具体实施方式

本发明的带导电层的基板在透明基板上形成有导电层和绝缘层，前述绝缘层是使下述感光性树脂组合物固化而成的固化膜，所述感光性树脂组合物含有：(A)侧链上具有脂环式骨架及碱溶性基团的丙烯酸系聚合物；(B)光聚合引发剂；及(C)具有不饱和双键的化合物，该(C)具有不饱和双键的化合物包含由前述通式(1)表示的结构的化合物(C-1)：

[丙烯酸系聚合物(A)]

形成前述绝缘层的感光性树脂组合物含有(A)侧链上具有脂环式骨架及碱溶性基团的丙烯酸系聚合物(以下，称为丙烯酸系聚合物(A))。

通过使丙烯酸系聚合物(A)具有脂环式骨架，从而能够对绝缘层赋予疏水性，能够提高在高温高湿下的耐迁移性。

此处，所谓脂环式骨架，是指不含芳香环结构的烃基，包含单环的脂环式骨架和多环的脂环式骨架。也可以包含单环的脂环式骨架和多环的脂环式骨架这两者。但是，无需仅以脂环式骨架来构成，其一部分也可以包含链状结构。从提高耐迁移性的观点考虑，优选为多环脂环式骨架。

对于丙烯酸系聚合物(A)而言，作为侧链上具有脂环式骨架的重复单元，优选具有由通式(2)表示的重复单元。

[化学式2]

通式(2)中，R⁷表示氢原子或甲基。

对于丙烯酸系聚合物(A)而言，优选在全部重复单元中具有0.1～10摩尔％的由通式(2)表示的重复单元。由通式(2)表示的重复单元的含量若为0.1摩尔％以上，则绝缘层的疏水性提高，且高温高湿下的耐迁移性进一步提高。更优选具有1摩尔％以上的由通式(2)表示的重复单元，进一步优选具有2摩尔％以上。另一方面，当由通式(2)表示的重复单元为10摩尔％以下时，能够形成更微细的图案。

另外，优选丙烯酸系聚合物(A)具有由通式(3)表示的重复单元。

[化学式3]

通式(3)中，R⁸表示氢原子或甲基。R⁹～R¹³表示氢原子、碳原子数1～6的有机基团或羟基。R⁹～R¹³各自可以相同也可以不同。

通过使丙烯酸系聚合物(A)具有由通式(3)表示的重复单元，能够防止碱显影时的膜粗糙，赋予绝缘层高透明性。优选丙烯酸系聚合物(A)在全部重复单元中具有20～50摩尔％的由通式(3)表示的重复单元。通过具有20摩尔％以上的由通式(3)表示的重复单元的含量，能够提高显影特性，形成更微细的图案。更优选具有25摩尔％以上的由通式(3)表示的重复单元，进一步优选具有30摩尔％以上。另一方面，通过具有50摩尔％以下的由通式(3)表示的重复单元，绝缘层的耐光性提高。更优选丙烯酸系聚合物(A)具有45摩尔％以下的由通式(3)表示的重复单元。

通式(3)中，R⁹～R¹³的有机基团优选为碳原子数1～6的烷基。作为烷基，例如可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正戊基、正己基，等等，但不限定于此。

通过使丙烯酸系聚合物(A)具有碱溶性基团，能够对感光性树脂组合物赋予图案加工性，得到分辨率优异的绝缘层。

此处，碱溶性基团是从羧基、醇性羟基、酚性羟基、磺基、磷酸基和酸酐基中所选出的基团。特别是从反应性与通用性的观点考虑，优选羧基。

对于前述丙烯酸系聚合物(A)而言，作为侧链上具有碱溶性基团的重复单元，优选具有由下述通式(4)表示的重复单元。

[化学式4]

通式(4)中，R¹⁴表示氢原子或甲基。

通过使丙烯酸系聚合物(A)具有由通式(4)表示的重复单元，能够赋予基于碱显影的图案加工性。优选丙烯酸系聚合物(A)在全部重复单元中具有5～60摩尔％的由通式(4)表示的重复单元。通过具有5摩尔％以上的由通式(4)表示的重复单元的含量，能够提高显影特性，形成更微细的图案。更优选具有10摩尔％以上的由通式(4)表示的重复单元。另一方面，通过具有60摩尔％以下的由通式(4)表示的重复单元，树脂组合物的亲水性降低，基于碱显影的图案加工变得容易。更优选丙烯酸系聚合物(A)具有45摩尔％以下的由通式(4)表示的重复单元。

优选前述丙烯酸系聚合物(A)具有由下述通式(5)表示的重复单元。

[化学式5]

通式(5)中，R¹⁵～R¹⁶表示氢原子或甲基。R¹⁵～R¹⁶各自可以相同也可以不同。

通过使丙烯酸系聚合物(A)具有由通式(5)表示的重复单元，从而能够呈现负型的感光性、形成微细图案。优选丙烯酸系聚合物(A)在全部重复单元中具有5～60摩尔％由通式(5)表示的重复单元。通过具有5摩尔％以上的由通式(5)表示的重复单元的含量，由于曝光部的固化度提高，因此曝光部与未曝光部中的在碱显影液中的溶解性之差变大，图案形成变得容易。更优选具有15摩尔％以上的由通式(5)表示的重复单元。另一方面，通过具有60摩尔％以下的由通式(5)表示的重复单元，能够适度地抑制由曝光引起的灵敏度，微细图案的形成变得容易。更优选丙烯酸系聚合物(A)具有40摩尔％以下的由通式(5)表示的重复单元。

通过在丙烯酸系聚合物(A)中具有由通式(4)表示的重复单元和由(5)表示的重复单元这两者，能够赋予亲水性、形成更微细的图案，因此优选。全部重复单元中优选具有合计为40～60摩尔％的由上述通式(4)表示的重复单元和由通式(5)表示的重复单元。通过具有合计为40摩尔％以上的由通式(4)表示的重复单元和由(5)表示的重复单元，能够通过结构中的羟基的贡献而使显影特性提高，形成更微细的图案。另一方面，通过具有合计为60摩尔％以下的由通式(4)表示的重复单元和由(5)表示的重复单元，除了能形成更微细的图案之外，高温高湿下的耐迁移性也进一步提高。

前述丙烯酸系聚合物(A)也可以具有由前述通式(2)～(5)中的任一者所表示的重复单元以外的其他重复单元。作为这样的重复单元，例如可举出苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等。

