本发明公开一种干法静电除尘器,包括：基座、静电除尘装置、烟气导入管,静电除尘装置安装于基座上,基座开设有：进气口、排气口、粉尘收集口,烟气导入管与基座的进气口连通。其中,静电除尘装置包括：静电除尘转动机构、静电除尘固定机构。静电除尘转动机构包括电极收尘组件及与电极收尘组件驱动连接的筒体驱动组件,电极收尘组件包括多个电极收尘套筒。静电除尘固定机构包括：集成固定板、电晕线组件、多块一级挡风板、多块二级挡风板、多块弹性刮除密封板；电晕线组件、多块一级挡风板、多块二级挡风板以及多块弹性刮除密封板安装于集成固定板上。本发明的干法静电除尘器可以避免粉尘的二次飞扬,提高干法静电除尘器的除尘效果。

本公开涉及一种用于从被污染的气体中收集颗粒的颗粒收集器,该颗粒收集器包括：驱动单元,其用于使气体运动,该驱动单元包括驱动腔室、用于产生正电压的电压源、导电驱动元件,其中,该电压源连接至导电驱动元件,以用于施加正电压；收集单元,其用于从移动的被污染的气体中收集颗粒,该收集单元包括用于接收移动的被污染的气体的收集腔室,该收集腔室包括一个或多个收集表面以用于将来自被接收的移动的气体中的颗粒收集在其上；其中,驱动腔室包括驱动腔室壁,驱动腔室壁限定了用于被污染的气体的驱动腔室流动空间,其中,导电驱动元件被配置为电离颗粒,并诱导被电离的颗粒朝着收集单元以螺旋形的运动流动。

本发明提供一种用于半导体制造的洁净室系统及其电场除尘方法,所述洁净室系统包括洁净室、电场除尘系统；所述洁净室包括气体入口；所述电场除尘系统包括除尘系统出口、电场装置；所述洁净室的气体入口与所述电场除尘系统的除尘系统出口连通；所述电场装置包括电场装置入口、电场装置出口、电场阴极和电场阳极,所述电场阴极和所述电场阳极用于产生电离电场。本发明能有效除去半导体制造行业中的颗粒物。

一种空气除尘系统(101),包括除尘系统入口(1011)、除尘系统出口、电场装置(1014)。所述电场装置(1014)包括电场装置入口、电场装置出口、除尘电场阴极(10142)和除尘电场阳极(10141),所述除尘电场阴极(10142)和所述除尘电场阳极(10141)用于产生电离除尘电场。当电离除尘电场积尘时,所述电场装置(1014)检测电场电流。所述空气除尘系统(101)能有效除去空气中的颗粒物。

一种空气除尘系统(101),包括除尘系统入口(1011)、除尘系统出口、电场装置(1014)。所述电场装置(1014)包括电场装置入口(3085)、电场装置出口(3088)、除尘电场阴极(3081)和除尘电场阳极(3082),所述除尘电场阴极(3081)和所述除尘电场阳极(3082)用于产生电离除尘电场。所述空气除尘系统(101)能有效除去空气中的颗粒物。

本发明公开了一种立式湿式电除尘器。具有两个或者两个以上的电场,每个电场竖向串连布置,每个电场包括阴极系统、阳极系统、喷淋系统；每个电场之间设置有集水槽；所述阴极系统、阳极系统、喷淋系统设置在湿式电除尘器壳体内部；所述电场阳极系统采用管式阳极管。本发明能够灵活的设置串连的电场数量,从而提高湿式电除尘器对污染物的去除效率；能够灵活的调整每个电场的有效长度,在满足去除效率的前提下配置最经济的设备尺寸；设备纵向立体发展,不会因增加电场数量而增加平面布置面积。