具体实施方式

如图2，本发明提出一种用于等离子刻蚀系统的真空腔室的顶针升降装置，包括升降驱动机构1、多个顶针2和一个顶针安装座3；所述多个顶针2安装在顶针安装座3上，所述升降驱动机构1用于驱动顶针安装座3及顶针2升降。

如图3，所述真空腔室4内设置有载物台6，等离子刻蚀系统中载物台6可以是下电极；所述载物台6上设置有多个顶针通过孔；所述多个顶针2升降时，一一对应穿过顶针通过孔。

如图1和图6，所述顶针安装座3包括底板301和多个限位块302。

如图4，所述底板301上开设有多个沉孔301c。每个沉孔301c底部开设有盲孔301a，所述盲孔301a与顶针通过孔一一对应。每个所述盲孔301a内嵌入安装有若干叠加放置的弹性圈301b；所述弹性圈301b的内径小于顶针2的直径，且若干弹性圈301b的下端面与盲孔301a底部相接，若干弹性圈301b叠加后的高度不低于盲孔301a高度。所述盲孔301a的底部还设置有定位孔；所述定位孔的直径略大于顶针2直径。

如图5，所述限位块302一一对应嵌入固定在沉孔301c内，且每个限位块302的下表面一一对应压接一个盲孔301a内的若干弹性圈301b的上端面；每个所述限位块302上设置有一个导向通孔302a。

所述顶针通过孔、盲孔301a、弹性圈301b和导向通孔302a同轴心线。

使用时，首先将弹性圈301b嵌入至盲孔301a内，然后顶针2穿过弹性圈301b，直至插入定位孔进行初步定位；接着将限位块302的导向通孔302a穿过顶针2，然后限位块302通过螺栓固定在沉孔301c内，压紧盲孔301a内的弹性圈301b。

由于所述弹性圈301b的内径小于顶针2的直径，弹性圈301b套在顶针2外周，弹性圈301b弹性变形直径变长，对顶针2产生径向力，从而两者之间产生轴向的摩擦力，顶针2难以相对弹性圈301b轴向位移。

所述弹性圈301b的外径不小于盲孔301a内径。弹性圈301b内插入顶针后，弹性圈301b被压紧在顶针2与盲孔301a之间，使弹性圈301b不会产生径向的位移以及轴向的位移。

本实施例中，若干弹性圈301b叠加后的高度略高于盲孔301a高度，若干弹性圈301b被压紧定位在限位块302与盲孔301a底部之间，防止产生轴向位移。并且限位块302施加到若干弹性圈301b的压力，使弹性圈301b弹性变形压扁，进一步增大了对弹性圈301b对顶针2的径向力，从而增大了弹性圈301b对顶针2的摩擦力，使弹性圈301b与顶针2的连接更加稳固。

所述导向通孔302a内径与顶针2直径的差，小于顶针通过孔内径与顶针2直径的差。因此所述导向通孔302a可对顶针2进行刚性的导向，使顶针2与顶针通过孔对中精确，且不会倾斜。

通过上述结构，顶针安装座3将顶针2固定并精确导向对中，大大降低了顶针2与顶针通过孔摩擦断裂的可能性，同时也防止了由于顶针上下区域压差的存在而引起的飞针情况。

为了防止若干弹性圈301b之间，以及弹性圈301b与盲孔301a之间的缝隙区域存有空气，不能及时排出，影响真空腔室4内的真空度，在盲孔301a的侧壁设置有轴向的排气槽301d；所述排气槽301d连通盲孔301a的上下端面，从而保证弹性圈301b在301a内部呈环状被压紧时，上述缝隙区域与真空腔室4内的气体环境连通，在抽气时可以连同缝隙区域一起抽空，不会储存空气。

另外，等离子刻蚀系统使用中，需要将顶针2从载物台6上方拔出，本发明中，通过顶针2与弹性圈301b的挤压产生摩擦力，实现顶针2固定，因此，只需控制顶针2与弹性圈301b之间适当的摩擦力，可通过外力直接将顶针2从载物台6上方拔出。拔出前，将用于固定限位块302的螺栓拧松，可减小弹性圈301b的变形，减小顶针2与弹性圈301b之间的摩擦力，能够更加轻松拔出顶针2。

本发明还包括传动机构5；所述传动机构5为真空焊接波纹管；所述真空焊接波纹管包括伸入真空腔室4的波纹管管体501和位于波纹管管体501内沿轴向的推拉杆502。

所述波纹管管体501位于真空腔室4外的一端设置有固定法兰501a，固定法兰501a的上端面设置有密封圈501b，将固定法兰501a与真空腔室4的外壁紧固连接，并通过密封圈501b实现密封。

波纹管管体501位于真空腔室4内的一端与所述底板301密封连接。

所述推拉杆502一端与所述底板301固定连接；所述推拉杆502的另一端与升降驱动机构1的主轴相连；所述升降驱动机构1驱动固定在推拉杆502上的底板301克服波纹管管体501的弹力升降。

为防止真空焊接波纹管与下电极组件连通导电至升降驱动机构1，损坏升降驱动机构1，所述推拉杆502的另一端与升降驱动机构1的主轴通过绝缘连接件502a相连，绝缘连接件502a可采用塑料或陶瓷等绝缘材料。