具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。此外，在以下所示的实施方式中，对于相同或者共用的部分在图中标注相同的附图标记，不重复其说明。

(实施方式1)

图1是实施方式1所涉及的泵单元的立体图。此外，在图1中，为了方便起见，用双点划线表示后述的第一散热部61和第一辅助散热部63。图2是沿着图1所示的II－II线的简要剖视图。参照图1和图2对实施方式1所涉及的泵单元100进行说明。

如图1和图2所示，泵单元100通过将多个压电泵1组装于流路形成部件50而构成。泵单元100具备多个压电泵1、流路形成部件50、散热部60、第一辅助散热部63、第二辅助散热部64以及多个紧固部件70。

多个压电泵1的每一个设置为能够吸引或者排放流体。压电泵1具备壳体2和振动单元16。

壳体2包括彼此相向的顶部2a和底部2b。壳体2具有扁平的大致箱形形状。在壳体2设置有第一流路孔2d和第二流路孔2e。具体而言，第一流路孔2d设置于以从顶部2a突出的方式设置的作为外部连接部的喷嘴2c。第二流路孔2e设置于底部2b。形成于壳体2的内部空间S1作为使第一流路孔2d和第二流路孔2e连通的第一流路发挥功能。即，压电泵1具有第一流路。

在壳体2的内部配置有振动单元16。振动单元16包括振动板14和压电元件15。压电元件15粘贴于振动板14。压电元件15使振动板14振动。

向压电元件15施加驱动电压，从而使振动板14振动。由此，在作为第一流路的内部空间S1内产生压力变动，从第二流路孔2e吸入的流体从第一流路孔2d排放。此外，也可以变更振动板14的振动条件，将从第一流路孔2d吸入的流体从第二流路孔2e排放。对于压电泵1的详细的结构，使用图3后述。

流路形成部件50包括框部51和喷嘴部52。流路形成部件50具有彼此相对的第一面50a和第二面50b。第一面50a设置于框部51的一端部侧。第二面50b设置于框部51的另一端部侧。

在框部51设置有从一端部侧到另一端部侧开口的开口部53。该开口部53如后述那样由第一散热部61和第二散热部62覆盖，从而作为第二流路发挥功能。即，流路形成部件50具有第二流路。第二流路是用于与多个压电泵1所具有的第一流路的每一个连接的流路。

在框部51设置有喷嘴部52。喷嘴部52设置为向框部51的外部突出。喷嘴部52作为使开口部53与流路形成部件50的外部连通的连通孔部发挥功能。

散热部60使在多个压电泵1的每一个中产生的热量进行散热。散热部60配置于多个压电泵1的每一个与流路形成部件50之间。在散热部60设置有将上述的第一流路(内部空间S1)和第二流路(开口部53)连接的贯通孔。

具体而言，散热部60包括第一散热部61和第二散热部62。第一散热部61和第二散热部62例如由单个散热板构成。此外，第一散热部61和第二散热部62也可以由独立的多个散热板构成。另外，第一散热部61和第二散热部62也可以包括散热润滑脂等。

第一散热部61配置于流路形成部件50的第一面50a侧。第一散热部61在框部51的一端部侧以覆盖开口部53的方式配置于第一面50a上。第一散热部61如后述那样通过多个紧固部件70紧固于第一面50a。

在第一散热部61设置有多个贯通孔61a。多个贯通孔61a设置于与压电泵1的第二流路孔2e对应的位置。贯通孔61a将第一流路(内部空间S1)和第二流路(开口部53)连接。

第二散热部62配置于流路形成部件50的第二面50b侧。第二散热部62在框部51的另一端部侧以覆盖开口部53的方式配置于第二面50b上。第二散热部62如后述那样通过多个紧固部件70紧固于第二面50b。

在第二散热部62设置有多个贯通孔62a。多个贯通孔62a设置于与压电泵1的第二流路孔2e对应的位置。贯通孔62a将第一流路(内部空间S1)和第二流路(开口部53)连接。

