发明内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种多晶硅尾气处理装置及其处理方法，通过在内热触发管的下端部套设气胀扩张囊环,气胀扩张囊环与内热触发管内部的鼓气腔相连通，当弧形滤气板内的吸附填料趋近吸附饱和，尾气因不能及时排出而通过气胀扩张囊环导入鼓气腔，逐渐增大的气压对热触发机构触发使其加热，内热触发管温度逐渐升高并传递至热形变触发体处，热形变触发体受热形变，其顶部移至导料板方，此时导料板与储料箱相连通，与此同时，更料板内的电磁阀开启，弧形滤气板内所吸附饱和的吸附填料通过更料板向下导出，以此自动实现对弧形滤气板进行更换填料，而更换掉的吸附填料落入至脱附体内进行脱附冷凝、回收处理。

2.技术方案

为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。

一种多晶硅尾气处理装置，包括处理箱，所述处理箱的底端设有贯穿至其内部的进气管，所述处理箱的内部固定安装有内热触发管，所述内热触发管的上端部通过衔接套固定套设有弧形滤气板，所述弧形滤气板的前后两侧壁分别与处理箱的内壁相密封衔接，所述弧形滤气板的左右两侧均均开设有过滤腔，所述过滤腔内填充有吸附填料，所述弧形滤气板的左右底端两侧均固定连接有更料板，所述更料板与弧形滤气板相连通处设有电磁阀，两个所述更料板的底端设有相互连接的脱附体，所述处理箱的顶端设有外箱壳，所述外箱壳的内部安装有一对用于吸附填料存储的储料箱，所述弧形滤气板的上端两侧均连接有与过滤腔相连通的导料板，两个所述导料板的顶端分别连接与两个储料箱的对端部所述内热触发管的底端部套设有气胀扩张囊环，所述内热触发管的内部开设有与气胀扩张囊环相连通设置的鼓气腔，所述鼓气腔内安装有热触发机构，所述鼓气腔的顶部填充有位于热触发机构顶部的导热气体，所述鼓气腔的顶端连接有两侧均连接有热形变触发体，所述热形变触发体的顶端密封衔接于储料箱的底端部，且热形变触发体的顶端位于导料板的顶端部。

进一步的，所述吸附填料采用陶瓷制成的球状颗粒，所述球状颗粒的孔隙内填充有活性炭粉末，利用活性炭与陶瓷配合，对流经预处理尾气中的氯硅烷进行吸附。

进一步的，所述脱附体包括固定连接于两个更料板底端的脱附网板，所述脱附网板为矩形网状结构，所述脱附网板的左右两侧均固定连接有导流罩，位于所述一对脱附网板之间的导流罩连接有鼓气箱，所述鼓气箱外接有鼓气泵，当弧形滤气板内部的吸附填料达到吸附饱和时，此时电磁阀开启，吸附填料通过更料板落入至脱附网板内，利用鼓气泵对吸附填料上所吸附到的氯硅烷进行鼓气脱附，氯硅烷随气体的冲击从吸附填料上脱附下来构成脱附气体。

进一步的，多个所述导流罩呈梯形结构，位于所述脱附网板外侧的导流罩内嵌设安装有冷凝管，且位于脱附网板外侧的导流罩的底端开设有排流口，利用冷凝管对脱附气体进行降温冷却，以此得到的液态氯硅烷从排流口溢出。

进一步的，所述气胀扩张囊环包括套设于内热触发管上的环形套，所述环形套采用弹性材料制成，所述气胀扩张囊环上开设有多个扩张进气孔，当弧形滤气板达到一定的吸附饱和后，预处理尾气逐步通过气胀扩张囊环上的扩张进气孔导入至内热触发管的鼓气腔内，以此作为热触发机构触发的条件。

进一步的，所述热触发机构包括固定连接于内热触发管下端部的固定环，所述固定环与气胀扩张囊环位置对应设置，所述固定环的上端分布有多个拉伸弹簧，多个所述拉伸弹簧上连接有与内热触发管内壁活动密封衔接的下触片，所述下触片的上方设有固定连接于内热触发管内部的上触片，所述上触片与下触片接触性电连接，所述上触片上安装有电热丝。

