阅读说明：本技术 一种离子注入机的浮动式离子传输管 (Floating type ion transmission tube of ion implanter ) 是由 魏运秀 于 2020-07-30 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种离子注入机的浮动式离子传输管,包括呈圆弧状的连接管和套接在连接管内的浮动管,所述连接管的两端各成型有一个螺纹孔,每个螺纹孔内螺接有一个挡环,浮动管位于两个挡环之间,每个挡环与浮动管的其中一端面之间夹持有弹簧。本发明通过设置在连接管内的浮动管可有效防止离子束对管道同一部位的冲击,可降低浮动管的损坏；同时浮动管拆装方便,便于维修和维护。(The invention discloses a floating type ion transmission tube of an ion implanter, which comprises a connecting tube in an arc shape and a floating tube sleeved in the connecting tube, wherein two threaded holes are respectively formed at two ends of the connecting tube, a baffle ring is screwed in each threaded hole, the floating tube is positioned between the two baffle rings, and a spring is clamped between each baffle ring and one end face of the floating tube. The invention can effectively prevent the impact of the ion beam on the same part of the pipeline through the floating pipe arranged in the connecting pipe, and can reduce the damage of the floating pipe; meanwhile, the floating pipe is convenient to disassemble and assemble and convenient to maintain and repair.)

一种离子注入机的浮动式离子传输管

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种离子注入机的浮动式离子传输管。

背景技术

在半导体生产工艺中，主流的杂质掺杂技术都采用离子注入技术，一般采用离子注入机实现离子注入技术。这种方法是由离子源产生等离子体，再通过质谱分析将所需的离子组分提取出来，对离子加速形成具有一定速度的离子束，并注入到半导体基片中，因此离子注入机是半导体生产工艺中十分常用的设备。质量分析器是离子注入机的核心部件，它是依据不同方式将离子源中生成的样品离子按质荷比的大小分开的仪器，可以将所需要的杂质离子从混合的离子束中分离出来。在离子源与质量分析器之间，即质量分析器的前端连接有用于传输离子束的管道，其中单聚焦质量分析器与离子源之间的管道为具有一定半径的圆弧型管道，由于离子注入机造价昂贵，且制造技术较为精尖，因此设备投入使用数十年已经是非常常见的事，由于高温、高速的离子速长时间对管道内壁的同一部分区域进行冲击，容易造成管道该部分区域出现泄漏现象，影响离子注入机的正常使用，并且维修起来也很不方便。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种离子注入机的浮动式离子传输管，它通过设置在连接管内的浮动管可有效防止离子束对管道同一部位的冲击，可降低浮动管的损坏；同时浮动管拆装方便，便于维修和维护。

本发明解决所述技术问题的方案是：

一种离子注入机的浮动式离子传输管，包括呈圆弧状的连接管和套接在连接管内的浮动管，所述连接管的两端各成型有一个螺纹孔，每个螺纹孔内螺接有一个挡环，浮动管位于两个挡环之间，每个挡环与浮动管的其中一端面之间夹持有弹簧。

所述弹簧为两个对叠设置的碟型弹簧。

所述浮动管的外壁上成型有多条圆弧凸筋，圆弧凸筋上成型有弧形槽，弧形槽内套接有与其相配合的弧形杆，弧形杆的外壁压靠在连接管的外壁上；所述浮动管的两端各成型有以凸环，弧形杆的两端压靠在两个凸环上。

所述连接管的两端各成型有一个法兰面，法兰面上成型有多个螺孔。

所述浮动管的外壁与连接管的内壁之间留有间隙。

本发明的突出效果是：与现有技术相比，其通过设置在连接管内的浮动管可有效防止离子束对管道同一部位的冲击，可降低浮动管的损坏；同时浮动管拆装方便，便于维修和维护。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1关于A-A的剖视图；

图3为图1关于B的局部放大图。

具体实施方式

实施例，见如图1至图3所示，一种离子注入机的浮动式离子传输管，包括呈圆弧状的连接管1和套接在连接管1内的浮动管2，所述连接管1的两端各成型有一个螺纹孔11，每个螺纹孔11内螺接有一个挡环3，浮动管2位于两个挡环3之间，每个挡环3与浮动管2的其中一端面之间夹持有弹簧4。

更进一步的说，所述弹簧4为两个对叠设置的碟型弹簧41。

更进一步的说，所述浮动管2的外壁上成型有多条圆弧凸筋21，圆弧凸筋21上成型有弧形槽22，弧形槽22内套接有与其相配合的弧形杆5，弧形杆5的外壁压靠在连接管1的外壁上；所述浮动管2的两端各成型有以凸环23，弧形杆5的两端压靠在两个凸环23上。

更进一步的说，所述连接管1的两端各成型有一个法兰面12，法兰面12上成型有多个螺孔13。

更进一步的说，所述浮动管2的外壁与连接管1的内壁之间留有间隙。

工作原理：离子源的离子束从连接管1的一端进入并经过浮动管2从连接管1的另一端流出；当离子束击打在浮动管2的内壁上时，由于离子束的速度较大，浮动管2在连接管1内可发生小幅偏移，弹簧4则能让浮动管2进行自动复位，浮动管2浮动从而可有效防止离子束击打在浮动管2的同一部位，减轻对浮动管2的损伤；当需要对浮动管进行检修或维护时，只需拆除挡环3即可将浮动管从连接管内取出。

最后，以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。