一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺
阅读说明：本技术 一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺 (Deoxidation device and deoxidation purification process for waste nitrogen in air separation device ) 是由 袁红玲 金启明 李红明 刘欣 龚普勤 陈新兴 王明飞 刘芳芝 陈中华 于 2021-09-29 设计创作，主要内容包括：本发明涉及一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺；包括与空气分离装置相连的污氮气压缩机,污氮气压缩机通过预脱氧单元以及氮气脱水分离单元与氮气储罐相连；污氮气压缩机和预脱氧单元之间设有第一三通,第一三通通过第一氢气补充管道与氢气供给装置相连；具有投资占地小,建设工期短,氮气产量大,产品纯度高,不仅能够有效提高氮气的利用率满足园区因发展带来的空分装置氮气产品紧缺的缺陷,且能够满足氧含量不大于3％的污氮气的净化处理,且适用于大规模推广应用的优点。(The invention relates to a deoxidation device and a deoxidation purification process for waste nitrogen in an air separation device; the device comprises a waste nitrogen compressor connected with an air separation device, wherein the waste nitrogen compressor is connected with a nitrogen storage tank through a pre-deoxidation unit and a nitrogen dehydration separation unit; a first tee joint is arranged between the waste nitrogen compressor and the pre-deoxidation unit and is connected with a hydrogen supply device through a first hydrogen supplement pipeline; the method has the advantages of small investment and land occupation, short construction period, large nitrogen yield and high product purity, can effectively improve the utilization rate of nitrogen, meet the defect of shortage of nitrogen products of the air separation device brought by development in a park, can meet the purification treatment of polluted nitrogen with oxygen content not greater than 3%, and is suitable for large-scale popularization and application.)
技术领域
本发明涉及污氮气净化技术领域，具体为一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺。
背景技术
空分装置被广泛用在传统的冶金、煤化工、石油化工、氮肥工业、专业气体公司等领域，空分装置的产品有氧气、氮气、氩气等，其中氮气产品常常被用作合成原料、吹扫氮气、置换氮气、保护氮气等，是一种典型的公用工程气体。一个园区成型的空分装置所产生的氮气产品往往是恒定的，而随着园区的发展，其他装置对氮气产品的需求会越来越多，导致空分装置氮气产品的不足。氮气产品的生产方法有多种，如：深冷空分装置、PSA制氮机、膜制氮等。其中空分装置在大型化方面具备优势，还可以获得氧气、氩气等，但是投资、工期、占地面积都比较大，不适合单独需要新增氮气产品的情况；PSA制氮机投资相对较省、占地面积小，但是规模较小，如单台套制氮机产氮气量往往小于3000Nm3/h；膜制氮应用较少，受制膜分离组件的质量，氮气纯度也不能保证。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种依托已有的空分装置，通过对污氮气的氢气配气以实现对污氮气中氧气的有效去除，具有投资占地小，建设工期短，氮气产量大，产品纯度高，可以有效解决园区发展带来的空分装置氮气产品紧缺的空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置，包括与空气分离装置相连的污氮气压缩机，所述污氮气压缩机通过预脱氧单元以及氮气脱水分离单元与氮气储罐相连；污氮气压缩机和预脱氧单元之间设有第一三通，第一三通通过第一氢气补充管道与氢气供给装置相连。
优选的，所述的预脱氧单元包括带近路阀门的近路管道以及与近路管道串联的燃烧除氧器。
优选的，所述的预脱氧单元还包括设置在第一三通和燃烧除氧器之间，且与近路管道并联的蒸汽加热器。
优选的，所述的预脱氧单元和氮气脱水分离单元之间设有带第十一阀门的连接管道，连接管道的两端分别设有第二三通和第三三通，第二三通的第三端和第三三通的第三端之间设有串并连式深度脱氧单元。
优选的，所述的串并连式深度脱氧单元包括与第二三通的第三端相连的预反应器冷却器，预反应器冷却器的出口端通过并联的第一燃烧除氧器和第二燃烧除氧器与第三三通的第三端相连。
优选的，所述的加热预脱氧单元和第二三通之间通过第二氢气补充管道与氢气供给装置相连。
优选的，所述的第一燃烧除氧器的出口端设有第四三通，第二燃烧除氧器的进口端设有第五三通，第四三通的第三端通过第一阀门、串联冷却器、第六三通和第二阀门与第五三通的第三端相连；第六三通的第三端通过第三氢气补充管道与氢气供给装置相连。
优选的，所述的预反应器冷却器的出口端和第一燃烧除氧器与第二燃烧除氧器之间分别对应设置有第三阀门和第四阀门；第一燃烧除氧器和第二燃烧除氧器与第三三通的第三端之间分别对应设置有第五阀门和第六阀门；所述的第一氢气补充管道、第二氢气补充管道和第三氢气补充管道上分别设有第七阀门、第八阀门和第九阀门。
优选的，所述氮气脱水分离单元包括反应器冷凝器，反应器冷凝器与水分离的进口相连，水分离器的气相出口通过干燥装置与氮气储罐相连；所述水分离器的液相出口通过第十阀门与水储罐相连。
一种利用空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
所述低氧含量污氮气净化方法中污氮气内的氧含量为：X,0.2≤X≤1％,中氧含量污氮气净化方法中污氮气内的氧含量为：Y,1＜Y≤2％，高氧含量污氮气净化方法中污氮气内的氧含量为：Z,2＜Z≤3％；
一、低氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为X，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机将常温常压的污氮气加压到3.0MPa后，温度上升，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器或近路管道进入燃烧除氧器；
