一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房

文档序号:647339 发布日期:2021-05-14 浏览:41次 >En<

阅读说明:本技术 一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房 (Clean factory building of carborundum semiconductor production usefulness ) 是由 鲁煜 王祎 刘玉良 姜经理 谭大胜 于 2020-12-29 设计创作,主要内容包括:本发明属于厂房技术领域,尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面,所述地面的顶部固定连接有厂房本体,所述厂房本体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部固定连接有净化箱,所述挡板的顶部固定连接有吸风机,所述吸风机的输入端与厂房本体连通,所述吸风机的输出端与净化箱连通,所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本发明通过吸风机的设置,可将空气吸入净化箱内,利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用,对空气进行净化,增加厂房质量,配合防尘网的吸附效果,可将灰尘进行去除,进一步加强净化效果,通过螺栓,使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸。(The invention belongs to the technical field of plants, and particularly relates to a clean plant for silicon carbide semiconductor production, which comprises a ground, wherein the top of the ground is fixedly connected with a plant body, the inside of the plant body is fixedly connected with a baffle, the top of the baffle is fixedly connected with a purification box, the top of the baffle is fixedly connected with a suction fan, the input end of the suction fan is communicated with the plant body, the output end of the suction fan is communicated with the purification box, and the inner wall of the purification box is fixedly connected with a clamping plate. According to the invention, through the arrangement of the suction fan, air can be sucked into the purification box, the air is purified by utilizing the sterilization effects of the first active carbon sterilization net and the second active carbon sterilization net, the plant quality is increased, dust can be removed by matching with the adsorption effect of the dust screen, the purification effect is further enhanced, and the dust screen, the first active carbon sterilization net and the second active carbon sterilization net can be detached through the bolts.)

一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房

技术领域

本发明涉及厂房技术领域,具体为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房。

背景技术

金刚砂又名碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂,如中国专利申请号为:CN201821321043.X,本实用新型公开了一种水漆生产用通风厂房,包括设置在厂房顶部的排风管,所述排风管上连接有多个伞状风罩,所述排风管上还经三通管连接有侧吸风管,所述侧吸风管上连接有配合集料桶的侧吸风罩,所述厂房的底部铺设有进风管,进风管上开设有多个风口,所述进风管与厂房外部的进风机连通,所述排风管伸出厂房设置,排风管与排风机相连。

目前洁净厂房存在以下问题:

1、不便将空气进行净化,使得厂房内的空气质量下降,影响工作环境;

2、在发生火灾时,不便及时进行灭火,对工作人员造成一定的危险性。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,解决了现有技术中,不便将空气进行净化、以及不便及时进行灭火的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面,所述地面的顶部固定连接有厂房本体,所述厂房本体的内部固定连接有挡板,所述挡板的顶部固定连接有净化箱,所述挡板的顶部固定连接有吸风机,所述吸风机的输入端与厂房本体连通,所述吸风机的输出端与净化箱连通,所述净化箱的内壁固定连接有夹板,两个所述夹板之间滑动连接有防尘网,两个所述夹板之间滑动连接有第一活性炭杀菌网,两个所述夹板之间滑动连接有第二活性炭杀菌网,所述净化箱的一侧固定连接有出气管,所述出气管的另一端与厂房本体连通,所述厂房本体的一侧固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面螺纹连接有螺纹块,所述地面的顶部固定连接有水箱,所述水箱的顶部固定连接有抽水泵,所述抽水泵的输入端与水箱连通,所述抽水泵的输出端通过软管固定连接有喷头,所述喷头与螺纹块固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述净化箱的正面通过合页转动连接有拉门,所述拉门的一侧固定连接有把手。

作为本发明的一种优选技术方案,所述厂房本体的内部固定连接有限位杆,所述限位杆的外表面滑动连接有套筒,所述套筒与螺纹块固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述水箱的顶部固定连接有进水口,所述进水口的形状为圆台形。

作为本发明的一种优选技术方案,所述电机的外表面固定连接有保护罩,保护罩为圆形。

作为本发明的一种优选技术方案,所述夹板的内部螺纹连接有螺栓,所述螺栓分别与防尘网、第一活性炭杀菌网、第二活性炭杀菌网螺纹连接。

(三)有益效果

与现有技术相比,本发明提供了一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,具备以下有益效果:

1、该碳化硅半导体生产用的洁净厂房,通过吸风机的设置,可将空气吸入净化箱内,利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用,对空气进行净化,增加厂房质量,配合防尘网的吸附效果,可将灰尘进行去除,进一步加强净化效果,通过螺栓,使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸,便于更换。