进一步的，所述内热触发管的外壁上设有与下触片相电连接的蓄电池，所述导热气体填充于位于所述上触片顶端的鼓气腔内，导入至鼓气腔底部的预处理尾气向上顶撑下触片，下触片向上运动并与上触片相贴合，实现上触片与下触片之间的电性连接，以此实现电热丝的启动，电热丝加热后并配合导热气体将热量传递至热形变触发体处，以此作为热形变触发体的触发条件。

进一步的，所述热形变触发体包括套设于鼓气腔顶端部的导热柱，所述导热柱的顶端贯穿至内热触发管的顶端，所述导热柱的内部连接有两组记忆合金杆，每组所述记忆合金杆均设置有多个，所述记忆合金杆采用记忆合金材质制成，每组所述记忆合金杆的顶端贯穿外箱壳并固定连接有上移动片，所述上移动片活动衔接于储料箱的底端部，所述上移动片位于导料板的上方，在自然温度环境下，记忆合金杆处于拉伸状态，当该弧形滤气板达到吸附饱和后，经过触发操作使得内热触发管内部温度升高，此时，记忆合金杆因达到其变态温度后，而恢复至其初始的弯曲相态，当记忆合金杆弯曲后向下拉动上移动片，上移动片运动至导料板的顶端下部后，此时，储料箱内的吸附填料则通过导料板向下导出。

进一步的，所述储料箱与内热触发管顶端相连通处设有位于上移动片下方的下固定片，所述下固定片上开设有用于记忆合金杆贯穿的相变孔，所述下固定片上嵌设安装有与电磁阀信号连接的触发开关，所述电磁阀外接有计时单元，当上移动片下拉后并与下固定片相接触，从而对触发开关进行启动，此时弧形滤气板内吸附饱和后的吸附填料通过更料板导出，以便为从导料板处导入的新的吸附填料腾出空间，技术人员可根据实际情况对电磁阀的开闭时间实现作以限定，当上移动片对下固定片上的触发开关触动后，电磁阀打开，以有效实现能够将弧形滤气板内所饱和的吸附填料排尽。

一种多晶硅尾气的处理方法,包括以下步骤：

S1、将待处理的多晶硅生产尾气进行增压、降温得到预处理尾气；

S2、将预处理尾气通过进气管导入至处理箱内，利用弧形滤气板内的吸附填料对预处理尾气中的氯硅烷进行吸附，通过处理箱顶端的排气口排出氮气和氢气；

S3、当吸附填充层达到吸附饱和时，逐渐气压增大的气体通过气胀扩张囊环导入至内热触发管的鼓气腔内，利用气压对热触发机构进行触发实现加热处理，热处理后的内热触发管将高温传递至热形变触发体处，热形变触发体受热形变后运动至导料板的下方，此时导料板与储料箱内部相连通，储料箱内部的吸附填料导入导料板处；

S4、当热形变触发体受热形变后，更料板内的电磁阀被启动，弧形滤气板内的吸附填料通过更料板导入至脱附体处进行脱附，得到脱附气体；

S5、脱附气体流经位于脱附网板外侧的导流罩处后，降温冷却，以此得到的液态氯硅烷从排流口溢出，即完成该多晶硅尾气处理。

3.有益效果

相比于现有技术，本发明的优点在于：

(1)本方案通过在内热触发管的下端部套设气胀扩张囊环,气胀扩张囊环与内热触发管内部的鼓气腔相连通，当弧形滤气板内的吸附填料趋近吸附饱和，尾气因不能及时排出而通过气胀扩张囊环导入鼓气腔，逐渐增大的气压对热触发机构触发使其加热，内热触发管温度逐渐升高并传递至热形变触发体处，热形变触发体受热形变，其顶部移至导料板方，此时导料板与储料箱相连通，与此同时，更料板内的电磁阀开启，弧形滤气板内所吸附饱和的吸附填料通过更料板向下导出，以此自动实现对弧形滤气板进行更换填料，而更换掉的吸附填料落入至脱附体内进行脱附冷凝、回收处理。