步骤3：燃烧除氧器中反应消耗掉所有的氧气；通过燃烧除氧器的污氮气温度为310℃，氧含量≤10ppm；
步骤4：上述通过燃烧除氧器除氧后的氮气通过带第十一阀门21的连接管道进入反应器冷凝器中，温度降低至40℃；
步骤5：通过反应器冷凝器后的冷却后的物料进行水分离器分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤6：通过水分离器分离出的反应水通过第十阀门进入到水储罐；
上述步骤1中通过污氮气压缩机的污氮气上升至不低于100℃时，步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器；当通过污氮气压缩机的污氮气上升至低于100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器中；
所述步骤2中通过第七阀门的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11～12：500；
二、中氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为Y，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机将常温常压的污氮气加压到2.0MPa后温度上升，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器或近路管道进入燃烧除氧器；
步骤3：燃烧除氧器中消耗掉污氮气中四分之一的氧气，通过燃烧除氧器(3)的污氮气温度为200℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器反应后的污氮气，与来自第八阀门的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：降温后的污氮气分别通过第一燃烧除氧器和第二燃烧除氧器，在第一燃烧除氧器和第二燃烧除氧器中分别反应掉剩余的氧气，反应后的温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤6：通过第一燃烧除氧器和第二燃烧除氧器后的氮气进入反应器冷凝器中，温度降低至40℃；
步骤7：通过反应器冷凝器后的冷却后的物料进行水分离器分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤8：通过水分离器分离出的反应水通过第十阀门进入到水储罐；
上述步骤1中通过污氮气压缩机的污氮气上升至不低于100℃时，步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器；当通过污氮气压缩机的污氮气上升至低于100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器中；
所述步骤2中通过第七阀门的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11～12：1000；
所述步骤4中通过第八阀门的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：34～35：1000；
三、高氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为Z，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机将常温常压的污氮气加压到0.5MPa后，温度上升，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器或近路管道进入燃烧除氧器；
步骤3：燃烧除氧器中消耗掉污氮气中总氧气含量的六分之一，通过燃烧除氧器的污氮气温度为180℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器反应后的污氮气，与来自第二氢气补充管道且由第八阀门的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：步骤4中降温后的污氮气通过第三阀门进入第一燃烧除氧器中进行催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中总氧气含量的三分之一；通过第一燃烧除氧器后的污氮气温度为200℃；
步骤6：通过第一燃烧除氧器后的污氮气依次通过第一阀门和串联冷却器，与来自第三氢气补充管道中补入的氢气混合，混合后通过第二阀门与第五三通进入第二燃烧除氧器中，经过催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中所有的氧气，反应后的氮气温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤7：通过第二燃烧除氧器的氮气进入反应器冷凝器中，温度降低至40℃；
步骤8：通过反应器冷凝器后的冷却后的物料进行水分离器分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤9：通过水分离器分离出的反应水通过第十阀门进入到水储罐；
上述步骤1中通过污氮气压缩机的污氮气上升至不低于100℃时，步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器；当通过污氮气压缩机的污氮气上升至低于100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器中；
所述步骤2中通过第七阀门的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：5～6：500；
所述步骤4中通过第八阀门的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11～12：500；
所述步骤6中通过第三氢气补充管道补入的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：33～35：1000。
按照上述方案制成的一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺，通过设置氢气补充管道与污氮气混合能够实现燃烧除氧器中除去污氮气中的氧气，带达到净化污氮气的目的；进一步地，通过设置串并连式深度脱氧单元，并与基础的预脱氧单元相配合，能够在实际过程中根据污氮气中氧含量的不同而及时调整工艺线路，以达到满足不同氧含量污氮气的目的，并有效的保证了产品气中氮气的纯度，具有投资占地小，建设工期短，氮气产量大，产品纯度高，不仅能够有效提高氮气的利用率满足园区因发展带来的空分装置氮气产品紧缺的缺陷，且能够满足氧含量不大于3％的污氮气的净化处理，且适用于大规模的推广应用。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参看图1：本发明为一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置及脱氧净化工艺，其装置包括与空气分离装置相连的污氮气压缩机1，所述污氮气压缩机1通过预脱氧单元以及氮气脱水分离单元与氮气储罐22相连；污氮气压缩机1和预脱氧单元之间设有第一三通28，第一三通28通过第一氢气补充管道24与氢气供给装置23相连。本发明中对污氮气进行压缩，压缩后配氢，并通过预脱氧单元对污氮气中的氧进行消耗脱出，以达到净化污氮气的目的；后续对脱氧后的氮气进行脱水分离后回收氮气即可。本发明中所述的氢气供给装置23可以为氢气储罐、氢气制取装置、氢气管网等等。
