具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施例作详细说明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述实施例。

需要说明的是，本发明实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……）仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

同时还需要说明的是，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

实施方式一

如图1-3所示，本实施方式所述的适于质谱仪的抽真空系统，包括第一抽气单元和第二抽气单元，第一抽气单元包括连通设置的分子泵1.1和机械泵1.2（工作压力在10^-2 Pa以内），分子泵1.1的抽气口与质谱仪的真空腔室2.1相连通；在检测（即使用质谱仪检测样本）前，用机械泵1.2对分子泵1.1预抽，然后再启动分子泵1.1，利用分子泵1.1对真空腔室2.1抽取负压（机械泵1.2持续工作），使真空腔室2.1的负压维持样品所需高真空度（约为10^-6 mbar）；

第二抽气单元包括真空气路、进气阀3和预抽阀4，真空气路的一端与质谱仪的过渡腔室2.2（由密封盖M和真空腔室内的样品靶槽F围成）连通，真空气路的另一端分为两路，第一路通过进气阀3与外界大气连通而其第二路通过预抽阀4与真空腔室2.1连通；

其中，在取放样品时，真空腔室2.1的样品靶槽F移动至真空腔室2.1的取放口下方后向上抬升并抵在取放口的底边缘，样品靶槽F与取放口处的密封盖M围成过渡腔室2.2，此时进气阀3向过渡腔室2.2内补充空气，当过渡腔室2.2内的压力与外界压力一致时，将取放口处的密封盖M打开，将样品置于样品靶槽F的限位槽内；

然后盖上密封盖M，关闭进气阀3打开预抽阀4（为避免过渡腔室和真空前时连通而使真空度瞬间过渡，进而导致分子泵受冲击而停止工作，预抽阀4的开启方式可采用高频次开闭或小流量开启），使过渡腔室2.2和真空腔室2.1处于间歇连通状态，分子泵1.1可通过真空腔室2.1直接对过渡腔室2.2抽取负压。与传统利用机械泵1.2抽取过渡腔室2.2的负压相比，本发明大大缩短了过渡腔室2.2的预抽时间（可控制在3s以内），进一步缩短了每个样品的进样等待时间，提高了检测效率，有效满足高通量样本的需求。

如图2-3所示，本实施方式的抽真空系统还包括用于真空检测元器件（优选真空规5，真空规5的信号输出端与质谱仪的控制系统连接），真空规5设置位于预抽阀4和过渡腔室2.2之间的真空气路上，可检测过渡腔室2.2的真空度，真空规5可将检测到的真空度传输至控制系统，当真空规5检测到过渡腔室2.2内的真空度在预抽过程中始终无法达到预设真空度时，控制系统报错提示，以确保每个样品的正常进样，进而实现了样品的精确检测。

如图2所示，本实施方式的抽真空系统还包括设置在真空腔室2.1外侧的阀体歧块6，可将进气阀3、预抽阀4（进气阀3和预抽阀4优选两位两通电磁阀）和真空规5集成安装在阀体歧块6上，使得整个结构不外设管路即可实现过渡腔室2.2的通气和快速预抽，使质谱仪整机结构更加简洁。具体地：

如图7所示，阀体歧块6后侧面的上部具有一向后凸出的安装台面，阀体歧块6的上部沿前后方向水平设置有一对安装孔6.1，穿设在每个安装孔6.1内的螺栓将阀体歧块6固定在真空腔室2.1的盖板2.3上（并保证安装台面密封贴设在盖板2.3上），减少阀体歧块6与真空腔室2.1的接触面积；

盖板2.3上间隔开设有与过渡腔室2.2连通的第一通孔，以及与真空腔室2.1连通的第二通孔，第一通孔与后述的第一连接通道6.4连通，第二通孔与后述的第二连接通道6.5连通，实现了阀体歧块6与真空腔室2.1、过渡腔室2.2的连通；