前述丙烯酸系聚合物(A)可通过使具有烯键式不饱和双键的单体进行自由基聚合而得到。由通式(2)～(4)表示的重复单元可通过使形成各自的结构的单体进行自由基聚合而得到。另外，由通式(5)表示的重复单元可以通过对包含由通式(4)表示的重复单元的丙烯酸系聚合物进行加成(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的反应而得到。

对自由基共聚的催化剂没有特别限制，通常使用偶氮二异丁腈等偶氮化合物，过氧化苯甲酰等有机过氧化物等。

另外，对于用于(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的加成反应的催化剂没有特别限制，可以使用已知的催化剂，例如可以使用二甲基苯胺、2,4,6-三(二甲基氨基甲基)酚、二甲基苯甲胺等氨基系催化剂、2-乙基己酸锡(II)、月桂酸二丁基锡等锡系催化剂、2-乙基己酸钛(IV)等钛系催化剂、三苯基膦等磷系催化剂和乙酰丙酮铬、氯化铬等铬系催化剂等。

丙烯酸系聚合物(A)也可以使用将多官能(甲基)丙烯酸酯化合物与多元巯基化合物利用迈克尔加成(相对羰基而言为β位)聚合而成的聚合物。

对于丙烯酸系聚合物(A)的重均分子量(Mw)而言，以由凝胶渗透色谱(GPC)测定的聚苯乙烯换算计，优选为5,000～15,000。通过使重均分子量(Mw)为5,000以上，灵敏度提高，另外，能够抑制聚合物分子末端的氧化劣化，颜色特性提高。重均分子量(Mw)更优选为7,000以上。另一方面，通过将重均分子量(Mw)设为15,000以下，能够形成更微细的图案，可以形成透明的绝缘层。重均分子量(Mw)更优选为12,000以下。

在用于形成绝缘层的感光性树脂组合物中，对丙烯酸系聚合物(A)的含量没有特别限制，能够根据目标绝缘层的膜厚、用途进行任意地选择，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，通常将丙烯酸系聚合物(A)的含量设为10质量％以上且70质量％以下。

[光聚合引发剂(B)]

形成绝缘层的感光性树脂组合物含有光聚合引发剂(B)。光聚合引发剂(B)利用光(包括紫外线、电子射线)而分解和/或反应，是产生自由基的物质。作为具体例子，可举出1,2-丙二酮-3-环戊烷-1-[4-(苯基硫基)-2-(O-苯甲酰基肟)]、3-环戊基乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、1,2-辛基二酮-1-[4-(苯基硫基)-2-(O-苯甲酰基肟)]、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)等。可使用这些之中的1种或是组合多种而使用。

光聚合引发剂(B)的含量没有特别限制，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，优选为0.1～20质量％。光聚合引发剂(B)的含量若为0.1质量％以上则可赋予感光特性，能够形成更微细的图案。光聚合引发剂(B)的含量更优选为0.5质量％以上。另一方面，若光聚合引发剂(B)的含量为20质量％以下，由于能够抑制由光聚合引发剂的残基引起的黄变，因此能够形成透明的绝缘层。光聚合引发剂(B)的含量更优选为15质量％以下。

[具有不饱和双键的化合物(C)]

形成绝缘层的感光性树脂组合物含有具有不饱和双键的化合物(C)，且包含具有季戊四醇骨架的化合物作为具有不饱和双键的化合物(C)。所谓具有不饱和双键和季戊四醇骨架的化合物，是指具有由下述通式(1)表示的结构的化合物(C-1)。通过含有化合物(C-1)，能够形成微细的图案。

[化学式6]

通式(1)中，R¹～R⁶表示氢原子、甲基丙烯酰基、丙烯酰基或有机基团。R¹～R⁶中的3个以上为甲基丙烯酰基或丙烯酰基。另外，n＝0～10。R¹～R⁶的有机基团优选为碳原子数1～6的烷基。作为烷基，例如可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正戊基、正己基等，但不限定于这些。

化合物(C-1)优选通式(1)中n为1以上。通式(1)中，通过使n为1以上，能够对主链骨架赋予柔软性，通过分子彼此的接触概率提高来提高自由基聚合性，即使在曝光量少的情况下也能形成微细图案。上述化合物(C-1)的具体例举出如下，但不限定于这些。

上述通式(1)中，作为n为0的化合物，例如可举出：季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丁氧基化季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、丁氧基化季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、丁氧基化季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、丁氧基化季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯等。

上述通式(1)中，作为n为1的化合物，例如可举出：二季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。

上述通式(1)中，作为n为2以上的化合物，例如可举出：三季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇九(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇十(甲基)丙烯酸酯、聚季戊四醇(甲基)丙烯酸酯等。可以使用这些之中的1种或是组合多种而使用。

在形成绝缘层的感光性树脂组合物中，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，化合物(C-1)的含量优选为0.01～5质量％以下。若化合物(C-1)的含量为0.01质量％以上，则从感光特性的观点考虑，易于得到良好的微细图案。另一方面，若化合物(C-1)的含量为5质量％以下，则由于绝缘层的亲水性变低，高温高湿下的耐迁移性进一步提高。从分辨率的观点考虑，化合物(C-1)的含量更优选为3质量％以下，进一步优选为2质量％以下。

另外，感光性树脂组合物也可以含有化合物(C-1)以外的具有不饱和双键的化合物(以下，称为其他化合物(C))来作为具有不饱和双键的化合物(C)，由此能够调节树脂组合物的灵敏度。

对于其他化合物(C)的含量而言没有特别限制，能够根据所期望的用途任意地选择，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，优选为1～30质量％。通过将其他化合物(C)的含量设为1质量％以上，能够进一步提高灵敏度。其他化合物(C)的含量更优选为5质量％以上，进一步优选为10质量％以上。另一方面，通过将其他化合物(C)的含量设为30质量％以下，可形成更微细的图案。其他化合物(C)的含量更优选为20质量％以下。

作为具有2个不饱和双键的化合物，例如可举出9,9-双[4-(2-(甲基)丙烯酰氧基乙氧基)苯基]芴、三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯等。可以使用这些之中的1种或是组合多种而使用。

此外，作为具有不饱和双键的化合物(C)，可以含有多官能烯丙基化合物。通过含有多官能烯丙基化合物，能够进一步提高绝缘层在高温高湿下的耐迁移性，还可以得到具有更微细图案的绝缘层，有助于提高层叠加工时的美观性。作为多官能烯丙基化合物，优选为具有异氰脲酸酯骨架的由下述通式(6)表示的化合物。