在这里，上述的多个压电泵1包括配置于流路形成部件50的第一面50a侧的多个压电泵1A、和配置于流路形成部件50的第二面50b侧的多个压电泵1B。

在实施方式1中，多个压电泵1A的个数和多个压电泵1B的个数各是四个，但并不限定于此，多个压电泵1A的个数和多个压电泵1B的个数只要分别为一个以上即可。

多个压电泵1A排列成矩阵状而配置。多个压电泵1A配置在同一平面上。具体而言，多个压电泵1A以底部2b与第一散热部61抵接的方式配置于第一散热部61上。这样将多个压电泵1A与第一散热部61抵接，从而能够将在多个压电泵1A中产生的热量从第一散热部61散热。

多个压电泵1B排列成矩阵状而配置。多个压电泵1B配置在同一平面上。具体而言，多个压电泵1B以底部2b与第二散热部62抵接的方式配置于第二散热部62上。这样将多个压电泵1B与第二散热部62抵接，从而能够将在多个压电泵1B中产生的热从第二散热部62散热。

此外，多个压电泵1A和多个压电泵1B也可以配置成交错状。多个压电泵1A和多个压电泵1B的配置能够适当地变更。

如后所述，第一散热部61和第二散热部62的至少一方设置为其一部分从流路形成部件50伸出。在实施方式1中，第一散热部61和第二散热部62各自的一部分从流路形成部件50伸出。由此，第一散热部61以及第二散热部62与外部空气接触的面积增加，能够高效地散热。

特别是，在使用多个压电泵1的情况下，发热量变多。因此，如上述那样，使第一散热部61和第二散热部62与外部空气接触的面积增加，从而能够高效地进行散热。

并且，在多个压电泵1A和多个压电泵1B配置为彼此相向的情况下，发热部位集中。即使在该情况下，如上述那样，通过使第一散热部61以及第二散热部62与外部空气接触的面积增加，也能够高效地进行散热。

第一辅助散热部63与第一散热部61平行地配置。第一辅助散热部63载置于多个第一压电泵1A的顶部2a。第一辅助散热部63在与第一散热部61之间夹持多个压电泵1A。由此，能够稳定地固定多个压电泵1A的姿势。另外，也能够从第一辅助散热部63对在多个压电泵1A中产生的热量进行散热，因此促进散热。

第一辅助散热部63具有用于使多个压电泵1A所具有的喷嘴2c向外部露出的多个贯通孔63a。在第一辅助散热部63载置于顶部2a的状态下，喷嘴2c贯通贯通孔63a。

第二辅助散热部64与第二散热部62平行地配置。第二辅助散热部64载置于多个第一压电泵1B的顶部2a。第二辅助散热部64在与第二散热部62之间夹持多个压电泵1B。由此，能够稳定地固定多个压电泵1B的姿势。另外，也能够从第二辅助散热部64对在多个压电泵1B中产生的热进行散热，因此促进散热。

第二辅助散热部64具有用于使多个压电泵1B所具有的喷嘴2c向外部露出的多个贯通孔64a。在第二辅助散热部64载置于顶部2a的状态下，喷嘴2c贯通贯通孔64a。

第一辅助散热部63和第二辅助散热部64例如由单个散热板构成。此外，第一辅助散热部63以及第二辅助散热部64也可以由独立的多个散热板构成。

多个紧固部件70的每一个包括螺栓71和螺母72。从排列有第一辅助散热部63、第一散热部61、框部51、第二散热部62、第二辅助散热部64的排列方向的一侧以贯通这些第一辅助散热部63、第一散热部61、框部51、第二散热部62、第二辅助散热部64的方式插入螺栓71，从该排列方向的另一侧将螺母72嵌入螺栓71的前端。而且，紧固螺母72。由此，第一辅助散热部63和第一散热部61、以及第二散热部62、第二辅助散热部64固定于框部51。并且，多个压电泵1A被第一辅助散热部63和第一散热部61夹持，多个压电泵1B被第二辅助散热部64和第二散热部62夹持。

