具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。

实施例1

请参阅图1，为本申请实施例1提供的CMM探针系统的标定方法的步骤流程图，包括下述步骤：

步骤S110：提供一探针，所述探针安装在探针工作平台上，所述探针包括柔性片体；

步骤S120：在所述探针工作平台上安装激光传感器，所述激光传感器出射的激光光束照准在所述探针的顶点处。

在其中一些实施例中，所述激光传感器为三个，且以相互垂直分别安装于所述探针工作平台上。

在其中一些实施例中，所述探针工作平台上还安装平面反射镜，所述平面反射镜可将所述激光传感器出射的激光光束照准在所述探针的顶点处。

步骤S130：在所述探针工作平台安装标准靶球，并通过调整位于所述标准靶球正下方的三自由度运动平台，拟合出所述标准靶球位置。

步骤S140：调整所述探针与所述标准靶球在不同方向触碰，使得所述激光传感器感知所述柔性片体的位移，以建立坐标变化方程组。

在其中一些实施例中，所述激光传感器感知所述柔性片体的120度分布方向1微米处的位移。

步骤S150：通过最小二乘法拟合的方式，求解坐标变化方程中的坐标变换矩阵，进而得到所述探针在探测被测物体时的变形量。

可以理解，利用新标定的坐标变换矩阵，重复上述步骤S130-S150，以提高坐标变换矩阵的精度。

本申请提供的CMM探针系统的标定方法，不必考虑探针绝对位置以及方向，只需根据相对位置及方向确定被测物体的表面特征及几何特征，简化了标定复杂程度，可以有效的利用标准球测定探针的6个自由度位移变化，从而实现对测量坐标点测量，完成探针的快速标定工作。

此外，本申请将探针标定测量，转化为笛卡尔坐标系的坐标变化量，补偿至干涉仪中，因而探针在触碰中可以存在一定范围的波动，其结果不影响整体的精确度。

实施例2

请参阅图2，为本申请实施例2提供的CMM探针系统的标定装置的原理示意图，包括：探针工作平台、安装于所述探针工作平台上的探针，所述探针包括柔性片体、安装于所述探针工作平台上的激光传感器，所述激光传感器出射的激光光束照准在所述探针的顶点处、安装于所述探针工作平台上的标准靶球，通过调整三自由度运动平台，可拟合出所述标准靶球位置。

通过调整所述探针与所述标准靶球在不同方向触碰，使得所述激光传感器感知所述柔性片体的位移，以建立坐标变化方程组，通过最小二乘法拟合的方式，求解坐标变化方程中的坐标变换矩阵，进而得到所述探针在探测被测物体时的变形量。

在其中一些实施例中，所述激光传感器为三个，且以相互垂直分别安装于所述探针工作平台上。

图中A、B、C三部分代表着柔性片体部分，它们以120度方向分布，三个所述激光传感器感知柔性片体的位移。在主要步骤三的四个方向的碰撞，主要是值A、B、C、Z方向，位移向量分别为(1,0,0)、(0,0,-1)。

本申请提供的CMM探针系统的标定装置，不必考虑探针绝对位置以及方向，只需根据相对位置及方向确定被测物体的表面特征及几何特征，简化了标定复杂程度，可以有效的利用标准球测定探针的6个自由度位移变化，从而实现对测量坐标点测量，完成探针的快速标定工作。

此外，本申请将探针标定测量，转化为笛卡尔坐标系的坐标变化量，补偿至干涉仪中，因而探针在触碰中可以存在一定范围的波动，其结果不影响整体的精确度。

以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。