[化学式7]

通式(6)中，l、m、n各自独立地表示0～8的整数。X¹和X²表示烯丙基，X³表示氢原子、烯丙基、氟基、氯基、溴基、碘基、羧基、环氧基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基或烷氧基。

作为由通式(6)表示的多官能烯丙基化合物，例如可举出以下的化合物，但不限定于这些。

[化学式8]

在形成绝缘层的感光性树脂组合物中，多官能烯丙基化合物的含量没有特别限制，可根据所期望的用途任意地选择，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，优选为1～30质量％以下。若多官能烯丙基化合物的含量为1质量％以上，则能够抑制由曝光引起的图案粗大，形成更微细的图案。多官能烯丙基化合物的含量进一步优选为5质量％以上。另一方面，当多官能烯丙基化合物的含量为30质量％以下时，能够促进由加热引起的热固化，得到固化度高的膜。多官能烯丙基化合物的含量更优选为20质量％以下。可以使用这些之中的1种或是组合多种而使用。

[着色剂(D)]

形成绝缘层的感光性树脂组合物优选含有着色剂(D)，能够调节绝缘层的b^*值。需要说明的是，b^*值为根据国际照明委员会1976中规定的L^*a^*b^*表色系统的值。通过含有着色剂(D)，能够降低绝缘层绝缘层的泛黄，提高色调。L^*a^*b^*表色系统中的L^*值、a^*值、b^*值如众所周知的那样，L^*值表示明度、a^*值和b^*值表示色相与彩度。具体而言，a^*值若为正值则显示红色的色相，若为负值则表示绿色的色相。另外，b^*值若为正值则显示黄色的色相，若为负值则显示蓝色的色相。另外，对于a^*值和b^*值而言，都是显示绝对值越大则其颜色的彩度越大，颜色鲜艳，而绝对值越小则彩度越小。b^*的测定值在0的附近为中性，因此对于观察时的色调而言，在视觉上变得易于视认为无色，从而优选。在JIS-Z8729：1994中规定的方法中，绝缘层的b*值能够根据利用反射的测定方法进行测定。更具体而言，如后所述，能够如下算出：使在玻璃基板上形成绝缘层的感光性树脂组合物固化来形成固化膜，对该固化膜使用分光光度计(CM-2600d；KONICA MINOLTA,INC.制)来测定全反射光的反射率，测定反射色度b*，从而算出。

作为着色剂(D)，可举出颜料、染料等。其中，从耐热性和耐光性的观点考虑，优选颜料。从降低绝缘层的泛黄的观点考虑，优选蓝色着色剂。

优选前述着色剂(D)含有金属配合物。通过使用金属配合物，能够以微量添加来进一步降低绝缘层的泛黄。作为金属配合物，例如可举出卟啉或酞青、金属与至少一部分具有取代基的酞青配位而成的化合物等。作为前述取代基，例如可举出：氯等卤素、磺酸基、氨基等。作为配位的金属，例如可举出：铜、锌、镍、钴、铝等。也可以含有两种以上的这些金属配合物。作为金属配合物，优选酞青的铜配合物，由于其能够抑制着色剂与其他有机成分的反应，并且在工序中进行高温处理时不退色，能够进一步提高色调。更优选为铜酞青磺酸铵盐、铜酞青叔胺化合物、铜酞青磺酰胺化合物。着色剂(D)能够利用质谱(MASS)分析等进行检测。

作为酞青的铜配合物的例子，可举出颜料蓝15、颜料蓝15:1、颜料蓝15:2、颜料蓝15:3、颜料蓝15:4、颜料蓝15:6、颜料蓝16等。其中，从提高耐光性、即使照射太阳光也不产生变色、能够保持良好的外观这样的观点考虑，优选作为具有ε型、α型结构的铜酞青蓝颜料的颜料蓝15:1、颜料蓝15:6等。

在形成绝缘层的感光性树脂组合物中，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，着色剂(D)的含量优选为0.01～0.5质量％以下。通过将着色剂(D)的含量设为0.01质量％以上，能够使着色剂(D)的效果充分，能够进一步提高绝缘层的色调。着色剂(D)的含量更优选为0.05质量％以上。另外，通过将着色剂(D)的含量设为0.5质量％以下，能够抑制着色剂(D)的吸收并提高全光线透过率。着色剂(D)的含量更优选为0.4质量％以下。着色剂(D)的含量可以利用TG-MASS定量。

[多官能环氧化合物]

形成绝缘层的感光性树脂组合物也可以含有多官能环氧化合物。通过含有多官能环氧化合物，除了可进一步提高绝缘层在高温高湿下的耐迁移性之外，通过抑制固化时的膜收缩，可得到更平滑的绝缘层，有助于提高层叠加工时的美观性。作为多官能环氧化合物，优选为具有异氰脲酸酯骨架的多官能环氧化合物和/或具有3个以上的芳香环的多官能环氧化合物。

作为具有异氰脲酸酯骨架的多官能环氧化合物，例如可举出具有由下述通式(7)～(12)中任一者表示的结构的化合物。

[化学式9]

R¹⁷～R²²各自独立地表示碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基、苯基、苯氧基、碳原子数为2～6的烷基羰基氧基或它们的取代物。

作为具有3个以上的芳香环的多官能环氧化合物，例如可举出具有由下述通式(13)～(17)中的任一者表示的结构的化合物。

[化学式10]

R²³～R²⁸、R²⁹～R³²、R³³～R³⁶、R³⁷～R⁴⁰、R⁴¹～R⁴⁴各自独立地表示氢原子、氟原子、甲基、乙基、环己基。o、p表示0～15的整数。

上述化合物中，特别有提高在高温高湿下的耐迁移性的效果的是具有由前述结构式(7)、(10)、(11)、(13)和(14)表示的结构的化合物。

在形成绝缘层的感光性树脂组合物中，多官能环氧化合物的含量没有特别限制，可以根据所期望的用途任意地选择，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，优选为1质量％以上、30质量％以下，进一步优选为5质量％以上、20质量％以下。可以使用这些之中的1种或是组合多种而使用。

[受阻胺系光稳定剂]