图3是实施方式1所涉及的压电泵的分解立体图。参照图3对实施方式1所涉及的压电泵1进行说明。

压电泵1具备盖板11、流路板12、对置板13、振动板14、压电元件15、绝缘板17、供电板18、隔膜5以及阀壳体4，通过将这些按顺序层叠而构成。此外，将从盖板10朝向阀壳体4的方向设为上方向，将从阀壳体4朝向盖板10的方向设为下方向。

上述的压电泵1的壳体2由泵壳体3和阀壳体4构成。泵壳体3通过将盖板11、流路板12、对置板13、振动板14、压电元件15、绝缘板17以及供电板18按顺序层叠而构成。

在盖板11设置有流路孔31(第二流路孔2e)。在流路板12设置有与上述流路孔31连通的流路孔32。在对置板13设置有与流路孔32连通的流路孔33。另外，在对置板13设置有外部连接端子6A。

在振动板14设置有与流路孔33连通的流路孔34，在其内部设置有振动部14a。流路孔34具有圆形，振动部14a具有圆板形状。振动部14a设置为可振动。

压电元件15具有圆板形状。压电元件15的下表面与振动部14a抵接，经由对置板13与外部连接端子6A连接。压电元件的上表面与后述的内部连接端子7抵接，经由供电板18与外部连接端子6B连接。对外部连接端子6A、6B之间施加电压，从而对压电元件15施加驱动电压。由此，使振动部14a振动。

绝缘板17使振动板14与供电板18之间电绝缘。绝缘板17具有与流路孔34连通的圆形的流路孔37。流路孔37设置为使压电元件15向上方露出。

在供电板18设置有流路孔38。供电板18具有朝向流路孔38的内部延伸的内部连接端子7、和朝向外部延伸的外部连接端子6B。

隔膜5具有柔软性，具有平膜状的形状。隔膜5夹于泵壳体3与阀壳体4之间。隔膜5防止从泵壳体3流向阀壳体4的流体倒流到泵壳体3。在隔膜5设置有孔部5a。

阀壳体4构成压电泵1的上部。在阀壳体4设置有上述的喷嘴2c。

在泵壳体3中，通过使流路孔32、33、34、37、38连通从而形成内部空间。通过阀壳体4的内部空间和该泵壳体3的内部空间形成上述的壳体2内的内部空间S1。

如上述那样，对压电元件15施加驱动电压，从而在泵壳体3的内部空间产生压力变动，流体从泵壳体3朝向阀壳体4流动。在这种情况下，隔膜5的中央部从泵壳体3朝向阀壳体4侧被挤压。此时，上述孔部5a从供电板18离开，经由该孔部5a使阀壳体4的内部空间和该泵壳体3的内部空间连通。另外，隔膜5与设置于阀壳体4的多个孔部41抵接，堵塞多个孔部41。由此，在阀壳体4的内部空间流动的流体从喷嘴2c被排出。

另一方面，在流体倒流从阀壳体4侧朝向泵壳体3侧的情况下，隔膜5朝向泵壳体3侧被挤压。此时，上述孔部5a与供电板18抵接，并且隔膜5与多个孔部41分离。由此，阀壳体4的内部空间和该泵壳体3的内部空间被隔断，倒流的流体从孔部41被排出。此外，在第一辅助散热部63和第二辅助散热部64中，在与孔部41对应的位置设置有贯通孔，从孔部41排出的流体通过该贯通孔向泵单元100的外部排出。

图4是实施方式1所涉及的流路形成部件的立体图。参照图4对实施方式1所涉及的流路形成部件50进行说明。

如图4所示，流路形成部件50中的框部51包括第一边部54、第二边部55、第三边部56以及第四边部57。在第一边部54设置有使第二流路(开口部53)与流路形成部件50的外部连通的作为连通部的喷嘴部52。第一边部54设置为大致直线状。喷嘴部52设置于第一边部54的中央部。

