一种测量耦合电流的装置,包括：X射线源1、真空腔体2、信号传输系统3和示波器4；其中,X射线源1的出光口与真空腔体2连接,连接的交界面从出光口到真空腔体2方向依次设置有用于屏蔽入射电磁波的第一材料板2-1和用于吸收电子束的第二材料板2-2,第一材料板2-1与真空腔体2的内壁连接；X射线源1向真空腔体2内入射X射线1-1,X射线1-1的入射方向与真空腔体2内的待测量耦合电流的试验线缆5所在的平面垂直,试验线缆5通过腔壁上的接口与腔外的信号传输系统3连接；示波器4采集通过信号传输系统3输出的用于耦合电流分析的线缆电流。本发明实施例通过屏蔽电磁波和吸收电子束的结构设计,提升了试验线缆5耦合电流测试的准确性。