进一步地，所述的预脱氧单元包括带近路阀门34的近路管道以及与近路管道串联的燃烧除氧器3。所述的预脱氧单元还包括设置在第一三通28和燃烧除氧器3之间，且与近路管道并联的蒸汽加热器2。本发明中所述的蒸汽加热器2和近路管道之间的连接关系为并联，即在补充氢气后可以采用加热污氮气的方式或不加热污氮气的方式，是否加热污氮气的关键在于污氮气进入燃烧除氧器3时的温度是否能够达到100℃，当进入燃烧除氧器3的温度达到100℃时，污氮气可直接由近路管道进入燃烧除氧器3中，当进入燃烧除氧器3的温度低于100℃时，污氮气通过蒸汽加热器2加热后进入燃烧除氧器3内。
进一步地，所述的预脱氧单元和氮气脱水分离单元之间设有带第十一阀门21的连接管道，连接管道的两端分别设有第二三通29和第三三通30，第二三通29的第三端和第三三通30的第三端之间设有串并连式深度脱氧单元。本发明能够适应氧含量不大于3％的污氮气的净化处理，当污氮气中氧含量不大于1％时，可使通过燃烧除氧器3的氮气直接进入氮气脱水分离单元中；当污氮气中氧含大于1％，且不大于3％时，污氮气再通过燃烧除氧器3后需要通过串并连式深度脱氧单元进行深度配氢除氧。
进一步地，所述的串并连式深度脱氧单元包括与第二三通29的第三端相连的预反应器冷却器4，预反应器冷却器4的出口端通过并联的第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端相连。
进一步地，所述的加热预脱氧单元和第二三通29之间通过第二氢气补充管道25与氢气供给装置23相连。当污氮气中氧含大于1％，且不大于2％时，污氮气在通过燃烧除氧器3后，需要通过预反应器冷却器4并分别经过并联的第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6，以达到对污氮气进行深度除氧，并且提高污氮气处理量的目的；上述污氮气进入第一燃烧除氧器5或第二燃烧除氧器6时，通过第二氢气补充管道25进行配氢。
进一步地，所述的第一燃烧除氧器5的出口端设有第四三通31，第二燃烧除氧器6的进口端设有第五三通32，第四三通31的第三端通过第一阀门14、串联冷却器16、第六三通33和第二阀门15与第五三通32的第三端相连；第六三通33的第三端通过第三氢气补充管道26与氢气供给装置23相连。当污氮气中氧含大于3％，且不大于3％时，污氮气在通过燃烧除氧器3后，需要通过预反应器冷却器4后依次经过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6，以达到对污氮气更深度除氧的目的；上述污氮气进入第一燃烧除氧器5前由第二氢气补充管道25进行配氢，进入第二燃烧除氧器6前由第三氢气补充管道26进行配氢。所述的预反应器冷却器4的出口端和第一燃烧除氧器5与第二燃烧除氧器5之间分别对应设置有第三阀门10和第四阀门11；第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端之间分别对应设置有第五阀门12和第六阀门13。所述的第一氢气补充管道24、第二氢气补充管道25和第三氢气补充管道26上分别设有第七阀门17、第八阀门18和第九阀门19。上述设置能够实现便于控制以及便于配氢的目的。
进一步地，所述氮气脱水分离单元包括反应器冷凝器7，反应器冷凝器7与水分离器8的进口相连，水分离器8的气相出口通过干燥装置9氮气储罐22相连；所述水分离器8的液相出口通过第十阀门20与水储罐27相连。本发明通过反应器冷凝器7实现对其进行降温，并由水分离器8对水气进行分离，分离后通过干燥装置9去除氮气中携带的水分。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
所述低氧含量污氮气净化方法中污氮气内的氧含量为：X,0.2≤X≤1％,中氧含量污氮气净化方法中污氮气内的氧含量为：Y,1＜Y≤2％，高氧含量污氮气净化方法中污氮气内的氧含量为：Z,2＜Z≤3％；
一、低氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为X，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到3.0MPa后，温度上升，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中反应消耗掉所有的氧气；通过燃烧除氧器3的污氮气温度为310℃，氧含量≤10ppm；
步骤4：上述通过燃烧除氧器3除氧后的氮气通过带第十一阀门21的连接管道进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤5：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤6：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
上述步骤1中通过污氮气压缩机1的污氮气上升至不低于100℃时，步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；当通过污氮气压缩机1的污氮气上升至低于100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11～12：500；
二、中氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为Y，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到2.0MPa后温度上升，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中四分之一的氧气，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为200℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：降温后的污氮气分别通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6，在第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6中分别反应掉剩余的氧气，反应后的温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6后的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤7：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤8：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