形成绝缘层的感光性树脂组合物可以含有受阻胺系光稳定剂。通过含有受阻胺系光稳定剂，可以降低绝缘层的着色，并且可以提高耐光性。

作为受阻胺系光稳定剂，例如可举出具有由下述通式(18)～(22)中的任意所表示的结构的化合物。

[化学式11]

q、r、s和t各自表示0～15的整数。

上述化合物中，由于反应性高并作用于固化，因此优选受阻胺系光稳定剂具有不饱和双键。例如，特别优选具有不饱和双键的由上述结构式(18)或(19)表示的结构的化合物。

在形成绝缘层的感光性树脂组合物中，受阻胺系光稳定剂的含量没有特别限制，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，优选为0.01质量％以上、10质量％以下，更优选为0.05质量％以上、5质量％以下。可以使用这些之中的1种或是组合多种而使用。

[硅烷偶联剂]

形成绝缘层的感光性组合物也可以含有硅烷偶联剂。通过含有硅烷偶联剂，基板与绝缘层的密合性进一步提高。

作为硅烷偶联剂的具体例子，可举出：乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙基胺、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三乙氧基硅烷、〔(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基〕丙基三甲氧基硅烷、〔(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基〕丙基三乙氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-脲基丙基三乙氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸、N-叔丁基-3-(3-三甲氧基甲硅烷基丙基)琥珀酰亚胺等。

上述中，从与基板的密合性提高的观点考虑，优选硅烷偶联剂含有氮。由于氮作为硅烷偶联剂与基板表面的缩合反应的催化剂发挥作用，因此密合性大幅提高。

作为含有氮的硅烷偶联剂的具体例，可举出：3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-(乙烯基苄基)-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷盐酸盐、N-(乙烯基苄基)-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷盐酸盐、三-(三甲氧基甲硅烷基丙基)异氰脲酸酯、三-(三乙氧基甲硅烷基丙基)异氰脲酸酯、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙基胺、3-三甲氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙基胺、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-脲基丙基三乙氧基硅烷、3-脲基丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三甲氧基硅烷、N-叔丁基-3-(3-三甲氧基甲硅烷基丙基)琥珀酰亚胺、N-叔丁基-3-(3-三乙氧基甲硅烷基丙基)琥珀酰亚胺等。

上述硅烷偶联剂中，从保存稳定性的观点考虑，特别优选3-脲基丙基三乙氧基硅烷、3-脲基丙基三甲氧基硅烷等。

硅烷偶联剂的添加量没有特别限制，在将感光性树脂组合物的固态成分整体设为100质量％的情况下，优选为0.1质量％以上、10质量％以下。添加量若少于0.1质量％，则密合性提高的效果低。添加量若多于10质量％，则在保存中硅烷偶联剂彼此发生缩合反应，成为显影时的溶解残留的原因。

[固化剂]

形成绝缘层的感光性树脂组合物也可以含有促进树脂组合物的固化或者使固化容易进行的各种固化剂。作为固化剂可以没有特别限定地使用已知的固化剂，作为具体例子，可举出含氮有机物、有机硅树脂固化剂、各种金属醇盐、各种金属螯合化合物、异氰酸酯化合物及其聚合物、羟甲基化三聚氰胺衍生物、羟甲基化脲衍生物等。也可以含有2种以上的上述物质。其中，由于固化剂的稳定性、所得的涂布膜的加工性等原因，优选使用金属螯合化合物、羟甲基化三聚氰胺衍生物、羟甲基化脲衍生物等。

[紫外线吸收剂]

形成绝缘层的感光性树脂组合物可以含有紫外线吸收剂。通过含有紫外线吸收剂，所得的绝缘层的耐光性提高，在需要进行图案加工的用途中，显影后的分辨率提高。作为紫外线吸收剂，可以没有特别限定地使用已知的紫外线吸收剂，从透明性、非着色性的方面考虑，优选使用苯并三唑系化合物、二苯甲酮系化合物、三嗪系化合物。

[阻聚剂]

形成绝缘层的感光性树脂组合物可以含有阻聚剂。通过适量含有阻聚剂，显影后的分辨率提高。作为阻聚剂可以没有特别限定地使用已知的阻聚剂，例如可举出二叔丁基羟基甲苯、氢醌、4-甲氧基苯酚、1,4-苯醌、叔丁基儿茶酚。另外，作为市售的阻聚剂，可举出“IRGANOX 1010”、“IRGANOX 245”、“IRGANOX 3114”、“IRGANOX 565”(以上为BASF制)等。

[表面活性剂]

为了提高涂布时的流动性，形成绝缘层的感光性树脂组合物可以含有各种氟系表面活性剂、有机硅系表面活性剂等各种表面活性剂。表面活性剂的种类没有特别限制，例如可以使用“MEGAFAC”(注册商标)“F477(商品名)”(以上为大日本油墨化学工业株式会社制)等氟系表面活性剂，“BYK-333(商品名)”(BYK Chemie Japan k.k.制)等有机硅系表面活性剂，聚氧化烯系表面活性剂、聚(甲基)丙烯酸酯系表面活性剂等。也可以使用2种以上的上述化合物。

[溶剂]

形成绝缘层的感光性树脂组合物可以含有溶剂。溶剂在大气压下的沸点优选为110～250℃，进一步优选为200℃以下。需要说明的是，可以使用多种上述的溶剂。若沸点高于200℃，则在涂布膜形成时膜中的残存溶剂量会变多，固化时的膜收缩变大，而无法得到得到良好的平坦性。另一方面，若沸点低于110℃，则涂布膜形成时的干燥会过快，膜表面变得粗糙等，涂膜性变差。因此，大气压下的沸点为200℃以下的溶剂在感光性树脂组合物中优选为溶剂整体的50质量％以上。

作为溶剂的具体例子，例如可举出：乙二醇单甲基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙酸甲氧基甲酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、1-甲氧基丙基-2-乙酸酯、乳酸甲酯、环戊酮、环己烷、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙基、乙酸异丁酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、乙酸戊酯、乙二醇二乙基醚、乙二醇单正丁基醚、乙二醇单叔丁基醚、丙二醇单正丁基醚、丙二醇单叔丁基醚、乙酸2-乙氧基乙酯、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇单甲基醚丙酸酯、二丙二醇甲基醚、二丙酮醇、乳酸乙酯、乳酸丁酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮、环己酮、环庚酮、二乙二醇单丁基醚、乙二醇二丁基醚。