(2)吸附填料采用陶瓷制成的球状颗粒，球状颗粒的孔隙内填充有活性炭粉末，利用活性炭与陶瓷配合，对流经预处理尾气中的氯硅烷进行吸附。

(3)脱附体包括固定连接于两个更料板底端的脱附网板，脱附网板为矩形网状结构，脱附网板的左右两侧均固定连接有导流罩，位于一对脱附网板之间的导流罩连接有鼓气箱，鼓气箱外接有鼓气泵，当弧形滤气板内部的吸附填料达到吸附饱和时，此时电磁阀开启，吸附填料通过更料板落入至脱附网板内，利用鼓气泵对吸附填料上所吸附到的氯硅烷进行鼓气脱附，氯硅烷随气体的冲击从吸附填料上脱附下来构成脱附气体。

(4)多个导流罩呈梯形结构，位于脱附网板外侧的导流罩内嵌设安装有冷凝管，且位于脱附网板外侧的导流罩的底端开设有排流口，利用冷凝管对脱附气体进行降温冷却，以此得到的液态氯硅烷从排流口溢出。

(5)气胀扩张囊环包括套设于内热触发管上的环形套，环形套采用弹性材料制成，气胀扩张囊环上开设有多个扩张进气孔，当弧形滤气板达到一定的吸附饱和后，预处理尾气逐步通过气胀扩张囊环上的扩张进气孔导入至内热触发管的鼓气腔内，以此作为热触发机构触发的条件。

(6)热触发机构包括固定连接于内热触发管下端部的固定环，固定环与气胀扩张囊环位置对应设置，固定环的上端分布有多个拉伸弹簧，多个拉伸弹簧上连接有与内热触发管内壁活动密封衔接的下触片，下触片的上方设有固定连接于内热触发管内部的上触片，上触片与下触片接触性电连接，上触片上安装有电热丝，内热触发管的外壁上设有与下触片相电连接的蓄电池，导热气体填充于位于上触片顶端的鼓气腔内，导入至鼓气腔底部的预处理尾气向上顶撑下触片，下触片向上运动并与上触片相贴合，实现上触片与下触片之间的电性连接，以此实现电热丝的启动，电热丝加热后并配合导热气体将热量传递至热形变触发体处，以此作为热形变触发体的触发条件。

(7)热形变触发体包括套设于鼓气腔顶端部的导热柱，导热柱的顶端贯穿至内热触发管的顶端，导热柱的内部连接有两组记忆合金杆，每组记忆合金杆均设置有多个，记忆合金杆采用记忆合金材质制成，每组记忆合金杆的顶端贯穿外箱壳并固定连接有上移动片，上移动片活动衔接于储料箱的底端部，上移动片位于导料板的上方，在自然温度环境下，记忆合金杆处于拉伸状态，当该弧形滤气板达到吸附饱和后，经过触发操作使得内热触发管内部温度升高，此时，记忆合金杆因达到其变态温度后，而恢复至其初始的弯曲相态，当记忆合金杆弯曲后向下拉动上移动片，上移动片运动至导料板的顶端下部后，此时，储料箱内的吸附填料则通过导料板向下导出。

(8)储料箱与内热触发管顶端相连通处设有位于上移动片下方的下固定片，下固定片上开设有用于记忆合金杆贯穿的相变孔，下固定片上嵌设安装有与电磁阀信号连接的触发开关，电磁阀外接有计时单元，当上移动片下拉后并与下固定片相接触，从而对触发开关进行启动，此时弧形滤气板内吸附饱和后的吸附填料通过更料板导出，以便为从导料板处导入的新的吸附填料腾出空间，技术人员可根据实际情况对电磁阀的开闭时间实现作以限定，当上移动片对下固定片上的触发开关触动后，电磁阀打开，以有效实现能够将弧形滤气板内所饱和的吸附填料排尽。