上述步骤1中通过污氮气压缩机1的污氮气上升至不低于100℃时，步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；当通过污氮气压缩机1的污氮气上升至低于100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11～12：1000；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：34～35：1000；
三、高氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为Z，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到0.5MPa后，温度上升，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中总氧气含量的六分之一，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为180℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第二氢气补充管道25且由第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：步骤4中降温后的污氮气通过第三阀门10进入第一燃烧除氧器5中进行催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中总氧气含量的三分之一；通过第一燃烧除氧器5后的污氮气温度为200℃；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5后的污氮气依次通过第一阀门14和串联冷却器16，与来自第三氢气补充管道26中补入的氢气混合，混合后通过第二阀门15与第五三通32进入第二燃烧除氧器6中，经过催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中所有的氧气，反应后的氮气温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤7：通过第二燃烧除氧器6的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤8：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤9：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
上述步骤1中通过污氮气压缩机1的污氮气上升至不低于100℃时，步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；当通过污氮气压缩机1的污氮气上升至低于100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：5～6：500；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11～12：500；
所述步骤6中通过第三氢气补充管道26补入的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：33～35：1000。
为了更加详细的解释本发明，现结合实施例对本发明做进一步阐述。具体实施例如下：
实施例1
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置，包括与空气分离装置相连的污氮气压缩机1，所述污氮气压缩机1通过预脱氧单元以及氮气脱水分离单元与氮气储罐22相连；污氮气压缩机1和预脱氧单元之间设有第一三通28，第一三通28通过第一氢气补充管道24与氢气供给装置23相连。所述的预脱氧单元包括带近路阀门34的近路管道以及与近路管道串联的燃烧除氧器3。所述的预脱氧单元还包括设置在第一三通28和燃烧除氧器3之间，且与近路管道并联的蒸汽加热器2。所述的预脱氧单元和氮气脱水分离单元之间设有带第十一阀门21的连接管道，连接管道的两端分别设有第二三通29和第三三通30，第二三通29的第三端和第三三通30的第三端之间设有串并连式深度脱氧单元。所述的串并连式深度脱氧单元包括与第二三通29的第三端相连的预反应器冷却器4，预反应器冷却器4的出口端通过并联的第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端相连。所述的加热预脱氧单元和第二三通29之间通过第二氢气补充管道25与氢气供给装置23相连。所述的第一燃烧除氧器5的出口端设有第四三通31，第二燃烧除氧器6的进口端设有第五三通32，第四三通31的第三端通过第一阀门14、串联冷却器16、第六三通33和第二阀门15与第五三通32的第三端相连；第六三通33的第三端通过第三氢气补充管道26与氢气供给装置23相连。所述的预反应器冷却器4的出口端和第一燃烧除氧器5与第二燃烧除氧器5之间分别对应设置有第三阀门10和第四阀门11；第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端之间分别对应设置有第五阀门12和第六阀门13。所述的第一氢气补充管道24、第二氢气补充管道25和第三氢气补充管道26上分别设有第七阀门17、第八阀门18和第九阀门19。所述氮气脱水分离单元包括反应器冷凝器7，反应器冷凝器7与水分离器8的进口相连，水分离器8的气相出口通过干燥装置9氮气储罐22相连；所述水分离器8的液相出口通过第十阀门20与水储罐27相连。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，其特征在于：该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，低氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为0.2％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到3.0MPa后，温度上升至120℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中反应消耗掉所有的氧气；通过燃烧除氧器3的污氮气温度为310℃，氧含量≤10ppm；
步骤4：上述通过燃烧除氧器3除氧后的氮气通过带第十一阀门21的连接管道进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤5：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤6：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
所述步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11：500。
实施例2