2、该碳化硅半导体生产用的洁净厂房,通过电机的设置,带动螺纹杆转动,通过螺纹块与螺纹杆螺纹连接以及限位杆与套筒滑动连接,从而带动螺纹块和喷头左右移动,利用抽水泵,将水箱内的水抽离,从喷头喷出,使其起到灭火作用,增加了对工作人员的安全性。

附图说明

图1为本发明结构示意图;

图2为本发明净化箱内部结构示意图;

图3为本发明结构仰视图。

图中:1、地面;2、厂房本体;3、挡板;4、净化箱;5、吸风机;6、夹板;7、防尘网;8、第一活性炭杀菌网;9、第二活性炭杀菌网;10、螺栓;11、出气管;12、电机;13、螺纹杆;14、螺纹块;15、水箱;16、抽水泵;17、软管;18、喷头;19、拉门;20、限位杆;21、套筒;22、进水口。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

实施例

请参阅图1-3,本发明提供以下技术方案:一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房,包括地面1,地面1的顶部固定连接有厂房本体2,厂房本体2的内部固定连接有挡板3,挡板3的顶部固定连接有净化箱4,挡板3的顶部固定连接有吸风机5,吸风机5的输入端与厂房本体2连通,吸风机5的输出端与净化箱4连通,净化箱4的内壁固定连接有夹板6,两个夹板6之间滑动连接有防尘网7,两个夹板6之间滑动连接有第一活性炭杀菌网8,两个夹板6之间滑动连接有第二活性炭杀菌网9,净化箱4的一侧固定连接有出气管11,出气管11的另一端与厂房本体2连通,厂房本体2的一侧固定连接有电机12,电机12的输出轴固定连接有螺纹杆13,螺纹杆13的外表面螺纹连接有螺纹块14,地面1的顶部固定连接有水箱15,水箱15的顶部固定连接有抽水泵16,抽水泵16的输入端与水箱15连通,抽水泵16的输出端通过软管17固定连接有喷头18,喷头18与螺纹块14固定连接。

本实施方案中,通过吸风机5的设置,可将空气吸入净化箱4内,利用第一活性炭杀菌网8和第二活性炭杀菌网9的灭菌作用,对空气进行净化,增加厂房质量,配合防尘网7的吸附效果,可将灰尘进行去除,进一步加强净化效果,通过电机12的设置,带动螺纹杆13转动,通过螺纹块14与螺纹杆13螺纹连接以及限位杆20与套筒21滑动连接,从而带动螺纹块14和喷头18左右移动,利用抽水泵16,将水箱15内的水抽离,从喷头18喷出,使其起到灭火作用,增加了对工作人员的安全性。

具体的,净化箱4的正面通过合页转动连接有拉门19,拉门19的一侧固定连接有把手。

本实施例中,通过拉门19,便于对防尘网7、第一活性炭杀菌网8和第二活性炭杀菌网9进行维修。

具体的,厂房本体2的内部固定连接有限位杆20,限位杆20的外表面滑动连接有套筒21,套筒21与螺纹块14固定连接。

本实施例中,通过限位杆20与套筒21滑动连接,对螺纹块14进行限位,增加螺纹块14移动时的稳定性。

具体的,水箱15的顶部固定连接有进水口22,进水口22的形状为圆台形。

本实施例中,通过进水口22,便于将水倒入水箱15内,增加便利性。

具体的,电机12的外表面固定连接有保护罩,保护罩为圆形。

本实施例中,通过保护罩,有利于保护电机12不受损坏。

具体的,夹板6的内部螺纹连接有螺栓10,螺栓10分别与防尘网7、第一活性炭杀菌网8、第二活性炭杀菌网9螺纹连接。

本实施例中,通过螺栓10,使防尘网7、第一活性炭杀菌网8和第二活性炭杀菌网9可以拆卸,便于更换。

本发明的工作原理及使用流程:当需要对空气进行净化时,打开吸风机5,吸风机5将空气吸入到净化箱4内,利用第一活性炭杀菌网8和第二活性炭杀菌网9的灭菌作用,对空气进行净化,增加厂房质量,配合防尘网7的吸附效果,可将灰尘进行去除,进一步加强净化效果,过滤后的空气通过出气管11重新进入到厂房本体2内,通过螺栓10,使防尘网7、第一活性炭杀菌网8和第二活性炭杀菌网9可以拆卸,便于更换,当发生火灾时,通过进水口22往水箱15内灌满水,打开电机12,电机12带动螺纹杆13转动,通过螺纹块14与螺纹杆13螺纹连接以及限位杆20与套筒21滑动连接,从而带动螺纹块14和喷头18左右移动,接着打开抽水泵16,抽水泵16将水箱15内的水抽离,通过喷头18喷出,从而起到灭火作用,增加了对工作人员的安全性。

最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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