溶剂的含量没有特别限制，可以根据涂布方法等使用任意的量。例如，在以旋转涂覆来进行膜形成的情况下，通常设为感光性树脂组合物整体的50质量％以上、95质量％以下。

在形成绝缘层的感光性树脂组合物中，根据需要也可以含有溶解抑制剂、稳定剂、消泡剂等添加剂。

对形成绝缘层的感光性树脂组合物的固态成分浓度没有特别限制，可以根据涂布方法等而使用任意量的溶剂、溶质。例如，在如后所述利用旋转涂覆来进行膜形成的情况下，通常将固态成分浓度设为5质量％以上、50质量％以下。其中，固态成分是从感光性树脂组合物中除去溶剂而得的物质。

接下来，针对形成绝缘层的感光性树脂组合物的代表性制造方法进行说明。例如，将丙烯酸系聚合物(A)、光聚合引发剂(B)、具有不饱和双键的化合物(C)、着色剂(D)和根据需要的其他添加剂加入任意的溶剂，并搅拌而使其溶解，然后将所得的溶液过滤，可得到感光性树脂组合物。

本发明的带导电层的基板上所形成的绝缘层是使上述感光性树脂组合物固化而成的绝缘层。上述感光性树脂组合物可以利用后述的方法固化。

绝缘层的膜厚没有特别限制，优选为0.1～15μm。通过将绝缘层的膜厚设为0.1μm以上，高温高湿下的耐迁移性进一步提高。绝缘层的膜厚更优选为0.5μm以上，进一步优选为1.0μm以上。另一方面，通过将绝缘层的膜厚设为15μm以下，能够在不泛黄的情况下形成无色透明的膜。绝缘层的膜厚更优选为10μm以下，进一步优选为5.0μm以下。另外，对于绝缘层而言，相对于2.0μm膜厚而言的透过率优选为85％以上，更优选为90％以上、95％以上、97％以上。其中，透过率是指波长400nm的光的透过率。透过率可以根据曝光量和热固化温度的选择来进行调节。

针对使用感光性树脂组合物的绝缘层的制造方法，举例进行说明。

将上述感光性树脂组合物，利用微凹版涂布、旋转涂布、浸涂、帘流涂、辊涂、喷涂、狭缝涂布等已知的方法涂布于基板上而形成涂布膜。

将上述涂布膜用加热板、烘箱等加热装置预烘。预烘在50～150℃的范围内进行30秒～30分钟，预烘后的膜厚优选为0.1～15μm。

预烘后，使用步进曝光装置、镜像投影掩模对准器(MPA)、平行光掩模对准器(PLA)等曝光机将涂布膜曝光。以曝光强度为10～4000J/m²左右(以波长365nm曝光量换算)，隔着或者不隔着所期望的掩膜来照射此光。对曝光光源没有限制，可以使用g线、h线、i线等紫外线、KrF(波长248nm)激光、ArF(波长193nm)激光等。

接下来，利用显影将涂布膜的未曝光部分溶解，可以得到负型的图案。作为显影方法，优选用喷淋、浸渍、旋覆浸没等方法在显影液中将涂布膜进行5秒～10分钟。作为显影液，可以使用已知的碱显影液。作为具体例子，可举出包含下述的1种或者2种以上的水溶液等：碱金属的氢氧化物、碳酸盐、磷酸盐、硅酸盐、硼酸盐等无机碱；2-二乙基氨基乙醇、单乙醇胺、二乙醇胺等胺类；四甲基氢氧化铵、胆碱等季铵盐。显影后，优选用水冲洗涂布膜。也可以接着在50～130℃的范围内将涂布膜干燥烘干。

之后，将该涂布膜用加热板、烘箱等加热装置在优选为140～300℃的范围内加热15分钟～90分钟左右，得到固化膜。加热温度更优选为200～250℃。

本发明的带导电层的基板具有导电层和绝缘层。本发明的带导电层的基板可以利用前述的方法由感光性树脂组合物形成绝缘层，然后形成导电层来制造，也可以通过在基板上形成导电层，然后利用前述的方法由感光性树脂组合物形成绝缘层来制造。需要说明的是，导电层可以使用包含后述的导电材料的溶液，利用与前述的绝缘层的制造方法同样的方法来制造。

本发明的带导电层的基板具有多个导电层，优选在该多个导电层间具有绝缘层。如上所述，对于形成于本发明的带导电层的基板的绝缘层而言，由于具有在高温高湿下的耐离子迁移性，因此特别优选用做多个导电层间的层间绝缘膜。

金属布线的材料、即导电层中所含的导电材料没有特别限制，例如可举出铜、银、金、铝、铬、钼、钛、ITO、IZO(氧化铟锌)、AZO(掺铝氧化锌)、ZnO₂等。其中，优选比电阻值最低的银。此外，为了形成比电阻值低的导电层，前述导电层优选含有60～95质量％的银。若比电阻值低，则可以制作高灵敏度的触摸面板。另一方面，银在高温高湿下特别容易发生离子迁移，在本发明中，通过使用上述绝缘层，能够防止导电层间的离子迁移。另外，为了能够形成更精细的布线图案，优选银的一次粒子径为10～200nm。另外，在导电层中，优选至少含有5～35质量％的具有碱溶性基团的有机成分。通过含有具有碱溶性基团的有机成分，可对布线图案赋予柔性，能够制作柔性触摸面板。作为碱溶性基团，没有特别限制，可以举出羧基、醇性羟基、酚性羟基、磺基、磷酸基、酸酐基等。特别是从反应性与通用性的观点考虑，优选羧基。作为具有碱溶性基团的有机成分，没有特别限制，例如可以举出具有上述碱溶性基团的丙烯酸系树脂、环氧树脂、聚酰亚胺树脂、酚醛树脂、Cardo系树脂、聚硅氧烷、聚酰亚胺、聚酰胺、聚苯并噁唑等。

本发明的带导电层的基板的透明基板，是指在表面上设置有SiO₂层的玻璃基板、无碱玻璃基板、以及选自由下述膜所组成的组中的基板：聚酰亚胺膜、选自由聚酰亚胺、聚酰亚胺硅氧烷、聚醚砜、聚苯并噁唑、芳族聚酰胺、聚砜和环氧树脂组成的组中的至少一种的树脂的膜。