第二边部55与第一边部54对置地配置。第二边部55在中央部具有朝向第一边部54凹陷的第一凹部55a。

第三边部56将第一边部54和第二边部55的一端彼此连接。第三边部56在中央部具有朝向第四边部57凹陷的第二凹部56a。

第四边部57将第一边部54和第二边部55的另一端彼此连接。第四边部57与第三边部56对置地配置。第四边部57在中央部具有朝向第三边部56凹陷的第三凹部57a。

这样，通过设置第一凹部55a、第二凹部56a、第三凹部57a，第一散热部61和第二散热部62如上述那样从流路形成部件50朝向外部伸出。

另外，第一凹部55a的凹陷量比第二凹部56a以及第三凹部57a的凹陷量大。由此，能够将框部51内的空间分割成第三边部56侧和第四边部57侧，且使框部51内的空间减少。并且，在分割后的空间部，通过设置第二凹部56a和第三凹部57a，能够使第三边部56侧的空间和第四边部57侧的空间进一步减少。其结果，能够使流路形成部件50中的第二流路的容积变小，因此能够提高吸引或者排放的响应性。

框部51具有多个角部C1、C2、C3、C4。角部C1设置于第一边部54与第三边部56的连接部。角部C2设置于第三边部56与第二边部55的连接部。角部C3设置于第二边部55与第四边部57的连接部。角部C4设置于第四边部57与第一边部54的连接部。

第一散热部61在至少多个角部C1、C2、C3、C4，通过上述多个紧固部件70固定于第一面50a。第二散热部62在至少多个角部C1、C2、C3、C4，通过上述多个紧固部件70固定于第二面50b。

具体而言，在角部C1设置有贯通孔h1。在角部C2设置有贯通孔h2。在角部C3设置有贯通孔h3。在角部C4设置有贯通孔h4。

在第一散热部61、第二散热部62、第一辅助散热部63以及第二辅助散热部64的每一个中，在与这些贯通孔h1、h2、h3、h4对应的位置也设置有贯通孔。

将第一辅助散热部63、第一散热部61、框部51、第二散热部62以及第二辅助散热部64层叠，将上述的螺栓71插入贯通孔，用螺母72紧固螺栓71的前端侧。由此，第一辅助散热部63、第一散热部61以及第二辅助散热部64在多个角部C1、C2、C3、C4固定于框部51。

在多个角部C1、C2、C3、C4，将第一散热部61和第二散热部62固定于框部51，从而能够提高第一散热部61以及第二散热部62与框部51的密接性。由此，在用第一散热部61和第二散热部62堵塞框部51的开口部53时，能够确保开口部53内的气密性。

并且，框部51包括主体部511、设置于主体部511的上表面侧的密封部512、以及设置于主体部511的下表面侧的密封部513。主体部511为了确保刚度由树脂部件设置。密封部512、513提高第一散热部61与框部51、以及第二散热部62与框部51的密接性。由此，在用第一散热部61和第二散热部62堵塞框部51的开口部53时，能够进一步确保开口部53内的气密性。密封部512、513例如能够使用可弹性变形的片部件、或者衬垫等的橡胶部件。

此外，在实施方式1中，在多个角部C1、C2、C3、C4以外，在第一凹部55a也设置贯通孔h5，也能够在第一凹部55a固定第一散热部61和第二散热部62。在这样固定的情况下，能够进一步提高第一散热部61、第二散热部62与框部51的密接性。其结果，能够进一步确保开口部53内的气密性。

如以上那样，在实施方式1所涉及的泵单元100中，以在流路形成部件50与多个压电泵1的每一个之间配置散热部60的方式将压电泵1组装于流路形成部件50。并且，在散热部60设置贯通孔，通过该贯通孔，将流路形成部件50所具有的第二流路和压电泵1所具有的第一流路连接。

因此，能够确保供流体流动的流路，并且将多个压电泵1组装于流路形成部件50。并且，在流路形成部件50与多个压电泵1的每一个之间配置散热部60，从而能够将在多个压电泵1的每一个中产生的热量从散热部60散热。

