本发明公开了一种行波管热子组件用绝缘材料真空封灌装置及方法,属于固－液混合材料的封灌工艺领域,一种行波管热子组件用绝缘材料真空封灌装置,包括有机玻璃钟罩,所述有机玻璃钟罩包括上盖和下盖,所述上盖和下盖接触面之间设置有密封胶圈,所述下盖的一侧底部设置有排气口,所述排气口通过橡胶管连接有真空泵,所述下盖内设置有模板卡槽,所述模板卡槽内卡接固定有样品放置模板,该装置结构简单、造价低、操作简易,热子组件模具材料易得,易于设计与制造。两者配合使用可实现对多个、多种热子组件填料的同步致密化处理,提高生产效率。

本发明提供的一种片上微型的场助热发射电子源及制作方法,通过将场增强电极近距离的集成在电子发射体周围,通过引入强电场降低电子发射体的表面势垒,进而提高电子发射体的发射效率,解决了热电子源功耗大和难以集成的问题。