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置，包括与空气分离装置相连的污氮气压缩机1，所述污氮气压缩机1通过预脱氧单元以及氮气脱水分离单元与氮气储罐22相连；污氮气压缩机1和预脱氧单元之间设有第一三通28，第一三通28通过第一氢气补充管道24与氢气供给装置23相连。所述的预脱氧单元包括带近路阀门34的近路管道以及与近路管道串联的燃烧除氧器3。所述的预脱氧单元还包括设置在第一三通28和燃烧除氧器3之间，且与近路管道并联的蒸汽加热器2。所述的预脱氧单元和氮气脱水分离单元之间设有带第十一阀门21的连接管道，连接管道的两端分别设有第二三通29和第三三通30，第二三通29的第三端和第三三通30的第三端之间设有串并连式深度脱氧单元。所述的串并连式深度脱氧单元包括与第二三通29的第三端相连的预反应器冷却器4，预反应器冷却器4的出口端通过并联的第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端相连。所述的加热预脱氧单元和第二三通29之间通过第二氢气补充管道25与氢气供给装置23相连。所述的第一燃烧除氧器5的出口端设有第四三通31，第二燃烧除氧器6的进口端设有第五三通32，第四三通31的第三端通过第一阀门14、串联冷却器16、第六三通33和第二阀门15与第五三通32的第三端相连；第六三通33的第三端通过第三氢气补充管道26与氢气供给装置23相连。所述的预反应器冷却器4的出口端和第一燃烧除氧器5与第二燃烧除氧器5之间分别对应设置有第三阀门10和第四阀门11；第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端之间分别对应设置有第五阀门12和第六阀门13。所述的第一氢气补充管道24、第二氢气补充管道25和第三氢气补充管道26上分别设有第七阀门17、第八阀门18和第九阀门19。所述氮气脱水分离单元包括反应器冷凝器7，反应器冷凝器7与水分离器8的进口相连，水分离器8的气相出口通过干燥装置9氮气储罐22相连；所述水分离器8的液相出口通过第十阀门20与水储罐27相连。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，其特征在于：该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，低氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为1％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到3.0MPa后，温度上升至150℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中反应消耗掉所有的氧气；通过燃烧除氧器3的污氮气温度为310℃，氧含量≤10ppm；
步骤4：上述通过燃烧除氧器3除氧后的氮气通过带第十一阀门21的连接管道进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤5：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤6：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
所述步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：12：500。
实施例3
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置，包括与空气分离装置相连的污氮气压缩机1，所述污氮气压缩机1通过预脱氧单元以及氮气脱水分离单元与氮气储罐22相连；污氮气压缩机1和预脱氧单元之间设有第一三通28，第一三通28通过第一氢气补充管道24与氢气供给装置23相连。所述的预脱氧单元包括带近路阀门34的近路管道以及与近路管道串联的燃烧除氧器3。所述的预脱氧单元还包括设置在第一三通28和燃烧除氧器3之间，且与近路管道并联的蒸汽加热器2。所述的预脱氧单元和氮气脱水分离单元之间设有带第十一阀门21的连接管道，连接管道的两端分别设有第二三通29和第三三通30，第二三通29的第三端和第三三通30的第三端之间设有串并连式深度脱氧单元。所述的串并连式深度脱氧单元包括与第二三通29的第三端相连的预反应器冷却器4，预反应器冷却器4的出口端通过并联的第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端相连。所述的加热预脱氧单元和第二三通29之间通过第二氢气补充管道25与氢气供给装置23相连。所述的第一燃烧除氧器5的出口端设有第四三通31，第二燃烧除氧器6的进口端设有第五三通32，第四三通31的第三端通过第一阀门14、串联冷却器16、第六三通33和第二阀门15与第五三通32的第三端相连；第六三通33的第三端通过第三氢气补充管道26与氢气供给装置23相连。所述的预反应器冷却器4的出口端和第一燃烧除氧器5与第二燃烧除氧器5之间分别对应设置有第三阀门10和第四阀门11；第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6与第三三通30的第三端之间分别对应设置有第五阀门12和第六阀门13。所述的第一氢气补充管道24、第二氢气补充管道25和第三氢气补充管道26上分别设有第七阀门17、第八阀门18和第九阀门19。所述氮气脱水分离单元包括反应器冷凝器7，反应器冷凝器7与水分离器8的进口相连，水分离器8的气相出口通过干燥装置9氮气储罐22相连；所述水分离器8的液相出口通过第十阀门20与水储罐27相连。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，其特征在于：该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，低氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为0.6％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到3.0MPa后，温度上升至95℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中反应消耗掉所有的氧气；通过燃烧除氧器3的污氮气温度为310℃，氧含量≤10ppm；
步骤4：上述通过燃烧除氧器3除氧后的氮气通过带第十一阀门21的连接管道进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤5：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤6：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
当通过污氮气压缩机1的污氮气上升至100℃时，步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至不低于100℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11.5：500。
实施例4
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的结构与上述实施例1相同。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，其特征在于：该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
中氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为1.1％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到2.0MPa后温度上升至120℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中四分之一的氧气，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为200℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：降温后的污氮气分别通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6，在第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6中分别反应掉剩余的氧气，反应后的温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6后的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤7：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤8：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11：1000；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：35：1000。
实施例5
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的结构与上述实施例1相同。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
中氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为2％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到2.0MPa后温度上升至102℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中四分之一的氧气，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为200℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：降温后的污氮气分别通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6，在第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6中分别反应掉剩余的氧气，反应后的温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6后的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤7：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤8：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：12：1000；所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：34：1000。
实施例6
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的结构与上述实施例1相同。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，其特征在于：该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
中氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为1.6％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到2.0MPa后温度上升至85℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中四分之一的氧气，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为200℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：降温后的污氮气分别通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6，在第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6中分别反应掉剩余的氧气，反应后的温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5和第二燃烧除氧器6后的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤7：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤8：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至105℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11.5：1000；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：34.5：1000。
实施例7
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的结构与上述实施例1相同。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
高氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为2.1％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到0.5MPa后，温度上升100℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中总氧气含量的六分之一，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为180℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第二氢气补充管道25且由第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：步骤4中降温后的污氮气通过第三阀门10进入第一燃烧除氧器5中进行催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中总氧气含量的三分之一；通过第一燃烧除氧器5后的污氮气温度为200℃；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5后的污氮气依次通过第一阀门14和串联冷却器16，与来自第三氢气补充管道26中补入的氢气混合，混合后通过第二阀门15与第五三通32进入第二燃烧除氧器6中，经过催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中所有的氧气，反应后的氮气温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤7：通过第二燃烧除氧器6的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤8：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤9：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