这样，在实施方式1所涉及的泵单元100中，能够兼得多个压电泵1的组装性和散热性。

(实施方式2)

图5是实施方式2所涉及的泵单元的简要剖视图。参照图5对实施方式2所涉及的泵单元100A进行说明。

如图5所示，实施方式2所涉及的泵单元100A与实施方式1所涉及的泵单元100相比，主要不同的点在于开口部53在流路形成部件50的第二面50b侧被关闭，仅在第一面50a侧配置多个压电泵1。因此，在实施方式2所涉及的泵单元100B中，没有设置第二散热部62和第二辅助散热部64。对于其他的结构，与实施方式1大致同样，因此在这里省略其说明。

即使是这样构成的情况，实施方式2所涉及的泵单元100A也能获得与实施方式1所涉及的泵单元100大致同样的效果。

(实施方式3)

图6是实施方式3所涉及的泵单元的立体图。此外，在图6中，为了方便起见，省略与实施方式1对应的第一辅助散热部63、第二辅助散热部64、以及多个紧固部件70。参照图6对实施方式3所涉及的泵单元100B进行说明。

如图6所示，实施方式3所涉及的泵单元100B与实施方式1所涉及的泵单元100A相比，流路形成部件50的大小和形状不同。对于其他的结构，大致同样。

在流路形成部件50的框部51中，与实施方式1相比未设置凹部，由此，框部51设置为矩形框状。并且，在从该框部51的中心轴向观察的情况下，框部51的外径比散热部60的外径小。即，实施方式2所涉及的框部51的宽度比实施方式1所涉及的框部51的宽度小。由此，第一散热部61和第二散热部62从框部51露出。

即使是这样构成的情况，实施方式3所涉及的泵单元100B也能获得与实施方式1大致同样的效果。

(实施方式4)

图7是表示实施方式4所涉及的泵单元的一部分的俯视图。图7是在将流路形成部件50、多个压电泵1以及第一散热部61组装好的状态下，从流路形成部件50侧观察泵单元100C的俯视图。参照图7对实施方式4所涉及的泵单元100C进行说明。

如图7所示，在实施方式4所涉及的泵单元100C与实施方式1所涉及的泵单元100进行比较的情况下，在流路形成部件50中，框部51C的形状不同。对于其他的结构，大致同样。

框部51C包括躯干部51C1和多个分支部51C2。躯干部51C1以与第一散热部61的中央重叠的方式设置为大致直线状。分支部51C2设置为能够与设置于压电泵1的多个第二流路孔2e连接。

即使是这样构成的情况，实施方式3所涉及的泵单元100B也能获得与实施方式1大致同样的效果。另外，能够减小流路形成部件50中的第二流路的容积，因此能够提高吸引或者排放的响应性。

(实施方式5)

图8是实施方式5所涉及的泵单元的立体图。此外，在图8中，为了方便起见，用双点划线表示后述的第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66。参照图8对实施方式5所涉及的泵单元100D进行说明。

如图8所示，在实施方式5所涉及的泵单元100D与实施方式1所涉及的泵单元100进行比较的情况下，主要是流路形成部件50D的形状、多个压电泵1的配置、散热部60D的结构不同。另外，不同的点在于没有设置辅助散热部。

在实施方式1中，流路形成部件50D具有中空的块形状。流路形成部件50D具有大致长方体形状，在内部形成成为第二流路的空间部。该空间部与喷嘴部52连通。

流路形成部件50D在第一方向上具有彼此相对的第一面50a和第二面50b，在与第一方向正交的第二方向上具有彼此相对的第三面50c和第四面50d。

泵单元100D具备第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66作为散热部。

第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66的每一个例如由单个散热板构成。第一散热部61配置于第一面50a侧。

