阅读说明：本技术 一种双台面激光直写曝光机的对位方法 (Alignment method of double-table laser direct writing exposure machine ) 是由 汪孝军 梅文辉 王建新 李贵鸿 于 2020-12-30 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种双台面激光直写曝光机的对位方法,本方法改变了视觉标定点的设置位置,使视觉标定点能够沿X方向移动,从而在标定视觉单元的位置时,视觉单元不用移动,而且标定后也视觉单元不用移动到能够看到mark点的范围进行对位,降低了运动的累计误差,提高了对位的精度；因为视觉单元的位置标定时是通过视觉标定点移动实现的,而曝光引擎的移动精度本身就很高,因而视觉单元的移动机构不再需要很高的精度,降低了视觉单元控制的难度。(The invention discloses an alignment method of a double-mesa laser direct writing exposure machine, which changes the setting position of a visual calibration point, so that the visual calibration point can move along the X direction, when the position of a visual unit is calibrated, the visual unit does not need to move, and after calibration, the visual unit does not need to move to the range where a mark point can be seen for alignment, thereby reducing the accumulated error of motion and improving the alignment precision; because the position calibration of the visual unit is realized by moving the visual calibration point, and the moving precision of the exposure engine is very high, the moving mechanism of the visual unit does not need very high precision any more, and the difficulty of the control of the visual unit is reduced.)

一种双台面激光直写曝光机的对位方法

技术领域

本发明涉及一种数字化激光直写曝光系统，特别是一种高效率的双台面曝光机及曝光方法。

背景技术

双台面的激光直写曝光机，在市场上双台面的曝光机，其对位机构一般放置于曝光引擎前面，对位机构包括有两到三个可以在曝光引擎步进方向移动的视觉单元，曝光引擎及视觉单元移动的路线是平行的且均只能在X方向移动；而抓取电路板的吸盘在Y方向移动，吸盘上设有用于确定曝光引擎与视觉单元相对位置的视觉标定点及摄像头，需曝光的电路板上设有用于确定电路板与视觉单元相对位置的mark点，在设备组装好后因为视觉单元和曝光引擎不在同一轨道上做X向移动，因而先需要对视觉单元和曝光引擎两者间的相对位置进行确定，然后才能将视觉单元相对于电路板上的位置坐标转化成为曝光引擎相对于电路板的位置坐标，我们才能通过曝光引擎和吸盘的移动使曝光引擎在电路板上准确位置曝光出预设的图形，曝光引擎和视觉单元相对位置确定是通过视觉单元看到视觉标定点并确定与视觉标定点的相对位置，然后曝光引擎在吸盘上投射引擎标定点，摄像头同时看到引擎标定点和视觉标定点，然后经过计算得出曝光引擎与视觉单元的相对位置关系。

因为台面较大，因而视觉单元需在左台面和右台面分别标定一个位置，从而才能对左台面和右台面上的电路板进行对位，视觉系统从左边台面移动到右边台面，一般移动的距离比较长，这样整个系统的对位精度就会受到视觉系统移动机构的影响，而且影响较大，会降低系统的对位精度，当然上述也可以采用设置多个视觉单元来解决，每个视觉单元在X方向上对应一个标定位置，这样可以避免视觉单元大范围移动影响精度的缺陷，这个标定位置确定好后，以后加工各种规格的电路板时视觉单元都以这个对应的标定位置作为原始位置。但是因为线路板的规格不同，因而线路板上的mark点在X向位置相差较大，视觉单元对mark点进行对位时视觉单元还是需要从标定位置移动到能够看到mark点位置进行对位，虽然这样移动的距离比较短，但是只要移动就会对精度造成一定的影响，因而有必要设计一种对位方法解决上述问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供一种双台面激光直写曝光机的对位方法，不仅效率高而且能够提高曝光精度。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种双台面激光直写曝光机的对位方法，包括曝光引擎、视觉单元、吸盘及设置于吸盘上的摄像头，其特征在于：步骤如下：

S1：在曝光引擎上设置视觉标定点，

S2：加载生产资料到曝光机内，通过生产资料里面的坐标数据使视觉单元移动到相应的位置并在该位置可以识别待曝光电路板上的Mark点，该位置为加工该规格电路板所设定的临时标定位置，

S3：使曝光引擎沿X方向移动使视觉单元能够看到视觉标定点并标定视觉单元此时的位置；使吸盘沿Y方向移动使摄像头能够看到视觉标定点并且使曝光引擎在吸盘上投射的引擎标定点，该摄像头同时看到引擎标定点，然后经过计算得出曝光引擎与视觉单元的相对位置关系。

所述电路板上相对具有两列Mark点，分别位于电路板的两侧，所述视觉单元对应设有两套，每套视觉单元对应一列Mark点。

本发明的有益效果是：本方法改变了视觉标定点的设置位置，使视觉标定点能够沿X方向移动，从而在标定视觉单元的位置时，视觉单元不用移动，而且标定后也视觉单元不用移动到能够看到mark点的范围进行对位，降低了运动的累计误差，提高了对位的精度；因为视觉单元的位置标定时是通过视觉标定点移动实现的，而曝光引擎的移动精度本身就很高，因而视觉单元的移动机构不再需要很高的精度，降低了视觉单元控制的难度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的位置关系示意图。

具体实施方式

参照图1，本发明公开了一种双台面激光直写曝光机的对位方法，包括曝光引擎1、视觉单元2、吸盘3及设置于吸盘3上的摄像头4，其特征在于：步骤如下：

S1：在曝光引擎1上设置视觉标定点5，可以是曝光引擎1上能够为视觉单元2看到的任意位置，设置可以是直接设置，也可是间接设置，间接设置表示视觉标定点5可以设置在与曝光引擎1连接的物体上，视觉标定点5的设置方式和以前相同，因而不详述，

S2：加载生产资料到曝光机内，生产资料为电路板上需要曝光引擎1曝光的图形的坐标及尺寸参数，通过生产资料里面的坐标数据使视觉单元2移动到相应的位置并在该位置可以识别待曝光电路板上的Mark点，该位置为加工该规格电路板所设定的临时标定位置，该临时标定位置的精度比较低，因而视觉单元2的移动机构的精度也可比较低，一般电路板上具有四个Mark点，分成两列，分别位于电路板的四个角上，所述视觉单元2对应设有两套，每套视觉单元2对应一列Mark点，因为视觉单元2的拍摄范围没有那么大，而且也不会移动，所以需要一套对应一列Mark点，

S3：使曝光引擎1沿X方向移动使视觉单元2能够看到视觉标定点5并标定视觉单元2此时的位置；使吸盘3沿Y方向移动使摄像头4能够看到视觉标定点5并且使曝光引擎1在吸盘3上投射的引擎标定点，该摄像头4同时看到引擎标定点，然后经过计算得出曝光引擎1与视觉单元2的相对位置关系，该计算方式与常规的方式原理相同，因而不赘述。

本申请为了便于描述采用了“看到”这样的用语，“看到”的意思表示在视觉单元2或摄像头4的拍摄范围内。

上述临时标定位置只能用于生产同一规格的电路板，如果电路板的规格更换后因为Mark点的位置变化，视觉单元2在以前的位置无法看到规格更换后的电路板的Mark点，因而视觉单元2需要通过输入新的生产资料找新的临时标定位置，然后在该位置重新标定与曝光引擎1的相对位置关系，因而虽然本方法在电路板规格更换都需要重新标定，但是我们更需要的是精度的提高以及成本的降低。

以上对本发明实施例所提供的一种双台面激光直写曝光机的对位方法，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。