步骤2混合后的气体通过近路管道进入燃烧除氧器3；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：1：100；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11：500；
所述步骤6中通过第三氢气补充管道26补入的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：33：1000。
实施例8
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的结构与上述实施例1相同。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
高氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为3％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到0.5MPa后，温度上升93℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中总氧气含量的六分之一，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为180℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第二氢气补充管道25且由第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：步骤4中降温后的污氮气通过第三阀门10进入第一燃烧除氧器5中进行催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中总氧气含量的三分之一；通过第一燃烧除氧器5后的污氮气温度为200℃；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5后的污氮气依次通过第一阀门14和串联冷却器16，与来自第三氢气补充管道26中补入的氢气混合，混合后通过第二阀门15与第五三通32进入第二燃烧除氧器6中，经过催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中所有的氧气，反应后的氮气温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤7：通过第二燃烧除氧器6的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤8：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤9：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至108℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：6：500；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：12：500；
所述步骤6中通过第三氢气补充管道26补入的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：35：1000。
实施例9
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的结构与上述实施例1相同。
一种空气分离装置中的污氮气用脱氧装置的脱氧净化工艺，该脱氧净化工艺是依据空气分离装置中污氮气的氧含量进行不同路径的脱氧净化方法，包括低氧含量污氮气净化方法、中氧含量污氮气净化方法以及高氧含量污氮气净化方法；
高氧含量污氮气净化方法包括如下步骤：
步骤1：来自空气分离装置中的污氮气，氧含量为2.5％，压力5KPa，温度常温，污氮气通过污氮气压缩机1将常温常压的污氮气加压到0.5MPa后，温度上升至83℃，与来自界外的氢气混合；
步骤2：氢气流量由第七阀门17控制恒定的流量，混合后的气体通过蒸汽加热器2或近路管道进入燃烧除氧器3；
步骤3：燃烧除氧器3中消耗掉污氮气中总氧气含量的六分之一，通过燃烧除氧器3的污氮气温度为180℃；
步骤4：所述的经过燃烧除氧器3反应后的污氮气，与来自第二氢气补充管道25且由第八阀门18的氢气进行混合，并进入预反应器冷却器4，冷却后的污氮气温度降低到40℃；
步骤5：步骤4中降温后的污氮气通过第三阀门10进入第一燃烧除氧器5中进行催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中总氧气含量的三分之一；通过第一燃烧除氧器5后的污氮气温度为200℃；
步骤6：通过第一燃烧除氧器5后的污氮气依次通过第一阀门14和串联冷却器16，与来自第三氢气补充管道26中补入的氢气混合，混合后通过第二阀门15与第五三通32进入第二燃烧除氧器6中，经过催化燃烧除氧，消耗掉污氮气中所有的氧气，反应后的氮气温度为280℃，氧含量≤10ppm；
步骤7：通过第二燃烧除氧器6的氮气进入反应器冷凝器7中，温度降低至40℃；
步骤8：通过反应器冷凝器7后的冷却后的物料进行水分离器8分离出反应水，分离后的气体进入干燥装置9中将其他中的饱和水干燥脱除，产出合格的氮气；
步骤9：通过水分离器8分离出的反应水通过第十阀门20进入到水储罐27；
步骤2混合后的气体通过过蒸汽加热器2加热至100℃后进入燃烧除氧器3中；
所述步骤2中通过第七阀门17的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：5.5：500；
所述步骤4中通过第八阀门18的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：11.5：500；
所述步骤6中通过第三氢气补充管道26补入的氢气流量与步骤1中自空气分离装置中的污氮气流量比为：34：1000。
需要注意的是，上述实施例中第七阀门17、第八阀门18和第九阀门19用于控制相应的第一氢气补充管道24、第二氢气补充管道25和第三氢气补充管道26进入系统的氢气流量，而氢气流程可以根据污氮气中氧的含量，以及每个燃烧除氧器所处的位置进行调节的，其主要目的是保证每个燃烧除氧器达到需要的脱除氧含量的反应效果。本发明通过依托现有的空分装置为基础，在氮气产品增量的污氮脱氧工艺路线，与现有的增加氮气产品的技术相比，具有投资较省、工艺简单、产品产量大、产品纯度高等优势，可以有效解决现有化工园区发展对氮气产品的增量需求。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
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