第二散热部62配置于第二面50b侧。第三散热部65配置于第三面50c侧。

第四散热部66配置于第四面50d侧。

多个压电泵1包括多个压电泵1A、多个压电泵1B、多个压电泵1C以及多个压电泵1D。压电泵1A、压电泵1B、压电泵1C以及压电泵1D的个数分别为两个，但并不限定于此，也可以是一个，也可以是三个以上。

多个压电泵1A配置于第一面50a侧。多个压电泵1B配置于第二面50b侧。多个压电泵1C配置于第三面50c侧。多个压电泵1D配置于第四面50d侧。

多个压电泵1A通过导热性的粘着剂等固定于第一散热部61。多个压电泵1B通过导热性的粘着剂等固定于第二散热部62。多个压电泵1C通过导热性的粘着剂等固定于第三散热部65。多个压电泵1D通过导热性的粘着剂等固定于第四散热部66。

在这种情况下，在第一面50a、第二面50b、第三面50c以及第四面50d的每个面中，在与多个压电泵1A、多个压电泵1B、多个压电泵1C以及多个压电泵1D的第二流路孔2e对应的位置设置有贯通孔。另外，在第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66的每一个中，在与多个压电泵1A、多个压电泵1B、多个压电泵1C以及多个压电泵1D的第二流路孔2e对应的位置设置有贯通孔。

由此，通过设置于第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66的每一个的贯通孔，将流路形成部件50D的空间部(第二流路)和多个压电泵1的内部空间(第一流路)连接。

在流路形成部件50D中，在该流路形成部件50D和散热部(第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66)对置的部分，设置有用于使散热部露出的切除部50D1。由此，在流路形成部件50D与散热部之间形成间隙，散热部的一部分向外部露出。

即使是这样构成的情况，实施方式5所涉及的泵单元100D也能获得与实施方式1所涉及的泵单元100大致同样的效果。另外，在实施方式5所涉及的泵单元100D中，能够使压电泵1的个数增加，因此能够提高泵单元100D的吸引能力、或者排放能力。

此外，在实施方式5中，例示并说明了流路形成部件50具有中空的长方体形状的情况，但并不限定于此，只要形成第二流路，也可以是中空的棱柱形状。另外，在实施方式5中，也可以进一步设置多个辅助散热部。

将上述的多个实施方式中的特征部分适当地组合从最初被预定。例如，在实施方式1～4中，也可以如实施方式5那样省略辅助散热部。另外，在实施方式1～4中，只要不脱离本发明的主旨，代替多个紧固部件70，也可以使用粘着剂等。

上述的实施方式1～5所涉及的泵单元例如能够用于口膀护理用吸引器。此外，泵单元的使用例并不限定于口膀护理用吸引器，能够用于排放或者吸引流体的泵。

以上，本次发明的实施方式全部的点是例示，并非是对本发明进行的限制。本发明的范围由权利要求书表示，包括与权利要求书等同的意思以及在其范围内的全部变更。

附图标记说明

1、1A、1B、1C、1D…压电泵；2…壳体；2a…顶部；2b…底部；2c…喷嘴；2d…第一流路孔；2e…第二流路孔；3…泵壳体；4…阀壳体；5…隔膜；5a…孔部；6A、6B…外部连接端子；7…内部连接端子；10、11…盖板；12…流路板；13…对置板；14…振动板；14a…振动部；15…压电元件；16…振动单元；17…绝缘板；18…供电板；31、32、33、34、37、38…流路孔；41…孔部；50、50D…流路形成部件；50D1…切除部；50a…第一面；50b…第二面；50c…第三面；50d…第四面；51、51C…框部；51C1…躯干部；51C2…分支部；52…喷嘴部；53…开口部；54…第一边部；55…第二边部；55a…第一凹部；56…第三边部；56a…第二凹部；57…第四边部；57a…第三凹部；60、60D…散热部；61…第一散热部；61a、62a…贯通孔；62…第二散热部；63…第一辅助散热部；64…第二辅助散热部；65…第三散热部；66…第四散热部；70…紧固部件；71…螺栓；72…螺母；100、100A、100B、100C、100D…泵单元；511…主体部；512、513…密封部。