通过使用在表面上设置有SiO₂层的玻璃基板作为透明基板，与前述绝缘层的密合性得到提高。

通过使用无碱玻璃基板作为透明基板，与前述绝缘层的密合性得到提高。

通过使用上述膜作为透明基板，与前述绝缘层的密合性得到提高。在膜的表面也可以设置SiO₂层。由于上述膜具有为了形成前述绝缘层所需要的耐热性，并且具有柔性，因此可以制作柔性触摸面板。其中，从进一步提高耐热性的观点考虑，优选使用包含选自由聚酰亚胺、聚酰亚胺硅氧烷、聚苯并噁唑和聚砜组成的组中的至少一种树脂的膜。

本发明的带导电层的基板可以用作触摸面板用部件。其中，触摸面板用部件至少具有前述带导电层的基板。

本发明的触摸面板为含有本发明的带导电层的基板与显示装置的触摸面板。根据需要，触摸面板也可以进一步具有偏光板、覆盖基材、光学粘合片等作为构成要素。

作为显示装置，可举出液晶、有机电致发光、Micro LED等。作为覆盖基材，可举出玻璃、膜。

作为触摸面板的构成顺序，可由下部开始以显示器表示装置、光学粘合片、带导电层的基板、光学粘合片、偏光板、光学粘合片、覆盖基材来构成，但不限定于这些。

实施例

以下，举出实施例来进一步具体说明本发明，但本发明并不限定于这些实施例。合成例和实施例中使用的化合物之中所使用的缩写如下所示。

AIBN：2,2’-偶氮二(异丁腈)

PGMEA：丙二醇单甲基醚乙酸酯

DAA：二丙酮醇

TMAH；四甲基氢氧化铵

首先，针对实施例和比较例中使用的材料进行说明。

[丙烯酸系聚合物(A)]

合成例1：丙烯酸系聚合物(a1-1)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-1)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,600。

合成例2：丙烯酸系聚合物(a1-2)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸39.9g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯3.5g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯37.5g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-2)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,000。

合成例3：丙烯酸系聚合物(a1-3)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸31.0g、甲基丙烯酸苄酯63.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯20.5g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时、在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-3)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为9,700。

合成例4：丙烯酸系聚合物(a1-4)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸41.3g、甲基丙烯酸苄酯28.2g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g、甲基丙烯酸甲酯8.0g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯34.2g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-4)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为9,800。

合成例5：丙烯酸系聚合物(a1-5)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸51.6g、甲基丙烯酸苄酯52.8g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯22.0g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯28.6g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-5)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,200。

合成例6：丙烯酸系聚合物(a1-6)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸31.0g、甲基丙烯酸苄酯63.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯15.4g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-6)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,200。

合成例7：丙烯酸系聚合物(a1-7)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸67.1g、甲基丙烯酸苄酯35.2g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯4.4g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯42.2g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时、在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-7)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为9,400。

合成例8：丙烯酸系聚合物(a1-8)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 0.5g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌2小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-8)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为3,000。

合成例9：丙烯酸系聚合物(a1-9)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 0.5g、PGMEA 100g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌4小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-9)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为5,100。

合成例10：丙烯酸系聚合物(a1-10)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 70g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌4小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-10)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为8,000。

合成例11：丙烯酸系聚合物(a1-11)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌6小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-11)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为11,800。

合成例12：丙烯酸系聚合物(a1-12)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1.5g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-12)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为14,500。

合成例13：丙烯酸系聚合物(a1-13)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 2.0g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯56.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-13)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为20,000。

合成例14：丙烯酸系聚合物(a1-14)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯42.3g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯35.2g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-14)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为9,700。

合成例15：丙烯酸系聚合物(a1-15)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、苯乙烯33.3g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-15)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,000。

合成例16：丙烯酸系聚合物(a1-16)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g、甲基丙烯酸甲酯32.0g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-16)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为11,500。

合成例17：丙烯酸系聚合物(a1-17)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸13.8g、甲基丙烯酸苄酯98.7g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯17.6g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯11.4g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1-17)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为9,400。

合成例18：Cardo系树脂(a1-18)

作为含有烯键式不饱和基团和羧基的Cardo系树脂的PGMEA溶液的、新日铁住金化学株式会社制“V-259ME(商品名)”是固态成分浓度为45.6wt％、利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为3,500的制品。称量100g“V-259ME”，添加14.0gPGMEA并搅拌。如此操作来得到固态成分浓度为40wt％的Cardo系树脂(a1-18)的溶液。

合成例19：丙烯酸系聚合物(a1’-1)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸34.4g、甲基丙烯酸苄酯70.5g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时。接下来，在所得的溶液中添加甲基丙烯酸缩水甘油酯17.1g、二甲基苯甲胺1g、对甲氧基苯酚0.2g、PGMEA 100g，于90℃加热搅拌4小时、在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1’-1)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,500。

合成例20：丙烯酸系聚合物(a1’-2)

在500ml的烧瓶中投入AIBN 1g、PGMEA 50g。之后，投入甲基丙烯酸甲酯50.1g、甲基丙烯酸苄酯70.5g、甲基丙烯酸三环[5.2.1.0(2,6)]癸烷-8-基酯22.0g。在室温下暂时搅拌，通过鼓泡对烧瓶内充分地进行氮置换后，于70℃加热搅拌5小时，在得到的丙烯酸系聚合物溶液中添加PGMEA，以使固态成分浓度达到40wt％，得到丙烯酸系聚合物(a1’-2)的溶液。利用GPC法测定出的以聚苯乙烯换算计的重均分子量Mw为10,000。

[光聚合引发剂(B)]

1,2-丙二酮-3-环戊烷-1-[4-(苯基硫基)-2-(O-苯甲酰基肟)](强力电子公司制“PBG-305(商品名)”，以下称为“PBG-305”。)

3-环戊基乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-，1-(O-乙酰基肟)(强力电子公司制“PBG-304(商品名)”，以下称为“PBG-304”。)。

[具有不饱和双键的化合物(C)]

树枝状聚合物型多官能丙烯酸酯(大阪有机化学工业株式会社制“SIRIUS-501(商品名)”，以下称为“SIRIUS-501”。)

二季戊四醇六丙烯酸酯(日本化药株式会社制““KAYARAD”(注册商标)DPHA(商品名)”，以下称为“DPHA”。)

三季戊四醇八丙烯酸酯(大阪有机化学工业株式会社制“VISCOAT#802(商品名)”，以下称为“VISCOAT#802”。)

