阅读说明：本技术 一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法 (Software scheduling method for parallel transmission of wafers of ion implanter ) 是由 周雷 于 2019-10-15 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法,包括：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL-Sts(7)、定向台全局状态变量Ort-Sts(8)、靶台全局状态变量Platen-Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1-Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2-Sts(11)。其中预备程序(1)和线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)是在平台基础上的二次开发。全局状态变量(7)、(8)、(9)、(10)、(11)是内存变量。线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)根据状态变量来调度运动单元,动作完成后更新状态变量,以此实现晶片传送。(The invention discloses a software scheduling method for parallel transmission of wafers of an ion implanter, which comprises the following steps: the system comprises a preparation program (1), a left film library thread program (2), a directional table thread program (3), a target table thread program (4), a left manipulator thread program (5) and a right manipulator thread program (6). The left slice library global state variable LLL _ Sts (7), the directional stage global state variable Ort _ Sts (8), the target stage global state variable Platen _ Sts (9), the left manipulator global state variable TM1_ Sts (10), and the right manipulator global state variable TM2_ Sts (11). The preparation program (1) and the thread programs (2), (3), (4), (5) and (6) are developed secondarily on the basis of a platform. The global state variables (7), (8), (9), (10), (11) are memory variables. The thread programs (2), (3), (4), (5) and (6) schedule the motion units according to the state variables, and update the state variables after the actions are finished, thereby realizing the wafer transmission.)

一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法

技术领域

本发明应用于离子注入机，可以提高离子注入机的晶片传送效率，提高机台产能。

背景技术

离子注入机是一种大型先进的半导体加工装备，包括上千个精密部件，这些部件的紧密配合来实现对晶片的注入加工。机台产能是离子注入机的一个重要指标。提高机台产能可以降低离子注入机的注入加工成本。晶片传送效率是影响产能的一个重要因素，一直是关注的焦点。

离子注入机的晶片传送子系统包括多个运动单元，这些运动单元的协调工作，实现晶片在机台内部传递。运动单元之间的并行度越高，传送效率越高。上位机软件如何调度各个运动部件，使得运动单元并行动作是一个重要问题。

发明内容

本发明公开了一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，主要用于离子注入机的晶片传送的产能提升问题的处理。通过为每个运动单元分配一个线程程序和一个全局状态变量，每个线程函数都在实时查看每个单元的状态，根据运动单元的状态执行动作，来实现各个运动单元并发执行动作，来提升晶片传送产能。

本发明通过以下技术方案实现：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)。

其特征在于：首先执行预备程序(1)，让各个运动单元运动到预备位置，并设置状态变量为初始预备状态；然后启动每个运动单元的线程程序，线程程序根据状态执行动作，所有传送动作完成后，线程退出，晶片传送结束。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1整体传片程序流程图；

图2预备程序流程图；

图3线程程序流程图。

具体实施方式

1、一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法包括：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)。

2、各运动单元的全局状态变量(7)、(8)、(9)、(10)、(11)表示运动单元完成某个运动动作，也预示下一个要进行的动作，表1-5为运动单元完成某个动作后的状态。

表1左片库完成动作后的状态

动作单元	动作	变量	状态
					预备动作	LLL_Sts	Prepare_sended
TM1	EXTPICK BM1 slot	LLL_Sts	ExtPick
				LLL	PKSLOTL 1 slot	LLL_Sts	ExtPicked
TM1	RETPICK BM1 slot	LLL_Sts	Prepare_recv
				LLL	goslotl slot	LLL_Sts	Prepare_recved
TM1	EXTPLACE BM1 slot	LLL_Sts	ExtPlace
				LLL	gosloth slot	LLL_Sts	ExtPlaced
TM1	RETPLACE BM1 slot	LLL_Sts	Prepare_send
				LLL	gosloth slot	LLL_Sts	Prepare_sended

表2定向台完成动作后的状态

动作单元	动作	变量	状态
					预备动作	Ort_Sts	Prepare_recved
TM1	EXTPLACE PM1 1	Ort_Sts	ExtPlace
				ORT	chkup	Ort_Sts	ExtPlaced
TM1	RETPLACE PM1 1	Ort_Sts	Prepare_send
				ORT	ORT(定向)	Ort_Sts	Prepare_sended
TM2	EXTPICK PM1 1	Ort_Sts	ExtPick
				ORT	chkdn	Ort_Sts	Prepare_recv
TM2	RETPICK PM1 1	Ort_Sts	Prepare_recved

表3靶台完成动作后的状态

表4左机械手完成动作后的状态

动作单元	动作	变量	状态
					预备动作	TM1_Sts	Prepare_sended_LLL
TM1	EXTPICK BM1 slot	TM1_Sts	Other
				TM1	pre_move PM1	TM1_Sts	Prepare_recved_ORT
TM1	EXTPLACE PM1	TM1_Sts	Other
				TM1	pre_move PM2	TM1_Sts	Prepare_sended_IMP
TM1	EXTPICK PM2 1	TM1_Sts	Other
				TM1	pre_move LLL	TM1_Sts	Prepare_recved_LLL
TM1	EXTPLACE BM1 slot	TM1_Sts	Other
				TM1	pre_move LLL	TM1_Sts	Prepare_sended_LLL

表5右机械手完成动作后的状态

动作单元	动作	变量	状态
					预备动作	TM2_Sts	Prepare_sended
TM2	EXTPICK PM1 1	TM2_Sts	Other
				TM2	pre_move PM2	TM2_Sts	Prepare_recved
TM2	EXTPLACE PM2 1	TM2_Sts	Other
				TM2	pre_move PM1	TM2_Sts	Prepare_sended

3、晶片传送程序首先执行预备程序(1)，让各个运动单元运动到预备位置，并设置各个运动单元的全局状态变量为初始预备状态；然后同时启动全部运动单元的线程程序：即左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)，线程程序根据全局状态变量的状态值执行动作，并在执行完动作后更新状态；线程程序判断全部晶片传送动作执行完后结束线程，等到全部线程都结束后，晶片传送程序结束。

4、预备程序执行一些预备动作，并设置运动单元的全局状态变量的初始状态值，如表6所示。

表6预备程序执行的预备动作和预备状态

5、每个运动单元的线程程序都是一个循环程序，循环过程为：判断全局状态变量的状态值，执行动作命令，更新状态。当线程程序发现所有的晶片传送动作都完成时，则退出线程。如果执行动作命令时出现错误，则设置错误代码，并退出线程。其余线程发现错误代码不为零时，也会退出。一个单元出现错误，所有单元线程程序都会退出，停止动作，保证安全。

6、当使用右片库传送晶片时，软件调度方法与上述方法相似，只需把左片库变为右片库，左右机械手互换即可。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。