一种氧化铝增强zta陶瓷基板及其制备方法

文档序号:795475 发布日期:2021-04-13 浏览:26次 >En<

阅读说明:本技术 一种氧化铝增强zta陶瓷基板及其制备方法 (Alumina-reinforced ZTA ceramic substrate and preparation method thereof ) 是由 包亦望 旷峰华 李海燕 万德田 于 2020-12-30 设计创作,主要内容包括:本发明公开一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法,所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板包括ZTA基体和包覆所述ZTA基体的氧化铝表层。本发明在基体表面进行压缩预应力设计,通过对材料组分、基体与表层膨胀系数的比值,基体和表层的厚度比值等关键参数的控制,经过高温同烧过程,实现了结构功能一体化设计,制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板具有高强度和高导热性。本发明提供的制备工艺简单、效果好,基体和表层的复合可采用大部分现有陶瓷成型工艺、烧结工艺,适用于工业大批量生产。(The invention discloses an alumina reinforced ZTA ceramic substrate and a preparation method thereof. According to the invention, the compressive prestress design is carried out on the surface of the matrix, the structural function integrated design is realized by controlling key parameters such as material components, the ratio of the expansion coefficients of the matrix and the surface layer, the thickness ratio of the matrix and the surface layer and the like, and the prepared alumina reinforced ZTA ceramic substrate has high strength and high thermal conductivity through a high-temperature co-firing process. The preparation process provided by the invention is simple and has good effect, and the composition of the matrix and the surface layer can adopt most of the existing ceramic forming process and sintering process, so that the preparation process is suitable for industrial mass production.)

一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法

技术领域

本发明涉及陶瓷领域,尤其涉及一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法。

背景技术

陶瓷基板广泛应用于电子行业,陶瓷基板要求具有高导热、高强度、高抗热震和高抗热疲劳性能。现有的单相氧化物陶瓷难以达到这些要求。氧化锆增韧氧化铝(ZTA)材料做基板很少,虽然它强度高,但是导热性能难以达到要求。

因此,现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法,旨在解决现有ZTA陶瓷的导热性能差,无法用作陶瓷基板的问题。

本发明的技术方案如下:

一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板,其中,所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板包括ZTA基体和包覆所述ZTA基体的氧化铝表层。

可选地,所述氧化铝表层全包覆所述ZTA基体;

或者,所述氧化铝表层局部包覆所述ZTA基体。

可选地,所述ZTA基体的厚度为0.1mm-1.0mm,所述氧化铝表层的厚度为0.001mm-0.05mm。

可选地,所述ZTA基体的厚度与氧化铝表层的厚度的比值为20:1-500:1。

一种本发明所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板的制备方法,其中,包括步骤:

制备ZTA基体素坯;

在所述ZTA基体素坯表面制备氧化铝表层素坯,进行烧结处理,得到所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板。

可选地,所述ZTA基体素坯的制备方法,包括步骤:

通过成型工艺制备ZTA基体坯体;

将ZTA基体坯体干燥后,进行预烧排胶处理,得到所述ZTA基体素坯。

可选地,所述成型工艺选自干压成型工艺、凝胶注模成型工艺、注浆成型工艺、流延成型工艺中的一种。

可选地,所述预烧排胶处理的温度为600℃-1100℃,所述预烧排胶处理保温时长为30min-120min。

可选地,在所述ZTA基体素坯表面制备氧化铝表层素坯,进行烧结处理,得到所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板的步骤,包括:

制备氧化铝浆料;

将氧化铝浆料覆盖在ZTA基体素坯表面;

将覆盖有氧化铝浆料的ZTA基体素坯进行烧结处理,然后冷却,得到所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板。

可选地,所述烧结处理的温度为1350℃-1800℃,所述烧结处理的保温时长为30min-180min。

有益效果:本发明提供了一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法,通过表面预应力设计,实现结构功能一体化提高,所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板同时具有高强度和高导热性。本发明提供的制备工艺简单、效果好,适用于工业大批量生产。

附图说明

图1为氧化铝表层全包覆ZTA基体的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的结构示意图。

图2为氧化铝表层局部包覆ZTA基体的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的结构示意图。

具体实施方式

本发明提供一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法,为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。

本发明实施例提供一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板,所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板包括ZTA基体和包覆所述ZTA基体的氧化铝表层。

陶瓷材料是典型的脆性材料,表面残余压应力可以大幅度提高整体的弯曲强度。氧化铝陶瓷的导热性能高于ZTA陶瓷的导热性能,其膨胀系数低于ZTA陶瓷的膨胀系数,在ZTA基体素坯表面镀上氧化铝表层素坯,经高温烧结后,收缩量不同而形成表层残余压应力,大幅度提高氧化铝增强ZTA陶瓷基板的弯曲强度;同时,由于表面氧化铝的导热性比基体材料更好,使得氧化铝增强ZTA陶瓷基板的强度和导热性能同时得到提高,形成结构功能一体化提高。