芴二丙烯酸酯(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.制)“EA-0250P(商品名)”，以下称为“EA-0250P”。)

三丙烯酰基异氰脲酸酯(共荣社株式会社制“M-315(商品名)”，以下称为“M-315”。)

三烯丙基异氰脲酸酯(日本化成株式会社制“TAIC(商品名)”，以下称为“TAIC”。)。

[着色剂(D)]

酞青铜化合物“颜料蓝15:6”(大日精化工业株式会社制)

酞青铜化合物“颜料蓝15:1”(大日精化工业株式会社制)

磺基硅酸铝钠(Holiday公司制)。

[多官能环氧化合物]

9,9-双(4-缩水甘油基氧基苯基)芴(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.制“OGSOLPG-100(商品名)”，以下称为“PG-100”。)

1,3,5-三(4,5-环氧戊基)异氰脲酸(日产化学工业株式会社制““TEPIC”(注册商标)-VL(商品名)”，以下为“TEPIC-VL”)

3官能环氧化合物(Printec Co.制“TECHMORE VG3101L(商品名)”，以下称为“VG3101L”。)。

[受阻胺系光稳定剂]

甲基丙烯酸-2,2,6,6-四甲基-4-哌啶酯(株式会社ADEKA制“ADK STAB LA-87(商品名)”，以下称为“LA-87”。)。

[硅烷偶联剂]

3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(信越化学工业株式会社制“KBM-403(商品名)”，以下称为“KBM-403”。)

[阻聚剂]

叔丁基儿茶酚(东京化成工业株式会社制，以下称为“TBC”。)

[表面活性剂]

有机硅系表面活性剂(BYK Chemie Japan k.k.制“BYK-333(商品名)”，以下称为“BYK-333”。)

[溶剂]

PGMEA(kuraray trading Co.,Ltd.制“PGM-AC(商品名)”)

DAA(三菱化学株式会社制“DAA”)。

接下来，针对实施例和比较例中所使用的感光性银油墨材料进行说明。

[感光性银油墨材料]

使用下述的感光性银油墨材料，对与导电层的层叠加工性、和高温高湿时的耐迁移性进行评价。感光性银油墨材料的制造方法如下所述。

＜感光性银油墨材料的制作＞

首先，针对用碳单质和/或碳化合物进行表面被覆了的导电性微粒(NisshinEngineering Inc.制)80.00g、DISPERBYK21116(BYK Chemie Japan k.k.制)4.06g、PGMEA196.14g，用均化器以1200rpm实施30分钟的混合处理。此外，将其混合液用填充有氧化锆珠粒的磨型分散机进行分散，得到银粒子分散体。对该银微粒分散体63.28g混合丙烯酸系聚合物(a1-2)4.40g、0.41g的OXE-02、DPHA 1.30g，再添加PGMEA 7.31g、DAA 23.25g，通过搅拌来制作感光性银油墨(α)。

接下来，针对实施例和比较例中进行的固化膜/基板的制作和各评价方法进行说明。

＜感光性树脂组合物的图案加工和固化膜制作＞

使用旋涂机(Mikasa Co.,Ltd.制“1H-360S(商品名)”)以任意的转速将感光性树脂组合物旋涂至基板上而形成涂布膜。使用加热板(大日本丝网制造株式会社制“SCW-636(商品名)”)将形成有涂布膜的基板在100℃预烘2分钟，制作预烘膜。使用平行光掩模对准器(Canon株式会社制“PLA-501F(商品名)”)来以超高压汞灯作为光源，隔着所期望的掩膜对预烘膜进行曝光。然后，使用自动显影装置(泷泽产业株式会社制“AD-2000(商品名)”)，以0.07wt％TMAH水溶液进行60秒钟喷淋显影来除去预烘膜的未曝光部分，接下来，用水冲洗30秒钟，以进行图案加工。

根据需要，将经图案加工的基板使用烘箱(ESPEC株式会社制“IHPS-222(商品名)”)于230℃进行60分钟(空气中)后烘，以制作固化膜。

＜银油墨材料(α)的导电图案制作＞

使用旋涂机将银油墨材料(α)以规定的转速旋涂至基板上，然后使用加热板于100℃预烘2分钟，以制作预烘膜。使用平行光掩模对准器以超高压汞灯作为光源，隔着所期望的掩膜对预烘膜进行曝光。然后，使用自动显影装置，以0.07wt％TMAH水溶液进行60秒钟喷淋显影来除去预烘膜的未曝光部分，接下来，用水冲洗30秒钟，以进行图案加工。

将经图案加工的基板使用烘箱于230℃进行60分钟(空气中)后烘，以制作导电膜。

＜层叠基板的制作＞

使用感光性树脂组合物和银油墨材料(α)来制作图1和图2所示的层叠基板。基材1是将SiO₂溅射于表面而成的玻璃基板、无碱玻璃基板、或者聚酰亚胺膜。导电图案层2和4是使用银油墨材料(α)，利用上述方法而形成的导电图案层。绝缘层3和5是使用感光性树脂组合物，利用上述方法而形成的绝缘层。在基材1上形成有导电图案2，以保护该导电图案2的方式，在导电图案2的上表面形成绝缘层3。在该绝缘层3之上，以与前述导电图案2正交的方式形成导电图案层4，此外，以保护该导电图案4的方式，在导电图案4上形成绝缘层5。导电图案2和4分别为5根30μm×长4cm的导电图案，在两末端设置有测定电阻值用的端子。在绝缘层3和5形成时，以除去导电图案2和4的端子上部的绝缘层3和5的方式来图案化，以露出该端子。需要说明的是，导电图案层2和4、绝缘层3和5的各层分别使用烘箱来实施后烘。

(1)图案加工性评价

使用无碱玻璃基板(OA-10；日本电气硝子株式会社制)作为基材，通过在其上根据上述＜感光性树脂组合物的图案加工和固化膜制作＞形成感光性树脂组合物的图案，来进行感光性树脂组合物的图案加工性评价。需要说明的是，使感光性树脂组合物的涂布膜的膜厚在预烘后达到2.5μm。作为曝光时的掩膜，使用灵敏度测定用的灰阶掩膜。改变曝光量来进行测试，显影后，将以1:1的宽度形成30μm的线宽/间距(line-and-space)图案的曝光量(以下，将其称为“最佳曝光量”)设为灵敏度。另外，将最佳曝光量的显影后的最小图案尺寸设为分辨率。灵敏度和分辨率的值越小，表示图案加工性越良好。

