本发明涉及氟橡胶合成领域,尤其涉及一种过氧化物硫化氟橡胶及其制备方法;所述过氧化物硫化氟橡胶的制备方法,以偏氟乙烯、四氟乙烯、六氟丙烯为混合单体进行聚合反应;其中,在所述聚合反应过程中,始终保持反应釜内四氟乙烯的物质的量为混合单体总物质的量的15~25%,六氟丙烯的物质的量为混合单体总物质的量的25~35%;所得过氧化物硫化氟橡胶同时兼顾高氟含量和低压缩变形;有效解决了高氟含量的过氧化物硫化氟橡胶由于聚合过程中TFE和HFP在分子链段分布不均,导致其硫化加工过程交联密度降低;同时将反应时间控制在较短的反应时间,防止了支链化反应,确保了链节中硫化点单体的有效性,解决了压缩变形偏高的问题。