在一种实施方式中,所述ZTA基体中氧化锆体积分数为5%-45%。

进一步地,在一种实施方式中,所述ZTA基体中氧化锆体积分数为10%-25%。

本实施例中,氧化铝表层由氧化铝颗粒组成。在一种实施方式中,所述氧化铝颗粒的粒径为0.15μm~3μm。

在一种实施方式中,所述氧化铝表层2全包覆所述ZTA基体1,如图1所示。

需说明的是,本实施例的全包覆指的是,假设所述ZTA基体为板状,有六个表面,分别为上表面、下表面、左表面、右表面、前表面和后表面,所述氧化铝表层包覆在ZTA基体的全部六个面上。采用全包覆可以更好地实现复合陶瓷基板的导热等性能的提升。

在一种实施方式中,所述氧化铝表层2局部包覆所述ZTA基体1,如图2所示。

需说明的是,本实施例的局部包覆指的是,假设所述ZTA基体为板状,有六个表面,分别为上表面、下表面、左表面、右表面、前表面和后表面,所述氧化铝表层局部包覆在所述ZTA基体的上表面、下表面、前表面和后表面上,未包覆在ZTA基体的左表面和右表面上。当然所述氧化铝表层也可局部包覆在所述ZTA基体的上表面和下表面上。

在一种实施方式中,所述ZTA基体的厚度为0.1mm-1.0mm,所述氧化铝表层的厚度为0.001mm-0.05mm。

理论上氧化铝表层厚度与ZTA基体厚度比值越小,获得的预应力效果越好,但是表层太薄,会存在缺陷敏感度较高以及导热效果下降等问题。

在一种实施方式中,所述ZTA基体的厚度与所述氧化铝表层的厚度比为20:1-500:1。在这个厚度比范围内,所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板具有更高的强度和导热性。

本实施例中,所述ZTA基体的厚度可以为其上表面和下表面之间的垂直距离,相应的氧化铝表层厚度为包覆在ZTA基体上表面或下表面的表层的厚度,其中,ZTA基体上表面或下表面上的氧化铝表层的厚度相等。

本实施例中,所述ZTA基体的厚度也可以为其左表面和右表面之间的垂直距离,相应的氧化铝表层厚度为包覆在ZTA基体左表面或右表面的表层的厚度,其中,ZTA基体左表面或右表面上的氧化铝表层的厚度相等。

本实施例中,所述ZTA基体的厚度还可以为其前表面和后表面之间的垂直距离,相应的氧化铝表层厚度为包覆在ZTA基体前表面或后表面的表层的厚度,其中,ZTA基体前表面或后表面上的氧化铝表层的厚度相等。

本发明实施例中,通过对基体材料和表层材料组分、基体与表层膨胀系数的比值、基体与表层厚度的比值等关键参数的控制,实现结构功能一体化提高,从而同时提高了氧化铝增强ZTA陶瓷基板的强度和导热性能。

本发明实施例还提供一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板的制备方法,其中,包括步骤:

S1、制备ZTA基体素坯;

S2、在所述ZTA基体素坯表面制备氧化铝表层素坯,进行烧结处理,得到所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板。

步骤S1中,在一种实施方式中,所述ZTA基体素坯的制备方法,包括步骤:

通过成型工艺制备ZTA基体坯体;

将ZTA基体坯体干燥后,进行预烧排胶处理,得到所述ZTA基体素坯。

在一种实施方式中,所述成型工艺选自干压成型工艺、凝胶注模成型工艺、注浆成型工艺、流延成型工艺中的一种,但不限于此。

在一种实施方式中,所述预烧排胶处理的温度为600℃-1100℃,在高温下预烧排胶的过程中要保证所述ZTA基体素坯平整。

在一种实施方式中,所述预烧排胶处理的保温时长为30min-120min。

步骤S2中,在一种实施方式中,所述在所述ZTA基体素坯表面制备氧化铝表层素坯,进行烧结处理,得到所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板的步骤,包括:

制备氧化铝浆料;

将氧化铝浆料覆盖在ZTA基体素坯表面;

