品搬运车3的行进最严格的条件，即将作为最重的搬运重量的、满载半导体晶圆的FOUP的重量设为规定值。另外，搬运重量也包括物品搬运车3未支承有物品W的状态、即零。设备控制器H将搬运重量为规定值作为条件，将正在搬运规定值的搬运重量的物品W的物品搬运车3指定成对象搬运车3T。

如图7所示，物品搬运车3具备与设备控制器H之间能够无线通信的通信部32。运载器控制器31从传感器组S取得的检查数据被从通信部32向设备控制器H无线传送。即，对象搬运车3T具备作为取得检查数据的检测结果取得部的运载器控制器31、作为传送检查数据的检查数据传送部的通信部32，通信部32将检查数据向设备控制器H无线传送。设备控制器H能够逐次接收检查数据来蓄积。

另外，如图7所示，对象搬运车3T也可以具备检测结果储存部33，前述检测结果储存部33由储存运载器控制器31取得的检查数据的存储器等的储存媒介构成。该情况下，通信部32也可以将蓄积于检测结果储存部33的检查数据向设备控制器H定期地传送。此外，也可以是，蓄积于检测结果储存部33的检查数据通过与设备控制器H的有线连接向设备控制器H传送。或者，检查数据也可以经由相对于对象搬运车3T及设备控制器H能够装卸的存储器卡等传送。此外，检测结果储存部33相对于对象搬运车3T能够装卸的情况下，设备控制器H也可以将从对象搬运车3T卸下的检测结果储存部33与设备控制器H连接来取得检查数据。

〔其他实施方式〕

以下，对其他实施方式进行说明。另外，以下说明的各实施方式的结构不限于分别单独应用，只要不产生矛盾，也能够与其他实施方式的结构组合应用。

(1)在上述内容中，作为物品搬运车3，例示了以悬挂支承于行进导轨2的状态行进的顶棚搬运车来说明，但物品搬运车3也可以是以载置支承于导轨上的状态行进的搬运车。或者，物品搬运车3也可以在由导轨以外构成的路径(例如地面)行进的搬运车。

(2)在上述内容中，例示了在一个或多个检查区域E作为路径K包括直线路径1a、曲线路径1b、分岔部1c、合流部1d的方式。即，例示了检查用路径K2包括这些全部形状的路径K的方式。但是，检查用路径K2也可以构成为包括它们中的至少一个。此外，除了分岔部1c及合流部1d以外，在行进路径1包括两个路径K交叉的交叉部(未图示)的情况下，检查用路径K2可以包括交叉部。

(3)在上述内容中，例示了设备控制器H以搬运重量为规定值作为条件指定作为对象搬运车3T的物品搬运车3的方式。但是，设备控制器H也可以与搬运重量无关地，例如，基于物品搬运车3的行进路径1上的位置(相对于检查用路径K2的位置)指定对象搬运车3T。另外，与搬运重量无关地指定对象搬运车3T的情况下，搬运重量也可以作为检查数据被取得。

(4)在上述内容中，例示了检查数据的传送目的地是设备控制器H的方式。但是，不限于该方式，检查数据的传送目的地也可以是除了是设备控制器H以外另外设置的数据服务器等。

(5)在上述内容中，例示了检查行进模式设定成包括加速、减速、定速行进的方式。但是，不限于该方式，例如，也可以设定成检查行进模式仅为定速行进。

〔实施方式的概要〕

以下，关于上述说明的物品搬运设备的概要简单地说明。

作为一个方式，是一种物品搬运设备，前述物品搬运设备具备控制装置和多个物品搬运车，前述多个物品搬运车沿规定的行进路径行进来搬运物品，前述控制装置控制前述物品搬运车的运行，其特征在于，前述行进路径包括，在用于使对象搬运车行进的检查区域中设定的路径，前述对象搬运车被从多个前述物品搬运车中作为检查对象指定，前述对象搬运车具备检测正在行进的本车辆的行动的传感器，前述控制装置控制多个前述物品搬运车，使得在前述检查区域中仅存在一台前述对象搬运车，并且在前述检查区域中使该对象搬运车以预先规定的检查行进模式行进，前述控制装置从正在以前述检查行进模式行进的前述对象搬运车取得基于前述传感器的检测结果的检查数据。

根据该方案，借助传感器检测正在以预先规定的检查行进模式行进的对象搬运车的行动，控制装置取得该传感器得到的检查数据。因此，能够将物品搬运车的状态以相同条件取得。检查区域中控制成仅存在一台对象搬运车，所以对象搬运车能够在不受其他物品搬运车的影响的情况下在设定于检查区域中的路径以预先规定的检查行进模式行进。即，根据本方案，能够适当地取得表示用于判定维护时期的物品搬运车的状态的信息。

此外，优选的是，前述传感器检测使前述对象搬运车行进的马达的转矩、前述对象搬运车的车轮或与前述车轮联动的旋转部件的旋转速度、前述对象搬运车的振动的至少一个。

控制装置通过检测转矩、旋转速度，能够判断车轮、马达的消耗程度。此外，通过检测振动，控制装置能够判定车轮的偏于一方的磨损、旋转部件的放松等。

此外，优选的是，在前述检查区域，包括直线状的路径、曲线状的路径、路径分岔成多个的分岔部、多个路径合流的合流部，前述检查行进模式包括加速、减速、定速行进。

根据该方案，在检查区域包括各种方式的路径，由此，得到在各种各样的路径行进的情况的检查数据。此外，检查行进模式包括各种行进状态，由此，得到各种各样的行进方式的情况的检查数据。

此外，优选的是，前述检查区域设定成，包括前述物品搬运车的进行方向为相同方向且并行地配置的两个路径中的一方。

根据该方案，例如，对象搬运车从通常的路径向检查用的路径分岔而在检查用的路径行进，容易再次返回通常的路径。此外，难以发生由于对象搬运车的行进而用于搬运物品的路径被堵从而妨碍对象搬运车以外的物品搬运车搬运物品的情况。因此，根据本方案，能够抑制物品搬运设备的物品搬运车的利用效率的下降的同时，适当地得到检查数据。

此外，优选的是，前述物品搬运车将正在搬运的物品的重量设为搬运重量，前述控制装置将前述搬运重量为规定值作为条件，将前述物品搬运车作为前述对象搬运车指定。

根据该方案，通过使关于对象搬运车的搬运重量的条件一致，多个对象搬运车彼此的检查数据的比较变得容易。此外，基于多个对象搬运车的检查数据，也容易判定物品搬运车的整体的倾向。

此外，优选的是，前述对象搬运车具备取得前述检查数据的检测结果取得部、传送前述检查数据的检查数据传送部，前述检查数据传送部将前述检查数据向前述控制装置无线传送。

根据该方案，控制装置能够从对象搬运车逐次取得检查数据。此外，对象搬运车也可以不具有蓄积多次的检查数据那样大的容量的储存装置。

附图标记说明

1：行进路径

1a：直线路径(直线状的路径)

1b：曲线路径(曲线状的路径)

1c：分岔部

1d：合流部

3：物品搬运车

3T：对象搬运车

14：行进用马达(使对象搬运车行进的马达)

15：行进轮(对象搬运车的车轮)

32：通信部(检查数据传送部)

100：物品搬运设备

E：检查区域

H：设备控制器(控制装置)

K：路径

S：传感器组(检测正在行进的本车辆的行动的传感器)

S1：振动传感器(检测正在行进的本车辆的行动的传感器)

W：物品。