离子源;离子枪
离子生成装置、方法及程序
提供一种离子生成技术,使用一台离子源,使核子平均能量一致的不同种类离子在不同的定时输出。在离子生成装置(10)中,具备:离子生成能量设定部(32),使在真空腔(25)内电离生成的第一离子(21)及第二离子(22)保持混合状态不变地从开口(26)放出;电场电压调节部(33),将在该开口(26)与引出电极(28)之间形成的电位势(27)切换为第一电场电压(V-1)及第二电场电压(V-2)而进行施加,对第一离子(21)及第二离子(22)分别赋予预先确定的相同的核子平均能量;以及励磁电流调节部(35),切换第一励磁电流(I-1)及第二励磁电流(I-2)并向分离电磁铁(41)的线圈(省略图示)供给,使第一离子(21)及第二离子(22)在不同的定时输出。

2021-09-28

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