如图3-5所示，真空气路包括竖向开设在阀体歧块6上的第一连接孔6.2、第二连接孔6.3，以及水平设置在阀体歧块6上的第一连接通道6.4和第二连接通道6.5，第一连接孔6.2和第二连接孔6.3为自阀体歧块6顶面竖直向下开设的工艺孔，第一连接孔6.2和第二连接孔6.3的上部密封插装有封堵件（即封堵头），防止第一连接孔6.2和第二连接孔6.3漏气；第一连接通道6.4通过第一通孔与过渡腔室2.2连通而其另一端与第一连接孔6.2连通，实现了第一连接孔6.2和过渡腔室2.2的连通；第二连接通道6.5的一端通过第二通孔与真空腔室2.1连通而其另一端与第二连接孔6.3连通，实现了第二连接孔6.3与真空腔室2.1的连通；

如图7-9所示，进气阀3通过螺丝固定安装在阀体歧块6的左侧面上；真空气路还包括自阀体歧块6的左侧面水平向右开设的第一通道6.6（为盲孔）和第二通道6.7（第二通道6.7为通孔），第一通道6.6的右端与第一连接孔6.2连通而其左端和进气阀3的第一接口连通，第二通道6.7的左端和进气阀3的第二接口连通而右端插装有与外界大气连通的消音器H（自带滤网），外界空气先后经第二通道6.7→进气阀3→第一通道6.6→第一连接孔6.2→第一连接通道6.4→第一通孔进入过渡腔室2.2，实现过渡腔室2.2的送气，以便于打开密封盖M放置样品；消音器H能够减少因进气速度过快而引起的啸声；

如图6和图8-9所示，预抽阀4通过螺丝固定安装在阀体歧块6的右侧面上；真空气路还包括自阀体歧块6的右侧面水平向左开设的第三通道6.8和第四通道6.9（第三通道6.8和第四通道6.9均为盲孔），第三通道6.8的左端和第一连接孔6.2连通而右端和预抽阀4的第一接口连通，第四通道6.9的右端与预抽阀4的第二接口连通而其左端和第二连接孔6.3连通。具体连通路径为：过渡腔室2.2→第一通孔→第一连接通道6.4→第一连接孔6.2→第三通道6.8→预抽阀4→第四通道6.9→第二连接孔6.3→第二通孔→真空腔室2.1，实现了预抽阀4和真空腔室2.1、过渡腔室2.2的连通。

在实际安装时，预抽阀4和进气阀3均采用两位两通电磁阀，利用质谱仪的控制系统控制预抽阀4和进气阀3的自动开启和关闭，实现过渡腔室2.2的自动预抽和进气，进而满足样品的取放需求；同时预抽阀4的开启方式可小流量开启方式或多频次开合方式，不仅能够控制过渡腔室2.2的预抽时间，还能防止因真空腔室真空度骤减而导致分子泵停机，提高了运行稳定性。

如图8和图10所示，真空气路还自阀体歧块6的底面竖直向上开设的真空检测通道6.10，真空检测通道6.10的上端与第一连接孔6.2连通而其下端具有一沉孔6.11，真空检测元器件的检测部插装在沉孔6.11内，用于检测第一连接孔6.2的真空度，由于过渡腔室2.2通过第一通孔、第一连接通道6.4与第一连接孔6.2连通，第一连接孔6.2的真空度与过渡腔室2.2内的真空度相同，通过监控第一连接孔6.2的真空度即可实现过渡腔室2.2内真空度的监控。

本实施方式所述的真空系统的工作过程如下：

在检测前，首先启动质谱仪，机械泵1.2对分子泵1.1进行预抽，然后利用分子泵1.1对真空腔室2.1抽取负压（机械泵1.2持续工作），使得真空腔室2.1的负压达到样品检测所需高真空度（约为10^-6 mbar）；