将覆盖有氧化铝浆料的ZTA基体素坯进行烧结处理,然后冷却,得到所述氧化铝增强ZTA陶瓷基板。

在一种实施方式中,所述将氧化铝浆料覆盖在ZTA基体素坯表面的方法选自浸渍法、喷涂法、毛刷法中的一种,但不限于此。

在一种实施方式中,所述氧化铝浆料全覆盖或者局部覆盖在ZTA基体素坯表面。

在一种实施方式中,所述氧化铝浆料全覆盖在ZTA基体素坯表面,从而更好地实现氧化铝增强ZTA陶瓷基板性能的提升。

在一种实施方式中,所述烧结处理的温度为1350℃-1800℃,所述烧结处理的保温时长为30min-180min。

在一种实施方式中,将覆盖有氧化铝浆料的ZTA基体素坯进行烧结处理前,还需要将覆盖有氧化铝浆料的ZTA基体进行烘干处理。

本实施例中,所述氧化铝表层的导热系数高于所述ZTA基体,膨胀系数低于所述ZTA基体,在所述ZTA基体表面包覆氧化铝表层,高温烧结后因收缩量不同而形成表层残余压应力,实现大幅度提高氧化铝增强ZTA陶瓷基板的弯曲强度;同时,由于氧化铝表层的导热系数比ZTA基体更高,使得氧化铝增强ZTA陶瓷基板的强度和导热性能同时得到提高,因此使得氧化铝增强ZTA陶瓷基板的强度和导热性能同时得到提升,实现结构功能一体化提高。

下面通过具体的实施例对本发明作进一步地说明。

实施例1

本实施例的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的制备步骤如下:

(1)、通过流延成型工艺制备氧化锆体积分数为15%的ZTA基体坯体,将ZTA基体坯体进行干燥,然后在1100℃高温条件下保温120min完成预烧排胶,并保证平整,得到ZTA基体素坯。

(2)、称取一定质量的氧化铝粉体,添加占氧化铝粉体质量20%的去离子水、1%的聚丙烯酸铵分散剂、0.1%的消泡剂、200%的陶瓷磨球,在100rpm转速下球磨24h,所选氧化铝粉体粒径为3μm,制得氧化铝浆料。然后采用喷涂的方法将氧化铝浆料均匀全包覆在经步骤(1)后的ZTA基体素坯表面,氧化铝表层的厚度与ZTA基体素坯的比值等于1:20。然后整体烘干,得到复合陶瓷基板素坯。

(3)、将复合陶瓷基板素坯在1800℃高温下进行高温同烧,保温时长为180min,然后再进行同步冷却,制备得到氧化铝增强ZTA陶瓷基板。

经测试得到:相同烧结条件下,ZTA基体的弯曲强度为550MPa,氧化铝表层的弯曲强度为375MPa,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的弯曲强度为824MPa,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的弯曲强度相对于氧化铝表层的弯曲强度提升约119%,相对于ZTA基体的弯曲强度提升约50%。

ZTA基体的导热系数为20W/mK,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的导热系数为30W/mK,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的导热系数相对于ZTA基体的导热系数提升50%。

实施例2

本实施例的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的制备步骤如下:

(1)、通过流延成型工艺制备氧化锆体积分数为25%的ZTA基体坯体,将ZTA基体坯体进行干燥,然后在600℃高温条件下保温30min完成预烧排胶,并保证平整,得到ZTA基体素坯。

(2)、称取一定质量的氧化铝粉体,添加占氧化铝粉体质量20%的去离子水、1%的聚丙烯酸铵分散剂、0.1%的消泡剂、200%的陶瓷磨球,在100rpm转速下球磨24h,所选氧化铝粉体粒径为0.15μm,制得氧化铝浆料。然后采用喷涂的方法将氧化铝浆料均匀全包覆在经步骤(1)后的ZTA基体素坯表面,氧化铝表层的厚度与ZTA基体素坯的比值为1:500。然后整体烘干,得到复合陶瓷基板素坯。

(3)、将复合陶瓷基板素坯在1350℃高温下进行高温同烧,保温时长为30min,然后再进行同步冷却,制备得到氧化铝增强ZTA陶瓷基板。

经测试得到:相同烧结条件下,ZTA基体的弯曲强度为603MPa,氧化铝表层的弯曲强度为482MPa,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的弯曲强度为895MPa,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的弯曲强度相对于氧化铝表层的弯曲强度提升约85%,相对于ZTA基体的弯曲强度提升约48%。

ZTA基体的导热系数为16W/mK,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的导热系数为27W/mK,所制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板的导热系数相对于ZTA基体的导热系数提升68%。

综上所述,本发明提供的一种氧化铝增强ZTA陶瓷基板及其制备方法,在基体表面进行压缩预应力设计,通过对材料组分、基体与表层膨胀系数的比值,基体和表层的厚度比值等关键参数的控制,经过高温同烧过程,实现了结构功能一体化设计,制备得到的氧化铝增强ZTA陶瓷基板具有高强度和高导热性。本发明提供的制备工艺简单、效果好,基体和表层的复合可采用大部分现有陶瓷成型工艺、烧结工艺,适用于工业大批量生产。

应当理解的是,本发明的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

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