本发明属于光电倍增管技术领域,具体涉及一种光电倍增管用光电阴极及其制备方法。本发明提供了一种光电倍增管用光电阴极,以铜铍合金为支撑基板,Be-(2)N-(3)薄膜为光电子反射层,K-(2)CsSb薄膜为光电子发射层,弥补了现有技术中光电阴极材料量子效率低、稳定性差、噪声大的问题。

本发明提供一种用于提高光电倍增管阴极量子效率可控性及一致性的方法,包括：获取不同量子效率的光电阴极制备过程中的光电流曲线；提取出与设定的量子效率区间对应的光电流曲线斜率的角度参考范围；在制备光电阴极的过程中,根据需要达到的量子效率区间选择对应的角度参考范围；以及以选择的角度参考范围为依据,在制备过程中将实际的光电流曲线斜率的角度与角度参考范围进行对比,对正在进行的阴极制备过程进行调整,使阴极制备过程中光电流曲线斜率的角度向所需量子效率的角度参考范围不断接近,最终制作出所需量子效率的光电阴极。本发明的调控方法可通过给出的参考值设定期望制作的量子效率值,在实际生产过程中可提高量子效率的可控性,从而提高了光电倍增管量子效率的一致性,避免单独针对某个量子效率进行调控时的不确定性和降低调控难度。

本发明涉及光电倍增管制作技术领域,具体而言涉及打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法,包括：多个罩体,每个罩体均被设置成具有密封状态和开放状态,所述罩体处于密封状态时,内部形成镀膜腔室；镀膜系统,被设置在所述镀膜腔室内；主抽系统,包括主抽泵和连接到主抽泵抽气端的主抽管道,所述主抽管道第二端连接到所述镀膜腔室。对主抽泵进行隔离而不停机,破坏镀膜腔室的真空状态后使用预抽系统建立真空度优于10Pa的负压环境,再打开主抽泵的隔离,无需破除整个镀膜机系统的真空,无需频繁停启主抽泵,极大缩短了单轮次镀膜的装卸瓦片及排气抽真空时间,提高镀膜效率。