当取放样品时，真空腔室2.1的样品靶槽F移动至取放口下方后向上抬升并抵在取放口的底边缘，盖设在取放口处的密封盖M和样品靶槽F围成过渡腔室2.2，打开进气阀3，外界空气先后经第二通道6.7→进气阀3→第一通道6.6→第一连接孔6.2→第一连接通道6.4→第一通孔进入过渡腔室2.2，使过渡腔室2.2内的压力恢复至常压，以便于打开密封盖M放置新的待检样品；当样品放置结束后，盖上密封盖M，打开预抽阀4（高频次启闭或小流量开启）对过渡腔室2.2进行预抽，负压路径如下：真空腔室2.1→第二通孔→第二连接孔6.3→第四通道6.9→预抽阀4→第三通道6.8→第一连接孔6.2→第一连接通道6.4→过渡腔室2.2，使得真空腔室2.1和过渡腔室2.2处于连通状态，真空腔室2.1的高真空度使得过渡腔室2.2快速达到预设真空度，真空腔室2.1和分子泵1.1处于连通状态，相当于分子泵1.1通过真空腔室2.1对过渡腔室2.2抽取真空，实现了过渡腔室2.2的快速预抽，缩短了样品的等待时间，提高了检测效率；待过渡腔室2.2的真空度达到预设真空度时，将样品靶槽F移动至真空腔室2.1的离子源处进行样品解离检测即可；重复该操作即可实现多个样品的解离检测。

实施方式二

本实施方式所述的抽真空系统与实施方式一的不同之处在于：抽真空系统还包括负压缓存单元。具体地：如图11所示，负压缓存单元包括缓存腔7.1和缓冲阀7.2，缓存腔7.1的第一接口通过第一管路与机械泵1.2的抽气口连通，缓存腔7.1的第二接口通过第二管路与过渡腔室2.2连通，第二管路的另一端密封插装在过渡腔室2.2对应处的密封盖M板上的连接口内，缓冲阀7.2（优选两位两通电动阀）连通设置在第二管路上。

在实际安装时，还可以将缓冲阀7.2集成安装在阀体歧块6上，只需在阀体歧块6的前侧面上开设一个与第一连接孔6.2连通的第五通道即可，将缓冲阀7.2安装在阀体歧块6的前侧面上并确保缓冲阀7.2的一接口与第五通道连通而其另一接口与第二管路连接，确保缓冲阀7.2开启时，缓存腔7.1通过缓冲阀7.2与第五通道处于连通状态。

本实施方式所述的真空系统的工作过程如下：

在样品检测前，启动质谱仪，质谱仪的机械泵1.2对分子泵1.1预抽，然后再启动分子泵1.1，利用分子泵1.1对真空腔室2.1抽取负压（机械泵1.2持续工作），使得真空腔室2.1的负压达到样品检测所需高真空度（约为10^-6 mbar）；在此过程中缓冲阀7.2处于关闭状态，机械泵1.2可同时对分子泵1.1的出气口和缓存腔7.1抽取负压，使缓存腔7.1内处于恒定负压状态；

当取放样品时，真空腔室2.1的样品靶槽F移动至取放口下方后向上抬升并抵在取放口的底边缘，盖设在取放口处的密封盖M和样品靶槽F围成过渡腔室2.2，打开进气阀3，外界空气先后经第二通道6.7→进气阀3→第一通道6.6→第一连接孔6.2→第一连接通道6.4→第一通孔进入过渡腔室2.2，使过渡腔室2.2内的压力恢复至常压，以便于打开密封盖M放置新的待检样品；当将样品置于样品靶槽F后，盖上密封盖M围成过渡腔室2.2，先打开缓冲阀7.2利用缓存腔7.1对过渡腔室2.2进行预抽，抽负压路径为：缓存腔7.1←缓冲阀7.2←第五通道←第一连接孔6.2←第一连接通道6.4←过渡腔室2.2，过渡腔室2.2与缓存腔7.1处于连通状态，过渡腔室2.2在缓存腔7.1的负压作用下迅速达到平衡，实现过渡腔室2.2的预抽；然后关闭缓冲阀7.2，打开预抽阀4（高频次启闭或小流量开启），利用真空腔室2.1的高真空继续对缓冲腔室抽取真空，使过渡腔室2.2的真空度快速下降，当真空规5检测到的真空度达到进样条件时，关闭预抽阀4，并将真空腔室2.1内的样品靶槽F向下移动预设高度，过渡腔室2.2和真空腔室2.1形成一个整体，然后将样品靶槽F移动至离子源下方进行样品解离检测即可。