(2)固化膜特性评价

在上述＜层叠基板的制作＞中，使用在表面上溅射有SiO₂的玻璃基板作为基材，并使用至形成了绝缘层3为止的层叠基板，来测定层叠基板的光透过率和无色透明性(b^*)。

使用紫外可见分光光度计(“MultiSpec-1500(商品名、株式会社岛津制作所制)”)，首先仅测定基材1，将得到的紫外可见吸收光谱作为参比。接下来，以单光束测定层叠基板的绝缘层3的实膜部分，求出在波长400nm时的绝缘层3的相对于2.0μm膜厚而言的光透过率，将与参比的差异作为绝缘层3的光透过率。

另外，使用分光光度计(CM-2600d；KONICA MINOLTA,INC.制)，进行仅有基材1的测定来作为空白(blank)，在此基础上，基于JIS-Z8729：1994、JIS-Z8781-4：2013，从层叠基板的玻璃基板侧测定各样品的全反射光的反射率，对中心及4角合计5点处的CIE(L^*，a^*，b^*)颜色空间中的颜色特性b^*进行测定，将其平均值作为色调，并根据以下基准进行评价。将2以上设为合格。

5：-1.5≤b^*≤0.5

4：-2.0≤b^*＜-1.5、或者0.5＜b^*≤1.0

3：-2.5≤b^*＜-2.0、或者1.0＜b^*≤1.5

2：-3.0≤b^*＜-2.5、或者1.5＜b^*≤2.0

1：b^*＜-3.0或者b^*＞2.0。

(3)可靠性评价

在上述＜层叠基板的制作＞中，使用在表面上溅射有SiO₂的玻璃基板来作为基材，评价在高温高湿下的耐迁移性。测定中使用绝缘劣化特性评价系统“ETAC SIR13”(楠本化成株式会社制)。在导电图案2和4的端子部分上分别安装电极，将样品放入设定成85℃、85％RH条件的高温高湿槽内。从槽内环境达稳定起经过5分钟后，对导电图案2和4的电极间施加电压，测定绝缘电阻的经时变化。需要说明的是，将导电图案2作为正极，将导电图案4作为负极，施加5V的电压，以5分钟间隔对电阻值测定1000小时。测定到的电阻值达到10的5次方Ω以下时，因绝缘不良而判断为短路而停止施加电压，将至此为止的试验时间作为短路时间。根据以下评价基准评价耐迁移性。将2以上设为合格。

5：短路时间为1000小时以上

4：短路时间为700小时以上且小于1000小时

3：短路时间为400小时以上且小于700小时

2：短路时间为200小时以上且小于400小时

1：短路时间小于200小时

另外，使用上述层叠基板，并基于以下方法评价耐光性。使用耐光性试验机(“Q-SUN Xenon Test Chamber Model Xe-1(商品名，Q-Lab Corporation制)”)，在45℃的环境下，连续照射48小时340nm处的照射量为0.60W/m²的光时，针对此时的b^*的变化量(以下设为Δb^*)根据以下基准评价。b^*的测定与上述“(2)固化膜特性评价”同样地进行。将2以上设为合格。

5：Δb^*≤1.0

4：1.0＜Δb^*≤2.0

3：2.0＜Δb^*≤3.0

2：3.0＜Δb^*≤5.0

1：5.0＜Δb^*

(实施例1)

在黄色灯下，将作为光聚合引发剂(B)的PBG-305：0.50g、作为受阻胺系光稳定剂的LA-87：0.50g、作为阻聚剂的TBC：0.04g溶解在作为溶剂的PGMEA：20.70g、DAA：37.50g中，添加作为表面活性剂的BYK-333：0.01g，并搅拌。向其中添加作为化合物(C-1)的SIRIUS-501：1.25g，作为其他具有不饱和双键的化合物(C)的EA-0250P：1.25g、M-315：2.90g、TAIC：4.40g，作为多官能环氧化合物的PG-100：2.70g和作为硅烷偶联剂的KBM-403：0.25g，作为丙烯酸系聚合物(A)的40wt％PGMEA溶液(a1-1)：28.00g，并搅拌。接下来，用0.20μm的过滤器进行过滤，得到感光性树脂组合物。针对得到的感光性树脂组合物，评价(1)图案加工性、(2)固化膜特性、(3)可靠性。将组成记载于表1，将评价结果记载于表4。

(实施例2～18、24～30、比较例1、2、参考例1)

以与实施例1同样的方法，得到表1～3中记载的组成的感光性树脂组合物，针对各个感光性树脂组合物进行与实施例1同样的评价。将评价结果示于表4～6。需要说明的是，在比较例2中，在“(1)图案加工性评价”中未能形成图案。

(实施例19)

在黄色灯下，将作为光聚合引发剂(B)PBG-305：0.50g、作为受阻胺系光稳定剂的LA-87：0.50g、作为阻聚剂的TBC：0.04g溶解在作为溶剂的PGMEA：20.70g、DAA：37.50g中，添加作为表面活性剂的BYK-333：0.01g，并搅拌。向其中添加作为化合物(C-1)的SIRIUS-501：1.25g，作为其他具有不饱和双键的化合物(C)的EA-0250P：1.25g、M-315：2.90g、TAIC：4.40g，作为多官能环氧化合物的PG-100：2.70g，和作为硅烷偶联剂的KBM-403：0.25g，作为丙烯酸系聚合物(A)的40wt％PGMEA溶液(a1-1)：28.00g、作为着色剂(D)的颜料蓝15:6：0.01g，并搅拌。接下来，用0.20μm的过滤器进行过滤，得到感光性树脂组合物。针对得到的感光性树脂组合物，评价(1)图案加工性、(2)固化膜特性、(3)可靠性。将组成记载于表2，将评价结果记载于表5。

(实施例20～23)

以与实施例19同样的方法，得到表2、3所述的组成的感光性树脂组合物，针对各个感光性树脂组合物进行与实施例19同样的评价。将评价结果示于表5、6。

[表1]

[表2]

[表3]

[表4]

[表5]

[表6]

产业上的可利用性

本发明的带导电层的基板的用途没有特别限定，优选用作例如触摸面板用部件、显示用部件、透明天线用部件等。

附图标记说明

1：基材

2：导电图案

3：绝缘层

4：导电图案

5：绝缘层