本发明提供一种用于半导体制造的洁净室系统及其电场除尘方法,所述洁净室系统包括洁净室、电场除尘系统；所述洁净室包括气体入口；所述电场除尘系统包括除尘系统出口、电场装置；所述洁净室的气体入口与所述电场除尘系统的除尘系统出口连通；所述电场装置包括电场装置入口、电场装置出口、电场阴极和电场阳极,所述电场阴极和所述电场阳极用于产生电离电场。本发明能有效除去半导体制造行业中的颗粒物。

本发明提供一种用于半导体制造的洁净室系统及其多级电场除尘方法,所述洁净室系统包括洁净室、多级电场除尘系统；所述多级电场除尘系统包括至少两个串联的电场装置,还包括电源,每个所述电场装置的电场阳极和电场阴极分别与电源装置的两个电极电性连接；电场装置电源的电压值足以确保电场除尘系统总除尘效率(100％-(100％-P-(1)％)*(100％-P-(2)％)*……*(100％-P-(n)％))大于一个预定值,并且臭氧输出量小于一个预定值,其中,P-(1)％、P-(2)％……P-(n)％依次分别为第1级、第2级、……第n级电场装置的除尘效率,n为大于1的整数。

本发明公开了一种电动负压抽风换气自生静电的耐用型口罩,涉及耐用型口罩领域,针对现有口罩温度高、湿度大、排气不畅、舒适性低的问题,现提出如下方案,一种电动负压抽风换气自生静电的耐用型口罩,包括罩体、磁场体、佩戴绳,所述罩体内设置有罩内密封圈,所述罩体的右侧设置有罩体对接口,所述罩体对接口的右端固定连接有磁场体对接口,所述磁场体内安装有进气气温调节门,所述磁场体进气气温调节门前端设置有可更换滤芯,所述磁场体可更换滤芯的前端设置有静电发生器,所述磁场体内静电发生器内部设置有静电发生器内风轮叶片。本装置具有可以高效的过滤,自主的清理,且能够保证罩体内部环境卫生和呼吸通畅的特点。

本发明公开了一种使颗粒物带电荷的过滤器,包括：荷电模块及与所述荷电模块相对设置的集尘模块；所述荷电模块包括塑料外框及设置于所述塑料外框远离集尘模块一端上的多个金属丝、固定于所述塑料外框内壁上的U型塑料条及固定于所述U型塑料条上的多个碳刷；所述塑料外框的一端面上固接有第一触点与第二触点,多个所述金属丝与所述第二触点连通,多个所述碳刷均连通第一触点。根据本发明,净化室内空气,除尘、消毒,针对目前市面同类产品提供一种高效、低价的产品。

本发明公开了一种带有静电集尘装置的新风机,包括壳体,所述壳体上开设有进风口和出风口；所述壳体内部,对应于出风口,设有离心风机,对应于进风口,设有静电集尘装置；所述静电集尘装置包括顶板、底板以及设于顶板和底板之间的两个侧板；所述两个侧板之间设有正极板和负极板；所述正极板和负极板间隔交替排列,且相邻两板之间留有通道；所述侧板的长度方向与新风机的进风方向垂直。本发明的新风机将内部的静电集尘装置的进风方向与新风机的进风方向垂直设置,即新风从静电集尘装置的侧部进风进行集尘过滤,磁场区大,净化效率高,而且所需新风机的体积小。对应的,本发明还提供了一种新风机用静电集尘装置。

本发明提供一种除尘用高频电源控制方法、系统及电源设备,所述电源设备包括：整流器、逆变器、变压器和取样板、控制器,三相交流电经整流器、逆变器和变压器输出至负载,控制器接收到取样板上二次电压和二次电流的电信号后控制回路,该方法包括：采样获取二次电压以及二次电流；判断是否符合短路条件,若是,则控制跳闸,报短路故障；若否,则继续判断是否符合预设条件一,若是,则输出准短路报警,并跳闸；若否,则继续判断是否符合预设条件二；若是,则输出准短路报警,并跳闸；若否,则正常运行。在临近短路的工况下,控制器通过采样信号逻辑判断程序控制电闸,避免了短路产生的电弧高温对电源设备的影响,提高了电源设备的安全可靠性。