实施方式三

本实施方式所述的真空系统与实施方式二的不同之处在于负压缓存单元不同。具体地：如图12所示，负压缓存单元包括缓存腔7.1和缓冲阀7.2（缓冲阀7.2优选两位两通电磁阀），缓存腔7.1的第一接口通过预抽阀4与真空腔室2.1相连通，缓存腔7.1的第二接口通过缓冲阀7.2与过渡腔室2.2连通；

预抽阀4的一接口与第四通道6.9连通，使其通过第四通道6.9、第二连接孔6.3、第二连接通道6.5与真空腔室2.1处于连通状态；预抽阀4的另一接口通过连接管与缓存腔7.1连通，缓存腔7.1的另一接口通过连接管与第三通道6.8连通；

缓冲阀7.2安装在缓存腔7.1和预抽阀4之间的连接管上，当然还还可以集成安装在阀体歧块6上，即将第三通道6.8沿水平方向开设在阀体歧块6的前侧面上，将缓冲阀7.2集成安装在阀体歧块6的前侧面上并确保缓冲阀7.2的一接口与阀体歧块6连接而其另一接口通过连接管与缓存腔7.1连接。本实施方式中过渡腔室2.2的负压抽取路径为：真空腔室2.1←第二连接通道6.5←第二连接孔6.3←第四通道6.9←预抽阀4←缓存腔7.1←第三通道6.8←第一连接孔6.2←第一连接通道6.4←过渡腔室2.2。

在实际工作中，缓冲阀7.2的开启方式可以用小流量开启或采用多频次开合，有效控制过渡腔室2.2和缓存腔7.1的真空度平衡时间，从而降低出现震动的几率。同时，为进一步避免缓冲阀7.2急速流动而产生啸声，可将与过渡腔室2.2连通的缓冲阀7.2一端部设置有一个消音器。

本实施方式的具体工作过程如下：

在样品检测前，首先启动机械泵1.2预抽一定时间，然后再启动分子泵1.1，利用分子泵1.1对真空腔室2.1抽取负压（机械泵1.2持续工作），使得真空腔室2.1内的压力达到样品检测所需高真空度（约为10^-6mbar）；在抽真空过程中可打开预抽阀4（高频次开启或小流量开启），关闭进气阀3和缓冲阀7.2，使真空腔室2.1与缓存腔7.1处于连通状态，利用分子泵1.1对缓存腔7.1抽取负压，缓存腔7.1内的真空度接近真空腔室2.1，为实现过渡腔室2.2的真空度的快速预抽打下基础；

在检测过程中当需要取放样品时，真空腔室2.1的样品靶槽F移动至取放口下方后向上抬升并抵在取放口的底边缘，盖设在取放口处的密封盖M和样品靶槽F围成过渡腔室2.2，打开进气阀3，外界空气先后经第二通道6.7→进气阀3→第一通道6.6→第一连接孔6.2→第一连接通道6.4→第一通孔进入过渡腔室2.2，使过渡腔室2.2内的压力恢复至常压，以便于打开密封盖M放置新的待检样品；

当将样品置于样品靶槽F后，盖上密封盖M围成过渡腔室2.2，将预抽阀4和进气阀3关闭，打开缓冲阀7.2，使过渡腔室2.2内和缓存腔7.1内处于连通状态，由于缓存腔7.1内的真空度接近真空腔室2.1，过渡腔室2.2在缓存腔7.1的作用下迅速下降，以满足进样需求，然后关闭缓冲阀7.2，并将真空腔室2.1内的样品靶槽F向下移动预设高度，过渡腔室2.2和真空腔室2.1形成一个整体，然后将样品靶槽F移动至离子源下方进行样品解离检测即可。

需要强调的是，上述实施例仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改、替换和改进等等，这些修改和改进都应涵盖在本发明的保护范围之内。因而，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。