具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容充分地了解本发明的其他优点与技术效果。本发明还可以通过不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点加以应用，在没有背离发明总的设计思路下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。本发明下述示例性实施例可以多种不同的形式来实施，并且不应当被解释为只限于这里所阐述的具体实施例。应当理解的是，提供这些实施例是为了使得本发明的公开彻底且完整，并且将这些示例性具体实施例的技术方案充分传达给本领域技术人员。

本领域技术人员可以由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明亦可通过其它不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，本领域技术人员在不背离本发明的精神下可以进行各种类似推广和替换。

本发明一较佳实施例中，缺陷扫描机台的自动监控系统，包括：

数据收集模块，其与所有的缺陷扫描机台进行通讯连接，用于获取各缺陷扫描机台的缺陷扫描信息；

设置模块，用于设定对所述数据收集模块收集的所述缺陷扫描信息进行监控的查询条件；

查询模块，其根据所述设置模块设定的所述查询条件对所述数据收集模块收集的所述缺陷扫描信息进行查询并筛选出满足所述查询条件的缺陷扫描机台；

分析模块，用于对所述查询模块筛选出的所述缺陷扫描机台对应的所述缺陷扫描信息进行处理；

判断模块，其根据所述分析模块的处理结果判断缺陷扫描机台的运行状态，并根据各缺陷扫描机台的运行状态决定是否触发警报。

其中，所述查询条件包括缺陷扫描机台的扫描率、缺陷扫描机台检测的产品及产品类型、产品批次、晶圆编号信息、扫描率发生连续异常的时间。

所述缺陷扫描信息包括扫描产品批次、扫描产品类型、扫描对应的时间段、过货产品批次的上限及下限信息。

其中，所述分析模块对所述查询模块筛选出的所述缺陷扫描机台对应的所述缺陷扫描信息进行统计汇总，确定各部门对应的缺陷扫描机台的扫描率信息。

当所述缺陷扫描机台的所述扫描率低于标准阈值或者在设定时间内所述扫描率连续低于设置值时，所述判断模块判定所述缺陷扫描机台处于异常状态，同时触发警报。

本发明再一较佳实施例中，所述自动监控系统还包括：

数据库，用于存储所述数据收集模块获取到的所述缺陷扫描信息，这样可以省去缺陷扫描机台侧的数据存储。

此外，本发明另一较佳实施例中，所述自动监控系统还包括：

数据处理模块，其对所述数据收集模块获取到的所述缺陷扫描信息进行数据清洗、数据分类、数据筛选预处理，并汇总各module对应的扫描率信息。

基于上述系统，本发明的缺陷扫描机台的自动监控方法，其用于监控在线缺陷扫描的所有缺陷扫描机台，如图1所示，所述自动监控方法包括：

获取进行在线缺陷扫描的所有缺陷扫描机台的缺陷扫描信息；

获取用户设置的查询条件，并根据用户设置的查询条件对所述缺陷扫描信息进行监控；

筛选出满足所述查询条件的所述缺陷扫描信息对应的缺陷扫描机台；

对筛选出的所述缺陷扫描信息进行统计汇总，确定对应的所述缺陷扫描机台的扫描率信息；

根据所述扫描率信息判断所述缺陷扫描机台的运行状态，并根据各缺陷扫描机台的运行状态决定是否触发警报。

进一步的，当所述缺陷扫描机台的所述扫描率低于标准阈值或者在设定时间内所述扫描率连续低于设置值时，判定所述缺陷扫描机台处于异常状态，同时触发警报。

用户可以灵活地设置查询监控，例如可以筛选连续设定天数的扫描率都低于设置值的缺陷扫描机台，也可以筛选非连续时间的扫描率低于设置值且次数到达设定值的缺陷扫描机台。

与现有技术相比，本发明对所有缺陷扫描机台的线上运行状态进行监控，可以实现缺陷扫描机台(不同缺陷扫描对象及不同缺陷扫描机台)的全覆盖监控，提高机体数据监控覆盖率，自动统计机台的扫描率，预警扫描率不合理机台，有利于改进对线上过货产品的关键信息进行监控，减少产品的受影响区间，提升对线上机台关键产品的扫描情况进行监控，便于工程师依据不同的扫描情况及时发现存在潜在风险问题的机台，对机台的扫描状况进行预警。

以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，上述实施例仅仅是本发明的较佳实施例，本发明并不局限于上述实施方式。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员做出的等效置换和改进，均应视为在本发明所保护的技术范畴内。